JP2013204098A - 真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空槽内に少なくとも2種類以上の異なる蒸着材料を仕分ける仕切り部13および該仕切り部を一定の間隔で保持する連結板16を有する材料保持手段8、ならびに蒸着材料を蒸発させる加熱手段を備え、真空槽内で走行するフィルム上に蒸着膜を形成させる真空蒸着装置において該仕切り部が仕切方向と垂直方向に伸縮可能な機構を有することを特徴とするものである。
【選択図】図3
Description
仕切り部13と連結板16との組み方は実施例と同じであるが、クッション材を入れずに材料保持手段8と仕切り部端面を直接接触させた。
2 巻き取りロール
3 冷却ロール
4 電子銃
5 テンションロール
6 真空槽
7 遮蔽板
8 材料保持手段
9 排気装置
10 蒸着材料
11 フィルム
12 電子線
13 仕切り部
14 クッション材
15 冷却管
16 連結板
Claims (5)
- 真空槽内に少なくとも2種類以上の異なる蒸着材料を仕分ける仕切り部および該仕切り部を一定の間隔で保持する連結板を有する材料保持手段、ならびに蒸着材料を蒸発させる加熱手段を備え、真空槽内で走行するフィルム上に蒸着膜を形成させる真空蒸着装置において該仕切り部が仕切方向と垂直方向に伸縮可能な機構を有することを特徴とする真空蒸着装置。
- 前記材料保持手段が銅製の外枠を有しその中に仕切り部が収容されている請求項1に記載の真空蒸着装置。
- 前記材料保持手段の仕切り部と垂直方向の少なくとも1方の端部と前記材料保持手段との間にクッション材を有する請求項1あるいは2の真空蒸着装置。
- 前記仕切り部の長尺方向がフィルムの走行方向と平行となるように設置されている請求項1〜3のいずれかに記載の真空蒸着装置。
- 前記材料保持手段がフィルム走行方向に水平移動する機構を有する請求項1〜4のいずれかに記載の真空蒸着装置。
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2013
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