JP2013166570A - 薄肉ガラス板積層体およびその分離方法、並びに薄肉ガラス板 - Google Patents

Abstract

【課題】板厚３００μｍ以下の薄肉ガラス板に施すべき各種加工処理の処理性や、薄肉ガラス板の取り扱い性を向上する。
【解決手段】板厚が３００μｍ以下の薄肉ガラス板４を支持部材２の支持面３上に平面配置した薄肉ガラス板積層体１であって、支持部材２のうち、少なくとも支持面３がガラス面で構成され、複数の薄肉ガラス板４が支持面３上に平面配置されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、支持部材の支持面上に、液晶表示基板や有機ＥＬ表示基板などの表示基板、有機ＥＬ照明基板などの照明基板に用いられる薄肉のガラス板を平面配置してなる薄肉ガラス板積層体およびその分離方法、並びに薄肉ガラス板に関する。

周知のように、例えば、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などの表示装置の他、有機ＥＬ照明装置などの照明装置は薄型化および軽量化が推進されている。特に有機ＥＬ表示装置や有機ＥＬ照明装置については、持ち運びを容易化するために折り畳みや巻き取りを可能にすることに加え、湾曲状態でも使用可能にすることが求められている。従って、上記の表示装置や照明装置などの各種製品に組み込んで使用されるガラス板は、湾曲状態での使用が可能な高い可撓性を具備している必要がある。そこで、下記の特許文献１に開示されているように、板厚が数百μｍ以下程度にまで薄板化されたガラス板（ガラスフィルム）が開発されるに至っている。

可撓性確保の観点からは、樹脂フィルムをガラス板の代替品として使用することも考えられるが、樹脂フィルムはガラス板に比べて気体のバリア性（ガスバリア性）に劣る。そのため、例えば有機ＥＬ表示装置のように、内部に組み込まれる発光体が酸素や水蒸気等の気体との接触により劣化を来たしてしまう製品においては、ガスバリア性の低い樹脂フィルムをガラス板の代替品として使用できない。また、同様の理由から、他の分野においても、ガラス板の代替品として樹脂フィルムを使用することができない場合がある。従って、ガスバリア性確保の観点からも、ガラスフィルムの需要が高まりつつある。

さらに、ガラスフィルムは可撓性に優れることから、巻芯の外周にロール状に巻き取ることでいわゆるガラスロールとすることが可能である。ガラスロールは、荷役作業や運搬を効率的に行い得るという利点がある他、いわゆるロールツーロール（Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ）方式を採用して、ガラスフィルムの表面（有効面）に施すべき各種処理を効率的に行い得るという利点もある。このように、ガラスフィルムは、各種工程の作業性や加工性向上にも寄与し得ることから、その需要が一層高まる傾向にある。

特開２００８−１３３１７４号公報

ところで、ガラスフィルムは、ガラスロールの状態ではなく、所定寸法に切断された、いわゆるガラス板の状態での納品を要求される場合がある。しかしながら、ガラスフィルムは、板厚が至極薄いために低強度で撓み易い。従って、ガラスフィルムを所定寸法に切断してなる薄肉ガラス板単体では、種々の加工工程、例えば表面処理工程へ投入することができない場合がある。これに加え、薄肉ガラス板単体では、取り扱いに格別の配慮が必要であるから、作業効率の低下を招くという問題もある。

このような実情に鑑み、本発明の主な目的は、所定寸法に切断された薄肉のガラス板（薄肉ガラス板）に施すべき各種加工処理の処理性や、薄肉ガラス板の取り扱い性を向上し、もって薄肉ガラス板、ひいては種々の製品の生産性や歩留の向上に寄与することにある。

上記の目的を達成するために創案された第１の発明は、支持部材の支持面上に板厚が３００μｍ以下の薄肉ガラス板を平面配置してなる薄肉ガラス板積層体であって、支持部材のうち、少なくとも支持面がガラス面で構成され、複数の薄肉ガラス板が、支持面上に平面配置されていることを特徴とする。なお、ここでいう「平面配置」とは、「支持部材（支持面）と平行に配置」と同義である（以下同様）。

上記のような薄肉ガラス板積層体であれば、低強度で、単独での取り扱い時に破損等する可能性が高い薄肉ガラス板を安定的に支持した状態、すなわち薄肉ガラス板が破損等する可能性を可及的に低減し得る状態で、薄肉ガラス板に種々の加工処理を施したり、薄肉ガラス板を輸送したりすることができる。そして本発明に係る薄肉ガラス板積層体は、複数の薄肉ガラス板を支持部材の支持面上に平面配置したものであるから、加工効率や輸送効率を向上することができる。また、支持部材の支持面をガラス面（ガラス）で構成すれば、例えば支持面の表面性状を調整することにより、薄肉ガラス板と支持部材の密着力をコントロールすることができる。さらに、ガラスは、一般に耐熱性や耐薬品性に優れる。従って、支持面をガラス面で構成すれば、種々の加工処理の実行中等に薄肉ガラス板を適切な態様で支持することができる。

支持部材の支持面をガラス面で構成すれば、薄肉ガラス板を、支持面に対して剥離可能に直接接着することができる。ここでいう「直接接着」とは、薄肉ガラス板と支持部材との間に接着剤等を介在させずとも、薄肉ガラス板と支持部材とが直接的に接着し、各種加工工程の実行中や輸送中に通常作用する程度の引っ張り応力やせん断応力によっては両者の密着状態が解消されないことを意味する。

このようにすれば、支持部材の支持面上に複数の薄肉ガラス板を平面配置してなる薄肉ガラス板積層体を簡便かつ迅速に製作することができる。また、これに加え、薄肉ガラス板と支持部材の分離も簡便かつ迅速に実行することができる。つまり、薄肉ガラス板と支持部材の直接接着状態は、薄肉ガラス板および支持部材の少なくとも一方に、他方から分離させる方向の引き剥がし力を付与するだけで解消することができるので、両者の分離作業を簡便かつ迅速に実行することができる。

なお、支持部材から薄肉ガラス板を分離させる際に付与すべき上記の引き剥がし力は、例えば、薄肉ガラス板および支持部材の少なくとも一方に粘着テープを貼り付けた状態で、この粘着テープを他方から徐々に離反移動させる（粘着テープを徐々に引き剥がす）ことによって付与することができる。

薄肉ガラス板を支持部材の支持面に剥離可能に直接接着させるには、支持部材として、支持面の表面粗さＲａが、０．３ｎｍ以上１．０ｎｍ以下とされたものを用いることが好ましい。このような表面性状（表面粗さ）を有する支持面は、例えば、ダウンドロー法などで得られたガラス板の支持面となる領域に対し、プラズマ処理（例えば、大気圧プラズマ処理）等の表面改質処理を施すことにより、あるいは研削などの機械加工を施すことによって得ることができる。なお、ここでいう表面粗さＲａは、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）を用い、スキャンサイズ１０μｍ，スキャンレイト１Ｈｚ，サンプルライン５１２の条件で測定し、測定範囲１０μｍ四方の測定値から算出したものである。

以上の構成において、支持部材は、薄肉ガラス板よりも１００μｍ以上５００μｍ以下の範囲で厚肉の板状部材で構成することができる。このようにすれば、薄肉ガラス板積層体の重量化を招かない範囲で、当該積層体のハンドリング性を向上することができるので、薄肉ガラス板積層体（薄肉ガラス板）に種々の加工処理を施すときの作業性の他、薄肉ガラス板積層体の荷役性などが向上する。

上記構成において、薄肉ガラス板は、支持部材の支持面に対する被着面とは反対側の面に、表面処理が施されたものとすることができる。ここでいう「表面処理」には、電極等の機能性膜を生成するための成膜処理の他、粗面化処理等が含まれる。

また、上記の目的を達成するために創案された第２の発明は、支持部材の支持面上に板厚が３００μｍ以下の薄肉ガラス板を平面配置してなる薄肉ガラス板積層体であって、支持部材は、支持面が粘着面で構成された帯状の片面粘着テープからなり、支持面に薄肉ガラス板を複数貼り付けた状態でロール状に巻き取られていることを特徴とする。

このような構成の薄肉ガラス板積層体であれば、複数の薄肉ガラス板を支持部材の支持面に貼り付けた状態、すなわち複数の薄肉ガラス板を支持面で安定的に支持した状態で、いわゆるロールツーロール方式を採用して、薄肉ガラス板に施すべき種々の加工処理を効率的に行うことができる。また、このようなロール形態の薄肉ガラス板積層体であれば、取り扱い性が向上するので荷役作業や輸送を効率的に行い得る。一方、このような薄肉ガラス板積層体であっても、上述した本願の第１発明に係る薄肉ガラス板積層体と同様に、薄肉ガラス板および支持部材の少なくとも一方に他方から分離させる方向の引き剥がし力を付与する、という簡便な手段を採用することによって、支持部材から薄肉ガラス板を分離させることができる。

また、このような薄肉ガラス板積層体であれば、当該積層体から巻き出した支持部材の進行方向を、薄肉ガラス板と離間する方向に変更することにより、より具体的には、例えば巻き出し直後の支持部材の進行方向に対して９０°以上変更することによって、支持部材から薄肉ガラス板を分離することもできる。

以上に述べた薄肉ガラス板積層体の分離方法は、薄肉ガラス板を実使用する直前（例えば、製品に組み込む直前）に実行すれば良い。このようにした場合、薄肉ガラス板積層体から分離された薄肉ガラス板、もしくは薄肉ガラス板積層体の分離方法により作製された薄肉ガラス板は、安定的に支持された状態で適宜の加工処理が施され、および／又は輸送等された後に支持部材から分離されたものであることから、各種加工処理の実行中や輸送中における不具合発生が可及的に抑制された高品質のガラス板である。従って、薄肉ガラス板を組み込んだ製品を製造する際には、当該製品の生産性や歩留の向上に寄与することができる。

以上に示すように、本発明によれば、所定寸法に切断されることで得られた薄肉のガラス板（薄肉ガラス板）に施すべき各種加工処理の処理性や、薄肉ガラス板の取り扱い性を向上することができる。これにより、薄肉ガラス板、ひいては当該薄肉ガラス板を組み込んでなる種々の製品の生産性や歩留の向上に寄与することができる。

本発明の一実施形態に係る薄肉ガラス板積層体を概念的に示す図であり、（ａ）図は同積層体の平面図、（ｂ）図は同積層体の側面図である。 図１に示す薄肉ガラス板積層体を薄肉ガラス板と支持部材とに分離する際に使用する分離装置の一例を概念的に示す図である。 本発明の他の実施形態に係る薄肉ガラス板積層体の概略斜視図である。 図３に示すロール形態の薄肉ガラス板積層体を薄肉ガラス板と支持部材とに分離する際に使用する分離装置の一例を概念的に示す図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１（ａ）（ｂ）に、本発明の一実施形態に係る薄肉ガラス板積層体１の平面図および側面図をそれぞれ示す。同図に示す薄肉ガラス板積層体１は、平面視長方形状をなした板状の支持部材２の支持面３上に薄肉ガラス板４を平面配置したものであって、より詳しくは、有効面６（透明電極等の機能性膜を生成するための成膜処理や、表面改質処理などの表面処理が施される面）を上側に配置した複数の薄肉ガラス板４を、支持部材２の支持面３上に平面配置したものである。複数の薄肉ガラス板４は、ガラス面（ガラス）で構成された支持部材２の支持面３に対して剥離可能に直接接着されている。

図示例の薄肉ガラス板積層体１は、複数の薄肉ガラス板４が、平面視で長方形状をなした支持部材２の縦方向（短手方向）および横方向（長手方向）に概ね等間隔で整列配置されたものであるが、薄肉ガラス板４はランダムに配置される場合もある。また、薄肉ガラス板積層体１は、支持部材２の支持面３上に、有効面６に成膜処理等の各種処理が施されてなる複数の薄肉ガラス板４を平面配置した形態ともされる。

図１においては厚みを誇張して描いているが、本実施形態の薄肉ガラス板４は、板厚が１０μｍ以上３００μｍ以下、好ましくは５０μｍ以上２００μｍ以下、より好ましくは７０μｍ以上１５０μｍ以下とされた平面視矩形状のガラス板であり、最終的には、例えば液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置などの表示装置、あるいは有機ＥＬ照明装置などの電気・電子機器に組み込んで使用される。このような薄肉ガラス板４は、例えば、ダウンドロー法（特にオーバーフローダウンドロー法）によって上記厚みに成形された帯状のガラスフィルムを、レーザー割断やレーザー溶断等、公知の切断法で所定寸法に切断することにより得られる。オーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラス板の両面が成形部材と接触しない成形法であり、高い表面品位（表面精度）を有するガラス板を容易に得ることができるので、高い表面品位を求められる上述の各種製品用のガラス板を得る上で望ましい。もちろん、薄肉ガラス板４としては、その他の成形法、例えばリドロー法によって成形されたものが使用される場合もある。

薄肉ガラス板４は、例えばケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等で形成することができるが、特に無アルカリガラスが好適である。無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分の含有量が１０００ｐｐｍ以下、好ましくは５００ｐｐｍ以下、より好ましくは３００ｐｐｍ以下のガラスである。無アルカリガラスが好適な理由は、薄肉ガラス板４にアルカリ成分が含有されていると、表面においてアルカリイオンと水素イオンとの置換が発生するために構造的に粗となることから、表示装置等の最終製品に組み込んだ後、経年劣化によって破損し易くなるからである。

支持部材２は、支持面３がガラス面とされている限りにおいて任意の構成を採ることができる。すなわち、支持部材２は、単体のガラス板で構成することができる他、金属等、ガラス以外の材料で形成された基板と、支持面３を有するガラス板とを積層一体化したもので構成することもできる。本実施形態の支持部材２は、単体のガラス板で構成され、かつその板厚は、薄肉ガラス板４よりも１００μｍ以上５００μｍの範囲内で厚肉とされる（図１は板厚を誇張して描いている）。このような板厚の支持部材２を用いることにより、薄肉ガラス板積層体１の重量化を招かない範囲で、当該積層体１のハンドリング性を向上することができる。

支持部材２を構成するガラス板は、上述した表示装置等の最終製品に組み込まれるものではないので、その組成に特段の限定はない。但し、本実施形態のように、薄肉ガラス板４を支持部材２の支持面３に剥離可能に直接接着させた状態で、薄肉ガラス板４に加熱を伴う加工処理（例えば、有効面６に透明電極等の機能性膜を生成するための成膜処理）を施すような場合には、支持すべき薄肉ガラス板４と同一の組成を有するガラス（同種のガラス）で支持部材２を形成するのが望ましい。この理由は、支持部材２と薄肉ガラス板４の熱膨張率の差に起因して両者が剥離等し、加工処理が適切になされないような事態を可及的に防止することができるからである。なお、支持部材２と薄肉ガラス板４とを同一の組成を有するガラスで形成するのが難しい場合でも、例えば、３０〜３８０℃における熱膨張率の差が５×１０^-7／℃以内のガラスで形成された支持部材２および薄肉ガラス板４を積層させた薄肉ガラス板積層体１であれば、成膜処理中における両者２，４の密着状態を安定的に維持することができる。

本実施形態のように、支持部材２の支持面３に薄肉ガラス板４を剥離可能に直接接着させるには、少なくとも、支持部材２として、支持面３の表面粗さＲａが０．３ｎｍ以上１．０ｎｍ以下に仕上げられたガラス板を用いるのが好ましい。支持面３があまりに平滑化された（支持面３の表面粗さＲａが０．３ｎｍよりも小さい）ガラス板を用いると、支持部材２と薄肉ガラス板４の密着力が強くなり過ぎるために、薄肉ガラス板４を支持部材２から円滑に分離させることが困難となり、支持面３の表面粗さＲａが１．０ｎｍを超える程度に粗面化されたガラス板を用いると、支持部材２と薄肉ガラス板４の間に必要とされる密着強度を十分に確保することができず、両者の意図せぬ分離等を招来するおそれがあるからである。このような表面粗さＲａを有する支持部材２としてのガラス板は、例えば、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法によって成形され、支持面３（となる領域）にプラズマ処理（例えば、大気圧プラズマ処理）等の表面改質処理や適当な機械加工が施されたガラス板で構成することができる。

以上に述べたような薄肉ガラス板積層体１であれば、低強度で、単独での取り扱い時に破損等する可能性が高い薄肉ガラス板４を安定的に支持した状態、すなわち薄肉ガラス板４が破損等する可能性を可及的に低減し得る状態で、薄肉ガラス板４に種々の加工処理を施したり、薄肉ガラス板４を輸送したりすることができる。そして、薄肉ガラス板積層体１は、複数の薄肉ガラス板４を支持部材２の支持面３上に平面配置してなるものであるから、加工効率や輸送効率が飛躍的に向上する。また、支持部材２の支持面３をガラス面で構成すれば、例えば支持面３の表面性状（表面粗さの他、後述する清浄度等）を調整することにより、薄肉ガラス板４と支持部材２の密着力をコントロールすることができる。さらに、ガラスは、一般に耐熱性や耐薬品性に優れる。従って、支持面３をガラス面で構成した支持部材２であれば、種々の加工処理の実行中等に薄肉ガラス板４を適切な態様で支持することができる。

その一方、薄肉ガラス板４と支持部材２の直接接着状態は、薄肉ガラス板４および支持部材２の少なくとも一方に、他方から分離させる方向の引き剥がし力を付与するだけで解消することができるので、薄肉ガラス板４を破損等させることなく、両者の分離作業を容易にかつ迅速に実行することができる。

なお、薄肉ガラス板４と支持部材２の密着強度は、支持面３の表面粗さＲａ以外にも、互いに密着する薄肉ガラス板４の被着面５上および支持部材２の支持面３上に存在する水酸基の活性度合いによって左右され、水酸基が活性であるほど強固なものとなる。表面上に存在する水酸基の活性度合いは、表面の清浄度が高いほど活性化する。そのため、薄肉ガラス板４と支持部材２の密着強度が十分に高められた薄肉ガラス板積層体１を得るためには、互いに密着する薄肉ガラス板４の被着面５および支持部材２の支持面３のＧＩ値が、共に、１０００ｐｃｓ／ｍ²以下に制御されていることが望ましく、５００ｐｃｓ／ｍ²以下に制御されていることがより望ましい。但し、薄肉ガラス板４の被着面５および支持部材２の支持面３のＧＩ値を双方共に小さくし過ぎると、薄肉ガラス板４を支持部材２から分離させるのが難しくなるので、薄肉ガラス板４の被着面５および支持部材２の支持面３の少なくとも一方のＧＩ値は５ｐｃｓ／ｍ²以上に制御するのが望ましい。なお、ＧＩ値とは、１ｍ²の領域内に存在する長径１μｍ以上の不純粒子の個数（ｐｃｓ）のことであり、清浄度を示す指標の一つである。ＧＩ値は、例えば日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製のＧ１７０００を用いて測定することができる。

以上で述べた薄肉ガラス板積層体１は、上記のとおり、薄肉ガラス板４を支持部材２から容易に分離することができるものであり、その分離作業は手作業でも実行することができる。しかしながら、薄肉ガラス板積層体１を構成する薄肉ガラス板４は、その板厚が３００μｍ以下とされた極めて割れ易い板状部材であることに加え、支持部材２の支持面３上に複数（多数）配置されていることから、手作業では、支持部材２と薄肉ガラス板４の分離作業を効率的に行い得ない。以下、支持部材２から薄肉ガラス板４を効率良く分離するための方法の具体例を図面に基づいて説明する。

図２は、図１に示す薄肉ガラス板積層体１を薄肉ガラス板４と支持部材２とに分離する際に使用される分離装置の一実施形態を概念的に示している。同図に示す分離装置は、薄肉ガラス板積層体１を構成する薄肉ガラス板４および支持部材２の少なくとも一方に、他方から分離させる方向の引き剥がし力を付与することにより、薄肉ガラス板積層体１を薄肉ガラス板４と支持部材２とに分離するように構成されたものであり、薄肉ガラス板積層体１の支持部材２を下方側から支持しつつ上流側から下流側に搬送する搬送手段１６と、搬送手段１６の搬送方向に延びた粘着テープ１０と、粘着テープ１０の案内手段１４とを主要部として備える。

粘着テープ１０は、図２中の拡大図に示すように、粘着層１２と基材層１３とを有する二層構造をなした帯状の片面粘着テープであり、粘着面１１を支持部材２の支持面３（薄肉ガラス板４の有効面６）と対向させるようにして、巻き出しおよび巻き取り可能に張設されている。すなわち、粘着テープ１０は、図示外のテープロールから巻き出され、巻き出された粘着テープ１０は回転可能に設けられた巻芯１５の外周に順次巻き取られるようになっている。粘着テープ１０としては、薄肉ガラス板４を支持部材２から確実に引き剥がすことができる一方で、後工程等において粘着面１１に被着した薄肉ガラス板４を容易に剥離（分離）させることができ、かつ薄肉ガラス板４の有効面６に粘着成分が残存しない程度の軽微な粘着力を有するものが好ましく使用される。加えて、巻芯１５の外周に巻き取られる粘着テープ１０の巻径が過度に大きくなると、輸送効率等が低下する。従って、粘着テープ１０としては、例えば、引張弾性率×厚みが１×１０¹¹［Ｐａ・μｍ］であるような粘着テープ、例えば、引張弾性率が４．０ＧＰａ以上で、厚み数十μｍ程度のものを使用するのが望ましい。このような粘着テープ１０の具体的としては、株式会社寺岡製作所の型番６０５（Ｎｏ．６０５）を挙げることができる。

案内手段１４は、粘着テープ１０の進行方向を案内するためのものであって、ここでは、案内ローラ（駆動ローラであってもフリーローラであっても良い）を一列に並べて構成される。案内手段１４を構成する案内ローラは、薄肉ガラス板４を支持部材２から分離させる位置（概ね図中矢印Ａで示す位置。以下、分離位置Ａという）で搬送手段１６に最も近接配置され、分離位置Ａから上流側および下流側に向かうに連れて搬送手段１６から徐々に離間するように配置されている。

かかる構成から、図示外のテープロールから巻き出された粘着テープ１０は、分離位置Ａで薄肉ガラス板４に最も接近し、その粘着面１１に、搬送手段１６により徐々に下流側に搬送されている薄肉ガラス板積層体１の薄肉ガラス板４を被着させる。粘着テープ１０が巻芯１５の外周に順次巻き取られるのに伴って、粘着テープ１０の粘着面１１に被着した薄肉ガラス板４には支持部材２から分離させる方向の引き剥がし力が徐々に付与され、最終的に薄肉ガラス板４が支持部材２から分離される。そして、以上で述べた一連の動作、すなわち粘着テープ１０の巻き出しおよび巻き取り、並びに薄肉ガラス板積層体１の下流側への搬送が適当なタイミング・速度で連続的に実行されることにより、支持部材２から全ての薄肉ガラス板４が分離される。支持部材２から分離された薄肉ガラス板４は粘着テープ１０と共に巻芯１５の外周に巻き取られる。

以上のように、薄肉ガラス板４および支持部材２の少なくとも一方（本実施形態では薄肉ガラス板４）に粘着テープ１０を貼り付けた状態で、この粘着テープ１０をその長手方向に沿って他方（支持部材２）から徐々に離反移動させるようにすれば、支持部材２から薄肉ガラス板４を分離させる際に付与すべき引き剥がし力を連続的にかつ容易に付与することができる。これにより、板状をなす支持部材２からの薄肉ガラス板４の分離を効率良く実行することができる。

上記の分離工程を経ることで、図３に示すように、粘着面１１に複数の薄肉ガラス板４が貼り付けられた帯状の（片面）粘着テープ１０を巻芯１５の外周に巻き取ってなるロール形態の薄肉ガラス板積層体１’が得られる。この場合、粘着テープ１０および粘着面１１を、それぞれ、図１に示す実施形態でいう支持部材２および支持面３とみなすことが可能である。このようなロール形態の薄肉ガラス板積層体１’であれば、取り扱い性が向上するので、例えば荷役作業を効率良く実行することができる。

なお、ロール形態の薄肉ガラス板積層体１’は、図２に示したような分離工程を経ずに得ることも可能である。この場合、粘着面１１（支持面３）に、薄肉ガラス板４のうち有効面６とは反対側の面（被着面５）を貼り付けてなる粘着テープ１０を巻芯１５の外周に巻き取ってなるロール形態の薄肉ガラス板積層体１’とすることも可能である。このような薄肉ガラス板積層体１’であれば、いわゆるロールツーロール（Ｒｏｌｌ ｔｏ Ｒｏｌｌ）方式を採用して、薄肉ガラス板４の有効面６に施すべき種々の加工を効率良く施すことができる。

図３に示すロール形態の薄肉ガラス板積層体１’を粘着テープ１０と薄肉ガラス板４とに分離する際には、以下のような方法を採ることが可能である。

図４は、図３に示すロール形態の薄肉ガラス板積層体１’を、薄肉ガラス板４と支持部材２としての粘着テープ（片面粘着テープ）１０とに分離する際に使用される分離装置の一例を概念的に示している。同図に示す分離装置は、薄肉ガラス板積層体１’から巻き出した支持部材２としての粘着テープ１０の進行方向を、薄肉ガラス板４と離間する方向に変更することにより、より具体的には、巻き出し直後の粘着テープ１０の進行方向に対して９０°以上変更することにより、粘着テープ１０から薄肉ガラス板４を分離する方法を実施する際に使用されるものである。

分離装置は、粘着テープ１０とは別の回収用粘着テープ２０をロール状に巻き取ってなるテープロール２２と、テープロール２２から巻き出された回収用粘着テープ２０の案内手段２４と、この案内手段２４と協働して、薄肉ガラス板積層体１’から巻き出された粘着テープ１０および回収用粘着テープ２０を貼り合わせる加圧手段２５と、案内手段２４の下流端の鉛直下方に配設された回収ローラ２３と、粘着テープ１０から分離された薄肉ガラス板４の払い出し（回収）用コンベア２６とを主要部として備える。回収用粘着テープ２０としては、ロール形態の薄肉ガラス板積層体１’を構成する粘着テープ１０よりも粘着力が高い片面粘着テープが望ましく、当該回収用粘着テープ２０は、その粘着面２１に薄肉ガラス板積層体１’から巻き出された粘着テープ１０を被着させ得るような姿勢で配置されている。

テープロール２２から巻き出された回収用粘着テープ２０は、案内手段２４に沿って配設されたうえで、その先端部が回収ローラ２３に固定されている。従って、回収ローラ２３が回転駆動すると、巻き出された回収用粘着テープ２０は案内手段２４に沿って案内移動された後に、回収ロール２３の外周に巻き取られる。回収ローラ２３には、薄肉ガラス板積層体１’から巻き出された粘着テープ１０のうち、薄肉ガラス板４が分離された後の粘着テープ１０も巻き取られるようになっている。

本実施形態の分離装置は、概ね以上の構成を有し、次のようにして、支持部材２としての粘着テープ１０から薄肉ガラス板４を分離させる。

まず、先端部が案内手段２４を介して回収ローラ２３に固定された回収用粘着テープ２０は、回収ローラ２３が回転駆動することによって連続的に巻き出される。このとき、ロール形態の薄肉ガラス板積層体１’からは粘着面１１に薄肉ガラス板４を貼り付けてなる粘着テープ１０も同時に巻き出され、案内手段２４と加圧手段２５の協働により、巻き出された回収用粘着テープ２０の粘着面２１に粘着テープ１０が被着されるようにして、回収用粘着テープ２０と粘着テープ１０とが貼り合わされる。そして、回収ローラ２３の外周に回収用粘着テープ２０が順次巻き取られるのに伴って、粘着面２１に粘着テープ１０を被着してなる回収用粘着テープ２０の進行方向が水平方向から鉛直方向に変換され、これにより粘着テープ１０の進行方向が、巻き出し直後の粘着テープ１０の進行方向に対して９０°変更される。これに伴い、粘着テープ１０には、当該粘着テープ１０を薄肉ガラス板４から分離させる方向の引き剥がし力が付与され、支持部材２としての粘着テープ１０から薄肉ガラス板４が分離される。粘着テープ１０と薄肉ガラス板４とが分離すると、粘着テープ１０は回収用粘着テープ２０と共に回収ローラ２３の外周に順次巻き取られる一方で、薄肉ガラス板４は、案内手段２４の下流端に連なったコンベア２６によって下流側に移送される。

このように、ロール形態の薄肉ガラス板積層体１’から巻き出した支持部材２としての粘着テープ１０の進行方向を、巻き出し直後の粘着テープ１０の進行方向に対して９０°以上（図４では９０°）変更することにより、粘着テープ１０から薄肉ガラス板４を分離させるようにすれば、粘着テープ１０と薄肉ガラス板４とを分離させる際に付与すべき引き剥がし力を連続的に付与することができる。これにより、薄肉ガラス板積層体１’を構成する支持部材２としての粘着テープ１０と薄肉ガラス板４の分離作業を効率良く実行することができる。

以上で説明したように、本発明に係る薄肉ガラス板積層体１，１’であれば、所定寸法に切断されることで得られた板厚３００μｍ以下の薄肉ガラス板４に施すべき各種加工処理の処理性や、薄肉ガラス板４の取り扱い性を向上することができる。また、以上に述べた薄肉ガラス板積層体１，１’から分離された薄肉ガラス板４、もしくは薄肉ガラス板積層体１’の分離方法により作製された薄肉ガラス板４は、安定的に支持された状態で適宜の加工処理が施され、および／又は輸送等された後に支持部材２から分離されたものであることから、加工処理の実行中や輸送中における不具合発生が可及的に抑制された高品質のガラス板である。従って、薄肉ガラス板４、ひいては当該薄肉ガラス板４を組み込んでなる種々の製品の生産性や歩留の向上に寄与することができる。

１ 薄肉ガラス板積層体
１’ 薄肉ガラス板積層体
２ 支持部材
３ 支持面
４ 薄肉ガラス板
５ 被着面
６ 有効面
１０ 粘着テープ（支持部材）
１１ 粘着面（支持面）
１４ 案内手段
１５ 巻芯
２０ 回収用粘着テープ
２１ 粘着面
２２ テープロール
２３ 回収ローラ
２４ 案内手段
２５ 加圧手段
Ａ 分離位置

Claims (11)

1. 支持部材の支持面上に板厚が３００μｍ以下の薄肉ガラス板を平面配置してなる薄肉ガラス板積層体であって、
   前記支持部材のうち、少なくとも前記支持面がガラス面で構成され、複数の前記薄肉ガラス板が、前記支持面上に平面配置されていることを特徴とする薄肉ガラス板積層体。
2. 前記薄肉ガラス板が、前記支持面に対して剥離可能に直接接着されてなる請求項１に記載の薄肉ガラス板積層体。
3. 前記支持面の表面粗さＲａが０．３ｎｍ以上１．０ｎｍ以下である請求項２に記載の薄肉ガラス板積層体。
4. 前記支持部材を、前記薄肉ガラス板よりも１００μｍ以上５００μｍ以下の範囲で厚肉の板状部材で構成した請求項１〜３の何れか一項に記載の薄肉ガラス板積層体。
5. 前記薄肉ガラス板は、前記支持面に対する被着面とは反対側の面に表面処理が施されたものである請求項１〜４の何れか一項に記載の薄肉ガラス板積層体。
6. 請求項１〜５の何れか一項に記載の薄肉ガラス板積層体を構成する前記薄肉ガラス板および前記支持部材の少なくとも一方に、他方から分離させる方向の引き剥がし力を付与することにより、前記支持部材から前記薄肉ガラス板を分離させることを特徴とする薄肉ガラス板積層体の分離方法。
7. 支持部材の支持面上に板厚が３００μｍ以下の薄肉ガラス板を平面配置してなる薄肉ガラス板積層体であって、
   前記支持部材は、前記支持面が粘着面で構成された帯状の片面粘着テープからなり、前記支持面に前記薄肉ガラス板を複数貼り付けた状態でロール状に巻き取られていることを特徴とする薄肉ガラス板積層体。
8. 請求項７に記載の薄肉ガラス板積層体から巻き出した前記支持部材の進行方向を、前記薄肉ガラス板と離間する方向に変更することにより、前記支持部材から前記薄肉ガラス板を分離させることを特徴とする薄肉ガラス板積層体の分離方法。
9. 前記巻き出した支持部材の進行方向を、巻き出し直後の前記支持部材の進行方向に対して９０°以上変更することにより、前記支持部材から前記薄肉ガラス板を分離させる請求項８に記載の薄肉ガラス板積層体の分離方法。
10. 請求項１〜５および７の何れか一項に記載の薄肉ガラス板積層体から分離されたことを特徴とする薄肉ガラス板。
11. 請求項６、８および９の何れか一項に記載の薄肉ガラス板積層体の分離方法により作製されたことを特徴とする薄肉ガラス板。

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