JP2013200916A - 磁気ヘッド用スライダの検査方法、検査プログラムおよび磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド用スライダの検査方法、検査プログラムおよび磁気ヘッドの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】実施形態は、研磨処理され、かつ、m行n列のマトリックス状に複数配置されたスライダの検査方法であって、スライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n)のうちの1行のスライダS[1、j]の特性を検査する第1のステップと、前記研磨処理の結果を参照し、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを、前記特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、そのランクに対応づけた係数A(j)を付与する第2のステップと、を備える。そして、k列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n)までを用いた演算結果に基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1)を分類する第3のステップと、を備える。
【選択図】図1
Description
(1)隣接するグループのうちのランクの低い方のグループに分類する。
(2)隣接するグループのスライダの一部を加えて新しいグループとし、例えば、全数検査の対象とする。
(3)隣接する2つのグループが同ランクの場合、そのグループに加える。
以下、図11〜図14を参照して、端数スライダの分類方法について、具体的に説明する。
Claims (5)
- 研磨処理され、かつ、m行n列のマトリックス状に配置された磁気ヘッド用スライダの検査方法であって、
複数配置された磁気ヘッド用スライダのスライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの1行に配置されたスライダS[1、j]の特性を検査する第1のステップと、
前記研磨処理の結果を参照し、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを前記特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、前記スライダS[1、j]にそのランクに対応づけた係数A(j)を付与する第2のステップと、
前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:k、tは整数)までを用いた演算の結果に基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1:sは整数)を複数のグループのうちの1つに分類する第3のステップと、
を備えた磁気ヘッド用スライダの検査方法。 - 前記k値を1ずつ増加させてk=1からk=n−t+1まで前記第3のステップを実行し、前記スライダS[1、s]を前記複数のグループのうちの1つに分類する請求項1記載の磁気ヘッド用スライダの検査方法。
- 前記第3のステップは、前記A(k)から前記A(k+t−1)までを用いた前記演算の結果を第1の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、前記スライダS[1、s]を第1のグループに分類するステップと、
前記第1のグループに分類されなかった前記スライダS[1、j]のうちの連続してt個以上が並ぶ部分について、その部分に含まれるp列目のA(p)からp+t−1列目のA(p+t−1)までを用いた演算の結果を第2の基準に基づいて判定し、その基準に適合した場合に、スライダS[1、u](p≦u≦p+t−1:p、uは整数)を第2のグループに分類するステップと、を含む請求項1または2に記載の磁気ヘッド用スライダの検査方法。 - 研磨処理され、m行n列のマトリックス状に複数配置された磁気ヘッド用スライダにおいて、前記研磨処理の結果を参照し、磁気ヘッド用スライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の特性検査のデータに基づいて、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを複数のランクのいずれかに分類するステップと、
前記ランクに対応づけた係数A(j)を、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のうちの前記スライダS[1、j]に付与するステップと、
前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:k、tは整数)までを用いた演算の結果基づいて、スライダS[1、s](k≦s≦k+t−1:sは整数)を複数のグループのうちの1つに分類するステップと、
を備えた磁気ヘッド用スライダの検査プログラム。 - 研磨処理され、m行n列のマトリックス状に複数配置された磁気ヘッドスライダにおいて、磁気ヘッド用スライダS[i、j](1≦i≦m、1≦j≦n:i、jは整数)のうちの第1行に配置されたスライダS[1、j]の特性を検査する工程と、
前記研磨処理の結果を参照して、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]のそれぞれを前記特性に基づいて複数のランクのいずれかに分類し、前記スライダS[1、j]にそのランクに対応づけた係数A(j)を付与し、前記スライダS[1、1]〜S[1、n]に付与されたA(1)〜A(n)のうちのk列目のA(k)からk+t−1列目のA(k+t−1)(1≦k+t−1≦n:k、tは整数)までを用いた演算の結果に基づいて、スライダS[r、s](2≦r≦m、k≦s≦k+t−1:r、sは整数)を、前記特性の全数検査を要するグループ、または、それ以外のグループに分類する工程と、
前記全数検査を要するグループに含まれる前記スライダ[r、s]の前記特性を全数検査する工程と、
を備えた磁気ヘッドの製造方法。
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