JP2013230422A - 塗工システム - Google Patents
塗工システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013230422A JP2013230422A JP2012103115A JP2012103115A JP2013230422A JP 2013230422 A JP2013230422 A JP 2013230422A JP 2012103115 A JP2012103115 A JP 2012103115A JP 2012103115 A JP2012103115 A JP 2012103115A JP 2013230422 A JP2013230422 A JP 2013230422A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating
- liquid
- liquid supply
- pressure
- paint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 213
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 213
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 187
- 238000010992 reflux Methods 0.000 claims abstract description 51
- 239000003973 paint Substances 0.000 claims description 74
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 22
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 239000011149 active material Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002097 Lithium manganese(III,IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 239000006230 acetylene black Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】給液部1と、送液配管部4と、塗工ヘッド部3と、還流配管部4bと、流路切替部2と、送液圧力調整器8と、コントローラ7と、圧力センシング部5と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、圧力センシング部5で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、コントローラ7により、給液部1、流路切替部2、及び送液圧力調整器8の少なくとも一つをフィードバック制御する。
【選択図】図1
Description
リチウムイオン二次電池を構成している部材は、正極及び負極電極、セパレータ、電解液を備え、電極は、集電体、活物質、バインダー、導電材といった材料から構成されている。
特に、電極作製の際、電極基材上に前述したような活物質を含むスラリーを塗布する場合が多いが、塗布精度や乾燥条件によって、性能に大きく影響してしまう。
平滑な塗布面を得て、積層や巻回をすることで大容量の電池ができたり、材料の持つ理論値に近い電池性能をロスなく発現させたりすることができる。逆に、膜厚ムラなど平滑な塗布面が得られない場合は、積層、捲回ができない、充放電バランスが崩れることでのロス、内部ショートなどの不具合が生じる場合がある。
また、前述したように積層したり巻回したりする場合、厚み差があると、均一な積層や巻回ができない。場合によっては、電池作製後に内部ショートしてしまうといった不具合を生じる可能性もある。
例えば特許文献1、2においては、塗布部、非塗布部を形成するために、塗工ヘッド部に吸引バルブを設け、塗料の吸引、吐出を繰り替えしている。
また、特許文献3では、吸引バルブにて間欠塗布を可能としつつ、さらに面内膜厚を均一化するため、その吸引分の塗料を塗布経路外に放出し、吸引された分の塗料の逆流影響を最小限としている。
また、特許文献5においては、ダイヘッドの直前に三方弁を設け、戻りライン中に設けた圧力調整弁を用い、非塗布時も戻りライン中の圧力が塗布時と同じになるように調整している。
また、特許文献7では、塗布部にブレードとシャッターを有し、このシャッターの開閉を制御することにより、面内膜厚における均一性の向上を図っている。
本発明の一態様に係る塗工システムは、
塗料の供給源となる給液部と、
給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
送液配管部の塗料を給液部に還流させる還流配管部と、
送液配管部の塗料を塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び送液配管の塗料を還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
還流配管部における塗料の給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
給液部、流路切替部、及び送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、制御部により、送液圧力調整器をフィードバック制御することを特徴とする。
塗料の供給源となる給液部と、
給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
送液配管部の塗料を給液部に還流させる還流配管部と、
送液配管部の塗料を塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び送液配管の塗料を還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
還流配管部における塗料の給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
給液部、流路切替部、及び送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、制御部により、給液部をフィードバック制御することを特徴とする。
塗料の供給源となる給液部と、
給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
送液配管部の塗料を給液部に還流させる還流配管部と、
送液配管部の塗料を塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び送液配管の塗料を還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
還流配管部における塗料の給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
給液部、流路切替部、及び送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、制御部により、流路切替部をフィードバック制御することを特徴とする。
塗料の供給源となる給液部と、
給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
送液配管部の塗料を給液部に還流させる還流配管部と、
送液配管部の塗料を塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び送液配管の塗料を還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
還流配管部における塗料の給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
給液部、流路切替部、及び送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、制御部により、給液部、流路切替部、及び送液圧力調整器の少なくとも一つをフィードバック制御することを特徴とする。
本実施形態は、一定のスリットから塗料を吐出し所望の厚みの間欠塗工塗膜を形成するようなスリットダイ方式で均一な膜厚形状を得るシステムで、塗工時、非塗工時に、塗料を送液する送液配管部の圧力を測定した圧力値を用いて制御コンピュータ部で計算し、その結果をコントローラ部にフィードバックし、コントローラ部によって制御される給液部、流路切替部、又は送液圧力調整器装置によって、塗布、非塗布の切り替え時、送液配管内圧力を平坦化することを特徴とするシステムによって塗工を行なうものである。
本実施形態では、特にリチウムイオン電池における電極部に塗布を行なう場合に使用されるため、リチウムイオン二次電池電極塗布を例にして説明する。
塗工装置は、給液部1と、流路切替部2と、塗工ヘッド部3と、送液配管部4と、圧力センシング部5と、制御コンピュータ部6と、コントローラ部7と、送液圧力調整器8と、を備えている。
給液部1は、塗料供給タンク1aと、送液ポンプ1bと、を備えている。また、送液配管4は、塗料を塗工ヘッド部3に送る塗工側配管4aを備えている(流路切替部2よりも下流側)。また、送液配管4には、塗料を給液部1の塗料供給タンク1aに還流させる還流配管4bが連通されている。
但し、供給位置に関しては、塗布幅によって適宜選択するとよいが、基本的には、幅方向の圧力ムラすなわち塗布ムラを軽減させる場合、センター部より供給する場合が好ましい。
圧力をセンシングする部分は、得られた圧力を電圧、電流などに変換し、制御コンピュータに送る圧力トランスデューサーなどを用いるとよい。
また、送液配管内圧力を測定する位置は、塗布時、非塗布時、両方の場合の配管圧力を検知することができれば、特段の位置は限られたものではないが、流路切替部2に近い場所(例えば流路切替部2の直前など)に設置するほうが、流路切替時の圧力変動を検知しやすいため、圧力変動を極力おさえることができ、膜厚の平坦化に効果的である。
制御コンピュータ部6での換算に関しては、塗料粘度、固形分、粘弾性等の塗料性状と、配管、バルブでの圧力損失、ポンプ回転数変化に応じた吐出量と圧力変化やバルブ開閉タイミング等と圧力上昇傾斜等、送液圧力調整器の調整量と塗料流量、配管内圧力への影響相関の情報がインプットされており、塗料粘度など必要な可変な必要情報を入力しておくと塗布時及び非塗布時に測定された圧力から制御コンピュータ部6で計算し、計算結果をコントローラ部7にアウトプットして送液圧力を制御する。
すなわち、送液圧力に影響を及ぼす部分に対し結線され、それを制御することができるようにシステムを組んでいる。例えば、ポンプ回転数、配管流量調整バルブ開度調整、流路切替バルブ開閉タイミングなどである。もちろん、圧力補正時、一箇所以上の部分を同時に、又は時間をずらして作動してもよい。
例えば、前述したようなバルブ等と同じ原理で流量をコントロールしたり、配管径変動装置などを具備してもよい。さらには、リークバルブを設け、一定圧力以上になった場合は、系外に塗料を放出し送液圧力を安定化させることもできる。また、迂回流路を設け、その迂回流路側に加圧装置を具備したりしてもよい。
(実施例1)
先ず、塗料の作製、及び基材について説明する。
電池電極用塗料として、下記の正極塗料を準備した。
活物質として、LiMn2O4(三井金属製):90質量部、導電材:アセチレンブラック(DENKA製):5質量部、バインダー:PVDF(クレハ製):5質量部、さらに溶剤として、NMPを混合し、固形分50%とした塗料を作製した。基材は20μm厚みのアルミニウム箔(日本製箔製)を使用した。
上記で作製した塗料用い、塗布部の平均膜厚(dry)が100μmになるようにし、塗布ヘッド開口厚み1.0mmで、塗布部500mm、非塗布部100mmとなる間欠塗布を行った。図1に示すように、30L入る塗料タンク1aに、送液ポンプ1b(モーノポンプ:ヘイシン製)をつなぎ、呼び径1Sの送液配管5を約1m長でつなぎ、流路切替部2(三方切替バルブ:コガネイ製)に接続した。ここから、2方向に分かれて、塗工側配管4aとして呼び径1S配管を用いて塗工ヘッド3としてのスリットダイに接続した。また、還流側配管4bには、呼び径1.5S配管と送液圧力調整器8(コガネイ製)を設置した。
この実施例2では、前述した実施例1と同じ塗料、基材を用い、同様の塗工操作を行い、間欠塗工塗膜を得た。
但し、非塗布時から塗布時に切り替わる際、非塗布時と塗布時の送液配管4の圧力値を測定したところ、非塗布時の送液配管4の圧力が塗布時の送液配管4の圧力より小さいため、非塗工時から塗工時に切替の際、制御コンピュータの計算結果より、コントローラ部7は、非塗工時の送液吐出量を給液部1の給液ポンプ1aの回転数を上げることで増すよう指示した。そして、非塗工時の送液配管内圧力を上げてから塗工時に切り替えることによって送液配管圧力を平坦化するシステムを実行させた。その際、非塗布から塗布切替時の最大送液圧力差は、15KPaであった。
この実施例3では、前述した実施例1と同じ塗料、基材を用い、同様の塗工操作を行い、間欠塗工塗膜を得た。
但し、非塗布時から塗布時に切り替わる際、非塗布時と塗布時の送液配管4の圧力値を測定したところ、非塗布時の送液配管4の圧力が塗布時の送液配管4の圧力より小さかったため、コントローラ部7は、流路切替部2のバルブ開閉タイミングを、非塗工から塗工に切り替わる際、塗工側配管4a、還流側配管4bへ通じるバルブを瞬間的に両方閉とし、配管内圧力を高めた。それから、塗工側配管4a側のバルブを開とするよう調整し、送液配管圧力が平坦化するシステムを実行させた。具体的には、非塗布から塗布に切り替わる際、塗布側配管4b側のバルブを開にする1ms前、還流側配管4b側バルブを閉とした。そのときの非塗布から塗布切替時の最大送液圧力差は、12KPaであった。
この比較例では、実施例1と同じ塗料、基材を用い、同様の塗工を実施して間欠塗工塗膜を得たが、非塗布時と塗布時の送液圧力を測定したが、その圧力値から制御コンピュータ部6で計算させず、コントローラ部7も作動させず、送液圧力を平坦化させるシステムを実行させなかった。
そのときの、非塗布時と塗布時の送液差圧は310KPaであった。
その状態で間欠塗工を実施し、塗工膜を得た。
各実施例、及び比較例について、各々、接触式連続膜厚測定器(アンリツ製)を用い、塗布流れ方向に連続して膜厚測定を行った。
その際、間欠塗布流れ方向の中央部の塗布厚みを平均膜厚として、塗布始め部の膜厚厚みとの差を計算した。なお、各結果は、3点測定し平均値から膜厚差を計算し表1に示した。
以上、限られた数の実施形態を参照しながら説明したが、権利範囲はそれらに限定されるものではなく、上記の開示に基づく実施形態の改変は、当業者にとって自明のことである。
1a 塗料供給タンク
1b 送液ポンプ
2 流路切替部
3 塗布ヘッド部
4 送液配管部
4a 塗工側配管
4b 還流側配管
5 圧力センシング部
6 制御コンピュータ部
7 コントローラ部
8 送液圧力調整器
Claims (4)
- 塗料の供給源となる給液部と、
前記給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
前記送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
前記送液配管部の塗料を前記給液部に還流させる還流配管部と、
前記送液配管部の塗料を前記塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び前記送液配管の塗料を前記還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
前記還流配管部における塗料の前記給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
前記給液部、前記流路切替部、及び前記送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
前記送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、前記圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、前記制御部により、前記送液圧力調整器をフィードバック制御することを特徴とする塗工システム。 - 塗料の供給源となる給液部と、
前記給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
前記送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
前記送液配管部の塗料を前記給液部に還流させる還流配管部と、
前記送液配管部の塗料を前記塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び前記送液配管部の塗料を前記還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
前記還流配管部における塗料の前記給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
前記給液部、前記流路切替部、及び前記送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
前記送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、前記圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、前記制御部により、前記給液部をフィードバック制御することを特徴とする塗工システム。 - 塗料の供給源となる給液部と、
前記給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
前記送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
前記送液配管部の塗料を前記給液部に還流させる還流配管部と、
前記送液配管部の塗料を前記塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び前記送液配管部の塗料を前記還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
前記還流配管部における塗料の前記給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
前記給液部、前記流路切替部、及び前記送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
前記送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、前記圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、前記制御部により、前記流路切替部をフィードバック制御することを特徴とする塗工システム。 - 塗料の供給源となる給液部と、
前記給液部から供給される塗料を送る送液配管部と、
前記送液配管部から送られる塗料を塗布する塗工ヘッド部と、
前記送液配管部の塗料を前記給液部に還流させる還流配管部と、
前記送液配管部の塗料を前記塗工ヘッド部に送る流路の開閉、及び前記送液配管部の塗料を前記還流配管部に還流させる流路の開閉を切替える流路切替部と、
前記還流配管部における塗料の前記給液部への還流を調整する送液圧力調整器と、
前記給液部、前記流路切替部、及び前記送液圧力調整器を駆動制御する制御部と、
前記送液配管部の圧力を検出する圧力センシング部と、を備える塗工装置によって間欠塗工塗膜を形成する塗工システムであって、
間欠塗工における非塗工時から塗工時へと変化する際、前記圧力センシング部で検出した非塗工時と塗工時の圧力差が小さくなるように、前記制御部により、前記給液部、前記流路切替部、及び前記送液圧力調整器の少なくとも一つをフィードバック制御することを特徴とする塗工システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012103115A JP6011007B2 (ja) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | 塗工システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012103115A JP6011007B2 (ja) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | 塗工システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013230422A true JP2013230422A (ja) | 2013-11-14 |
JP6011007B2 JP6011007B2 (ja) | 2016-10-19 |
Family
ID=49677403
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012103115A Active JP6011007B2 (ja) | 2012-04-27 | 2012-04-27 | 塗工システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6011007B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015149264A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-20 | 株式会社豊田自動織機 | 電極の製造方法および電極の製造装置 |
JP2017010644A (ja) * | 2015-06-17 | 2017-01-12 | Necエナジーデバイス株式会社 | 二次電池用の電極の製造方法および製造装置と二次電池の製造方法 |
JP2018001081A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 株式会社豊田自動織機 | 活物質合剤の塗工方法、及び活物質合剤の塗工装置 |
JP2020124696A (ja) * | 2019-02-06 | 2020-08-20 | ファナック株式会社 | 流量制御システム、流量制御方法、及び流量制御プログラム |
CN113692321A (zh) * | 2019-04-08 | 2021-11-23 | 杜尔系统股份公司 | 施加装置及相应的施加方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62117669A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-05-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁性液塗布方法 |
JP2002164278A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置 |
JP2006165305A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理液供給方法及び処理液供給プログラム |
US20080107796A1 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for and method of dispensing chemical solution in spin-coating equipment |
JP4651809B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2011-03-16 | 大日本印刷株式会社 | 塗工装置 |
-
2012
- 2012-04-27 JP JP2012103115A patent/JP6011007B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62117669A (ja) * | 1985-10-18 | 1987-05-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁性液塗布方法 |
JP4651809B2 (ja) * | 2000-11-24 | 2011-03-16 | 大日本印刷株式会社 | 塗工装置 |
JP2002164278A (ja) * | 2000-11-28 | 2002-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置 |
JP2006165305A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-06-22 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及び処理液供給方法及び処理液供給プログラム |
US20080107796A1 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for and method of dispensing chemical solution in spin-coating equipment |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015149264A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-20 | 株式会社豊田自動織機 | 電極の製造方法および電極の製造装置 |
JP2017010644A (ja) * | 2015-06-17 | 2017-01-12 | Necエナジーデバイス株式会社 | 二次電池用の電極の製造方法および製造装置と二次電池の製造方法 |
JP2018001081A (ja) * | 2016-06-30 | 2018-01-11 | 株式会社豊田自動織機 | 活物質合剤の塗工方法、及び活物質合剤の塗工装置 |
JP2020124696A (ja) * | 2019-02-06 | 2020-08-20 | ファナック株式会社 | 流量制御システム、流量制御方法、及び流量制御プログラム |
JP7227024B2 (ja) | 2019-02-06 | 2023-02-21 | ファナック株式会社 | 流量制御システム、流量制御方法、及び流量制御プログラム |
CN113692321A (zh) * | 2019-04-08 | 2021-11-23 | 杜尔系统股份公司 | 施加装置及相应的施加方法 |
US11779952B2 (en) | 2019-04-08 | 2023-10-10 | Dürr Systems Ag | Application device and corresponding application method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6011007B2 (ja) | 2016-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6011007B2 (ja) | 塗工システム | |
JP6280383B2 (ja) | 電池用極板の製造装置 | |
JP5780085B2 (ja) | 二次電池の電極部材の塗工装置および塗工方法 | |
JP7208798B2 (ja) | 電池用極板の製造装置および電池用極板の製造方法 | |
KR20150067726A (ko) | 간헐도공장치 | |
JP2013198843A (ja) | 塗工装置、塗工方法 | |
US20130183438A1 (en) | Battery electrode manufacturing method and battery electrode manufacturing device | |
JP6328949B2 (ja) | 両面塗工装置、両面塗工方法および塗膜形成システム | |
JP6215098B2 (ja) | 電池用極板の製造装置 | |
JP6084480B2 (ja) | 電池用極板の製造装置及びその製造方法 | |
JP2018167193A (ja) | 両面塗工装置および塗膜形成システム | |
JP6152287B2 (ja) | 間欠塗工装置および塗膜形成システム | |
KR102473483B1 (ko) | 전지용 극판의 제조 장치 | |
JP2016167402A (ja) | 電池用極板の製造装置 | |
US20190275555A1 (en) | System and method for coating discrete patches on a moving substrate | |
JP6473644B2 (ja) | 塗工装置、塗工方法および塗膜形成システム | |
JP2015188776A (ja) | 両面塗工装置、両面塗工方法および塗膜形成システム | |
US8753710B2 (en) | Coating method | |
JP2012179540A (ja) | 塗布装置および塗布膜形成システム | |
JP6206230B2 (ja) | 電極の製造方法および電極の製造装置 | |
JP2017170311A (ja) | スラリ塗工方法 | |
KR20070092384A (ko) | 슬롯 다이 및 슬롯 다이를 가지는 슬러리 도포 장치 | |
JP2017183010A (ja) | 電池用極板の製造装置 | |
JP2016033884A (ja) | 電池用極板の製造装置 | |
JP2011152509A (ja) | 間欠塗工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160223 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160422 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6011007 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |