JP2013181221A - ターゲットアセンブリ及びターゲットユニット - Google Patents

Abstract

【課題】円筒形ターゲット材の割れを防止しつつ、組立作業性を向上させることができるターゲットアセンブリ及びターゲットユニットを提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るターゲットアセンブリ１０は、複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆと、複数の連結部１１とを具備する。複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆは、一軸方向に延びる筒状のターゲット材１０１と、ターゲット材１０１の内周側に接合された筒状の基体１０２とをそれぞれ有する。複数の連結部１１は、複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆの各々の間に設けられ、複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆを上記一軸方向に間隙Ｇを介して相互に連結する。
【選択図】図２

Description

本発明は、筒状のターゲット材を有するターゲットアセンブリ及びターゲットユニットに関する。

マグネトロン型のスパッタリング装置に用いられるスパッタリングターゲットとして、平板型ターゲットの他に、円筒型ターゲットが知られている。円筒形ターゲットは、内部に磁場発生装置を有する円筒型の基材を被覆するように配置され、ターゲットを回転させながらスパッタを行う。このようなターゲットは、ターゲット材の全面がエロージョンとなり均一に削られるため、従来の平板型マグネトロンスパッタリング装置の使用効率に比べて高いターゲット使用効率が得られる。

一方、円筒型ターゲットは、スパッタ中、ターゲット材に割れが発生することがあった。このため特許文献１に記載のように、ターゲット材を軸方向に複数に分割するとともに、室温においては、分割部においてターゲット材同士を接触させないようにする構成が知られている。

特開２００８−２４８２７６号公報

しかしながら、特許文献１は、円筒型基材が長くなるほど、分割されたターゲット間の隙間の調整が困難で、組立性に問題があった。また、ターゲット同士の隙間に接合材が露出し、それを除去することが困難であり、作業性に問題があった。

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、円筒形ターゲット材の割れを防止しつつ、組立作業性を向上させることができるターゲットアセンブリ及びターゲットユニットを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るターゲットアセンブリは、第１のターゲットユニットと、第２のターゲットユニットとを具備する。
上記第１のターゲットユニットは、筒状の第１のターゲット材と、筒状の第１の基体とを有する。上記第１のターゲット材は、第１の端面を有し、一軸方向に延びる。上記第１の基体は、第１の端部を有し、上記第１のターゲット材の内周側に接合される。
上記第２のターゲットユニットは、筒状の第２のターゲット材と、筒状の第２の基体とを有する。上記第２のターゲット材は、上記第１の端面と上記一軸方向に対向する第２の端面を有し、上記一軸方向に延びる。上記第２の基体は、上記第１の端部に係合する第２の端部を有し、上記第２のターゲット材の内周側に接合され、上記第１の端部と上記第２の端部との係合時に上記第１の端面と上記第２の端面との間に所定の大きさの間隙を形成する。

本発明の他の形態に係るターゲットアセンブリは、複数のターゲットユニットと、複数の連結部とを具備する。
上記複数のターゲットユニットは、一軸方向に延びる筒状のターゲット材と、上記ターゲット材の内周側に接合された筒状の基体とをそれぞれ有する。
上記複数の連結部は、上記複数のターゲットユニットの各々の間に設けられ、上記複数のターゲットユニットを上記一軸方向に間隙を介して相互に連結する。

本発明の一形態に係るターゲットユニットは、一軸方向に複数連結されることでターゲットアセンブリを構成するターゲットユニットであって、筒状のターゲット材と、筒状の基体とを具備する。
上記ターゲット材は、第１の端面と第２の端面とを有し、上記一軸方向に延びる。
上記基体は、第１の端部と、第２の端部とを有する。上記第１の端部は、上記第１の端面よりも上記一軸方向に平行な第１の方向に突出する第１の係合部を有する。上記第２の端部は、上記第２の端面よりも上記第１の方向とは反対側の第２の方向に突出し上記第１の係合部と同一形状の係合部と係合可能な第２の係合部を有する。上記基体は、上記ターゲット材の内周側に接合される。

本発明の一実施形態に係るターゲットアセンブリを示す側面図である。 本発明の一実施形態に係るターゲットアセンブリを示す側断面図である。 本発明の一実施形態に係るターゲットユニットの構成を示す側断面図である。 隣接する２つのターゲットユニットの連結前の様子を示す側面図である。 上記ターゲットアセンブリの連結部の構成を示す要部の拡大断面図であり、（Ａ）は連結前の状態を示し、（Ｂ）は連結後の状態を示している。 本発明の他の実施形態に係るターゲットアセンブリの連結部の構成を示す要部の拡大断面図であり、（Ａ）は連結前の状態を示し、（Ｂ）は連結後の状態を示している。 本発明のさらに他の実施形態に係るターゲットアセンブリの連結部の構成を示す要部の拡大断面図であり、（Ａ）は連結前の状態を示し、（Ｂ）は連結後の状態を示している。

本発明の一実施形態に係るターゲットアセンブリは、第１のターゲットユニットと、第２のターゲットユニットとを具備する。
上記第１のターゲットユニットは、筒状の第１のターゲット材と、筒状の第１の基体とを有する。上記第１のターゲット材は、第１の端面を有し、一軸方向に延びる。上記第１の基体は、第１の端部を有し、上記第１のターゲット材の内周側に接合される。
上記第２のターゲットユニットは、筒状の第２のターゲット材と、筒状の第２の基体とを有する。上記第２のターゲット材は、上記第１の端面と上記一軸方向に対向する第２の端面を有し、上記一軸方向に延びる。上記第２の基体は、上記第１の端部に係合する第２の端部を有し、上記第２のターゲット材の内周側に接合され、上記第１の端部と上記第２の端部との係合時に上記第１の端面と上記第２の端面との間に所定の間隙を形成する。

上述のように上記ターゲットアセンブリは、第１のターゲットユニットと、第２のターゲットユニットとの分割構造を有する。すなわち個々のターゲットユニットが相互に連結されることで一軸方向に延びる長尺のターゲットアセンブリが構成される。

上記ターゲットアセンブリにおいては、第１の端部及び第２の端部は、互いに係合関係にあり、第１のターゲットユニットと第２のターゲットユニットとの連結時に第１のターゲット材の端面（第１の端面）と第２のターゲット材の端面（第２の端面）との間に所定の間隙を形成する。これにより、スパッタ中における第１のターゲット材及び第２のターゲット材の割れを抑制することができる。

さらに上記ターゲットアセンブリによれば、個々のターゲットユニットを連結する前にターゲット材と基体とを相互に接合しておくことができるため、長尺の基体に複数のターゲット材を接合する場合と比較して、作業が容易となり、ターゲット材どうしの間隙の調整も容易となる。これによりターゲットアセンブリの組立作業性を向上させることができる。

本発明の一実施形態において、上記第１の端部は、上記第１の端部の外周面に形成された第１の係合部と、上記第１の係合部の外周側に形成された第１の当接面とを有する。この場合、上記第２の端部は、上記第２の端部の外周面に形成され上記第１の係合部に係合する第２の係合部と、上記第２の係合部の外周側に形成され上記第１の端部との係合時に上記第１の当接面と当接することで上記間隙を形成する第２の当接面とを有する。
これにより、第１の端部と第２の端部との係合時に、第１のターゲット材と第２のターゲット材との間に所定の間隙を自動的に形成することができるので、間隙の調整作業が不要となる。

上記第１の端部と上記第２の端部とは互いに分離可能に構成されてもよい。これにより、メンテナンス性の向上を図れると共に、基材の再利用が可能となる。このような構造例として、上記第１の係合部は、例えば、上記第２の係合部に螺合するネジ部を有する。

上記以外の構造例として、上記第１の係合部は、上記第１の基体の径方向に突出する突起部を有する。上記第２の係合部は、上記突起部と係合し上記一軸方向に延びる第１の溝と、上記突起部と係合し上記第１の溝から上記第２の端部の周方向に向かって延びる第２の溝とを有する。

上記ターゲットアセンブリは、シール部材をさらに具備してもよい。上記シール部材は、上記第１の端部と上記第２の端部との間に配置され、上記第１の端部と上記第２の端部との間を液密にシールする。
これにより、第１のターゲットユニット及び第２のターゲットユニットとの連結部における液漏れを防止できるので、ターゲットアセンブリの内部を冷却水の通路として機能させることができる。

本発明の他の実施形態に係るターゲットアセンブリは、複数のターゲットユニットと、複数の連結部とを具備する。
上記複数のターゲットユニットは、一軸方向に延びる筒状のターゲット材と、上記ターゲット材の内周側に接合された筒状の基体とをそれぞれ有する。
上記複数の連結部は、上記複数のターゲットユニットの各々の間に設けられ、上記複数のターゲットユニットを上記一軸方向に間隙を介して相互に連結する。

上記ターゲットアセンブリは、複数のターゲットユニットの分割構造を有する。すなわち個々のターゲットユニットが相互に連結されることで一軸方向に延びる長尺のターゲットアセンブリが構成される。上記ターゲットアセンブリにおいて連結部は、複数のターゲットユニットの連結時に隣接するターゲット材の間に所定の間隙を形成する。これにより、スパッタ中における第１のターゲット材及び第２のターゲット材の割れを抑制することができる。さらに上記ターゲットアセンブリによれば、個々のターゲットユニットを連結する前にターゲット材と基体とを相互に接合しておくことができるため、長尺の基体に複数のターゲット材を接合する場合と比較して、作業が容易となり、ターゲット材どうしの間隙の調整も容易となる。これによりターゲットアセンブリの組立作業性を向上させることができる。

上記連結部は、複数のターゲットユニットとは別の部材で構成されてもよいし、相互に連結される２つのターゲットユニットの各々の端部に一体的に形成されてもよい。

本発明の一実施形態に係るターゲットユニットは、一軸方向に複数連結されることでターゲットアセンブリを構成するターゲットユニットであって、筒状のターゲット材と、筒状の基体とを具備する。
上記ターゲット材は、第１の端面と第２の端面とを有し、上記一軸方向に延びる。
上記基体は、第１の端部と、第２の端部とを有する。上記第１の端部は、上記第１の端面よりも上記一軸方向に平行な第１の方向に突出する第１の係合部を有する。上記第２の端部は、上記第２の端面よりも上記第１の方向とは反対側の第２の方向に突出し上記第１の係合部と同一形状の係合部と係合可能な第２の係合部を有する。上記基体は、上記ターゲット材の内周側に接合される。

上記ターゲットユニットによれば、上記一軸方向に沿って当該ターゲットユニットを複数連結することで、上記一軸方向に延びる長尺のターゲットアセンブリが構成される。各ターゲットユニットは、第１の端部と第２の端部とを有し、隣接する２つのターゲットユニットのうち一方のターゲットユニットの第１の端部は、他方のターゲットユニットの第２の端部に連結される。

これらターゲットユニットの連結は、上記一方の第１の端部に形成された第１の係合部と、上記他方の第２の端部に形成された第２の係合部との係合により実現される。そして上記第１の端部及び上記第２の端部はそれぞれ、ターゲット材の第１の端面及び第２の端面よりも上記一軸方向に突出しているため、両端部の係合時、上記一方のターゲットユニットのターゲット材の端面（第１の端面）と、上記他方のターゲットユニットのターゲット材の端面（第２の端面）とは、所定の間隙を介して上記一軸方向に対向することになる。これにより上記一軸方向に間隙を介して対向する複数のターゲット材を備えたターゲットアセンブリを構成することができる。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。

＜第１の実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態に係るターゲットアセンブリを示す側面図、図２はその側断面図である。本実施形態のターゲットアセンブリ１０は、複数のターゲットユニットの組立体で構成される。各図においてＸ軸及びＹ軸は相互に直交する平面方向を示し、Ｘ軸はＸ軸及びＹ軸にそれぞれ直交する方向を示す。

［ターゲットアセンブリ］
本実施形態のターゲットアセンブリ１０は、Ｘ軸方向に沿って連結された複数のターゲットユニット１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ，１０Ｅ，１０Ｆと、これら複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆの各々の間に設けられた複数の連結部１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃ，１１Ｄ，１１Ｅとを有する。連結されるターゲットユニットの数は図示の例に限られず、適用されるスパッタ装置の仕様等に応じて適宜変更することが可能である。

［ターゲットユニット］
各々のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆはそれぞれ同様の構成を有しており、図２に示すように、Ｘ軸方向に延びる筒状のターゲット材１０１と、ターゲット材１０１の内周側に接合された筒状の基体１０２とをそれぞれ有する。

図３は、ターゲットユニット１０Ａの構成を示す側断面図である。ターゲットユニット１０Ａは、Ｘ軸方向に沿った軸芯１０ｘを有する略円筒形状を有する。

ターゲット材１０１は、第１の端面１０１ａと、その反対側の第２の端面１０１ｂとを有する円筒体であり、金属、合金、金属化合物等で構成される。第１の端面１０１ａ及び第２の端面１０１ｂはそれぞれ、Ｘ軸と垂直な平面で形成されている。ターゲット材１０１は、典型的には、円筒形状の鋳塊、焼結体等で構成されるが、これ以外にも溶射法やコールドスプレー法等で形成された堆積膜であってもよい。

基体１０２は、ターゲット材１０１と同心的な円筒形状のステンレス鋼、銅、アルミニウム等の金属材料で構成され、内部には冷却水の循環通路が形成される。基体１０２は、スパッタ時にターゲット材１０１を冷却するバッキングチューブとして機能する。ターゲット材１０１は基体１０２の外周面にインジウム等のろう材を介して接合されるが、その図示は省略されている。

基体１０２は、円筒形状の第１の端部１０２ａと、その反対側に位置する円筒形状の第２の端部１０２ｂとを有する。第１の端部１０２ａは、ターゲット材１０１の第１の端面１０１ａよりもＸ軸の正の方向に突出し、その外周面には第１の係合部１１ａが形成されている。第２の端部１０２ｂは、ターゲット材１０１の第２の端面１０１ｂよりもＸ軸の負の方向に突出し、その内周面には第２の係合部１１ｂが形成されている。

第２の係合部１１ｂは、第１の係合部１１ａと同一形状の係合部と係合可能に構成されている。第１の係合部１１ａの外径は、第２の係合部１１ｂの内径とほぼ同等の大きさに形成されている。本実施形態において第１の係合部１１ａはネジ部で構成されており、第２の係合部１１ｂは、第１の係合部１１ａと同一のネジ部と螺合可能なネジ溝で構成されている。

第１の端部１０２ａ及び第２の端部１０２ｂはさらに、第１の当接面１２ａ及び第２の当接面１２ｂをそれぞれ有する。第１の当接面１２ａは、第１の係合部１１ａよりも外周側に位置する円環状の平面で構成され、本実施形態ではターゲット材１０１の第１の端面１０１ａと同一平面上に形成される。第２の当接面１２ｂは、第２の端部１０２ｂの先端に形成された円環状の平面で構成される。

本実施形態においてターゲットユニット１０Ｂ〜１０Ｆは、ターゲットユニット１０Ａと同一の構造をそれぞれ有する。図４は、隣接する２つのターゲットユニット１０Ａ，１０Ｂの連結前の様子を示す側面図である。ターゲットユニット１０Ｂは、ターゲットユニット１０Ａと同軸上に、Ｘ軸方向に相互に対向するように配置される。したがって、ターゲットユニット１０Ａの第１の端部１０２ａと、ターゲットユニット１０Ｂの第２の端部１０２ｂとは、Ｘ軸方向に相互に対向関係にある。

［連結部］
連結部１１は、隣接する２つのターゲットユニットの間を相互に連結する。連結部１１は、ターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆとは別部材で構成されてもよいが、本実施形態では、隣接する２つのターゲットユニットの相互に対向する２つの端部で構成される。図５（Ａ），（Ｂ）は、本実施形態の連結部１１の構成を示す要部の拡大断面図であり、（Ａ）は連結前の状態を示し、（Ｂ）は連結後の状態を示している。

図５（Ａ）に示すように、ターゲットユニット１０Ａとターゲットユニット１０Ｂとを連結する連結部１１は、ターゲットユニット１０Ａに形成された第１の係合部１１ａと、ターゲットユニット１０Ｂに形成された第２の係合部１１ｂとにより構成される。ターゲットユニット１０Ａの第１の係合部１１ａは、ターゲットユニット１０Ｂの第２の係合部１１ｂに螺合するネジ部を有し、第２の係合部１１ｂに螺合することで、図５（ｂ）に示すようにターゲットユニット１０Ａ，１０Ｂが相互に連結される。

このとき、ターゲットユニット１０Ａの第１の当接面１２ａは、ターゲットユニット１０Ｂの第２の当接面１２ｂと当接することで、第１の係合部１１ａと第２の係合部１１ｂとの係合量が規制される。本実施形態では、第１の当接面１２ａは、ターゲット材１０１の第１の端面１０１ａと同一平面上に形成されており、第２の当接面１２ｂは、ターゲット材１０１の第２の端面１０１ｂよりもＸ軸方向に突出する第２の端部１０２ｂの先端に形成されている。したがって、第２の端部１０２ｂの突出量をＧ０とすると、両ターゲットユニット１０Ａ，１０Ｂが相互に連結された際、ターゲットユニット１０Ａのターゲット材の第１の端面１０１ａと、ターゲットユニット１０Ｂのターゲット材１０１の第２の端面１０１ｂとの間には、Ｘ軸方向に上記Ｇ０以上の間隙Ｇが形成されることになる。本実施形態では、第１の係合部１１ａは第２の係合部１１ｂに最大係合量で係合される。これにより両ターゲット材１０１の間隙Ｇを、一定量Ｇ０に規制することができる。

間隙Ｇの大きさは特に限定されず、ターゲット材１０１及び基体１０２の材質や体積（長さ、厚み）等に応じて適宜設定される。例えば、ターゲット材１０１の軸方向の長さが２６５ｍｍ、基体１０２の外径が１３３ｍｍ、その内径が１２５ｍｍの場合、間隙Ｇの大きさは０．３〜０．５ｍｍの範囲に設定される。

ターゲットユニット１０Ｂ〜１０Ｆ各々の間の連結部１１も上述と同様にして構成される。これにより、ターゲット材１０１が所定の間隙Ｇを介してＸ軸方向に複数配列された長尺のターゲットアセンブリ１０が構成される。

［シール部材］
ターゲットアセンブリ１０は、シール部材１０３を有する。シール部材１０３は、例えばゴム製あるいは合成樹脂製の環状の弾性体で構成され、ターゲットユニット１０Ａの第１の端部１０２ａとターゲットユニット１０Ｂの第２の端部１０２ｂとの間に配置されている。

本実施形態においてシール部材１０３は、各ターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆの第２の端部１０２ｂの内周部に配置されている。これによりターゲットユニット１０Ａ，１０Ｂの連結時、ターゲットユニット１０Ａの第１の端部１０２ａに密着することで、ターゲットユニット１０Ａの第１の端部１０２ａとターゲットユニット１０Ｂの第２の端部１０２ｂとの間が液密にシールされる。

シール部材１０３は、ターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆ各々の第２の端部１０２ｂにそれぞれ配置されている。これにより各連結部１１におけるシール機能が確保され、ターゲットアセンブリ１０の内部を循環する冷却水の液漏れを防止することができる。

［ターゲットアセンブリの作用］
以上のように本実施形態のターゲットアセンブリ１０は、複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆの分割構造を有する。すなわち個々のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆが相互に連結されることでＸ軸方向に延びる長尺のターゲットアセンブリ１０が構成される。

本実施形態のターゲットアセンブリ１０において連結部１１は、複数のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆの連結時に隣接するターゲット材１０１の間に所定の間隙Ｇを形成する。これにより、スパッタ中における各ターゲット材１０１の割れを抑制することができる。

また本実施形態によれば、個々のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆがそれぞれ着脱可能に構成されているため、メンテナンス性の向上を図れると共に、基材の再利用が可能となる。

さらに本実施形態のターゲットアセンブリ１０によれば、個々のターゲットユニット１０Ａ〜１０Ｆを連結する前にターゲット材１０１と基体１０２とを相互に接合しておくことができるため、長尺の基体に複数のターゲット材を接合する場合と比較して、作業が容易となり、ターゲット材どうしの間隙の調整も容易となる。これによりターゲットアセンブリの組立作業性を向上させることができる。

＜第２の実施形態＞
図６（Ａ），（Ｂ）は、本発明の第２の実施形態によるターゲットアセンブリの要部の拡大断面図である。以下、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、上述の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。

本実施形態のターゲットアセンブリは、ターゲットユニットの連結構造が第１の実施形態と異なる。図６（Ａ），（Ｂ）は、隣接する２つのターゲットユニット２０Ａ，２０Ｂの間に設けられた連結部２１の構成を示している。ターゲットユニット２０Ａ，２０Ｂはそれぞれ同様に構成されており、基体１０２の両端に形成された円筒形状の第１の端部２０２ａと、円筒形状の第２の端部２０２ｂとを有する。連結部２１は、ターゲットユニット２０Ａの第１の端部２０２ａとターゲットユニット２０Ｂの第２の端部２０２ｂとで構成され、これら第１の端部２０２ａと第２の端部２０２ｂとを介して両ターゲットユニット２０Ａ，２０Ｂが相互に連結される。

なお第１の実施形態と同様に、ターゲットユニット２０Ｂの第１の端部に図示しない他のターゲットユニットの第２の端部がさらに連結されていてもよく、連結されるターゲットユニットの数は特に限定されない。

第１の端部２０２ａは、第１の係合部２１ａと第１の当接面２２ａとを有する。第１の係合部２１ａは、第１の端部２０２ａの外周面に形成されており、第１の端部２０２ａの径方向に突出する複数の突起部２１ａ１を有する。突起部２１ａ１は、単数でもよいが、本実施形態では第１の端部２０２ａの先端近傍に等角度間隔で複数形成されている。第１の当接面２２ａは、第１の係合部２１ａの外周側に形成された環状の平面であり、本実施形態ではターゲット材１０１の第１の端面１０１ａと同一平面上に形成されている。

一方、第２の端部２０２ｂは、第２の係合部２１ｂと第２の当接面２２ｂとを有する。第２の係合部２１ｂは、第２の端部２０２ｂの内周面に、第１の係合部２１ａと係合可能に形成されている。第２の係合部２１ｂには、Ｘ軸方向に延びる第１の溝２１ｂ１と、第１の溝２１ｂ１の終端から第２の端部２０２ｂの一周方向に向かって延びる第２の溝２１ｂ２とを有する。第１の溝２１ｂ１は、突起部２１ａ１の形成位置に対応して複数形成されており、その長さは、第１の端部２０２ａの第１の当接面２２ａから突起部２１ａ１までの距離に相当する。第２の当接面２２ｂは、第２の端部２０２ｂの先端に形成された環状の平面であり、ターゲット材１０１の第２の端面１０１ｂよりもＸ軸方向にＧ０だけ突出している。

以上のように構成される本実施形態の連結部２１においては、ターゲットユニット２０Ａとターゲットユニット２０Ｂとの連結時、ターゲットユニット２０Ａの突起部２１ａ１がターゲットユニット２０Ｂの第１の溝２２ｂ１と係合するように第１の係合部２１ａが第２の係合部２１ｂと係合される。第１の当接面２２ａと第２の当接面２２ｂとが相互に当接したとき、突起部２１ａ１は第１の溝２１ｂ１の終端に到達すると共に、第１の端部２０２ａの先端がシール部材１０３に密着する。また、ターゲットユニット２０Ａのターゲット材１０１とターゲットユニット２０Ｂのターゲット材１０１の間には図６（Ｂ）に示すように間隙Ｇが形成される。この状態でターゲットユニット２０Ａはターゲットユニット２０Ｂに対してＸ軸まわりに一方向へ所定角度回転される。これにより突起部２１ａ１が第２の溝２１ｂ２へ係合し、両ターゲットユニット２０Ａ，２０Ｂの連結状態がロックされる。

本実施形態によっても上述の第１の実施形態と同様の作用を得ることができる。本実施形態によれば、ターゲットユニット２０Ａ，２０Ｂの連結作業をＸ軸方向への移動操作とＸ軸まわりの所定角度の回転操作によって行うことができるので、作業の容易化を図ることができる。また連結と同時にターゲット材１０１の間に自動的に間隙Ｇを形成できるため、面倒な間隙の調整作業が不要となる。

＜第３の実施形態＞
図７（Ａ），（Ｂ）は、本発明の第３の実施形態によるターゲットアセンブリの要部の拡大断面図である。以下、第１の実施形態と異なる構成について主に説明し、上述の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。

本実施形態のターゲットアセンブリは、ターゲットユニットの連結構造が第１の実施形態と異なる。図７（Ａ）は、隣接する２つのターゲットユニット３０Ａ，３０Ｂの間に設けられた連結部３１の構成を示している。ターゲットユニット３０Ａ，３０Ｂはそれぞれ同様に構成されており、円筒形状の第１の端部３０２ａと円筒形状の第２の端部３０２ｂとを有する基体１０２を有する。連結部３１は、ターゲットユニット３０Ａの第１の端部３０２ａとターゲットユニット３０Ｂの第２の端部３０２ｂとで構成され、これら第１の端部３０２ａと第２の端部３０２ｂとを介して両ターゲットユニット３０Ａ，３０Ｂが相互に連結される。

なお第１の実施形態と同様に、ターゲットユニット３０Ｂの第１の端部に図示しない他のターゲットユニットの第２の端部がさらに連結されていてもよく、連結されるターゲットユニットの数は特に限定されない。

第１の端部３０２ａは、第１の係合部３１ａと第１の当接面３２ａとを有する。第１の係合部３１ａは、第１の端部３０２ａの外周面に形成されている。第１の当接面３２ａは、第１の係合部３１ａの外周側に形成された環状の平面であり、本実施形態ではターゲット材１０１の第１の端面１０１ａと同一平面上に形成されている。

一方、第２の端部３０２ｂは、第２の係合部３１ｂと第２の当接面３２ｂとを有する。第２の係合部３１ｂは、第２の端部３０２ｂの内周面に、第１の係合部３１ａと係合可能に形成されている。第２の当接面３２ｂは、第２の端部３０２ｂの先端に形成された環状の平面であり、ターゲット材１０１の第２の端面１０１ｂよりもＸ軸方向にＧ０だけ突出している。

第１の端部３０２ａの先端内周側には、複数の係合凹所３１ａ１が等角度間隔で形成されている。一方、第２の端部３０２ｂの内周側には、係合凹所３１ａ１にそれぞれ係合可能な複数の係合ピン３１ｂ１が設けられている。係合ピン３１ｂ１は、第２の端部３０２ｂの内周部に配置されたシール部材１０３の近傍に等角度間隔で配置される。係合ピン３１ｂ１は、第１の端部３０２ａと当接する操作端ｂ１０と、係合凹所３１ａ１に係合する係合端ｂ２０とを有し、操作部ｂ１０は、第２の端部３０２ｂの内周部に図示しない回動軸のまわりに回動可能に支持される。

本実施形態においては、係合ピン３１ｂ１は、ターゲットユニット２０Ａとターゲットユニット２０Ｂとの連結時、図７（Ｂ）に示すように第１の端部３０２ａと操作端ｂ１０との当接により上記回動軸のまわりに反転し、係合端ｂ２０が係合凹所３１ａ１に係合するように構成される。そして、第１の端部３０２ａに対するシール部材１０３の圧縮反力によって、係合凹所３１ａ１と係合端ｂ２０との係合状態が維持される。これにより、ターゲットユニット２０Ａとターゲットユニット２０Ｂとの連結状態がロックされる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

例えば以上の実施形態では、複数のターゲットユニットはすべて同一の構成を有するものとして説明したが、ターゲットアセンブリの両端に位置するターゲットユニットの端部は、スパッタ装置への実装に適するような適宜の形態が採用可能である。

また、各々のターゲットユニットは、すべて同一の構成のもの限られず、例えば一方のターゲットユニットの両端部は同一形状の係合部で構成されてもよい。この場合、当該一方のターゲットユニットに連結される他方のターゲットユニットの両端部は、上記係合部と係合可能な他の係合部で構成される。そして、上記一方のターゲットユニットと他方のターゲットユニットとがそれぞれ一軸方向に交互に連結されることで、複数のターゲット材を有するターゲットアセンブリを構成することができる。

１０…ターゲットアセンブリ
１０Ａ〜１０Ｆ，２０Ａ，２０Ｂ，３０Ａ，３０Ｂ…ターゲットユニット
１１，２１，３１…連結部
１１ａ，２１ａ，３１ａ…第１の係合部
１１ｂ，２１ｂ，３１ｂ…第２の係合部
１２ａ，２２ａ，３２ａ…第１の当接面
１２ｂ，２２ｂ，３２ｂ…第２の当接面
２１ａ１…突起部
２１ｂ１…第１の溝
２１ｂ２…第２の溝
１０１…ターゲット材
１０１ａ…第１の端面
１０１ｂ…第２の端面
１０２…基体
１０２ａ，２０２ａ，３０２ａ…第１の端部
１０２ｂ，２０２ｂ，３０２ｂ…第２の端部

Claims (7)

1. 第１の端面を有し一軸方向に延びる筒状の第１のターゲット材と、第１の端部を有し前記第１のターゲット材の内周側に接合された筒状の第１の基体とを有する第１のターゲットユニットと、
   前記第１の端面と前記一軸方向に対向する第２の端面を有し前記一軸方向に延びる筒状の第２のターゲット材と、前記第１の端部に係合する第２の端部を有し、前記第２のターゲット材の内周側に接合され、前記第１の端部と前記第２の端部との係合時に前記第１の端面と前記第２の端面との間に所定の間隙を形成する筒状の第２の基体とを有する第２のターゲットユニットと
   を具備するターゲットアセンブリ。
2. 請求項１に記載のターゲットアセンブリであって、
   前記第１の端部は、前記第１の端部の外周面に形成された第１の係合部と、前記第１の係合部の外周側に形成された第１の当接面とを有し、
   前記第２の端部は、前記第２の端部の外周面に形成され前記第１の係合部に係合する第２の係合部と、前記第２の係合部の外周側に形成され前記第１の端部との係合時に前記第１の当接面と当接することで前記間隙を形成する第２の当接面とを有する
   ターゲットアセンブリ。
3. 請求項２に記載のターゲットアセンブリであって、
   前記第１の係合部は、前記第２の係合部に螺合するネジ部を有する
   ターゲットアセンブリ。
4. 請求項２に記載のターゲットアセンブリであって、
   前記第１の係合部は、前記第１の基体の径方向に突出する突起部を有し、
   前記第２の係合部は、前記突起部と係合し前記一軸方向に延びる第１の溝と、前記突起部と係合し、前記第１の溝から前記第２の端部の周方向に向かって延びる第２の溝とを有する
   ターゲットアセンブリ。
5. 請求項１〜４のいずれか１つに記載のターゲットアセンブリであって、
   前記第１の端部と前記第２の端部との間に配置され、前記第１の端部と前記第２の端部との間を液密にシールするシール部材をさらに具備する
   ターゲットアセンブリ。
6. 一軸方向に延びる筒状のターゲット材と、前記ターゲット材の内周側に接合された筒状の基体とをそれぞれ有する複数のターゲットユニットと、
   前記複数のターゲットユニットの各々の間に設けられ、前記複数のターゲットユニットを前記一軸方向に間隙を介して相互に連結する複数の連結部と
   を具備するターゲットアセンブリ。
7. 一軸方向に複数連結されることでターゲットアセンブリを構成するターゲットユニットであって、
   第１の端面と第２の端面とを有し前記一軸方向に延びる筒状のターゲット材と、
   前記第１の端面よりも前記一軸方向に平行な第１の方向に突出する第１の係合部を有する第１の端部と、前記第２の端面よりも前記第１の方向とは反対側の第２の方向に突出し前記第１の係合部と同一形状の係合部と係合可能な第２の係合部を有する第２の端部とを含み、前記ターゲット材の内周側に接合された筒状の基体と
   を具備するターゲットユニット。

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