JP2013197559A - アライメントステージ - Google Patents
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Abstract
【課題】求められる精度でアライメントができ、かつ低価格なアライメントステージを提供する。
【解決手段】ベース110と、ベース110の上方に配置したステージ120と、ベース110とステージ120との間に配置され、ステージ120をベース110に対してX軸方向、X軸方向、θ方向の3自由度で移動可能に支持する案内機構130、140、150、160と、ステージ120を、前記X軸方向および前記Y軸方向の2方向に向けてそれぞれ付勢するコイルスプリング171、172、173と、ステージ120をカムフォロワーとしてステージ120をX軸方向、Y軸方向およびθ方向に移動させる3つの円板カム181、182、183と、この円板カム181をそれぞれ駆動するモーター184、185、186と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】ベース110と、ベース110の上方に配置したステージ120と、ベース110とステージ120との間に配置され、ステージ120をベース110に対してX軸方向、X軸方向、θ方向の3自由度で移動可能に支持する案内機構130、140、150、160と、ステージ120を、前記X軸方向および前記Y軸方向の2方向に向けてそれぞれ付勢するコイルスプリング171、172、173と、ステージ120をカムフォロワーとしてステージ120をX軸方向、Y軸方向およびθ方向に移動させる3つの円板カム181、182、183と、この円板カム181をそれぞれ駆動するモーター184、185、186と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、アライメントステージに係り、特にワークを配置したステージをベースに対してX軸方向、X軸方向、θ方向の3自由度で調整してワークのアライメントを行うアライメントステージに関する。
従来、投影露光装置にワークである基板を配置するに際しては、アライメントステージで仮アライメント調整された基板を搬送ハンドで保持し、投影露光装置の露光ステージに配置する。
図4は従来のアライメントステージを示す模式平面図である。このアライメントステージ300は、ベース310と、このベース310の上方に配置したステージ320と、ベース310とステージ320との間にステージ320をベース310に対してX軸方向、X軸方向、θ方向の3自由度で移動可能に支持する案内機構330、340、350、360と、ステージ320を前記3方向に移動する駆動装置370、380、390とを備える。
案内機構330、340、350、360は、ステージ320をX軸方向に案内するX軸方向リニアガイド331、341、351、361、ステージ320をY軸方向に案内するY軸方向リニアガイド332、342、352、362、ステージを回転自在に案内するクロスローラーベアリング333、343、353、363を重ねて配置して構成している。
また、駆動装置は、ベース310に固定した駆動モーター371、381、391にボールねじ機構の雄ねじ372、382、392を、ステージ320に雄ねじ372、382、392をねじ込む雌ねじ373、383、393を配置して構成している。
このアライメントステージ300によれば、ステージ320をX軸方向に移動するには、駆動装置380のモーター381を回転駆動する。これにより、雄ねじ382が回転し、ステージ320は雌ねじ383の送りに伴いX軸方向に移動する。同様に、ステージ320をY軸方向に移動するには、駆動装置370、390のモーター371、391を回転駆動する。これにより、雄ねじ372、392が回転し、ステージ320は雌ねじ373、393の送りに伴いY軸方向に移動する。さらに、ステージ320をθ方向に回転するには、すべての駆動装置370、380、390を駆動する。これにより、ステージ320は、θ方向に回転する。特許文献1は、同様のアライメントステージを開示する。
ところで、上述した投影露光装置にあっては、ワークである基板は、投影露光装置の露光テーブルに配置されたのち、高い精度でアライメント調整される。これにより、マスクのパターンを基板に精度良く露光する。したがって、アライメントステージにおける仮アライメント調整の精度はそれほど高くなくても良い。
しかしながら、上述したボールねじ機構を使用するアライメントステージは、高精度でワークのアライメントを行うことができるものの、高価であるという問題がある。
本発明は上述した課題にかんがみてなされたものであり、求められる精度でアライメントができ、かつ低価格なアライメントステージを提供することを目的とする。
前記課題を解決する請求項1に記載の発明は、ベースと、該ベースの上方に配置したステージと、前記ベースと前記ステージとの間に配置され、前記ステージを前記ベースに対してX軸方向、Y軸方向、θ方向の3自由度で移動可能に支持する案内機構と、前記ステージを、前記X軸方向および前記Y軸方向の2方向に向けてそれぞれ付勢する付勢手段と、前記ステージをカムフォロワーとして前記ステージを前記X軸方向、前記Y軸方向および前記θ方向に移動させる少なくとも3つのカムと、このカムをそれぞれ駆動する駆動源と、を備えることを特徴とするアライメントステージである。
本発明によれば、高価なボールねじなどの部品を使用することなく、必要な精度でアライメント調整を行えるアライメントステージを安価に提供できる。
本発明によれば、高価なボールねじなどの部品を使用することなく、必要な精度でアライメント調整を行えるアライメントステージを安価に提供できる。
同じく請求項2に記載の発明は、請求項1に記載のアライメントステージにおいて、前記少なくとも3枚のカムは、前記ステージのX軸方向またはY軸方向のうち一方向に沿って並進させる力および前記ステージを回転させる偶力のいずれか一方の力を選択して与える2つのカムと、前記ステージを前記X軸方向またはY軸方向のうち他方向に沿って並進させる力を与える1枚のカムとからなることを特徴とする。
本発明によれば、カムを選択して駆動することにより、ステージをX軸方向、Y軸方向、θ方向の3自由度で移動することができる。
本発明によれば、カムを選択して駆動することにより、ステージをX軸方向、Y軸方向、θ方向の3自由度で移動することができる。
同じく請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載のアライメントステージにおいて、前記カムは、偏芯回転駆動する円板カムであることを特徴とする。
本発明によれば、作成が容易な円板カムを使用することができ、より安価にアライメントステージを提供できる。
本発明によれば、作成が容易な円板カムを使用することができ、より安価にアライメントステージを提供できる。
同じく請求項4に記載の発明は、請求項1から請求項3のいずれかに記載のアライメントステージにおいて、前記円板カムの外周に転がり軸受の外輪を配置したことを特徴とする。
本発明によればカムの接触抵抗を低減することができ、小さな駆動力でカムを駆動することができるとともに、ステージの動きを円滑なものとすることができる。
本発明によればカムの接触抵抗を低減することができ、小さな駆動力でカムを駆動することができるとともに、ステージの動きを円滑なものとすることができる。
同じく請求項5に記載の発明は、請求項1から請求項4のいずれかに記載のアライメントステージにおいて、前記ワークの姿勢を監視して姿勢データを出力する監視手段と、前記姿勢データと、あらかじめ定めた基準姿勢データとに基づいて前記駆動源の駆動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
本発明によれば、ワークの姿勢データに基づいて駆動源を駆動制御するので、ワークのアライメントを正確に調整することができる。
本発明によれば、ワークの姿勢データに基づいて駆動源を駆動制御するので、ワークのアライメントを正確に調整することができる。
同じく請求項6に記載の発明は、請求項1から請求項5のいずれかに記載のアライメントステージにおいて、ワーク供給手段と、ワーク加工手段との間に配置され、ワーク供給手段から供給されたワークをアライメント調整し、このアライメント調整したワークを前記ワーク加工手段に供給するものであることを特徴とする。
本発明によれば、ワーク供給手段からのワークをアライメントステージでアライメント調整して、ワーク加工手段に搬送できる。
本発明によれば、ワーク供給手段からのワークをアライメントステージでアライメント調整して、ワーク加工手段に搬送できる。
同じく請求項7に記載の発明は、請求項6に記載のアライメントステージにおいて、前記ワーク加工手段は、投影露光装置であり、前記ワークは露光される基板であることを特徴とする。
本発明によれば、基板をアライメント調整して投影露光装置に搬送することができる。
本発明によれば、基板をアライメント調整して投影露光装置に搬送することができる。
本発明によれば、高価な部品を使用することなく、必要な精度でアライメントを行えるアライメントステージを安価に提供できる。
本発明を実施するための形態(以下では単に実施形態と記載する)に係るアライメントステージについて説明する。
図1は実施形態に係るアライメントステージを示す模式図であり、(a)は平面図、(b)は正面図である。実施形態に係るアライメントステージ100は、ベース110と、このベース110の上方に配置したステージ120を備える。ベース110とステージ120との間には、ステージ120をベース110に対してX軸方向、X軸方向、θ方向の3自由度で移動可能に支持する4台の案内機構130、140、150、160を配置する。
各案内機構130、140、150、160は、ステージ120をX軸方向に案内するX軸方向リニアガイド131、141、151、161、ステージ120をY軸方向に案内するY軸方向リニアガイド132、142、152、162、ステージを回転自在に案内するクロスローラーベアリング133、143、153、163を重ねて配置して構成する。
また、アライメントステージ100には、ステージ120を、X軸方向および前記Y軸方向の2方向に向けてそれぞれ付勢する付勢手段としての3本のコイルスプリング171、172、173を備える。コイルスプリング171、172、173は、ベース110に固定したベース側ステー174、175、176と、ステージ120に固定したステージ側ステー177、178、179の間に引っ張り状態で配置する。
これらのコイルスプリング171によって、ステージ120は、X軸正方向(図中右方向)、Y軸負方向(同左側)に付勢される。
また、アライメントステージ100は、ステージ120をカムフォロワーとしてステージ120を前記X軸方向、前記Y軸方向および前記θ方向に移動させる少なくとも3つのカムとしての円板カム181、182、183と、この円板カム181をそれぞれ駆動する駆動源であるモーター184、185、186と、を備えている。円板カム181、182、183は、各モーター184、185、186の回転軸に偏芯した状態で配置している。
また、実施形態に係るアライメントステージ100では、ステージ120にX軸正側(図1(a)中右側)の縁部122から四角形状の凹部125を形成し、X軸正側(同上側)の内側に縁部123を形成している。そして、Y軸方向負側(図1(a)中下側)の縁部121に円板カム181が、縁部122に円板カム182が、凹部125のX軸正側の縁部123に円板カム183が接触するように配置する。このため、ステージ120は、カムフォロワーとして動作する。
この構成により、アライメントステージ100では、ステージ120をX軸に沿って移動させるには、モーター184、186を停止し円板カム181、183を固定した状態で、モーター185を駆動して円板カム182を回転させる。これにより、円板カム182で縁部122を押すように回転させると、ステージ120は、コイルスプリング172の付勢力に抗してX方向負側(同図中左側)に移動する。また、円板カム182を縁部122から離すように回転させると、ステージ120はコイルスプリング172の付勢力によってX方向正側(同図中右側)に移動する。
一方、ステージ120をY軸に沿って移動させるには、モーター185を停止して円板カム182を固定した状態で、モーター184、186を駆動して円板カム181、183を回転させる。これにより、円板カム181で縁部121を押し、円板カム183で縁部123を押すように回転させると、ステージ120は、コイルスプリング171、173の付勢力に抗してY方向正側(同図中上側)に移動する。また、円板カム181を縁部121から円板カム183を縁部123から離すように回転させると、ステージ120はコイルスプリング171、173の付勢力によってY方向負側(同図中下側)に移動する。
さらに、ステージ120をθ方向に回転するときには、すべてのモーター184、185、186を適宜駆動して、円板カム181、182、183を回転させる。これにより、ステージ120には、偶力が付与され所定の方向に回転する。このとき、ステージ120はX、Y軸方向にも移動することがある。各モーター184、185、186の回転方向、回転量とステージ120の回転方向、回転量、移動方向、移動量は、アライメントステージ100設計時に各部の寸法によりあらかじめ定まっている。このため、ステージ120の回転方向、回転量に対応する各モーター184、185、186の回転駆動量をあらかじめ計算で求めておくことが望ましい。
ここで、実施形態に係るアライメントステージ100では、円板カム181、182、183の周囲に転がり軸受であるボールベアリング187、188、189をはめ込んである。このため、モーター184、185、186を駆動して円板カム181、182、183を回転動させたとき、ステージ120にはボールベアリング187、188、189の外輪が回転しながら接触するので少ない抵抗で円板カム181、182、183でステージ120を移動できる。
次にアライメントステージ100の制御について説明する。図2は実施形態に係るアライメントステージの制御の状態を示すブロック図である。アライメントステージ100には、ステージ120上のワークWの姿勢を監視する監視手段191と、この監視手段191の監視結果に基づいてアライメントステージ100のモーター184、185、186の駆動制御を行う制御手段192とを備える。監視手段191は例えばCCD撮像素子を備えたカメラであり、制御手段192は、例えばCPU、ROM、RAM、HDDを祖備えたコンピューターである。コンピューターはCPUでプログラムを実行することにより制御を実行する。
すなわち制御手段192は、監視手段191が取得したワークWの画像から、画像処理を行い、エッジを抽出し、ワークWの位置データ、および姿勢データを取得する。そして、この取得した各情報と、あらかじめ設定された基準の位置データ、および姿勢データに基づいてモーター184、185、186を所定量だけ駆動する。モーター184、185、186の駆動量は、あらかじめROMに格納された位置データの差、姿勢データの差に対応する各モーター184、185、186の駆動量についてのテーブルに基づいて取得したり、あらかじめ決定しておいた計算式に基づいて計算したりして求めることができる。
次にアライメントステージ100の配置状態について説明する。図2は実施形態に係るアライメントステージの配置状態を示す模式図であり、(a)は平面図、(b)は正面図である。
アライメントステージ100は、ワークWを供給するワーク供給手段210と、投影露光装置200の間に配置し、これらに近接してワーク搬送装置220を配置する。ワーク供給手段210上のワークW1は、図示しない搬送ベルトなどの搬送装置によってアライメントステージ100のステージ120上に移送される。アライメントステージ100上のワークは、図3(b)の2点鎖線で示し符号W2で示すように、傾いたり、位置がずれたりしている。この状態を上述した監視手段191で検知し、制御手段192の制御のもとステージ120のアライメントを各モーター184、185、186の駆動で所定の範囲に修正する(実線で示し、符号W3で示した)。
そして、姿勢が修正された状態のワークをワーク搬送装置220で投影露光装置200の露光ステージ201に搬送する。ワーク搬送装置220は、搬送ハンド221でワークWを露光ステージ201に搬送する。露光ステージ201では、設置搬入されたワーク(実線で示し、符号W4を付した)のアライメントを再度精密に修正し、所定の投影露光処理を行う。
以上説明したように、実施形態に係るアライメントステージ100によれば、投影露光装置200の露光ステージ201に搬送するワークを一定の精度でアライメントできる。そして、このアライメントステージ100は、高価なボールねじを使用することなく低価格なものとすることができる。
100:アライメントステージ
110:ベース
120:ステージ
121:縁部
122:縁部
123:縁部
125:凹部
130、140、150、160:案内機構
131、141、151、161:X軸方向リニアガイド
132、142、152、162:Y軸方向リニアガイド
133、143、153、163:クロスローラーベアリング
171、172、173:コイルスプリング
174、175、176:ベース側ステー
177、178、179:ステージ側ステー
181、182、183:円板カム
184、185、186:モーター
187、188、189:ボールベアリング
191:監視手段
192:制御手段
200:投影露光装置
201:露光ステージ
210:ワーク供給手段
220:ワーク搬送装置
221:搬送ハンド
110:ベース
120:ステージ
121:縁部
122:縁部
123:縁部
125:凹部
130、140、150、160:案内機構
131、141、151、161:X軸方向リニアガイド
132、142、152、162:Y軸方向リニアガイド
133、143、153、163:クロスローラーベアリング
171、172、173:コイルスプリング
174、175、176:ベース側ステー
177、178、179:ステージ側ステー
181、182、183:円板カム
184、185、186:モーター
187、188、189:ボールベアリング
191:監視手段
192:制御手段
200:投影露光装置
201:露光ステージ
210:ワーク供給手段
220:ワーク搬送装置
221:搬送ハンド
Claims (7)
- ベースと、
該ベースの上方に配置されワークが配置されるステージと、
前記ベースと前記ステージとの間に配置され、前記ステージを前記ベースに対してX軸方向、Y軸方向、θ方向の3自由度で移動可能に支持する案内機構と、
前記ステージを、前記X軸方向および前記Y軸方向の2方向に向けてそれぞれ付勢する付勢手段と、
前記ステージをカムフォロワーとして前記ステージを前記X軸方向、前記Y軸方向および前記θ方向に移動させる少なくとも3つのカムと、
このカムをそれぞれ駆動する駆動源と、
を備えることを特徴とするアライメントステージ。 - 前記少なくとも3枚のカムは、前記ステージのX軸方向またはY軸方向のうち一方向に沿って並進させる力および前記ステージを回転させる偶力のいずれか一方の力を選択して与える2つのカムと、
前記ステージを前記X軸方向またはY軸方向のうち他方向に沿って並進させる力を与える1枚のカムとからなることを特徴とする請求項1に記載のアライメントステージ。 - 前記カムは、偏芯回転駆動する円板カムであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のアライメントステージ。
- 前記円板カムの周囲に転がり軸受を配置したことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のアライメントステージ。
- 前記ステージ上のワークの姿勢を監視して姿勢データを出力する監視手段と、
前記姿勢データと、あらかじめ定めた基準姿勢データとに基づいて前記駆動源の駆動を制御する制御手段とを備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のアライメントステージ。 - ワーク供給手段と、ワーク加工手段との間に配置され、ワーク供給手段から供給されたワークをアライメント調整し、このアライメント調整したワークを前記ワーク加工手段に供給するものであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のアライメントステージ。
- 前記ワーク加工手段は、投影露光装置であり、
前記ワークは露光される基板であることを特徴とする請求項6に記載のアライメントステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012066489A JP2013197559A (ja) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | アライメントステージ |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220044954A1 (en) * | 2020-08-07 | 2022-02-10 | Hon. Precision, Inc. | Alignment Platform and Electronic Component Transmission Apparatus |
CN114229440A (zh) * | 2020-09-09 | 2022-03-25 | 鸿劲精密股份有限公司 | 移动平台及电子元件移送装置 |
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- 2012-03-23 JP JP2012066489A patent/JP2013197559A/ja active Pending
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KR20220000404U (ko) * | 2020-08-07 | 2022-02-15 | 혼. 프리시즌, 인코포레이티드 | 이동 플랫폼과 전자부품 이송장치 |
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