JP2013160987A - 表示デバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、簡便、短時間で、高精細なエレクトロウエッティングデバイスを、安定に供給する製造方法を提供する。
【解決手段】 外部電場によって液体を移動もしくは変形させることにより、色あるいは明るさを変調する光変調方式の表示デバイスの製造方法であって、前記液体が、着色液体及び着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体とを含有する分離液状着色液体であり、前記液体の封入をインクジェット式記録ヘッドにより行う表示デバイスの製造方法。
【選択図】 なし

Description

本発明は、外部電場を利用して液体を移動させる光変調方式のデバイスの製造方法に関し、特にエレクトロウエッティングデバイスの製造方法に関する。

外部電場を利用して液体を移動させる変調方式は、画像表示デバイス、あるいは光学シャッタ、光ピックアップ装置、液体光学レンズ等の光学素子として検討されている。これらの変調方式の代表的なものとしては、電気浸透（electroosmosis）方式、電気泳動（electrophoretic）方式、エレクトロフルイディック（electrofluidic）方式、エレクトロウエッテイング（electrowetting）方式等がある。

この中でエレクトロウエッティング方式は、高いコントラスト比と広い視野角を有し、フロントライトやバックライトを必要としないため、消費電力のかからない画像表示デバイスとして検討がなされている。その原理は特許文献１及び２に記載されているように、「電気毛管」と呼ばれる概念に基づき、電圧の印加非印加により、非着色液体中に存在する着色液体からなる液滴を拡大ないし縮小（あるいは、着色液体中に存在する非着色液体からなる液滴を拡大ないし縮小）することで、着色画像を形成するものである。
一般に、分離液状の着色液体と分離液状の非着色液体と着色液体とからなる液体（以下、分離液状着色液体と称す）は、分離即ち混和しない必要があることから、一般に、シリコンオイル等の非極性溶媒と、水やアルコール、エチレングリコール等の極性溶媒とが使用され、そのいずれかに着色剤が添加されている。

例えば極性溶媒中に着色剤を添加する例として、特許文献３には、極性溶媒中に、カチオンとアニオンとを組み合わせた常温溶融塩を含有するイオン性液体と、カルボキシル基、ヒドロキシル基、カルボニル基、スルホン基、水酸基、リン酸基などの官能基を有する自己分散型顔料を添加した着色液体を使用することが開示されている。また特許文献４には、特定の粘度と表面張力を有する極性溶媒中に顔料や染料を添加されてなる、特定の電気伝導度とイオン半径を有する着色液体を使用することが開示されている。

また、非極性溶媒中に着色剤を添加する例として、特許文献５には、デカン、デカリンもしくはテトラリン等の非極性溶媒中に、有機顔料および／または無機顔料、溶媒可溶性のまたは溶媒分散可能なポリマー分散剤、及び、アルデヒド樹脂またはケトン樹脂を添加した着色液体を使用することが開示されている。

前記非導電性の着色液体を使用できるエレクトロウエッティング方式の表示デバイスの具体的態様の一例を図１〜図３に示す。図１は表示デバイスの具体的態様の一例を示す断面図であり、図２及び図３は表示デバイスに電圧を印加したときの、液滴の拡大（図２参照）ないし縮小（図３参照）を示す模式図である。
図２及び図３に示すように、基板上の電極の表面に形成された絶縁膜と電極との間の空間に液滴（図２及び図３においては、着色液体７が液滴に該当する）が配置された場合において、電源により電極および電極との間に電圧を印加すると、その電圧に応じて絶縁膜の塗れ性が変化することにより、液滴の拡大（図２参照）ないし縮小（図３参照）が生じる。すなわち、絶縁膜の塗れ性が変化することにより、絶縁膜に対する液滴の接触角θが変化し、液滴が変形および変位することで、液滴の拡大ないし縮小が生じるのである。液滴が着色されている場合、液滴が拡大するときには視認側からは着色液体による画像が視認され、液滴が縮小するときには、視認側からは画像の消失が視認される。

このようなエレクトロウエッティング方式のデバイスは、通常、図１に示すような画素ユニット（図１における６に相当する）を複数有し、極性溶媒で画素ユニットを充填した後に隔壁で区画された複数の画素ユニット内に非極性溶媒を個々に所定量注入するといった、いわゆる２液注入法で製造されている。

図５及び図６は、前記２液注入法を説明する概念図である。シリンジ１５を、矢印１６の方向に、非極性溶媒８を貫いて挿入し、必要量の着色液体７を画素ユニット６に加える（図５参照）。垂れ下がった着色液体７が疎水性絶縁膜４に触れると、着色液体７が広がって膜を形成する（図６）。
しかしながら前記２液注入法は、非極性溶媒８中にシリンジ１５の先端を接触させた状態で着色液体７を滴下するため、非極性溶媒８の汚染が避けられないという問題があった。またこの手法では、個々に所定量注入するために、液体の封入にも時間がかかる。

これに対し、特許文献７には、表示デバイスの製造時に液導入口と液排出口を作製し、液導入口から２液を導入する方法が開示されている。しかしながら特許文献７に開示の方法においては、隣り合う画素ユニットに異なる色を配置することができないため、高精細な色配置を行うのは難しい。

特開平１０−３９８００号公報 特開平１０−７４０５５号公報 特開２００８−２０３２８２号公報 ＷＯ２０１１／０１７４４６号公報 特表２０１１−５１０３３６号公報 特許第４８４９６４０号公報 特開２００８−１７０５８６号公報

本発明は、簡便、短時間で、高精細なエレクトロウエッティングデバイスを、安定に供給することを課題とする。

本発明者らは、前記液体の封入をインクジェット式記録ヘッドにより行うことで、前記課題を解決した。

即ち本発明は外部電場によって液体を移動もしくは変形させることにより、色あるいは明るさを変調する光変調方式の表示デバイスの製造方法であって、
前記液体が、着色液体及び着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体とを含有する分離液状着色液体であり、
前記液体の封入をインクジェット式記録ヘッドにより行う表示デバイスの製造方法を提供する。

本発明により、簡便、短時間で、高精細なエレクトロウエッティングデバイスを、安定に得ることができる。

以下、図面を参照しつつ、本発明における表示デバイスの好適な実施の形態について詳細に説明する。
図１及び図４は、本発明における表示デバイスの具体的態様の一例を示す断面図であり、図２及び図３は、本発明における表示デバイスに電圧を印加したときの、液滴の拡大（図２参照）ないし縮小（図３参照）を示す模式図である。
以下、図１に示される本発明における表示デバイスの具体的態様を例として、本発明を詳細に説明するが、本発明においては、これらの具体的態様に限定されず、種々の変形が可能である。例えば図１におけるカラーフィルター９を設置せずに、後述の、複数の画素ユニット６中にカラーフィルターのＲＧＢ三色画素部（ＲＧＢＹの四色画素部の場合もある）で使用する顔料を使用した赤色液体（Ｒ画素用）、緑色液体（Ｇ画素用）、青色液体（Ｂ画素用）、必要に応じて黄色液体（Ｙ画素用）等を封入した表示デバイスも、本発明の好ましい具体的態様の１つである。

本発明における表示デバイスは、図１に示すように、互いに対向する第一の基板１と第二の基板２と、前記第一の基板１及び／または第二の基板２の対向面側に設置された電極３と、前記第二の基板２の対向面側に設置された疎水性絶縁層４と、該疎水性絶縁層４上に設置された隔壁５とで形成された画素ユニット６と、前記画素ユニット６中に封入された前記着色液体７と、前記着色液体７と前記第一の基板１との間に封入され前記着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８とを備えている。また、前記第一の基板１の対向面側に前記カラーフィルター９を設置することで、カラー表示デバイスとすることも可能である。

（第一の基板１または第二の基板２）
本発明で使用する第一の基板１または第二の基板２は、実質的に透明であれば材質に特に限定はなく、ガラス、セラミックス、プラスチック等を使用することができる。プラスチック基板としてはセルロ−ス、トリアセチルセルロ−ス、ジアセチルセルロ−ス等のセルロ−ス誘導体、ポリシクロオレフィン誘導体、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル、ポリプロピレン、ポリエチレン等のポリオレフィン、ポリカーボネート、ポリビニルアルコ−ル、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、ポリイミド、ポリイミドアミド、ポリスチレン、ポリアクリレート、ポリメチルメタクリレ−ト、ポリエーテルサルホン、ポリアリレート、さらにガラス繊維-エポキシ樹脂、ガラス繊維-アクリル樹脂などの無機-有機複合材料などを用いることができる。
なおプラスチック基板を使用する際には、バリア膜を設けることが好ましい。バリア膜の機能は、プラスチック基板が有する透湿性を低下させ、カラー表示デバイスの電気特性の信頼性を向上することにある。バリア膜の材質は、透明性が高く水蒸気透過性が小さいものであれば特に限定されず、一般的には酸化ケイ素などの無機膜を蒸着やスパッタリング、ケミカルベーパーデポジション法（ＣＶＤ法）によって形成した薄膜を使用する。
本発明においては、前記第一の基板１または第二の基板２として同素材を使用しても異素材を使用してもよく特に限定はないが、プラスチック基板であると、ロールツウロール法等の連続的な製造方法に適し且つ軽量化あるいはフレキシブル化に適しており好ましい。また、平坦性及び耐熱性付与を目的として、プラスチック基板とガラス基板とを組み合わせる場合がある。

（電極３）
前記第一の基板１及び／または第二の基板２には電極３が設けられる。電極３としては、金、銀、銅、アルミニウムなどが好適に用いられる。視認性の観点からは透明電極が好ましく、透明電極としては、例えば、酸化インジウム、ＩＴＯ（インジウム錫オキサイド）、酸化スズ、酸化亜鉛、透明導電ポリマー（たとえば、ＰＥＤＯＴ・ＰＳＳ、ナガセケミテックス株式会社、シュタルク製など）、カーボンナノチューブ等があげられる。これらはスパッタリング法や塗布法により形成することができる。本発明においては、第一の基板１と第二の基板２のいずれにも電極３を設けておくことが好ましい。また電極層を保護する目的で、パッシベーション膜を設ける場合もある。

（疎水性絶縁層４）
前記第二の基板２の対向面側には、疎水性絶縁層４を形成することが好ましい。
疎水性絶縁層４は、例えば、ポリフッ化ビニリデンあるいはポリテトラフルオロエチレンなどのフッ素系ポリマーが挙げられ、具体的には、比誘電率が２程度であるテフロンＡＦ（ＡＦ１６０１Ｓ系；デュポン社製（テフロンは登録商標））や、サイトップ（旭硝子社製）などが挙げられる。なお疎水性絶縁層４は、絶縁性を高めるために、シリカ系樹脂等の絶縁層と前記疎水性絶縁層４とを積層させた構造であってもよい。疎水性絶縁層４は、塗布法等により形成することができる。

（隔壁５）
隔壁５は、不透明であり、着色液体７が疎水性絶縁層４の表面を移動する領域を制限するためのものである。隔壁５は前記疎水性絶縁層４上に設置されており、前記疎水性絶縁層４と隔壁５とで形成された空間が画素ユニット６となる。この隔壁５は、例えば、フォトリソ法により形成されるものであり、具体的には、前記疎水性絶縁層４を設けた前記第二の基板２上にブラックレジストなどの不透明なレジスト材料を塗布後、フォトリソ法により隔壁５を形成することで得ることができる。なお隔壁５は、各画素ユニット６の間の光の透過を遮るものであれば任意であり、不透明な層の上に透明な層を積層した構造のものでもよい。この場合に用いられる透明な層の材料としては、例えば、ＳＵ８（化薬マイクロケム社製）などの透明なレジスト材料が挙げられる。

（カラーフィルター９）
カラーフィルターを設けることで、カラー表示デバイスとすることができる。カラーフィルタは、通常図１における９のように、前記第一の基板１または前記第二の基板２上に設けることができ、少なくともＲＧＢ三色画素部から構成される。また必要に応じてブラックマトリックスを有していてもよい。使用される顔料は、通常カラーフィルター用顔料として使用される顔料であれば、特に限定はなく使用することができる。
カラーフィルター９は、従来公知の方法でカラーフィルター画素部を形成することができる。画素部の形成方法としては電着法、転写法、ミセル電解法、ＰＶＥＤ（ＰｈｏｔｏｖｏｌｔａｉｃＥｌｅｃｔｒｏｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、インクジェット法、反転印刷法等があげられる。代表的な方法であるフォトリソグラフィー法を例にとると、カラーフィルター用顔料を含有する光硬化性組成物を、カラーフィルター用の透明基板のブラックマトリックスを設けた側の面に塗布、加熱乾燥（プリベーク）した後、フォトマスクを介して紫外線を照射することでパターン露光を行って、画素部に対応する箇所の光硬化性化合物を硬化させた後、未露光部分を現像液で現像し、非画素部を除去して画素部を透明基板に固着させる。この方法では、光硬化性組成物の硬化着色皮膜からなる画素部が透明基板上に形成される。
Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素、必要に応じてＹ画素等の他の色の画素ごとに光硬化性組成物を調製して、前記した操作を繰り返すことにより、所定の位置にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素、Ｙ画素の着色画素部を有するカラーフィルター９を製造することができる。

（分離液状着色液体）
前記画素ユニット６中には前記着色液体７が封入されており、前記着色液体７と前記第一の基板１との間には、前記着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８が封入されている。
分離液状の着色液体７と透光性が前記着色液体よりも良い液体８とからなる液体（分離液状着色液体）は、分離即ち混和しない必要があることから、非極性溶媒と極性溶媒とが使用され、そのいずれかに着色剤が添加される。
以下、本発明の具体的態様の一つとして、非極性溶媒に着色剤を添加した着色液体と、該着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い極性溶媒を使用した液体との態様を説明する。

（着色液体）
本発明で使用する着色液体は、非極性溶媒、着色剤、及び添加剤を含む組成物である。

（非極性溶媒）
本発明で使用する着色液体における非極性溶媒は、エレクトロウエッティングデバイスにおいて通常使用されている非極性溶媒であれば、特に限定はなく公知のものを使用できる。具体的には例えば、非水性の直鎖状および／または分枝状または環状の炭素原子数４〜３０のアルカン、好ましくは、ペンタン、ヘキサン、へプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロへプタン、シクロオクタン、メチルシクロへキサン、特に好ましくは、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカンおよびテトラデカンまたはこれらの任意の比率の混合物；直鎖状および／または分枝状および／または環状の炭素原子数１〜３０のハロアルカン、好ましくはジクロロメタン、クロロホルム、テトラクロロメタン、ジクロロエタン、トリクロロエタン、テトラクロロエタン、クロロシクロヘキサン、およびそれらの位置異性体；炭素原子数６〜２２の芳香族化合物、好ましくは、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、またはこれらの任意の比率の混合物；あるいは水素添加された炭素原子数１０〜２２の芳香族化合物、好ましくは、テトラリン、シス−デカリンおよびトランス−デカリン、またはこれらの任意の比率の混合物、特に好ましくは、シス−デカリンおよびトランス−デカリン；

ハロゲン化炭素原子数６〜２２の芳香族化合物、好ましくは、クロロベンゼン、フルオロベンゼン、ジクロロベンゼンまたはジフルオロベンゼン、トリクロロベンゼンまたはトリフルオロベンゼン、クロロナフタレンまたはフルオロナフタレン、およびそれらの位置異性体；直鎖状および／または分枝状および／または環状の炭素原子数４〜２２のアルコール、好ましくは、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、ヘプタノール、オクタノール、ノナノール、デカノール、ウンデカノール、ドデカノール、ベンジルアルコール、フェニルエタノール、シクロペンタノール、シクロヘキサノール、シクロヘプタノール、またはシクロオクタノール、およびそれらの位置異性体；直鎖状および／または分枝状および／または環状のエーテル、好ましくは、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ｔｅｒｔ−ブチルメチルエーテル、ｔｅｒｔ−アミルメチルエーテル、ｔｅｒｔ−アミルエチルエーテル、ジメトキシエタン、ジエトキシエタン、ジグリム、トリグリム、フラン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロメチルフラン、ジオキソラン、テトラヒドロチオフェン、テトラヒドロピラン、ジオキサン、メトキシベンゼン、メチルチオベンゼン、エトキシベンゼン、およびそれらの位置異性体；

直鎖状および／または分枝状および／または環状のケトン、好ましくは、アセトン、トリクロロアセトン、ブタノン、ペンタノン、ヘキサノン、ヘプタノン、オクタノン、ノナノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、アセトフェノン、アセチルアセトン、およびそれらの位置異性体；
直鎖状および／または分枝状および／または環状のニトロアルカン、好ましくは、ニトロメタン、ニトロエタン、ニトロシクロへキサン、およびそれらの位置異性体；
炭素原子数６〜２２のニトロ芳香族化合物、好ましくはニトロベンゼン；直鎖状および／または分枝状および／または環状のアミン、好ましくは、ｔｅｒｔ−ブチルアミン、ジアミノエタン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン、ピロリジン、ピペリジン、モルホリン、Ｎ−メチルアニリン、およびＮ，Ｎ−ジメチルアニリン、およびそれらの位置異性体；ヘキサメチルジシラン、ジフェニルジメチルシラン、クロロフェニルトリメチルシラン、フェニルトリメチルシラン、 フェネチルトリス（トリメチルシロキシ）シラン、フェニルトリス（トリメチルシロキシ）シラン、ポリジメチルシロキサン、テトラフェニルテトラメチルトリシロキサン、ポリ（３，３，３−トリフルオロプロピルメチルシロキサン）、３，５，７−トリフェニルノナメチルペンタシロキサン、３，５−ジフェニルオクタメチルテトラシロキサン、１，１，５，５−テトラフェニル−１，３，３，５−テトラメチル−トリシロキサン、およびヘキサメチルシクロトリシロキサン；ハイドロフルオロエーテル、クロロジフルオロメタン、１，１，１，２-テトラフルオロエタン、ペンタフルオロエタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、１，１，１，２，３，３，３−ヘプタフルオロプロパン、１，１−ジフルオロエタン、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン、オクタフルオロプロパン、または上記溶媒の任意の比率での混合物が包含される。
中でも、デカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、デカリン、テトラリン、またはそれらの混合物、またはそれらの物質を主成分として含むものが特に好ましい。

（着色剤）
本発明で使用する着色剤しては、顔料や染料等が挙げられるが、本発明においては、耐候性等の観点から顔料を使用することが好ましい。顔料としては、公知慣用の有機顔料あるいは無機顔料を使用することができる。また、前記顔料を樹脂で被覆してなる色素を使用することもできる。

有機顔料としては、例えば、ペリレン・ペリノン系化合物顔料、キナクリドン系化合物顔料、フタロシアニン系化合物顔料、アントラキノン系化合物顔料、フタロン系化合物顔料、ジオキサジン系化合物顔料、イソインドリノン系化合物顔料、イソインドリン系化合物顔料、ジケトピロロピロール系化合物顔料、不溶性アゾ系化合物顔料、溶性アゾ系化合物顔料、縮合アゾ系化合物顔料、アニリンブラック顔料等が挙げられる。有機顔料の具体例を挙げると、例えば次の通りである。
ペリレン・ペリノン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＶｉｏｌｅｔ ２９、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２３、同１４９、同１７８、同１７９、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ ３１、同３２、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４３等の顔料が挙げられる。
キナクリドン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １９、同４２、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、同２０２、同２０６、同２０７、同２０９、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４８、同４９等の顔料が挙げられる。
フタロシアニン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７、同３６等の顔料が挙げられる。
アントラキノン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ ６０、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ２４、同１０８、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １６８、同１７７、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ４０等の顔料が挙げられる。
フタロン系化合物顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３８等の顔料が挙げられる。
ジオキサジン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３、同３７等の顔料が挙げられる。
イソインドリノン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １０９、同１１０、同１７３、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ６１等の顔料が挙げられる。
イソインドリン系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＹｅｌｌｏｗ １３９、同１８５、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ６６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｒｏｗｎ ３８等の顔料が挙げられる。
ジケトピロロピロール系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＲｅｄ ２５４、同２５５等の顔料がある。
不溶性アゾ系化合物顔料としては、例えば Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １、同３、同１２、同１３、同１４、同１７、同５５、同７３、同７４、同８１、同８３、同９７、同１３０、同１５１、同１５２、同１５４、同１５６、同１６５、同１６６、同１６７、同１７０、同１７１、同１７２、同１７４、同１７５、同１７６、同１８０、同１８１、同１８８、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ １６、同３６、同６０、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ５、同２２、同３１、同１１２、同１４６、同１５０、同１７１、同１７５、同１７６、同１８３、同１８５、同２０８、同２１３、Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＶｉｏｌｅｔ ４３、同４４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ ２５、同２６等の顔料が挙げられる。
溶性アゾ系化合物顔料としては、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ５３：１、同５７：１、同４８等の顔料がある。
縮合アゾ系化合物顔料としては、例えば Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ ９３、同９４、同９５、同１２８、同１６６、Ｃ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＯｒａｎｇｅ ３１Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １４４、同１６６、同２１４、同２２０、同２２１、同２４２、同２４８、同２６２、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｒｏｗｎ ４１、同４２等の顔料がある。
アニリンブラック顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ 1があげられる。

無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫化亜鉛、鉛白、亜鉛華、リトボン、アンチモンホワイト、塩基性硫酸鉛、塩基性ケイ酸鉛、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、石膏、シリカ、カーボンブラック、鉄黒、チタンブラック、コバルトバイオレット、バーミリオン、モリブデンオレンジ、鉛丹、ベンガラ、黄鉛、カドミウムイエロー、ジンククロメート、イエローオーカー、酸化クロム、群青、紺青、コバルトブルー等が挙げられる。

また、染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッド ブラック１、２、７、１６、１７、２４、２６、２８、３１、４１、４８、５２、５８、６０、６３、９４、１０７、１０９、１１２、１１８、１１９、１２１、１２２、１３１、１５５、１５６；Ｃ．Ｉ．アシッド イエロー１、３、４、７、１１、１２、１３、１４、１７、１８、１９、２３、２５、２９、３４、３８、４０、４１、４２、４４、４９、５３、５５、５９、６１、７１、７２、７６、７８、７９、９９、１１１、１１４、１１６、１２２、１３５、１４２、１６１、１７２、；Ｃ．Ｉ．アシッド オレンジ７、８、１０、１９、２０、２４、２８、３３、４１、４５、５１、５６、６４；Ｃ．Ｉ．アシッド レッド１、４、６、８、１３、１４、１５、１８、１９、２１、２６、２７、３０、３２、３４、３５、３７、４０、４２、４４、５１、５２、５４、５７、８０、８２、８３、８５、８７、８８、８９、９２、９４、９７、１０６、１０８、１１０、１１１、１１４、１１５、１１９、１２９、１３１、１３３、１３４、１３５、１４３、１４３：１、１４４、１５２、１５４、１５５、１７２、１７６、１８０、１８４、１８６、１８７、２４９、２５４、２５６、２８９、３１７、３１８；Ｃ．Ｉ．アシッド バイオレット７、１１、１５、３４、３５、４１、４３、４９、５１、７５；Ｃ．Ｉ．アシッド ブルー１、７、９、１５、２２、２３、２５、２７、２９、４０、４１、４３、４５、４９、５１、５３、５５、５６、５９、６２、７８、８０、８１、８３、９０、９２、９３、１０２、１０４、１１１、１１３、１１７、１２０、１２４、１２６、１３８、１４５、１６７、１７１、１７５、１８３、２２９、２３４、２３６、２４９；Ｃ．Ｉ．アシッド グリーン３、９、１２、１６、１９、２０、２５、２７、４１、４４；Ｃ．Ｉ．アシッド ブラウン４、１４等の酸性染料や、

Ｃ．Ｉ．ベイシック ブラック２．８；Ｃ．Ｉ．ベイシック イエロー１、２、１１、１２、１４、２１、３２、３６；Ｃ．Ｉ．ベイシック オレンジ２、１５、２１、２２；Ｃ．Ｉ．ベイシック レッド１、２、９、１２、１３、３７；Ｃ．Ｉ．ベイシック バイオレット１、３、７、１０、１４；Ｃ．Ｉ．ベイシック ブルー１、３、５、７、９、２４、２５、２６、２８、２９；Ｃ．Ｉ．ベイシック グリーン１、４；ベイシック ブラウン１、１２等の塩基性染料や、

Ｃ．Ｉ．ダイレクト ブラック２、４、９、１１、１４、１７、１９、２２、２７、３２、３６、３８、４１、４８、４９、５１、５６、６２、７１、７４、７５、７７、７８、８０、１０５、１０６、１０７、１０８、１１２、１１３、１１７、１３２、１４６、１５４、１６８、１７１、１９４；Ｉ．Ｃ．ダイレクト イエロー１、２、４、８、１１、１２、２４、２６、２７、２８、３３、３４、３９、４１、４２、４４、５０、５１、５８、７２、８５、８６、８７、８８、９８、１００、１１０、１２７、１３５、１４１、１４２、１４４；Ｃ．Ｉ．ダイレクト オレンジ６、８、１０、２６、２９、４１、４９、５２、１０２；Ｃ．Ｉ．ダイレクト レッド１、２、４、８、９、１１、１３、１５、１７、２０、２３、２４、２８、３１、３３、３７、３９、４４、４６、４７、４８、５１、５９、６２、６３、７３、７５、７７、８０、８１、８３、８４、８５、８７、８９、９０、９４、９５、９９、１０１、１０８、１１０、１４５、１８９、１９７、２２０、２２４、２２５、２２６、２２７、２３０、２５０、２５４、２５６、２５７；Ｃ．Ｉ．ダイレクト バイオレット１、７、９、１２、３５、４８、５１、９０、９４；Ｃ．Ｉ．ダイレクト ブルー１、２、６、８、１５、２２、２５、３４、６９、７０、７１、７２、７５、７６、７８、８０、８１、８２、８３、８６、９０、９８、１０６、１１０、１１０、１２０、１２３、１５８、１６３、１６５、１９２、１９３、１９４、１９５、１９６、１９９、２００、２０１、２０２、２０３、２０７、２１８、２３６、２３７、２３９、２４６、２５８、２８７；ダイレクト グリーン１、６、８、２８、３３、３７、６３、６４；Ｃ．Ｉ．ダイレクト ブラウン１Ａ、２、６、２５、２７、４４、５８、９５、１０、１０１、１０６、１１２、１７３、１９４、１９５、２０９、２１０、２１１等の直接染料や、

Ｃ．Ｉ．リアクテブ ブラック１、３、５、６、８、１２、１４；Ｃ．Ｉ．リアクテブ イエロー１、２、３、１３、１４、１５、１７；Ｃ．Ｉ．リアクテブ オレンジ２、５、７、１６、２０、２４；、リアクテブ レッド６、７、１１、１２、１５、１７、２１、２３、２４、３５、３６、４２、６３、６６、８４、１８４；Ｃ．Ｉ．リアクテブ バイオレット２、４、５、８、９；Ｃ．Ｉ．リアクテブ ブルー２、５、７、１２、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２０、２１、２５、２７、２８、３７、３８、４０、４１；Ｃ．Ｉ．リアクテブ グリーン５、７；リアクテブ ブラウン１、７、１６等の反応性染料や、

Ｃ．Ｉ．フード ブラック１、２；Ｃ．Ｉ．フード イエロー３、４、５；Ｃ．Ｉ．フード レッド２、３、７、９、１４、５２、８７、９２、９４、１０２、１０４、１０５、１０６；Ｃ．Ｉ．フード バイオレット２；Ｃ．Ｉ．フード ブルー１、２；Ｃ．Ｉ．フード グリーン２、３等の食品用色素等が挙げられる。

（着色剤：配合量）
前記非極性溶媒あるいは極性溶媒に対する前記着色剤の添加量は１〜５０重量％の範囲が好ましく、より好ましくは２〜１０重量％の範囲である。
また、着色剤例えば顔料を樹脂で被覆することで、媒体中に安定に顔料分散させることができ、より色素濃度の高い着色液体とすることができる。従って樹脂で被覆された色素を使用した着色液体は、同種の顔料を使用した場合と比較すると、同じ配合量であってもより高い着色度を得ることができる。

（着色剤：体積平均粒子径）
前記着色剤の体積平均粒子径は、インクジェット方式に適した体積平均粒子径であることが好ましく、具体的には２００ｎｍ以下であることが好ましく、１〜２００ｎｍの範囲であることが好ましい。色素粒子の体積平均粒子径が２００ｎｍを超える場合、インク吐出孔に色素が堆積することがあり、着色液体の飛行曲がりが生じ、目標位置に着弾できず、ディスプレイのドット抜けの原因になるおそれがある。

（着色液体７の製造方法）
前記着色液体７は、公知の顔料分散体の製造方法によって得ることができる。一例を挙げると、前記着色剤、及び非極性溶媒、必要に応じ前記添加剤を加えた混合物をビーズミル等の通常の分散機を用いて前記樹脂で被覆された色素を分散することで得ることができる。また、予め、ビーズミル等の通常の分散機を用いて高濃度の分散液（ミルベース）を作製後、更に非極性溶媒で所望の粘度に混合攪拌して、希釈することで調整できる。添加剤の添加のタイミングは、種類によって分散する前や分散する後等、適宜選択することができる。

顔料を分散させるための攪拌・分散装置としては、ビーズミルの他、たとえば超音波ホモジナイザー、高圧ホモジナイザー、ペイントシェーカー、ボールミル、ロールミル、サンドミル、サンドグラインダー、ダイノーミル、ディスパーマット、ＳＣミル、ナノマイザーなど、公知慣用の各種分散機を使用することができる。

（比誘電率）
着色液体７の比誘電率は２５未満であることが好ましい。

（粘度）
着色液体７の粘度は、インクジェット方式に適した粘度であることが好ましく、具体的には常温にて１〜２０ｍＰａ．ｓの範囲であることが好ましい。着色液体の粘度が１ｍＰａ．ｓ未満の場合、インクジェット式記録ヘッドのインク吐出孔における着色液体のメニスカスが安定せず、吐出制御に支障がでる場合がある。一方粘度が２０ｍＰａ．ｓを超える場合、インク吐出孔から着色液体を円滑に吐出させることが難しくなり、インク吐出孔を大きくする等のインクジェット式記録ヘッドの仕様を変更しない限り、着色液体の吐出が困難となるおそれがある。粘度としてより好ましくは１〜１５ｍＰａ．ｓの範囲であり、なお好ましくは１〜１０ｍＰａ．ｓの範囲である。なおここでいう粘度は、コーンプレート型粘度計を用いて２５℃でローター回転数１００ｒｐｍで測定した粘度である。

（表面張力）
着色液体７の表面張力は、インクジェット方式に適した表面張力であることが好ましく、具体的には、２０〜７０ｍＮ／ｍの範囲であることが好ましい。表面張力を該範囲とすることで飛行曲がりを抑制することができる。尚、飛行曲がりとは、着色液体をインク吐出孔から吐出させたとき、着色液体の着弾位置が目標位置に対して３０μｍ以上のずれを生じることをいう。
表面張力が７０ｍＮ／ｍを超える場合、インク吐出孔先端でメニスカス形状が安定しないため、着色液体の吐出量や吐出のタイミングの制御が難しくなるおそれがある。一方表面張力が２０ｍＮ／ｍ未満の場合、飛行曲がりが生じるおそれがあり、即ち画素ユニット中に正確に着弾されずに着色液体の充填されていない画素ユニットが発生し、ディスプレイのドット抜けが発生するおそれがある

本発明における表示デバイスは、該表示デバイスが有する複数の画素ユニット６中に、全て同じ色の着色液体７が封入されている態様であってもよいし、異なる色の着色液体が封入されている態様であってもよい。
複数の画素ユニット６中に、全て同じ色の着色液体７が封入されている態様として、着色液体７として黒色の液体を使用し、後述の、着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８として無色透明の液体を使用する態様があげられる。この場合は白黒表示のデバイスとして動作する。また着色液体７として黒色の液体を使用し、後述の着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８として透明性を有する赤色液体を使用する態様があげられる。この場合は赤黒表示のデバイスとして動作する。

また、複数の画素ユニット６中に、異なる色の着色液体７が封入されている態様としては、着色液体７として、前記カラーフィルターのＲＧＢ三色画素部（ＲＧＢＹの四色画素部の場合もある）で使用する顔料を使用した赤色液体（Ｒ画素用）、緑色液体（Ｇ画素用）、青色液体（Ｂ画素用）、必要に応じて黄色液体（Ｙ画素用）等を使用する態様があげられる。この場合高精細なフルカラー表示デバイスとして動作させることができる。具体的には、前記赤色液体、緑色液体、青色液体、必要に応じて黄色液体のそれぞれを、所望するカラーフィルターの配列となるように前記画素ユニット６中にインクジェット記録用ヘッドにより封入する。次に、後述の、着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８として無色透明の液体を封入することで、ＲＧＢを備えたフルカラー表示デバイスが得られる。この態様においては、前述のカラーフィルターを設ける必要がないために、カラーフィルターの製造工程が省略でき、より簡便且つ短時間で、高精細な表示デイバス、例えばエレクトロウエッティングデバイスを、安定に供給することが可能となる。

（分離液状着色液体）
前記画素ユニット６中には前記着色液体７が封入されており、前記着色液体７と前記第一の基板１との間には、前記着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８が封入されている。
分離液状の着色液体７と透光性が前記着色液体よりも良い液体８とからなる液体（分離液状着色液体）は、分離即ち混和しない必要があることから、透光性が前記着色液体よりも良い液体８には一般的には極性溶媒が使用される。また、透光性が前記着色液体よりも良い液体８は透光性が前記着色液体７よりも良ければ、必要に応じて着色されていてもよい。また、複数色を組み合わせて使用してもよい。分離液状液体８に使用できる着色剤は色剤として使用されているものなら特に限定はなく、前述の着色剤として使用する有機顔料、無機顔料、染料等が使用できるが、前記非極性溶媒に使用する色味とは異なる色味の色素を選択することが好ましい。

（極性溶媒）
本発明で使用することのできる極性溶媒としては水、グリコール、アルコール、ポリオール、エーテル、エステル、ケトン、アセタール、ケタール、ラクトン類、炭酸塩、ラクタム、ウレタン（カルバメート）、尿素、ピロリジン、ピロリドン、スルホン、スルホキシド、アミド等であり、具体的には例えば、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、１，２−プロピレングリコール、１，３−プロピレングリコール、エチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、グリセリン、１，４−ブチレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、１，２−ブチレンカーボネート、１，２−シクロヘキサンカーボネート、グリセリンカーボネート、ジメチルカーボネート、ジエチルカーボネート、アセトン、アセトフェノン、ピリジン、ジメチルマロン酸、ジアセトンアルコール、ヒドロキシプロピルカルバメート、β−ヒドロキシエチルカルバメート、ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、２−ピロリドン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、Ｎ−シクロヘキシル−２−ピロリドン、アセトアセトン、シクロヘキサノン、エチルアセトアセテート、エチル−Ｌ−乳酸、ピロール、Ｎ−メチルピロール、Ｎ−エチルピロール、４Ｈ−ピラン−４−オン、１，３−ジメチル−２−イミダゾリジノン、モルホリン、Ｎ−エチルモルホリン、Ｎ −ホルミルモルホリン、β−プロピオラクトン、β−バレロラクトン、β−ヘキサラクトン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、γ−ヘキサラクトン、γ−ヘプタラクトン、γ−オクタラクトン、γ−ノナラクトン、γ−デカラクトン、δ−バレロラクトン、δ−ヘキサラクトン、δ−ヘプタラクトン、δ−オクタラクトン、δ−ノナラクトン、δ−デカラクトン、およびそれらの任意の組み合わせ等が挙げられる。

これらの極性溶媒は、高い比誘電率を示すことが好ましい。またより高い比誘電率を付与する目的で、極性溶媒中でイオン解離をする塩等の電解質を添加することもできる。イオンは、陽イオンであっても陰イオンであってもよい。
具体的には、例えば、ピラゾリン、２−イミダゾリン、ピラゾール、イミダゾリン−２−チオン、１，２，３−チアゾール、１，２，４−チアゾール、ＩＨ−テトラゾール、オキサゾリン、５−オキサゾロン、イソキサゾール、オキサゾール、２−チアゾリン、イソチアゾール、チアゾール、１，２，３−オキサジアゾすなわち、１，２，４−オキサジアゾすなわち、１，２，５ −オキサジアゾすなわち、１，３，４−オキサジアゾール、１，３，４−チアジアゾール、ＬＨ−ピリジン−２−オン、ピペラジン、ピリジジン、１，２，３−トリアジン、１，２，４−トリアジン、オキサジン、チオモルホリン、オキサジアジン、オキサチアゾン、インドリン、インドール、カルバゾール、インダゾール、ベンズイミダゾール、キノキサリン、フタラジン、１，５−ナフチリジン、フェナジン、ベンゾチアゾール、２Ｈ−ｌの１，４−ベンゾオキサジン、フェノキサジン、フェノチアジン等のカチオンを含む塩を使用することができる。
添加量としては、所望の比誘電率に応じて適宜選択することができる。例えば１０重量％以内の範囲内で使用することができる。

（その他の添加物）
前記着色液体７には、その他、本発明の効果を損なわない範囲において、界面活性剤、分散剤、湿潤剤、増粘剤、保存料、粘度安定剤、粉砕助剤、充填剤、沈殿防止剤、光保護剤、酸化防止剤、殺生物剤、脱気剤／消泡剤、発泡抑制剤、ベーキング防止剤等添加剤を加えても良い。例えば使用可能な界面活性剤としては、非極性溶媒であれば、フッ素系界面活性剤、ポリアルキレングリコール及びそれらの誘導体等が挙げられる。また分散剤としては、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリレート、ｐｏｌｙｖｉｎｙｌｏｘａｚｏｌｉｄｏｎｅｓ、ポリスチレン、ポリエポキシド、ポリウレタン、およびポリビニルハロゲン等が挙げられる。市販の分散剤としては、ＬＵＢＲＩＺＯＬ社のソルスパース、エボニック社のＴｅｇｏｓｐｅｒｓｅ、ＢＡＳＦ社のＥＦＫＡ、ビックケミー社のＤＩＳＰＥＲＢＹＫ等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
また、極性溶媒であれば、フッ素系界面活性剤、アルキルスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルカルボン酸塩などのアニオン系界面活性剤、アルキルアンモニウム塩、アルキルピリジニウム塩などのカチオン系界面活性剤、ポリアルキレングリコールおよびその誘導体などのノニオン系界面活性剤などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。

（表示デバイスの製造方法）
図１における表示デバイスの製造方法を以下に示す。前記電極３、疎水性絶縁層４と隔壁５とで形成された画素ユニット６を設けた第二の基板２上に前記着色液体７を、インクジェット式記録ヘッドパターニング吐出し、画素ユニット６中に封入する。
次に、前記電極３を設けた第一の基板１と、第二の基板２とを、前記電極３同士が対向するように設置する。第一の基板１と第二の基板２とを所定の間隔に保つための間隙形成材（図示せず）を、第二の基板１の外周部に配置する。この間隙形成材としては、例えばシール接着剤や、接着剤にシリカ球を混ぜたものなどが挙げられる。次に、前記着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８を流し入れる。液体８を封入する方法としては、ディッピング法、塗布法、インクジェット法等があげられる。最後に、間隙形成材を介して前記第一の基板１および前記第二の基板２を貼り合わせたのちに、封止剤を用いて前記第一の基板１および前記第二の基板２の周縁部を封止する。これにより、表示デバイスが完成する。

次に、図４に示される本発明の表示デバイスの具体的態様、及び製造方法を以下に示す。
図４における表示デバイスは、前記第一の基板１と前記第二の基板２の間に貫通孔１０を有する中間層１１を備えており、電圧印加時には、前記第一の基板１と前記中間層１１との間に設けられた表示側第一の空間と、中間層１１と前記第二の基板２との間に設けられた第二の空間とを、前記着色液体７がエレクトロウエッティング現象で移動され或いは表示側の表面積を増大させて着色表示させる。
前記中間層１１は光散乱可能な部材で形成してもよいし、前記着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８に光散乱物質を配合して光散乱液体してもよい。

前記中間層１１は、具体的には、光散乱シートを成形する透明シート成形用の高分子樹脂の中に、屈折率の大きな酸化チタンやアルミナの微粒子や屈折率の小さい中空ポリマー微粒子を含有させて、光散乱シートの表面から乱反射を発生させる。中間層を形成する樹脂としては熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂のいずれも用いることができ、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカーボネート、ポリテトラフルオロエチレン（例えばデュポン社製“テフロン（登録商標））等を用いる。なお、樹脂に限らず、ガラス、セラミック等のいずれでも良い。
また前記中間層１１に設ける貫通孔１０の直径は、通常エレクトロウエッティングデバイスで用いられる直径であればよく、例えば０．１μｍ〜１００μｍの範囲が好ましい。中間層に設ける貫通孔の形成方法としては、フォトリソグラフィ法、陽極酸化法、エッチング法、染色法、印刷法等、適宜な形成方法が採用できる。
また、前記中間層１１は、必要に応じて電極（図示せず）を設けることもできる。具体的には、貫通孔の内面に電極を配置した２端子構造とし、該２端子をスイッチを介して接続し、該スイッチをオン・オフすることで前記表示側の上部空間に着色液体７を流入させて着色画像の表示すると共に、前記上部空間から着色液体７を流出させて白色散乱画面に切り替えることができる。あるいは、前記２端子構造に代えて、３端子構造としてもよい。
前記３端子構造では、表示側第一の空間の上面あるいは／および下面に上部電極、第二の空間の上面あるいは／および下面に下部電極、前記白色散乱シートの貫通孔１０の内面に沿って配置される共通電極を設け、共通電極と上部電極、該共通電極と下部電極に接続すると共に回路開閉手段がそれぞれ介設された上部側電源回路と下部側電源回路を備え、上部側電源回路の回路開閉手段と下部側電源回路の回路開閉手段とを交互に開閉させ、前記上部空間への前記着色液体７の流入・流出が切り替えられる表示装置としてもよい。
該３端子構造とすると、上部空間への着色液体７の流入・流出を上部側電源回路と下部側電源回路との交互の開閉による行うため、上部空間への着色液体７の流入・流出速度を迅速に行うことができる。

前記第二の空間、前記貫通孔１０、及び前記第一の空間を密閉された連通流路１２からなる空間は、着色液体７の液体貯留部１３となる。電圧が印加されると、前記着色液体７は前記第一の空間へエレクトロウエッテイング方式で流入し、表示がなされる。電圧が非印加となると、着色液体７は貯留部１２へと戻る。前記貯留部１２の形状は特に限定はなく、エレクトロウエッテイングデバイスで通常使用される形状であればよい。例えば、前記第二の基板２と中間層１１とで挟まれた層状の空間と貫通孔１０及び連通流１２とからなる細長い管状の空間でもよいし、前記第二の基板２と中間層１１とで挟まれた部分に空間はなく、貫通孔１０と連通流路１２とからなる管状の空間でもよい。

前記電極３、前記第一の基板１と、前記貫通孔１０を設けた中間層１１と、前記電極３、疎水性絶縁層４と隔壁５とで形成された画素ユニットを設けた第二の基板２とを、前記電極３同士が対向するように設置する。前記第一の基板１と前記中間層１１、前記中間層１１と前記第二の基板２とを所定の間隔に保つための間隙形成材（図示せず）を配置する。この間隙形成材としては、例えばシール接着剤や、接着剤にシリカ球を混ぜたものなどが挙げられる。
次に、前記第二の空間、前記貫通孔１０、及び前記第一の空間を密閉された連通流路１２からなる液体貯留部１３に前記着色液体７をインクジェット式記録ヘッドにより封入したのち、着色液体７とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体８を封入する。液体８を封入する方法としては、ディッピング法、塗布法、インクジェット法等があげられる。最後に、間隙形成材を介して前記第一の基板１、前記中間層１１および前記第二の基板２を貼り合わせたのちに、封止剤を用いて周縁部を封止する。これにより、表示デバイスが完成する。

以下、実施例により、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明は、下記実施例に何ら制限されるものではない。なお、以下実施例中にあるｇ、％は質量換算である。

（着色剤）
着色剤としては以下のものを使用した。
＃９６０：三菱化学社製 カーボンブラック
ＭＡ８ ：三菱化学社製 カーボンブラック
１３ＭＴ：三菱マテリアル社製 チタンブラック
ＪＲ−８０６：テイカ社製 酸化チタン
Ｉｒｇａｚｉｎ Ｒｅｄ Ｌ３６３０：ＢＡＳＦ社製 赤色顔料
ＦＡＳＴＯＧＥＮ ＧＲＥＥＮ ２ＹＫ−ＣＦ：ＤＩＣ社製 緑色顔料
ＦＡＳＴＯＧＥＮ ＳＵＰＥＲ ＶＩＯＬＥＴ ＲＵＳ：ＤＩＣ社製 青色顔料

（樹脂合成方法１ 塩基性基を有する樹脂型分散剤 ポリイミド系樹脂（Ｘ）の製造方法）
温度計、撹拌機、窒素導入口、還流管及び水分離器を備えた反応フラスコ内に、キシレン（純正化学製）３００．０ｇ、１２−ヒドロキシステアリン酸（純正化学製）３００．０ｇ及びテトラブチルチタネート（東京化成製）０．１ｇを仕込み、窒素気流下で１６０℃まで４時間かけて昇温した。
さらに１６０℃で４時間加熱し、加熱反応中に生じた水を溜去しポリエステル（Ｗ）のキシレン溶液を得た。ポリエステル（Ｗ）のキシレン溶液は、固形分濃度が４８重量％、数平均分子量が１１００で酸価が２５ｍｇ ＫＯＨ／ｇであった。

次に、撹拌機，還流冷却器，窒素吹込み管、温度計を備えたフラスコに、ポリエチレンイミン（エポミンＳＰ−００６，日本触媒化学工業（株）製，平均分子量約６００）８ｇ、及び、前記ポリエステル（Ｗ）のキシレン溶液１９２ｇを仕込み、窒素気流下撹拌しながら１６０℃で４時間反応させた。得られた反応物から減圧下（５ｍｍＨｇ，８０℃に加熱）にて揮発分を除去し、数平均分子量が１８００、酸価が１ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価が６０ｍｇＫＯＨ／ｇである、褐色の粘稠な変性ポリエチレンイミンであるポリイミド系樹脂（Ｘ）１００ｇを得た。

（樹脂合成方法２ 非水溶媒に可溶な重合性不飽和基を含有するアクリル樹脂（Ｂ−１）の合成）
温度計、攪拌機、還流冷却器および窒素ガス導入管を備えた四つ口フラスコに、酢酸ブチルの７０ｇを仕込んで８０℃に昇温し、同温度に達したところで、ラウリルアクリレート６６．５ｇ、ジメチルアミノエチルメタクリレート３．５ｇ、２，２’−アゾビス(２−メチルブチロニトリル)０．５ｇからなる混合物を４時間かけて滴下し、滴下終了後９０℃に昇温し、１０時間保持して反応を続行した。
反応液の温度を５０℃に下げ、ｔ−ブチルピロカテコール０．０１ｇを酢酸ブチル１．１ｇに溶解した溶液を加え、さらにグリシジルメタクリレート１．１ｇを加えた後に、８０℃まで昇温し、同温度で１０時間反応を行う事で、非水溶媒に可溶な重合性不飽和基を含有するアクリル樹脂（Ｂ−１）の溶液を得た。

（樹脂合成方法３及び４ 非水溶媒に可溶な重合性不飽和基を含有するアクリル樹脂（Ｂ−２）及び（Ｂ−３）の合成）
樹脂合成方法２のアクリル樹脂（Ｂ−１）における原料の種類及び部を表１に記載の通りに変更した以外は樹脂合成方法１に従い、アクリル樹脂（Ｂ−２）及び（Ｂ−３）の溶液を得た。

（変性顔料の合成方法１）
＃９６０を１５ｇ、アクリル樹脂（Ｂ−１）溶液９．３部、テトラデカン７３ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズ１００ｇをポリエチレン広口瓶に入れ、ペイントシェイカー（東洋精機株式会社）で９０分間混合を行った。テトラデカン３２．５ｇで希釈した後、ジルコニアビーズを除去し、顔料混合液を作成した。得られた顔料混合液１１１ｇを温度計、攪拌機、還流冷却器および窒素ガス導入管を備えたセパラブルフラスコに仕込んだ後、メタクリル酸メチル０．９ｇおよびエチレングリコールジメタクリレート１．７ｇの重合性単量体組成物に２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）０．５ｇを溶解したものを加えた。室温で３０分間攪拌を続けた後、８０℃に昇温し、同温度で１５時間反応を続け、固形分比率（以下Ｎ．Ｖと称す）約１６％の変性顔料（１）のテトラデカン溶液を得た。変性顔料（１）は必要に応じてろ過、または遠心分離等で洗浄を行った。

（変性顔料（２）及び（３）の合成方法）
変性で使用する原料の種類および部を表１に記載の通りに変更した以外は表における合成方法１に従い、変性顔料（２）及び（３）のテトラデカン溶液を得た。得られた変性顔料は、必要に応じてろ過、または遠心分離等で洗浄を行った。

表中、参は参考例を示し、ＤＭＡＥＭＡはジメチルアミノエチルメタクリレートを表し、ＡＩＢＮは２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）を表し、ＥＧＤＭＡは、エチレングリコールジメタクリレートを表す。

（参考例１）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、＃９６０を４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、テトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｊ１）を得た。

（参考例２）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、ＭＡ８を４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇテトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｊ２）を得た。

（参考例３）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、１３ＭＴを４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、テトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｊ３）を得た。

（参考例４)
前記得られた変性顔料（３）のテトラデカン溶液を使用し、着色液体（Ｊ４）を得た。
着色液体は、変性顔料（３）を１７．６ｇ、テトラデカン２２．４ｇを仕込み、超音波分散機で２時間超音波分散を行って着色液体（Ｊ４）とした。

（参考例５）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、Ｉｒｇａｚｉｎ Ｒｅｄ Ｌ３６３０を４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、テトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｊ５）を得た。

（参考例６）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、ＦＡＳＴＯＧＥＮ ＧＲＥＥＮ ２ＹＫ−ＣＦを４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、テトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｊ６）を得た。

（参考例７）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、ＦＡＳＴＯＧＥＮ ＳＵＰＥＲ ＶＩＯＬＥＴ ＲＵＳを４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、テトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｊ７）を得た。

（比較参考例１）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、＃９６０を２ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）２ｇ、ヘプタン３６ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｈ１）を得た。

（比較参考例２）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、＃９６０を４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、ＡＦソルベント６号（ＪＸ日鉱日石エネルギー社製 鉱物油）３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｈ２）を得た。

（比較参考例３）
参考例１で得られた着色液体（Ｊ１）に、メガファックＦ−４７０（ＤＩＣ社製フッ素系界面活性剤）１重量％を加え、３０分間攪拌することで着色液体（Ｈ３）を得た。

（比較参考例４）
２００ｍｌのポリエチレン瓶に、ＪＲ−８０６を４ｇ、ポリイミド系樹脂（Ｘ）４ｇ、テトラデカン３２ｇ、０．５ｍｍジルコニアビーズを１８０ｇ加えて、ペイントコンディショナーで１２０分分散し着色液体（Ｈ４）を得た。

（比較参考例５)
前記得られた変性顔料（１）のテトラデカン溶液を使用し、着色液体（Ｈ５）を得た。
着色液体は、変性顔料（１）を１７．６ｇ、テトラデカン２２．４ｇを仕込み、超音波分散機で２時間超音波分散を行って着色液体（Ｈ５）とした。

（比較参考例６)
前記得られた変性顔料（２）のテトラデカン溶液を使用し、着色液体（Ｈ６）を得た。
着色液体は、変性顔料（２）を１７．６ｇ、テトラデカン２２．４ｇを仕込み、超音波分散機で２時間超音波分散を行って着色液体（Ｈ６）とした。

（物性測定方法）
前記着色液体（Ｊ１）〜（Ｊ４）、および（Ｈ１）〜（Ｈ６）の物性として、表面張力、粘度及びを測定した。測定方法を示す。

（粘度）
東機産業社製の粘度測定器：ＴＶＥ−２０Ｌにて、２５℃における粘度を測定した。測定回転数は、１００ｒｐｍ／ｍｉｎとした。

（表面張力）
協和界面科学社製のウェルヘルミー型表面張力測定器：ＣＢＵＰ−Ａ３を用いて表面張力を測定した。プラスチック容器に入れた着色液体を恒温水槽に浸漬し、予め２５℃に調整することで２５℃の表面張力を測定した。

（体積平均粒子径）
参考例及び比較参考例で得られた前述の着色液体２０μｌとテトラデカン２０ｍｌを混合し、測定用希釈着色組成物を作成した。これを、日機装社製の粒子径測定装置「ＭｉｃｒｏｔｒａｃｋＵＰＡ-１５０」で、体積平均粒子径：ｍｖを測定した。

（吐出評価）
前記着色液体（Ｊ１）〜（Ｊ４）、および（Ｈ１）〜（Ｈ５）のインクジェット式記録ヘッドによる吐出性を評価した。インクジェット式記録ヘッドにてインクを３時間連続吐出後、パターニング印刷をおこない、印刷パターンに抜けがなければ吐出性良好、抜けがあれば吐出性不良とした。

表２、及び表３の結果から、粘度は１〜２０ｍＰａ．ｓが好ましく、表面張力は２０〜７０ｍＮ／ｍが好ましく、体積平均粒子径は１〜２００ｎｍが好ましいことがわかる。

（実施例１ 表示デバイスの製造方法１）
以下の手順により図１〜３に示す表示デバイスを作製した。

第一の基板１、第二の基板２いずれも、ガラス基板を用いた。以下単に第一の基板１、第二の基板２と称す。
第一の基板１の表面に酸化インジウム錫（ＩＴＯ）膜を形成した。洗剤を用いて超音波洗浄し、次に純水（不純物イオン濃度が５０ｐｐｍ以下）により洗剤を十分に除去した後、紫外線オゾン処理によりドライ洗浄した。
次に、第二の基板２の表面にＩＴＯ膜を形成したのち、そのＩＴＯ膜の上に感光性のレジスト材料を塗布し、フォトリソ法によって所定のパターンを形成した。そののち、混酸に浸すことによってＩＴＯ膜をエッチングすることにより、マトリックス状の電極３を形成した。電極３が形成された第二の基板２は、前記第一の基板と同様に潜在、純水、ドライの順で洗浄を行った。
次に、旭硝子(株)社製のフッ素樹脂「ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−１０７ＭＫ」を旭硝子(株)社製のフッ素系溶剤「ＣＴ−Ｓｏｌｖ．１００Ｋ」にてフッ素樹脂濃度が３重量％となるように希釈した。この希釈樹脂溶液を、スピンコート法によりＩＴＯ膜を設けた第二の基板２上に塗布し、８０℃で３０分間乾燥後、さらに１８０℃で３０分間加熱乾燥し、膜厚０．５μｍの疎水性絶縁層４を形成した。続いて、紫外線オゾン処理法により疎水性絶縁層４の表面を処理したのち、疎水性絶縁層４の上に界面活性剤を含む感光性のブラックレジスト材料を塗布し、フォトリソ法によって所定のパターンの隔壁５を形成した。続いて、純水（不純物イオン濃度が５０ｐｐｍ以下）により、疎水性絶縁層４および隔壁５の表面の不純物イオンを除去した。最後に、紫外線オゾン処理法により、疎水性絶縁膜４および隔壁５の表面を処理することで、それらの表面の撥水性を調整することで、電極３、疎水性絶縁層４、疎水性絶縁層４と隔壁５とで形成された画素ユニット６とを有する第二の基板２を設けた（以下これを、「画素ユニット６付き第二の基板２」と称す）。

画素ユニット６付き第二の基板２の画素ユニット６中に、着色液体Ｊ１をインクジェット式記録ヘッドによりパターニング吐出し、画素ユニット６中に封入した。次に、シール接着剤からなる間隙形成剤を画素ユニット６付き第二の基板２の外周部に配置した。そののち、エチレングリコールを所定の速度で流し入れた。
前記第一の基板１と、前記画素ユニット６付き第二の基板２とを、前記電極３同士が対向するように設置し、前記第一の基板１と、前記画素ユニット６付き第二の基板２とを貼りあわせた。最後に、封止剤を用いて前記第一の基板１と前記画素ユニット６付き第二の基板２の周縁部を封止することにより、図１〜図３に示す表示デバイスＤ１を得た。
得られた表示デバイスＤ１は、高い再現性で画素ユニット中に着色液体が充填されており、デバイス駆動時のドット抜けは観察されなかった。

（実施例２〜４）
画素ユニット６中に封入する着色液体をＪ２〜Ｊ４に変更した以外は実施例１と同様にして、表示デバイスＤ２〜Ｄ４を得た。得られた表示デバイスはいずれも高い再現性で画素ユニット中に着色液体が充填されており、デバイス駆動時のドット抜けは観察されなかった。

（実施例５）
インクジェット式記録ヘッド１、ヘッド２およびヘッド３に着色液体Ｊ５、着色液体Ｊ６、着色液体Ｊ７をそれぞれ充填した。次に、着色液体Ｊ５、着色液体Ｊ６、着色液体Ｊ７のそれぞれを、画素ユニット６付き第二の基板２の画素ユニット６中に、所望するカラーフィルターのＲＧＢ配列となるように（即ち１つの画素ユニット６中に着色液体Ｊ５〜Ｊ７のいずれか１色が封入されるように）パターニング吐出し封入した。その後は実施例１と同様にして、表示デバイスD５を得た。
得られた表示デバイスは、所定の画素ユニット６の一つ一つに着色液体Ｊ５、着色液体Ｊ６、着色液体Ｊ７のそれぞれが混色することなく充填されており、デバイス駆動時のドット抜けは観察されなかった。

（比較例１〜６）
画素ユニット６中に封入する着色液体をＨ１〜Ｈ６に変更した以外は実施例１と同様にして、表示デバイスＤＨ１〜ＤＨ６を得た。得られた表示デバイスはいずれも着色液体の充填されていない画素ユニットが散見され、デバイス駆動時にドット抜けが観察された。

表示デバイスの具体的態様の一例を示す断面図である。 表示デバイスに電圧を印加したときの、液滴の拡大を示す模式図である。 表示デバイスに電圧を印加したときの、液滴の縮小を示す模式図である。 表示デバイスの具体的態様の一例を示す断面図である。 表示デバイスの一部の概略的な断面図であり、従来の製造方法である２液注入方法の一例を示している。 表示デバイスの一部の概略的な断面図であり、従来の製造方法である２液注入方法の一例を示している。

１：第一の基板
２：第二の基板
３：電極
４：疎水性絶縁層
５：隔壁
６：画素ユニット（点線で囲われた部分）
７：着色液体
８：着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体
９：カラーフィルター
１０：貫通孔
１１：中間層
１２：連通流路
１３：液体貯留部（点線で囲われた部分）
１５：シリンジ
１６：シリンジの挿入する方法を指す。

Claims (6)

1. 外部電場によって液体を移動もしくは変形させることにより、色あるいは明るさを変調する光変調方式の表示デバイスの製造方法であって、
   前記液体が、着色液体及び着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体とを含有する分離液状着色液体であり、
   前記液体の封入をインクジェット式記録ヘッドにより行うことを特徴とする表示デバイスの製造方法。
2. 前記表示デバイスが、互いに対向する第一の基板と第二の基板と、前記第一の基板及び／または第二の基板の対向面側に設置された電極と、前記第二の基板の対向面側に設置された疎水性絶縁層と、該疎水性絶縁層上に設置された隔壁とで形成された画素ユニットと、前記画素ユニット中に封入された前記着色液体と、前記着色液体と前記第一の基板との間に封入され前記着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体、とを備えており、前記画素ユニット中への前記着色液体の封入をインクジェット式記録ヘッドにより行う請求項１に記載の表示デバイスの製造方法。
3. 前記表示デバイスが、少なくとも、互いに対向する第一の基板と第二の基板と、前記第一の基板及び／または第二の基板の対向面側に設置された電極と、前記第二の基板の対向面側に設置された疎水性絶縁層と、前記第一の基板と前記第二の基板の間に貫通孔を有する中間層とを備え、前記第一の基板と前記中間層との間に表示側第一の空間、中間層と下部層との間に第二の空間が設けられており、前記第二の空間、前記貫通孔、及び前記第一の空間を密閉された連通流路からなる液体貯留部に封入された前記着色液体と、前記第一の空間に封入された前記着色液体とは混和せず透光性が前記着色液体よりも良い液体とを備えており、前記第二の空間中への前記着色液体の封入をインクジェット式記録ヘッドにより行う請求項１に記載の表示デバイスの製造方法。
4. 前記着色液体が、非極性溶媒、着色剤、及び添加剤を含み、前記着色液体の粘度が１〜２０ｍＰａ．ｓの範囲であり、かつ表面張力が２０〜７０ｍＮ／ｍの範囲であり、かつ前記着色剤の体積平均粒子径が１〜２００ｎｍの範囲である請求項１〜３のいずれかに記載の表示デバイスの製造方法。
5. 前記着色剤が顔料である請求項１〜４のいずれかに記載の表示デバイスの製造方法。
6. 前記光変調方式が、エレクトロウエッティング方式又はエレクトロフルイディック方式である請求項１〜５のいずれかに記載の表示デバイスの製造方法。

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