JP2013229514A5 - - Google Patents

Description

本発明の微細気泡発生装置は、微細気泡を含む処理液を貯留する貯留タンクと、前記貯留タンクを挟んで対向して設けられるカラー検出手段および背景色パネルと、前記カラー検出手段によって検出される検出結果に基づき前記処理液に含まれる微細気泡の濃度を検知する制御部と、を有することを特徴とする。

第１の実施形態との違いは、背景色パネルＰとカラー検出手段Ｃが、ノズル１１を挟んで対向する位置に備えられている点である。カラー検出手段Ｃは、ノズル１１から吐出された処理液Ｌに含まれる微細気泡の濃度を吐出された処理液Ｌの色を検出することによって測定する。この検出結果は、第１の実施形態と同様、制御部８に送られ、制御部８によって、予め実験により求められた最適な閾値Ｔと比較される。制御部８は、この比較結果に基づき、気体供給源７からの気体供給量について、フィードバック制御する。すなわち、微細気泡の発生濃度が閾値Ｔより低い場合には、気体供給源６から加圧タンク５へ供給する窒素ガスの供給量を増やす。

まず、供給配管４ａを通して微細気泡発生手段３に供給された処理液Ｌは、第１の実施形態同様、戻り配管４ｂによって加圧タンク５と貯留タンク２とを循環しながら、徐々に白濁していく（微細気泡の濃度が高くなる）。このときバルブＢ１の分岐供給配管４１ａ側は閉状態となっており、この開閉制御は制御部８によって行われる。第１の実施形態同様、カラー検出手段Ｃの測定値が閾値より高くなると、制御部８は、バルブＢ１の分岐供給配管４１ａ側を開状態、貯留タンク２に供給する側を閉状態にする。循環を繰り返し、白濁した貯留タンク２内の処理液Ｌは、微細気泡を多量に含むとともに、多量の気体を溶存した状態になっている。この状態を保ったまま、微細気泡発生手段３を通過することなく、加圧タンク５内の処理液Ｌを分岐供給配管４１ａを介して微細気泡発生手段を備えたノズル３１に供給することによって、微細気泡発生手段３１から吐出される処理液Ｌには、微細気泡が多量に含まれる。

Claims (7)

1. 微細気泡を含む処理液を貯留する貯留タンクと、
   前記貯留タンクを挟んで対向して設けられるカラー検出手段および背景色パネルと、
   前記カラー検出手段によって検出される検出結果に基づき前記処理液に含まれる微細気泡の濃度を検知する制御部と、
   を有することを特徴とする微細気泡発生装置。
2. 微細気泡を含む処理液を被処理物に供給するノズルと、
   前記ノズルを挟んで対向して設けられるカラー検出手段および背景色パネルと、
   前記カラー検出手段によって検出される検出結果に基づき前記処理液に含まれる微細気泡の濃度を検知する制御部と、
   を有することを特徴とする微細気泡発生装置。
3. カラー検出手段と、
   前記カラー検出手段と対向して設けられる背景色パネルと、
   前記カラー検出手段と前記背景色パネルとの間に存在する微細気泡を含む処理液の前記カラー検出手段によって検出される検出結果に基づき前記処理液に含まれる微細気泡の濃度を検知する制御部と、
   を有することを特徴とする微細気泡発生装置。
4. 処理液に微細気泡を発生させる微細気泡発生手段と、
   前記微細気泡を含む処理液を基板に供給するノズルと、
   請求項１から３いずれか１つに記載の微細気泡発生装置と、
   を有する基板処理装置。
5. 前記カラー検出手段の検出結果に基づき、前記微細気泡発生手段に供給する気体の量を制御する制御部を有することを特徴とする請求項４記載の基板処理装置。
6. 処理液中に微細気泡を発生させる微細気泡発生工程と、
   前記微細気泡発生工程にて発生した微細気泡を含む処理液の色をカラーセンサにて検出するカラー検出工程と、
   前記カラー検出工程で検出した検出結果に基づき、前記処理液に含まれる微細気泡の濃度が前記処理液の使用先にて使用可能な濃度であるか否かを判断する濃度判断工程と、
   を有することを特徴とする微細気泡発生方法。
7. 処理液中に微細気泡を発生させる微細気泡発生工程と、
   前記微細気泡発生工程にて発生した微細気泡を含む処理液の色をカラーセンサにて検出するカラー検出工程と、
   前記カラー検出工程で検出した検出結果に基づき、前記処理液に含まれる微細気泡の濃度が前記処理液の使用先にて使用可能な濃度であるか否かを判断する濃度判断工程と、
   前記濃度判断工程の判断結果に基づき、前記微細気泡発生工程にて用いる気体の供給量を制御する制御工程と、
   前記濃度判定工程にて微細気泡の濃度が基板処理工程にて使用可能であると判定されたときに基板処理工程に送液する送液工程と、
   を有することを特徴とする基板処理方法。