JP2013200987A - 断面加工観察装置 - Google Patents
断面加工観察装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013200987A JP2013200987A JP2012068022A JP2012068022A JP2013200987A JP 2013200987 A JP2013200987 A JP 2013200987A JP 2012068022 A JP2012068022 A JP 2012068022A JP 2012068022 A JP2012068022 A JP 2012068022A JP 2013200987 A JP2013200987 A JP 2013200987A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cross
- section
- observation
- image
- ion beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/305—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching
- H01J37/3053—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching
- H01J37/3056—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating or etching for evaporating or etching for microworking, e.g. etching of gratings, trimming of electrical components
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/221—Image processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/304—Controlling tubes
- H01J2237/30466—Detecting endpoint of process
Abstract
【解決手段】イオンビーム9によるスライス加工と加工で形成された断面から放出される二次電子によるSIM像取得とからなるプロセスを繰り返し実行させる制御部11を有し、制御部11は、観察像を複数のエリアに分割し、複数のエリアのうち一のエリアの画像と、プロセスで取得した他の断面の観察像の一つのエリアに対応するエリアの画像との間で変化が生じた場合、プロセスを終了させる。
【選択図】図1
Description
本発明に係る断面加工観察装置は、試料を載置する試料台と、試料に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム鏡筒と、集束イオンビームの照射により試料から放出される荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、集束イオンビームによるスライス加工と加工で形成された断面から放出される荷電粒子による観察像取得とからなるプロセスを繰り返し実行させる制御部と、を有し、制御部は、観察像を複数のエリアに分割し、複数のエリアのうち一つのエリアの画像と、プロセスで取得した他の断面の観察像の前記一つのエリアに対応するエリアの画像との間で変化が生じた場合、プロセスを終了させる。
本実施形態の断面加工観察装置は、図1に示すように、FIB鏡筒2と、試料室3を備えている。試料室3内に収容された試料7にFIB鏡筒2からイオンビーム9を照射する。
次にプロセスの終点検出について説明する。制御部11は、像形成部14で形成された観察像について次の処理を施し、終点を検出した場合、プロセスを終了させる。
本実施形態の断面加工観察装置は、上記の断面加工観察装置に加えて、図7に示すように試料7に電子ビーム8を照射するEB鏡筒1を備える。
2…FIB鏡筒
3…試料室
4…二次電子検出器
5…反射電子検出器
6…試料台
7…試料
7a…表面
7b、7c…断面
8…電子ビーム
9、9a、9b…イオンビーム
10…入力部
11…制御部
12…EB制御部
13…FIB制御部
14…像形成部
16…試料台制御部
17…表示部
31…加工溝
32、33、34…スライス領域
42、45…デバイスパターン
43…分割ライン
44…欠陥
51、52、55、56…SIM像
52k…エリア
D1…幅
Claims (4)
- 試料を載置する試料台と、
前記試料に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム鏡筒と、
前記集束イオンビームの照射により前記試料から放出される荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、
前記集束イオンビームによるスライス加工と、前記加工で形成された断面から放出される前記荷電粒子による観察像取得と、からなるプロセスを繰り返し実行させる制御部と、を有し、
前記制御部は、前記観察像を複数のエリアに分割し、前記複数のエリアのうち一のエリアの画像と、前記プロセスで取得した他の断面の観察像の前記一つのエリアに対応するエリアの画像との間で変化が生じた場合、前記プロセスを終了させる断面加工観察装置。 - 前記制御部は、前記観察像を複数のエリアに分割し、前記複数のエリアのうち二以上のエリアの画像と、前記プロセスで取得した他の断面の観察像の前記二以上のエリアに対応するエリアの画像との間で変化が生じた場合、前記プロセスを終了させない請求項1に記載の断面加工観察装置。
- 前記制御部は、スライス加工と前記断面の観察像取得とを前記集束イオンビームで行うために、前記試料台を傾斜させる請求項1または2に記載の断面加工観察装置。
- 前記断面に電子ビームを照射する電子ビーム鏡筒を有し、
前記観察像は、前記電子ビームの照射により発生した二次電子または反射電子による観察像である請求項1または2に記載の断面加工観察装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012068022A JP5990016B2 (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 断面加工観察装置 |
DE102013102666A DE102013102666A1 (de) | 2012-03-23 | 2013-03-15 | Querschnitts-verarbeitungs- und beobachtungs-einrichtung |
US13/842,404 US8637819B2 (en) | 2012-03-23 | 2013-03-15 | Cross-section processing and observation apparatus |
CN201310093481.0A CN103323475A (zh) | 2012-03-23 | 2013-03-22 | 截面加工和观察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012068022A JP5990016B2 (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 断面加工観察装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013200987A true JP2013200987A (ja) | 2013-10-03 |
JP5990016B2 JP5990016B2 (ja) | 2016-09-07 |
Family
ID=49112347
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012068022A Active JP5990016B2 (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | 断面加工観察装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8637819B2 (ja) |
JP (1) | JP5990016B2 (ja) |
CN (1) | CN103323475A (ja) |
DE (1) | DE102013102666A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI642079B (zh) * | 2014-01-22 | 2018-11-21 | 日商日立高新技術科學股份有限公司 | Charged particle beam device and sample observation method |
KR20190132991A (ko) | 2017-03-27 | 2019-11-29 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 | 자동 가공 장치 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6085150B2 (ja) * | 2012-03-16 | 2017-02-22 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料作製装置及び試料作製方法 |
JP6207081B2 (ja) * | 2014-03-24 | 2017-10-04 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 集束イオンビーム装置 |
CN107976457B (zh) * | 2017-11-18 | 2020-08-07 | 武汉钢铁有限公司 | 镀锌板表面镀层电子背散射衍射样品制备方法 |
JP7171010B2 (ja) * | 2018-03-07 | 2022-11-15 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 断面加工観察装置、断面加工観察方法及びプログラム |
JP7076574B2 (ja) * | 2018-12-06 | 2022-05-27 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63119148A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Hitachi Ltd | 試料像の表示・記録方法および装置 |
JPH08233559A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Sharp Corp | 配線基板の検査装置 |
JP2000021347A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 集束イオンビーム加工方法及び加工装置 |
JP2009111318A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Sii Nanotechnology Inc | 欠陥認識方法、欠陥観察方法、及び荷電粒子ビーム装置 |
JP2009192428A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置、それを用いた試料加工方法及び透過電子顕微鏡用試料作製方法 |
JP2010257855A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Hitachi High-Technologies Corp | 複合荷電粒子線装置 |
JP2011054497A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Sii Nanotechnology Inc | 断面加工観察方法および装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6538249B1 (en) * | 1999-07-09 | 2003-03-25 | Hitachi, Ltd. | Image-formation apparatus using charged particle beams under various focus conditions |
-
2012
- 2012-03-23 JP JP2012068022A patent/JP5990016B2/ja active Active
-
2013
- 2013-03-15 DE DE102013102666A patent/DE102013102666A1/de not_active Withdrawn
- 2013-03-15 US US13/842,404 patent/US8637819B2/en active Active
- 2013-03-22 CN CN201310093481.0A patent/CN103323475A/zh active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63119148A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-23 | Hitachi Ltd | 試料像の表示・記録方法および装置 |
JPH08233559A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Sharp Corp | 配線基板の検査装置 |
JP2000021347A (ja) * | 1998-07-03 | 2000-01-21 | Hitachi Ltd | 集束イオンビーム加工方法及び加工装置 |
JP2009111318A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Sii Nanotechnology Inc | 欠陥認識方法、欠陥観察方法、及び荷電粒子ビーム装置 |
JP2009192428A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Sii Nanotechnology Inc | 複合荷電粒子ビーム装置、それを用いた試料加工方法及び透過電子顕微鏡用試料作製方法 |
JP2010257855A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Hitachi High-Technologies Corp | 複合荷電粒子線装置 |
JP2011054497A (ja) * | 2009-09-03 | 2011-03-17 | Sii Nanotechnology Inc | 断面加工観察方法および装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI642079B (zh) * | 2014-01-22 | 2018-11-21 | 日商日立高新技術科學股份有限公司 | Charged particle beam device and sample observation method |
KR20190132991A (ko) | 2017-03-27 | 2019-11-29 | 가부시키가이샤 히다치 하이테크 사이언스 | 자동 가공 장치 |
US10971330B2 (en) | 2017-03-27 | 2021-04-06 | Hitachi High-Tech Science Corporation | Automatic processing device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5990016B2 (ja) | 2016-09-07 |
CN103323475A (zh) | 2013-09-25 |
DE102013102666A1 (de) | 2013-09-26 |
US8637819B2 (en) | 2014-01-28 |
US20130248710A1 (en) | 2013-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5990016B2 (ja) | 断面加工観察装置 | |
JP6105204B2 (ja) | Tem観察用試料作製方法 | |
JP5101845B2 (ja) | 集束イオンビーム装置ならびにそれを用いた試料断面作製方法および薄片試料作製方法 | |
JP5872922B2 (ja) | 試料作製方法及び装置 | |
US10096449B2 (en) | Cross-section processing-and-observation method and cross-section processing-and-observation apparatus | |
JP5595054B2 (ja) | 電子顕微鏡及び試料分析方法 | |
US9966226B2 (en) | Cross-section processing and observation method and cross-section processing and observation apparatus | |
JP6490938B2 (ja) | 断面加工方法、断面加工装置 | |
JP5969233B2 (ja) | 断面加工観察方法及び装置 | |
JP6250294B2 (ja) | 集束イオンビーム装置、それを用いた試料の断面観察方法、及び集束イオンビームを用いた試料の断面観察用コンピュータプログラム | |
JP6085150B2 (ja) | 試料作製装置及び試料作製方法 | |
JP5981744B2 (ja) | 試料観察方法、試料作製方法及び荷電粒子ビーム装置 | |
JP5952046B2 (ja) | 複合荷電粒子ビーム装置 | |
JP2011086606A (ja) | 断面加工観察方法および装置 | |
JP6487225B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置および欠陥検査システム | |
JP5878960B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2006172919A (ja) | 三次元形状解析機能を有する走査型電子顕微鏡 | |
JP2019129072A (ja) | 走査電子顕微鏡および測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150107 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151118 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160125 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160719 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160812 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5990016 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |