JP2013206962A5 - - Google Patents
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- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 claims 1
Claims (4)
- 基板処理装置に搭載される保守システムであって、
前記基板処理装置の内部に配置された監視対象機器を動作させる機器制御部と、
前記基板処理装置の内部に存在する生体の位置情報を検知する位置検知部と、
前記監視対象機器の位置情報及び前記生体の位置情報に基づいて、前記監視対象機器と前記生体との相対距離を算出し、前記相対距離が所定の距離以下の場合には、前記機器制御部に対して前記監視対象機器の動作を停止する信号を出力する制御信号生成部と、
を備える保守システム。 - 前記機器制御部は、前記監視対象機器を移動させ、
前記制御信号生成部は、前記機器制御部より前記監視対象機器の移動経路を取得し、前記移動経路上の位置情報及び前記生体の位置情報に基づいて、前記監視対象機器と前記生体との相対距離を算出する請求項１に記載の保守システム。 - 前記機器制御部は、前記監視対象機器を動作させることで前記監視対象機器の発熱量を制御する請求項１に記載の保守システム。
- 請求項１〜３の何れか一項に記載の保守システムを備える基板処理装置。
Priority Applications (5)
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