JP2013202519A - 塗布膜形成装置 - Google Patents
塗布膜形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013202519A JP2013202519A JP2012074487A JP2012074487A JP2013202519A JP 2013202519 A JP2013202519 A JP 2013202519A JP 2012074487 A JP2012074487 A JP 2012074487A JP 2012074487 A JP2012074487 A JP 2012074487A JP 2013202519 A JP2013202519 A JP 2013202519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sub
- scanning direction
- nozzles
- main scanning
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 199
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 199
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 102
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 6
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 12
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】塗布膜形成装置10は、3個のパネル領域が1つの方向である主走査方向に並べられた基板13が載置される基板ステージ12と、主走査方向について互いに異なる位置に配置され、基板ステージ13に向けて切れ目なく塗布液を吐出する3個のノズル19a〜19cを有する。塗布膜形成装置10では、位置検出部15の検出結果に基づいてノズル19a〜19cの各々の主走査方向における位置が算出され、ノズル19a〜19cの各々が基板13の互いに異なるパネル領域の上に配置される。
【選択図】図1
Description
以下、本開示の塗布膜形成装置における第1の実施形態について、図1〜図4を参照して説明する。
まず、本実施形態の塗布膜形成装置の構成について図1を参照して説明する。図1に示される本実施形態の塗布膜形成装置10は、塗布液が切れ目なく液柱状に吐出されるノズルを基板ステージに対して相対的に移動させて塗布膜を形成する装置であって、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光層となる塗布膜を形成する装置である。なお、切れ目のない状態とは、ノズルと基板との間の全体にわたり柱状の塗布液が連なる状態であって、塗布液を塗布する動作のなかで少なくともこうした状態が含まれればよい。
ノズル19a,19b,19cの各々には、同一の加圧タンク20から、所定の色用の有機発光材料を含む塗布液が供給される。加圧タンク20では、タンク内に窒素等のガスが送り込まれることにより、タンク内の塗布液が供給口から圧送される。加圧タンク20の供給口には、脱気タンク21が接続されている。脱気タンク21では、塗布液がタンクに一旦溜められて、タンク底部から塗布液が流出される。これにより、タンク内に溜められた塗布液中の気体が液面上に排出されて、塗布液の脱気が行われる。その結果、ノズルに供給される塗布液に気泡が含まれることが抑えられるため、ノズルから吐出される塗布液の性状の安定性を高めることができる。
次に、本実施形態の塗布膜形成装置の電気的な構成について、図2を参照して説明する。塗布膜形成装置は、中央処理装置(CPU)、不揮発性メモリー(ROM)、及び揮発性メモリー(RAM)を有するマイクロコンピューターを中心に構成される制御部30を備えている。
算出部30cは、流量算出部31aと、走査量算出部31bと、位置算出部31cとして機能する。流量算出部31aとしての機能と、走査量算出部31bとしての機能と、位置算出部31cとしての機能とは、算出部30cにてハードウェアで構成されるが、ソフトウェアで構成することも可能である。
走査量算出部31bは、入出力部30aが入力する基板情報と塗布情報とに基づいて、主走査における基板ステージ12の移動量と、副走査におけるノズル部16の移動量とを算出する。
モーター駆動部33は、ステージ駆動部33aと、第1ノズル駆動部33bと、第2ノズル駆動部33cと、第3ノズル駆動部33dとを有している。
なお、本実施形態では、ステージガイド11a,11bとステージモーターMsとによって主走査部が構成されている。また、副走査ガイド18a,18b,18cと各副走査モーターMb1,Mb2,Mb3とによって副走査部が構成されている。また、調整ガイド17と各調整モーターMa1,Ma2,Ma3とによって位置変更部が構成されている。
次に、上記の塗布膜形成装置の動作の態様を図3,図4を参照して説明する。なお、以下では、各パネル領域14a〜14fには、互いに異なる3色の画素列14Lが主走査方向に順番に繰り返されて形成されている。互いに異なる3色の画素列14Lは同一の幅を有しており、副走査方向に並ぶパネル領域では、同色の画素列14Lが副走査方向に一直線上に並んでいる。
(1)主走査方向に並ぶ3列のパネル領域の各々に対して各別のノズルによる塗布が行われる。したがって、複数のノズルを備えつつも、1つのパネル領域に対しては1つのノズルで塗布液の塗布が行われるため、基板上の複数のパネル領域に対して塗布膜を形成する場合であれ、塗布膜の形成にかかる時間を短縮しつつ、塗布膜の膜厚の均一性が低下することを抑えることができる。
以下、本開示の塗布膜形成装置における第2の実施形態について、図5〜図6を参照して説明する。なお、第2の実施形態の塗布膜形成装置は、第1の実施形態とは位置変更部の構成が異なり、その他の基本的な構成は第1の実施形態と同様である。そのため、図5〜図6では、位置変更部の構成を詳細に説明し、第1の実施形態と実質的に同一の構成要素にはそれぞれ同一の符号を付して示し、重複する説明は割愛する。
まず、本実施形態の塗布膜形成装置の構成について図5を参照して説明する。
図5に示されるように、ノズル部26は、副走査方向に延びる固定軸である副走査ガイド27と、副走査ガイド27に連結された主走査方向に延びる可動軸である調整ガイド28と、調整ガイド28に連結された3つのノズル19a,19b,19cとから構成される。
次に、本実施形態の塗布膜形成装置の電気的な構成について、図6を参照して説明する。
ステージ駆動部34aは、実行部30bの制御信号に応じて、走査量算出部31bの算出した移動量に基づく駆動電流を生成し、その駆動電流をステージモーターMsに出力する。ステージモーターMsは、ステージ駆動部34aから入力される駆動電流によって駆動されて基板ステージ12の主走査を行う。
(5)3つのノズル19a,19b,19cが、1つの調整ガイド28に連結され、調整ガイド28が副走査方向に動かされることにより、ノズル19a,19b,19cを一体として副走査が行われる。すなわち、3つのノズル19a,19b,19cに対して副走査を行うための機構が1つにまとめられている。したがって、副走査を行うための機構が3つのノズル19a,19b,19cの各々に対して設けられる構成と比べて、副走査を行うための構成が簡易となる。また、ノズル19a,19b,19cが主走査方向に延びる調整ガイド28に直接に連結されているため、各々のノズル19a,19b,19cが副走査のためのガイドを介して調整ガイド28に連結される構成と比べて、ノズル間の間隔についての自由度も高められる。したがって、塗布液の塗布が可能なパネル領域の大きさやパネル領域間の間隔についての自由度が高められる。
なお、上記の各実施形態は、例えば以下のような形態にて実施することもできる。
・1つの基板13に形成される複数のパネル領域の各々では、主走査方向における画素列の数が互いに異なってもよい。この際に、第1の実施形態であれば、画素列の数が他のパネル領域より少ないパネル領域に対し、副走査が停止されて、同パネル領域用のノズルが基板外で塗布液を流し続けることが好ましい。また、第2の実施形態であれば、こうしたパネル領域の画素列に対して複数回の副走査が行われることが好ましい。
・主走査方向と副走査方向のなす角は、0°以外であれば、90°でなくてもよい。
Claims (6)
- 2以上のパネル領域が主走査方向に並べられた基板が載置される基板ステージと、
前記主走査方向について互いに異なる位置に配置され、前記基板ステージに向けて切れ目なく塗布液を吐出する2以上のノズルからなるノズル群と、
前記ノズル群に対して前記基板ステージを相対的に前記主走査方向に動かす主走査部と、
前記ノズル群を前記主走査方向と交差する方向である副走査方向に動かす副走査部と、
前記複数のノズルの各々の前記主走査方向における位置を個別に変える位置変更部と、
前記複数のパネル領域の各々の位置を検出する位置検出部と、
前記位置検出部の検出結果に基づく前記位置変更部の駆動を通じて、少なくとも2つの前記パネル領域の各々の上に相互に異なる前記ノズルを配置し、前記主走査部と前記副走査部とを交互に駆動する制御部とを備える
塗布膜形成装置。 - 2以上の前記ノズルが支持される1つの支持部材を有し、
前記副走査部は、前記副走査として前記支持部材を前記副走査方向に動かす
請求項1に記載の塗布膜形成装置。 - 前記支持部材が、前記主走査方向に延びるガイド部材であり、
前記位置変更部は、前記支持部材に沿って2以上の前記ノズルの各々の主走査方向における位置を変える
請求項2に記載の塗布膜形成装置。 - 2以上の前記ノズルが各別に支持される複数の支持部材を有し、
前記複数の支持部材の各々が、前記副走査方向に延びるガイド部材であり、
前記副走査部は、前記副走査として前記複数の支持部材の各々に沿って2以上の前記ノズルの各々を動かす
請求項1に記載の塗布膜形成装置。 - 前記位置変更部は、前記複数の支持部材の各々を前記主走査方向に動かすことによって、2以上の前記ノズルの各々の主走査方向における位置を変える
請求項4に記載の塗布膜形成装置。 - 前記主走査方向に並ぶ画素の幅情報が前記パネル領域ごとに記憶される記憶部を備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶された幅情報に基づいて2以上の前記ノズルの各々の前記主走査方向における位置を前記副走査ごとに算出し、前記位置変更部の駆動を通じて2以上の前記ノズルの各々の前記主走査方向における位置を前記副走査ごとに変える
請求項1〜5のいずれか一項に記載の塗布膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012074487A JP5929411B2 (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 塗布膜形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012074487A JP5929411B2 (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 塗布膜形成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013202519A true JP2013202519A (ja) | 2013-10-07 |
JP5929411B2 JP5929411B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=49522224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012074487A Active JP5929411B2 (ja) | 2012-03-28 | 2012-03-28 | 塗布膜形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5929411B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008207084A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
JP2009517684A (ja) * | 2005-11-29 | 2009-04-30 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 複数の物質を基板上に放出することにより生物学的アッセイ用基板を製造するインクジェット装置及びその方法 |
JP2009119395A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布システムおよび塗布方法 |
WO2010137403A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネルの描画装置 |
-
2012
- 2012-03-28 JP JP2012074487A patent/JP5929411B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009517684A (ja) * | 2005-11-29 | 2009-04-30 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 複数の物質を基板上に放出することにより生物学的アッセイ用基板を製造するインクジェット装置及びその方法 |
JP2008207084A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-09-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
JP2009119395A (ja) * | 2007-11-16 | 2009-06-04 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 塗布システムおよび塗布方法 |
WO2010137403A1 (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-02 | シャープ株式会社 | 液晶表示パネルの描画装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5929411B2 (ja) | 2016-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4320559B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
KR100952380B1 (ko) | 착탄 도트 측정 방법 및 착탄 도트 측정 장치, 및 액적토출 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치및 전자 기기 | |
JP6106964B2 (ja) | 印刷装置、及び印刷方法 | |
JP2007256449A (ja) | 液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法 | |
JP2011215173A (ja) | インクジェット塗布装置 | |
JP5929411B2 (ja) | 塗布膜形成装置 | |
JP4320560B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP5463653B2 (ja) | 液滴吐出装置の吐出パターンデータ補正方法および液滴吐出装置 | |
JP2012106148A (ja) | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 | |
JP6106937B2 (ja) | 塗布膜形成装置、及び、塗布膜形成方法 | |
JP2007136450A (ja) | 溶液の塗布装置及び溶液供給量の計測方法 | |
KR100893133B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 장치의 제어 방법 | |
JP2011131156A (ja) | 描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP5982952B2 (ja) | 塗布膜形成装置 | |
US11001064B2 (en) | Liquid jetting apparatus | |
JP4244636B2 (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP5243954B2 (ja) | カラーフィルタ製造方法およびその装置 | |
JP2013206863A (ja) | 塗布膜形成方法 | |
KR102510910B1 (ko) | 메인터넌스 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 | |
JP5655880B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2004341073A (ja) | 液滴吐出装置、液滴吐出システム、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 | |
JP2010099570A (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2005044525A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 | |
JP5307468B2 (ja) | 液滴塗布方法及び装置 | |
JP2011161343A (ja) | 液滴吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160119 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160316 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5929411 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |