JP7080841B2 - 推定装置、表示制御装置、推定システム、推定方法、プログラム、及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係る推定システムを例示する模式図である。
図2は、第1実施形態に係る推定システムの処理を例示するフローチャートである。
図3は、グラフ構造を例示する模式図である。
図4は、履歴データを例示する表である。
一方で、参考例に係る推定装置は、多くの品種のワークを加工する製造ラインの調査には、適用し難い。品種の数が多いと、原因と推定された装置の数も増大するため、ユーザは、多くの装置を確認しなければならない。従って、ユーザが不良の発生原因を解消できるまでに要する時間が長くなる。さらに、不良の発生原因の解消までに要する時間が長くなるほど、不良なワークが製造される期間が長くなったり、製造ラインの停止期間が長くなったりする。この結果、歩留まりが悪化する。
このため、複数の品種を総括的に調査して不良の原因となる製造装置を推定できる推定装置が求められている。
図5は、半導体製造履歴データを例示する表である。
図5は、履歴データの一例である半導体製造履歴データを示している。半導体製造履歴データには、ワークとしてのウェハごとに、クラス、品種、ウェハID、及び装置履歴が記憶されている。クラスは、第1質的変数に対応する。クラスを表す文字列は、第1質的変数の変数値に対応する。品種は、第2質的変数に対応する。品種を表す文字列は、第2質的変数の変数値に対応する。ウェハIDは、データIDに対応する。
クラスは、各ウェハの検査結果に基づく分類を示す。例えば、各ウェハに含まれる複数のチップは、検査装置により、特性や外観が検査される。特性又は外観は予め設定された条件と比較され、各チップは良品であるか判断される。例えば、1つのウェハにおいて、良品と判断されたチップと、不良品と判断されたチップと、に互いに異なる色を付す。これにより、1つのウェハにおける不良の発生箇所をマッピングした画像が生成される。
推定装置100のデータ制御部102は、図5に示す履歴データにおいて、推定対象とするクラスの文字列(変数値)を指定する。推定対象は、例えば、どのクラスについて不良の原因を調べたいか、という観点に基づいて設定される。一例として、データ制御部102は、「1」を選択する。データ制御部102が「1」を選択すると、データ取得部101は、図8に示したように、履歴データ格納部から、クラスとして「1」が付与されたデータ集合を取得する。
データ制御部102は、推定部103による推定結果を表示制御装置200に送信する。データ制御部102は、例えば図10に示すように、データ集合全体に関する推定結果と、部分データ集合ごとの推定結果と、を弁別可能な形式で推定結果を送信する。図10に示す表において、品種が「全体」である行に記載された関連度が、それぞれの装置の全体関連度である。それより下の行に記載された関連度は、各品種におけるそれぞれの装置の部分関連度である。
図12は、第2実施形態に係わる推定システムを例示するブロック図である。
第2実施形態に係る推定システム2では、推定装置100は、推定結果格納部104をさらに含む。表示制御装置200は、入力部203をさらに含む。推定結果格納部104は、推定部103が推定した推定結果を格納する。入力部203は、表示部202が表示する推定結果の対象を入力する。
まず、入力部203は、表示部202が表示する推定結果について、表示対象を表示制御部201に入力する(ステップS2-1)。表示対象は、クラスの文字列を特定することで指定される。又は、表示対象は、クラスの文字列と品種の文字列を組み合わせて指定されても良い。例えば、ユーザは、入力装置を用いて、表示制御装置200へ情報を入力する。入力装置は、キーボード、マウス、タッチパネル、及びマイクロフォン(音声入力)の少なくともいずれかを含む。入力部203は、入力装置から入力された情報を受け付け、表示制御部201へ情報を送信する。
入力部203は、表示対象であるクラスの文字列又は品種の文字列の変更を検出したとき、変更されたクラスの文字列及び品種の文字列の組を表示制御部201に通知する(ステップS2-4)。例えば、図14(a)は、1つのクラスに分類されたデータ全体に基づく推定結果を示している。例えば、あるユーザは、この推定結果に対して、品種「C」を除外した推定結果を確認したいと考えたとき、図14(b)に示すように、品種「C」に対応するチェックボックスのチェックを外す。入力部203は、この操作に基づき、表示制御部201へ、品種「C」の非表示を指示する。
第3実施形態に係る推定システムは、第2実施形態に係る推定システムとの比較において、さらに以下の要素を含む。履歴データは、第1質的変数の変数値を付与する根拠となった特徴を表す特徴量ベクトルをさらに含む。データ制御部102は、推定結果を表示制御装置200に送信する際に、送信する推定結果に含まれるクラス及び品種に合致するウェハの特徴量ベクトル群を送信する。表示制御部201は、特徴量ベクトルを、第1質的変数の変数値ごと、及び第2質的変数の変数値ごとに、特徴量ベクトルの平均値を表す平均特徴量ベクトルを算出する。表示部202は、平均特徴量ベクトルを表示させる。
半導体装置履歴データは、図15に示すように、ウェハIDごとの装置履歴に加え、特徴量ベクトル列を含む。特徴量ベクトル列は、ウェハごとのチップの「良」又は「不良」の傾向を0と1で表現している。特徴量ベクトルは、第1実施形態で述べた不良マップを分類するための入力として利用され、第1質的変数であるクラスの根拠となる。
入力部203は、表示するクラスを表示制御部201に入力する(ステップS3-1)。表示制御部201は、入力されたクラスの文字列に合致する品種全体の推定結果及び品種ごとの推定結果と、特徴量ベクトル群と、をデータ制御部102から取得する(ステップS3-2)。特徴量ベクトル群は、入力されたクラスの文字列に合致する複数の特徴量ベクトルを含む。
表示制御部201は、取得した複数の特徴量ベクトルを、品種ごとに分け、各品種について平均特徴量ベクトルを算出する。表示部202は、例えば図17に示すように、算出した平均特徴量ベクトルを表示させる。
(構成1)
複数のノードを流れる複数のデータをそれぞれ表す複数のデータIDと、
前記複数のデータのそれぞれについて、前記複数のノードにおける経路を表す経路情報と、
前記複数のデータIDのそれぞれの分類を表す、互いに独立した第1質的変数及び第2質的変数と、
を含む履歴データから、前記第1質的変数として第1変数値が付与された前記複数のデータIDの一部を含むデータ集合を取得し、
前記複数のデータIDの前記一部に対応する複数の前記経路情報の一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記データ集合への関連性を示す全体関連度を推定し、
前記データ集合を、前記第2質的変数の変数値ごとに分割して複数の部分データ集合を生成し、
前記複数の経路情報の前記一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記部分データ集合ごとへの関連性を示す部分関連度を推定する、
推定装置。
(構成2)
前記第1変数値が付与された前記データ集合と複数の前記全体関連度とを対応付けて記憶し、且つ前記複数の部分データ集合と複数の前記部分関連度とをそれぞれ対応付けて格納する推定結果格納部をさらに備えた構成1記載の推定装置。
(構成3)
前記履歴データを記憶する履歴データ格納部をさらに備えた構成1又は2に記載の推定装置。
(構成4)
構成1に記載の前記推定装置へ前記第1変数値の指定を送信し、前記推定装置から複数の前記全体関連度及び複数の前記部分関連度を含む推定結果を受信すると、前記推定結果に基づく推定情報を表示可能な表示制御装置。
(構成5)
構成2に記載の前記推定結果格納部から複数の前記全体関連度及び複数の前記部分関連度を含む推定結果を取得すると、前記推定結果に基づく推定情報を表示可能な表示制御装置。
(構成6)
前記推定情報は、前記複数のノードをそれぞれ表す複数のノードIDのそれぞれと、前記複数の全体関連度のそれぞれと、の1つ以上の組み合わせ、及び前記複数のノードIDのそれぞれと、前記複数の部分関連度のそれぞれと、の1つ以上の組み合わせ、を含む複数の組み合わせを含み、
前記複数の組み合わせを、前記複数の全体関連度のそれぞれの大きさ、又は前記複数の部分関連度のそれぞれの大きさに基づいて並べ替えて表示可能な構成4又は5に記載の表示制御装置。
(構成7)
前記複数の組み合わせには、前記第2質的変数の複数の前記変数値がそれぞれ対応付けられ、
前記複数の組み合わせを、前記ノードIDごと、又は前記第2質的変数の前記変数値ごとにまとめて表示可能な構成6記載の表示制御装置。
(構成8)
前記複数の全体関連度及び前記複数の部分関連度を、前記第2質的変数の前記複数の変数値及び前記複数のノードIDに対するクロス表形式で表示可能な構成7記載の表示制御装置。
(構成9)
前記複数の全体関連度及び前記複数の部分関連度のうち、前記複数の組み合わせの全てに対して関連性を有する前記複数のノードの一部に対する前記全体関連度及び前記部分関連度のみを表示可能な構成7又は8に記載の表示制御装置。
(構成10)
前記第1変数値及び前記第2質的変数の1つの前記変数値の組の指定を受け付け可能であり、
前記組の指定を受け付けると、前記複数のノードのそれぞれについて、前記全体関連度と、前記組が付与された1つの前記部分データ集合に対して推定された前記部分関連度と、を表示可能である構成4~9のいずれか1つに記載の表示制御装置。
(構成11)
前記1つの部分データ集合に対して推定された前記部分関連度の表示中に、前記組の指定を受け付けると、当該部分関連度を非表示にさせる構成10記載の表示制御装置。
Claims (12)
- 複数のノードを流れる複数のデータをそれぞれ表す複数のデータIDと、
前記複数のデータのそれぞれについて、前記複数のノードにおける経路を表す経路情報と、
前記複数のデータIDのそれぞれの分類を表す、互いに独立した第1質的変数及び第2質的変数と、
を含む履歴データから、前記第1質的変数として第1変数値が付与された前記複数のデータIDの一部を含むデータ集合を取得し、
前記複数のデータIDの前記一部に対応する複数の前記経路情報の一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記データ集合への関連性を示す全体関連度を推定し、
前記データ集合を、前記第2質的変数の変数値ごとに分割して複数の部分データ集合を生成し、
前記複数の経路情報の前記一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記部分データ集合ごとへの関連性を示す部分関連度を推定する、
推定装置。 - 前記第1変数値が付与された前記データ集合と複数の前記全体関連度とを対応付けて記憶し、且つ前記複数の部分データ集合と複数の前記部分関連度とをそれぞれ対応付けて格納する推定結果格納部をさらに備えた請求項1記載の推定装置。
- 請求項1に記載の前記推定装置へ前記第1変数値の指定を送信し、前記推定装置から複数の前記全体関連度及び複数の前記部分関連度を含む推定結果を受信すると、前記推定結果に基づく推定情報を表示可能な表示制御装置。
- 請求項2に記載の前記推定結果格納部から複数の前記全体関連度及び複数の前記部分関連度を含む推定結果を取得すると、前記推定結果に基づく推定情報を表示可能な表示制御装置。
- 前記推定情報は、前記複数のノードをそれぞれ表す複数のノードIDのそれぞれと、前記複数の全体関連度のそれぞれと、の1つ以上の組み合わせ、及び前記複数のノードIDのそれぞれと、前記複数の部分関連度のそれぞれと、の1つ以上の組み合わせ、を含む複数の組み合わせを含み、
前記複数の組み合わせを、前記複数の全体関連度のそれぞれの大きさ、又は前記複数の部分関連度のそれぞれの大きさに基づいて並べ替えて表示可能な請求項3又は4に記載の表示制御装置。 - 複数の装置を通過した複数のワークに関し、複数の分類を含む複数のワークデータに基づいて、前記複数の装置のそれぞれの、前記複数のワークデータへの関連性を示す全体関連度と、前記複数の分類の1つに含まれる前記複数のワークデータの一部への関連性を示す部分関連度と、を含む推定情報を表示可能な推定システム。
- 前記複数の装置をそれぞれ表す複数の装置IDのそれぞれと、前記複数の全体関連度のそれぞれと、の1つ以上の組み合わせ、及び前記複数の装置IDのそれぞれと、前記複数の部分関連度のそれぞれと、の1つ以上の組み合わせ、を含む複数の組み合わせを表示可能であり、
前記複数の組み合わせを、前記複数の全体関連度のそれぞれの大きさ、又は前記複数の部分関連度のそれぞれの大きさに基づいて並べ替え可能である請求項6記載の推定システム。 - 複数の前記全体関連度及び複数の前記部分関連度を、前記複数の分類の1つ以上と対応させて表示可能であり、
表示された前記1つ以上の分類のいずれかの指定を受け付けると、指定された前記分類に対応する前記全体関連度及び前記部分関連度を非表示にさせる請求項6記載の推定システム。 - 複数の前記全体関連度及び複数の前記部分関連度を、前記複数の分類の1つ以上と対応させて表示可能であり、
表示された前記1つ以上の分類をそれぞれ示す1つ以上の画像を表示可能である請求項6記載の推定システム。 - 処理装置に、
複数のノードを流れる複数のデータをそれぞれ表す複数のデータIDと、
前記複数のデータのそれぞれについて、前記複数のノードにおける経路を表す経路情報と、
前記複数のデータIDのそれぞれの分類を表す、互いに独立した第1質的変数及び第2質的変数と、
を含む履歴データから、前記第1質的変数として第1変数値が付与された前記複数のデータIDの一部を含むデータ集合を取得させ、
前記複数のデータIDの前記一部に対応する複数の前記経路情報の一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記データ集合への関連性を示す全体関連度を推定させ、
前記データ集合を、前記第2質的変数の変数値ごとに分割して複数の部分データ集合を生成させ、
前記複数の経路情報の前記一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記部分データ集合ごとへの関連性を示す部分関連度を推定させる、推定方法。
- 処理装置に、
複数のノードを流れる複数のデータをそれぞれ表す複数のデータIDと、
前記複数のデータのそれぞれについて、前記複数のノードにおける経路を表す経路情報と、
前記複数のデータIDのそれぞれの分類を表す、互いに独立した第1質的変数及び第2質的変数と、
を含む履歴データから、前記第1質的変数として第1変数値が付与された前記複数のデータIDの一部を含むデータ集合を取得させ、
前記複数のデータIDの前記一部に対応する複数の前記経路情報の一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記データ集合への関連性を示す全体関連度を推定させ、
前記データ集合を、前記第2質的変数の変数値ごとに分割して複数の部分データ集合を生成させ、
前記複数の経路情報の前記一部に基づき、前記複数のノードのそれぞれについて、前記部分データ集合ごとへの関連性を示す部分関連度を推定させる、プログラム。 - 請求項11記載のプログラムを記憶した記憶媒体。
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