JP2013181949A - 差圧発信器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定圧P1を分岐して受けるP1側保護用受圧ダイアフラム14aと、測定圧P2を分岐して受けるP2側保護用受圧ダイアフラム14bと、P1側保護用受圧ダイアフラムストッパ15aと、P2側保護用受圧ダイアフラムストッパ15bとを設ける。P1側保護用受圧ダイアフラム14aの背面側の空間として形成されている凹部12eとセンサ室12aとを連通路12iで結び、P2側保護用受圧ダイアフラム14bの背面側の空間として形成されている凹部12fとセンサ室12aとを連通路12jで結ぶ。凹部12e,12f、連通路12i,12j、センサ室12aを合わせた空間を封入室として圧力伝達媒体16cを充填し、測定圧P1,P2のうち相対的に高圧の測定圧をセンサチップ11のセンサ室12aの壁面12bとの接合部に向かう方向に働かせるようにする。
【選択図】 図1
Description
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (2)
- センサ室の壁面に接合されたセンサチップと、
このセンサチップ内に設けられ、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、
第1の測定圧を受ける第1の受圧ダイアフラムと、
第2の測定圧を受ける第2の受圧ダイアフラムと、
前記第1の受圧ダイアフラムが受けた第1の測定圧を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第1の圧力伝達媒体と、
前記第2の受圧ダイアフラムが受けた第2の測定圧を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第2の圧力伝達媒体とを備えた差圧発信器において、
前記センサ室を封入室の一部として充填され、前記第1の測定圧および前記第2の測定圧のうち相対的に高圧の測定圧を、前記センサチップのセンサ室の壁面との接合部に向かう方向に働かせる第3の圧力伝達媒体
を備えることを特徴とする差圧発信器。 - 請求項1に記載された差圧発信器において、
前記第1の測定圧を分岐して受ける第3の受圧ダイアフラムと、
前記第3の受圧ダイアフラムの前面を覆う凹部を有する第1のストッパと、
前記第2の測定圧を分岐して受ける第4の受圧ダイアフラムと、
前記第4の受圧ダイアフラムの前面を覆う凹部を有する第2のストッパとを備え、
前記第3の圧力伝達媒体は、前記第3の受圧ダイアフラムの背面側の空間と、この第3の受圧ダイアフラムの背面側の空間と前記センサ室とを連通させる第1の連通路と、前記第4の受圧ダイアフラムの背面側の空間と、この第4の受圧ダイアフラムの背面側の空間と前記センサ室とを連通させる第2の連通路と、前記センサ室とを合わせた空間を前記封入室として充填されている
ことを特徴とする差圧発信器。
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