JP2013210396A - 質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料プレートの表面には多数の細かな傷があり、その模様はプレート毎に相違する。そこで、位置合わせ基準画像保存部39は、試料プレート3が試料ステージ2上に載置されると、該プレート3表面の所定部位の研磨傷の模様の顕微観察画像を保存する。一旦ステージ2上から取り出された試料プレート3が再びステージ2上に置かれたあと、その時点で得られる画像上の研磨傷の位置と保存部39に保存されている画像上の研磨傷の位置との相違から位置ずれ量を算出し、分析位置補正部24は求まったずれ量に応じて分析者により指定された領域の位置情報を修正する。
【選択図】図7
Description
a)試料プレートが装置本体に装着された状態で、前記レーザ光照射部より該試料プレート上の所定位置にイオン化時よりも高いエネルギのレーザ光を照射することにより照射痕を形成する照射痕形成手段と、
b)マトリクス付着前の試料が保持され且つ前記照射痕が形成されている試料プレートが装置本体に装着された状態で、該プレート上の前記照射痕を含む顕微画像を取得して参照画像として保存する参照画像取得手段と、
c)マトリクス付着後の前記試料が保持された前記試料プレートが装置本体に再び装着された状態で、その時点で取得される該プレート上の照射痕を含む顕微画像と前記参照画像とを用い、同一照射痕の位置の相違から、試料プレート再装着時の位置ずれの大きさ及び方向を算出する位置ずれ検出手段と、
d)前記参照画像の取得と並行して取得された試料顕微画像に基づいて指定された試料上の分析領域に対する質量分析を実行する際に、前記位置ずれ検出手段により算出された位置ずれを補正するべく、前記レーザ光照射部からのレーザ光と試料との相対位置を変更する位置ずれ修正手段と、
を備えることを特徴としている。
a)マトリクス付着前の試料が保持された試料プレートが装置本体に装着された状態で、該プレート表面の顕微画像を取得して参照画像として保存する参照画像取得手段と、
b)マトリクス付着後の前記試料が保持された前記試料プレートが装置本体に再び装着された状態で、その時点で取得される該プレート表面の顕微画像と前記参照画像とについて試料プレートの製造過程で形成される表面の傷模様を認識し、同一の傷模様の位置の相違から、試料プレート再装着時の位置ずれの大きさ及び方向を算出する位置ずれ検出手段と、
c)前記参照画像の取得と並行して取得された試料顕微画像に基づいて指定された試料上の分析領域に対する質量分析を実行する際に、前記位置ずれ検出手段により算出された位置ずれを補正するべく、前記レーザ光照射部からのレーザ光と試料との相対位置を変更する位置ずれ修正手段と、
を備えることを特徴としている。
a)マトリクス付着前の試料が保持された試料プレートが装置本体に装着された状態で、該プレートのコーナー部を含む顕微画像を取得して参照画像として保存する参照画像取得手段と、
b)マトリクス付着後の前記試料が保持された前記試料プレートが装置本体に再び装着された状態で、その時点で取得される該プレートのコーナー部を含む顕微画像と前記参照画像とについて試料プレートの同一のコーナー部を認識し、同一のコーナー部の位置の相違から、試料プレート再装着時の位置ずれの大きさ及び方向を算出する位置ずれ検出手段と、
c)前記参照画像の取得と並行して取得された試料顕微画像に基づいて指定された試料上の分析領域に対する質量分析を実行する際に、前記位置ずれ検出手段により算出された位置ずれを補正するべく、前記レーザ光照射部からのレーザ光と試料との相対位置を変更する位置ずれ修正手段と、
を備えることを特徴としている。
なお、第1、第2の態様のいずれにおいても、位置ずれ検出に利用される試料プレート上の部位を1箇所ではなく複数箇所とすることにより、位置ずれの大きさと方向とをより正確に且つ容易に算出することが可能である。また、その場合、複数箇所の部位はできるだけ離れた位置にあるほうがよい。
[第1参考例]
以下、参照発明に係る質量分析装置の一実施例(第1参考例)であるイメージング質量分析装置について、図1〜図4を参照しつつ説明する。図1は本参考例によるイメージング質量分析装置の要部の構成図である。
上述したように照射痕の形状は試料プレートに固有のものであるため、この照射痕を利用して試料プレートを特定(識別)するとともに試料プレートを管理することができる。第2参考例に係るイメージング質量分析装置はこうした機能を付加したものである。図5はこの第2参考例のイメージング質量分析装置の要部の構成図であり、第1参考例の装置と同一の構成要素には同一符号を付してある。
上記第2参考例の構成では、試料プレート毎の詳細な情報は装置(上記例ではプレート対応データ保存・管理部36)内に保存されるため、その情報量には実質的に制約がない。その反面、この情報が保持されている装置でしか表示等を行うことができないという制約がある。そこで、1つの照射痕を1個のピットとし、複数のピットの配列や数自体などに情報を持たせて試料プレート3上に複数の照射痕を形成するようにしたのが第3参考例である。図6はこの第3参考例によるイメージング質量分析装置の要部の構成図であり、第1及び第2参考例の装置と同一の構成要素には同一符号を付してある。
次に、試料プレートが試料ステージ上に再び載置されたときの位置ずれを算出する手法が第1参考例とは相違する、本発明の第1実施例によるイメージング質量分析装置について説明する。図7は第1実施例によるイメージング質量分析装置の要部の構成図である。第1参考例では、レーザ光を試料プレートに照射することにより形成される照射痕を位置ずれ検出のための標識として利用していたが、この第1実施例では試料プレートの製造の過程でその表面に形成される研磨傷の模様を位置ずれ検出のための標識として利用する。
図8(a)を見れば分かるように、試料プレートのコーナー部のエッジにはバリ(突起)が生じており、その形状は特有である。そこで、試料プレート表面の研磨傷の模様の代わりに、試料プレートのコーナー部の微細形状を位置ずれ検出のための標識に利用することができる。即ち、図7に示した構成において、試料プレート3のコーナー部付近の顕微観察画像を位置合わせ基準画像保存部39に保存しておき、マトリクス付着後の試料プレートが試料ステージ2上に載置されると、画像比較解析部33はその時点で撮影された試料プレート3のコーナー部付近の顕微観察画像と位置合わせ基準画像保存部39に保存されている顕微観察画像とを比較し、同一部位であるとみなせる部位の位置の相違から位置ずれ量を計算する。
2…試料ステージ
3…試料プレート
4…試料
5…照射用窓
6…観察用窓
7…真空チャンバ
8…イオン輸送光学系
9…質量分析器
10…イオン検出器
11…レーザ照射部
13…レーザ集光光学系
14…CCDカメラ
15…観察用光学系
16…データ処理部
17…ステージ駆動部
20…制御/処理部
21…分析制御部
22…照射痕形成制御部
23…分析位置決定部
24…分析位置補正部
25…分析位置指定部
31…試料画像保存部
32…照射痕画像保存部
33…画像比較解析部
34…位置ずれ記憶部
35…照射痕特定部
36…プレート対応データ保存・管理部
37…照射痕ピット読取部
38…プレート対応データ保存・管理部
39…位置合わせ基準画像保存部
40…操作部
41…表示部
50…観察視野
51…中心
Claims (2)
- 試料プレートが装置本体に着脱自在であり、該プレートを装置本体から取り外した状態で該プレートに保持させた試料にマトリクスを付着させたあと該プレートを装置本体に装着し、マトリクスが付着した試料にレーザ光照射部よりレーザ光を照射してイオン化を行うマトリクス支援レーザ脱離イオン化法によるイオン源を有する質量分析装置において、
a)マトリクス付着前の測定対象の試料が保持された試料プレートが装置本体に装着された状態で、該プレート表面の画像を取得して保存する参照画像取得手段と、
b)前記測定対象の試料にマトリクスが付着されたあとに該試料が保持された前記試料プレートが装置本体に装着された状態で、その時点で取得される該プレート表面の画像と前記参照画像取得手段に保存されている同プレート表面の画像とを用い、試料プレートの製造過程で形成される表面の傷模様を認識して、同一の傷模様の位置の相違から試料プレート再装着時の位置ずれの大きさ及び方向を算出する位置ずれ算出手段と、
c)前記参照画像取得手段により得られた画像又はその画像取得時と同じときに取得された測定対象の試料像に基づいて指定された試料上の測定領域に対する質量分析を実行する際に、前記位置ずれ算出手段により算出された位置ずれを補正するべく、前記レーザ光照射部からのレーザ光と試料との相対位置を変更する位置ずれ修正手段と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。 - 試料プレートが装置本体に着脱自在であり、該プレートを装置本体から取り外した状態で該プレートに保持させた試料にマトリクスを付着させたあと該プレートを装置本体に装着し、マトリクスが付着した試料にレーザ光照射部よりレーザ光を照射してイオン化を行うマトリクス支援レーザ脱離イオン化法によるイオン源を有する質量分析装置において、
a)マトリクス付着前の測定対象の試料が保持された試料プレートが装置本体に装着された状態で、該プレート表面の画像を取得して保存する参照画像取得手段と、
b)前記測定対象の試料にマトリクスが付着されたあとに該試料が保持された前記試料プレートが装置本体に装着された状態で、その時点で取得される該プレート表面の画像と前記参照画像取得手段に保存されている同プレート表面の画像とを用い、試料プレートのコーナー部を認識して、同一のコーナー部の位置の相違から試料プレート再装着時の位置ずれの大きさ及び方向を算出する位置ずれ算出手段と、
c)前記参照画像取得手段により得られた画像又はその画像取得時と同じときに取得された測定対象の試料像に基づいて指定された試料上の測定領域に対する質量分析を実行する際に、前記位置ずれ算出手段により算出された位置ずれを補正するべく、前記レーザ光照射部からのレーザ光と試料との相対位置を変更する位置ずれ修正手段と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。
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