JP2013159627A - 金属膜蒸着再剥離テープ及び半導体ウエハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウエハを固定する支持板に対して高い静電チャック吸着性を付与し、容易に張り替え可能な金属膜蒸着再剥離テープ、及び、該金属膜蒸着再剥離テープを用いた半導体ウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】半導体チップの製造工程において半導体ウエハを補強するための支持板に貼付することにより、該支持板に静電チャック吸着性を付与するための金属膜蒸着再剥離テープであって、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方の面に形成された蒸着金属膜層と、他方の面に形成された再剥離粘着剤層とからなり、前記ベースフィルムは、200℃における熱収縮率が10%以下であり、前記蒸着金属膜層は、厚み1μmに蒸着したときの表面固有抵抗が10000Ω以下の金属からなり、前記再剥離粘着剤層は、空気下かつ常圧条件下で30℃から200℃にまで加熱したときの重量減少率が10重量%以下の粘着剤からなり、前記支持板に対する初期接着力が0.2〜1.5N/25mmである金属膜蒸着再剥離テープ。
【選択図】 なし
【解決手段】半導体チップの製造工程において半導体ウエハを補強するための支持板に貼付することにより、該支持板に静電チャック吸着性を付与するための金属膜蒸着再剥離テープであって、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方の面に形成された蒸着金属膜層と、他方の面に形成された再剥離粘着剤層とからなり、前記ベースフィルムは、200℃における熱収縮率が10%以下であり、前記蒸着金属膜層は、厚み1μmに蒸着したときの表面固有抵抗が10000Ω以下の金属からなり、前記再剥離粘着剤層は、空気下かつ常圧条件下で30℃から200℃にまで加熱したときの重量減少率が10重量%以下の粘着剤からなり、前記支持板に対する初期接着力が0.2〜1.5N/25mmである金属膜蒸着再剥離テープ。
【選択図】 なし
Description
本発明は、半導体ウエハを固定する支持板に対して高い静電チャック吸着性を付与し、容易に張り替え可能な金属膜蒸着再剥離テープ、及び、該金属膜蒸着再剥離テープを用いた半導体ウエハの製造方法に関する。
半導体チップは、純度の高い棒状の半導体単結晶等をスライスして半導体ウエハとした後、フォトレジストを利用して半導体ウエハ表面に所定の回路パターンを形成し、次いで半導体ウエハ裏面を研削機により研削して厚さを30〜300μm程度まで薄くする研削工程を行った後、CVDやスパッタリング等処理を施す表面処理工程を経て、最後にダイシングしてチップ化するダイシング工程を行うことにより、製造されている。
上記研削工程においては、半導体ウエハの加工時に取扱いを容易にし、破損したりしないようにするために半導体ウエハを支持板に固定することが行われている。続く表面処理工程においては、半導体ウエハを静電チャックに吸着することにより固定したうえで、各種の表面処理を施す。しかし、静電チャックに吸着する際に、研削工程において用いる支持板が邪魔になって、充分に高い吸着力が得られず、表面処理工程時半導体ウエハが動いてしまうことがあるという問題があった。
これに対して、特許文献1には、半導体ウエハを固定する支持板の表面に電極膜を蒸着し、静電チャックにより該支持板に固定された半導体ウエハを吸着する方法が記載されている。この方法によれば、静電チャックに対する高い吸着性を実現することができる。
しかしながら、特許文献1に記載された方法では、支持板を繰り返し使用すると、表面の電極膜が損傷して、静電チャックによる吸着力が低下してしまう。そのような場合に、高価な支持板を再利用するためには、古い電極膜を除き、新たに電極膜を蒸着する工程が必要となり、非常に煩雑であるという問題があった。
しかしながら、特許文献1に記載された方法では、支持板を繰り返し使用すると、表面の電極膜が損傷して、静電チャックによる吸着力が低下してしまう。そのような場合に、高価な支持板を再利用するためには、古い電極膜を除き、新たに電極膜を蒸着する工程が必要となり、非常に煩雑であるという問題があった。
本発明は、半導体ウエハを固定する支持板に対して高い静電チャック吸着性を付与し、容易に張り替え可能な金属膜蒸着再剥離テープ、及び、該金属膜蒸着再剥離テープを用いた半導体ウエハの製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、半導体チップの製造工程において半導体ウエハを補強するための支持板に貼付することにより、該支持板に静電チャック吸着性を付与するための金属膜蒸着再剥離テープであって、ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方の面に形成された蒸着金属膜層と、他方の面に形成された再剥離粘着剤層とからなり、前記ベースフィルムは、200℃における熱収縮率が10%以下であり、前記蒸着金属膜層は、厚み1μmに蒸着したときの表面固有抵抗が10000Ω以下の金属からなり、前記再剥離粘着剤層は、空気下かつ常圧条件下で30℃から200℃にまで加熱したときの重量減少率が10重量%以下の粘着剤からなり、前記支持板に対する初期接着力が0.2〜1.5N/25mmである金属膜蒸着再剥離テープである。
以下に本発明を詳述する。
以下に本発明を詳述する。
本発明者は、鋭意検討の結果、支持板の表面に直接電極膜を蒸着する代わりに、蒸着金属膜層が設けられた再剥離可能な金属膜蒸着再剥離テープを用いれば、表面の電極膜が損傷して静電チャックによる吸着力が低下してしまった場合にでも、テープを張り替えるだけで容易に高価な支持板を再利用できることを見出し、本発明を完成した。
本発明の金属膜蒸着再剥離テープは、半導体チップの製造工程において半導体ウエハを補強するための支持板に貼付することにより、該支持板に静電チャック吸着性を付与するためのものである。
上記半導体ウエハは、例えば、高純度なシリコン単結晶やガリウム砒素単結晶等をスライスして半導体ウエハとし、その表面に所定の回路パターンが形成されたものであり、厚さ500μm〜1mm程度のもの等が挙げられる。
上記支持板は、例えば、ガラス板や、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ABS、PET、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の樹脂からなる板状体等が挙げられる。
上記半導体ウエハは、例えば、高純度なシリコン単結晶やガリウム砒素単結晶等をスライスして半導体ウエハとし、その表面に所定の回路パターンが形成されたものであり、厚さ500μm〜1mm程度のもの等が挙げられる。
上記支持板は、例えば、ガラス板や、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ABS、PET、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の樹脂からなる板状体等が挙げられる。
半導体チップの製造工程では、CVDやスパッタリング等処理を施す表面処理工程等、200℃程度の高温がかかる高温工程がある。本発明の金属膜蒸着再剥離テープは、このような高温工程を繰り返しても、充分の再剥離性を発揮することが要求される。
本発明の金属膜蒸着再剥離テープは、ベースフィルムの一方の面に蒸着金属膜層が、他方の面に再剥離粘着剤層が形成されている。
上記ベースフィルムは、200℃における熱収縮率が10%以下である。200℃における熱収縮率が10%を超えると、上記高温工程において本発明の金属膜蒸着再剥離テープが熱収縮してしまい、支持板から剥離してしまうことがある。200℃における熱収縮率は5%以下であることが好ましく、1%以下であることがより好ましい。
上記ベースフィルムの熱収縮率は、長手方向(MD方向)又は幅方向(TD方向)のいずれか片方の方向において10%以下であればよいが、長手方向(MD方向)及び幅方向(TD方向)の両方の方向において10%以下であることが好ましい。
なお、上記ベースフィルムの熱収縮率は、当該ベースフィルムを200℃のオーブン中で10分間加熱する前後におけるフィルムの長さを測定することにより算出することができる。
上記ベースフィルムは、200℃における熱収縮率が10%以下である。200℃における熱収縮率が10%を超えると、上記高温工程において本発明の金属膜蒸着再剥離テープが熱収縮してしまい、支持板から剥離してしまうことがある。200℃における熱収縮率は5%以下であることが好ましく、1%以下であることがより好ましい。
上記ベースフィルムの熱収縮率は、長手方向(MD方向)又は幅方向(TD方向)のいずれか片方の方向において10%以下であればよいが、長手方向(MD方向)及び幅方向(TD方向)の両方の方向において10%以下であることが好ましい。
なお、上記ベースフィルムの熱収縮率は、当該ベースフィルムを200℃のオーブン中で10分間加熱する前後におけるフィルムの長さを測定することにより算出することができる。
上記ベースフィルムは、具体的には例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリサルフォン、ポリアラミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエステルイミド等からなるフィルムが好適である。
上記ベースフィルムの厚さの好ましい下限は12μm、好ましい上限は100μmである。上記ベースフィルムの厚さが12μm未満であると、剥離時にフィルム切れしまい支持板から剥離しにくいことがあり、100μmを超えると、金属膜蒸着再剥離テープ全体の厚さが厚くなり、剥離時にめくるようにして剥離することができないことがある。上記ベースフィルムの厚さのより好ましい下限は20μm、より好ましい上限は75μmである。
上記蒸着金属膜層は、本発明の金属膜蒸着再剥離テープを貼付した支持板に、静電チャック吸着性を付与する役割を有する。
上記蒸着金属膜層は、厚み1μm蒸着時の表面固有抵抗が10000Ω以下の金属からなる。このような金属を用いることにより、高い静電チャック吸着性を付与することができる。
上記蒸着金属膜層は、厚み1μm蒸着時の表面固有抵抗が10000Ω以下の金属からなる。このような金属を用いることにより、高い静電チャック吸着性を付与することができる。
上記厚み1μm蒸着時の表面固有抵抗が10000Ω以下の金属は、例えば、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、酸化亜鉛(ZnO)又は酸化錫(SnO)等の金属酸化物等が挙げられる。
上記蒸着金属膜層の厚さの好ましい下限は0.05μm、好ましい上限は5μmである。上記蒸着金属膜層の厚さが0.05μm未満であると、本発明の金属膜蒸着再剥離テープを貼付した支持板を繰り返し使用したときに、短期間で蒸着金属膜層が剥離してしまうことがあり、5μmを超えると、金属膜蒸着再剥離テープ全体が硬くなって、剥離時にめくるようにして剥離することができないことがある。上記蒸着金属膜層の厚さのより好ましい下限は0.1μm、より好ましい上限は2μmである。
上記蒸着金属膜層を形成する方法は特に限定されず、従来公知の薄膜形成方法により上記ベースフィルムの一方の面上に上記金属を蒸着させればよい。金属膜層を形成する方法としては、具体的には、スパッタリング法等のPVD法や、光CVD、プラズマCVD等のCVD法が挙げられる。なかでも、簡便であることから、スパッタリング法が好適である。
上記再剥離粘着剤層は、本発明の金属膜蒸着再剥離テープを支持板に貼付する役割を果たすとともに、上記蒸着金属膜層が傷んできたときに上記支持板から容易に剥離して、支持板を再利用しやすくする役割を果たすものである。
上記再剥離粘着剤層は、空気下かつ常圧条件下で30℃から200℃にまで加熱したときの重量減少率が10重量%以下の粘着剤からなる。これは、本発明の金属膜蒸着再剥離テープを支持板に貼付した状態で200℃程度の高温工程を行ったときに、上記再剥離粘着剤層から放出されるアウトガスが少ないことを意味する。上記重量減少率が10重量%を超えると、高温工程において金属膜蒸着再剥離テープが支持板から剥離してしまうことがある。上記重量減少率は5重量%以下であることが好ましい。
上記再剥離粘着剤層は、上記支持板に対する初期接着力の下限が0.2N/25mm、上限が1.5N/25mmである。上記支持板に対する初期粘着力が0.2N/25mm未満であると、支持板に対する粘着力が不充分となり、各種の工程中に支持板から金属膜蒸着再剥離テープから剥離してしまうことがある。上記支持板に対する初期粘着力が1.5N/25mmを超えると、上記蒸着金属膜層が傷んできたときに上記支持板から金属膜蒸着再剥離テープを剥離して、支持板を再利用するのが困難となる。上記支持板に対する初期接着力の好ましい下限は0.2N/25mm、好ましい上限は1.0N/25mmである。
上記再剥離粘着剤層は、具体的には例えば、アクリル粘着剤、シリコン粘着剤、ウレタン系等の耐熱性の高い粘着剤からなることが挙げられる。
本発明の金属膜蒸着再剥離テープを貼着することにより、支持板に静電チャック吸着性を付与できる。静電チャック吸着性を有する支持板を半導体ウエハに貼り合わせることにより、半導体ウエハの加工時に取扱いを容易にし、破損したりしないようにすることができ、その後のCVDやスパッタリング等処理を施す表面処理工程等の200℃程度の高温がかかる工程においても該支持板を静電チャックに吸着して固定して行うことができる。そして、支持板を繰り返し使用して蒸着金属膜層が傷んできたときには、支持板から金属膜蒸着再剥離テープを剥離して、新しい金属膜蒸着再剥離テープに張り替えることにより、支持板を容易に再利用することができる。
半導体ウエハを補強するための支持板に本発明の金属膜蒸着再剥離テープを貼付する工程と、前記金属膜蒸着再剥離テープが貼付された支持板を半導体ウエハに貼付して補強する工程と、前記支持板により補強された半導体ウエハを、金属膜蒸着再剥離テープの金属膜を静電チャックに吸着することにより固定した状態で表面処理を施す工程とを有する半導体ウエハの製造方法もまた、本発明の1つである。
本発明によれば、半導体ウエハを固定する支持板に対して高い静電チャック吸着性を付与し、容易に張り替え可能な金属膜蒸着再剥離テープ、及び、該金属膜蒸着再剥離テープを用いた半導体ウエハの製造方法を提供することができる。
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
(実施例1)
ベースフィルムとして、ポリエステルからなる厚さ50μmのフィルムを準備した。このベースフィルムの表面に、スパッタ法によりITOからなる厚さ0.5μmの蒸着金属膜層を形成した。
ベースフィルムとして、ポリエステルからなる厚さ50μmのフィルムを準備した。このベースフィルムの表面に、スパッタ法によりITOからなる厚さ0.5μmの蒸着金属膜層を形成した。
温度計、攪拌機、冷却管を備えた反応器を用意し、この反応器内に、2−エチルヘキシルアクリレート20重量部、ラウリルアクリレート75、アクリル酸1重量部、2−ヒドロキシエチルアクリレート4重量部、ラウリルメルカプカプタン0.01重量部と、酢酸エチル180重量部を加えた後、反応器を加熱して還流を開始した。続いて、上記反応器内に、重合開始剤として1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン0.01重量部を添加し、還流下で重合を開始させた。次に、重合開始から1時間後及び2時間後にも、1,1−ビス(t−ヘキシルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサンを0.01重量部ずつ添加し、更に、重合開始から4時間後にt−ヘキシルパーオキシピバレートを0.05重量部添加して重合反応を継続させた。そして、重合開始から8時間後に、固形分55重量%、重量平均分子量70万のアクリル共重合体を得、更にポリイソシアネート系架橋剤(コロネートL45、日本ポリウレタン社製)1.5重量部を混合し、再剥離粘着剤層の組成物を調製した。
得られた組成物を、蒸着金属膜層が形成されたベースフィルムの他方の面に、乾燥後の厚さが20μmとなるようにドクターナイフを用いて塗工し、その後乾燥させることにより、金属膜蒸着再剥離テープを得た。
(評価)
得られた金属膜蒸着再剥離テープ等について、以下の評価を行った。
(1)ベースフィルムの熱収縮率の評価
ベースフィルムを20mm×150mmの大きさに裁断した。なお、MD測定の場合のサンプルでは、MD方向150mm/TD方向20mmとした。一方、TD測定の場合のサンプルでは、MD方向20mm/TD方向150mmとした。即ち、熱収縮率の測定を行う方向が長くなるようにした。このサイズを加熱処理前の寸法Aとした。
裁断後のベースフィルムを、200℃のオーブン中に30分間静置して加熱処理した後、取り出して常温(23℃)にあるまで放置した。常温になったフィルムのサイズを加熱処理後の寸法Bとした。測定した加熱処理前寸法Aと加熱処理後寸法Bを用いて、下記式により熱収縮率を求めた。
熱収縮率(%)={(A−B)/A}×100
その結果、MD方向の熱収縮率は2.1%、TD方向の熱収縮率は2.5%であった。
得られた金属膜蒸着再剥離テープ等について、以下の評価を行った。
(1)ベースフィルムの熱収縮率の評価
ベースフィルムを20mm×150mmの大きさに裁断した。なお、MD測定の場合のサンプルでは、MD方向150mm/TD方向20mmとした。一方、TD測定の場合のサンプルでは、MD方向20mm/TD方向150mmとした。即ち、熱収縮率の測定を行う方向が長くなるようにした。このサイズを加熱処理前の寸法Aとした。
裁断後のベースフィルムを、200℃のオーブン中に30分間静置して加熱処理した後、取り出して常温(23℃)にあるまで放置した。常温になったフィルムのサイズを加熱処理後の寸法Bとした。測定した加熱処理前寸法Aと加熱処理後寸法Bを用いて、下記式により熱収縮率を求めた。
熱収縮率(%)={(A−B)/A}×100
その結果、MD方向の熱収縮率は2.1%、TD方向の熱収縮率は2.5%であった。
(2)蒸着金属膜層の表面固有抵抗の測定
別にベースフィルム上にスパッタ法によりITOからなる厚さ1.0μmの蒸着金属膜層を形成し、これをサンプルとした。
JIS K 7194に記載された「導電性プラスチックの4探針法による抵抗率試験法」に準じた方法により蒸着金属膜層の表面固有抵抗を測定したところ、800Ωであった。
別にベースフィルム上にスパッタ法によりITOからなる厚さ1.0μmの蒸着金属膜層を形成し、これをサンプルとした。
JIS K 7194に記載された「導電性プラスチックの4探針法による抵抗率試験法」に準じた方法により蒸着金属膜層の表面固有抵抗を測定したところ、800Ωであった。
(3)再剥離粘着剤層の重量減少率の測定
金属膜蒸着再剥離テープを20mm×150mmの大きさに裁断して、その重量を測定し、これを加熱処理前重量Cとした。空気下及び常圧条件下においてオーブンに入れて、30℃から200℃に昇温(昇温速度5℃/分)した後、その重量を測定し、これを加熱処理後重量Dとした。測定した加熱処理前重量Cと加熱処理後重量Dとから、下記式により重量減少率を求めた。
重量減少率(%)={(C−D)/C}×100
その結果、再剥離粘着剤層の重量減少率は3.5%であった。
金属膜蒸着再剥離テープを20mm×150mmの大きさに裁断して、その重量を測定し、これを加熱処理前重量Cとした。空気下及び常圧条件下においてオーブンに入れて、30℃から200℃に昇温(昇温速度5℃/分)した後、その重量を測定し、これを加熱処理後重量Dとした。測定した加熱処理前重量Cと加熱処理後重量Dとから、下記式により重量減少率を求めた。
重量減少率(%)={(C−D)/C}×100
その結果、再剥離粘着剤層の重量減少率は3.5%であった。
(4)支持板に対する初期接着力の評価
室温23℃及び相対湿度65%の環境下で、2kgの圧着ゴムローラーを用いて、300mm/分の速度で、金属膜蒸着再剥離テープを支持板(SUS304)に貼り付けた。貼付した状態で24時間放置した後、JIS Z 0237に準拠し、25mmにおける180度剥離強度を300mm/分の速度で測定した。このようにして測定された剥離強度を初期接着力とした。その結果、再剥離粘着剤層の初期接着力は0.3N/25mmであった。
室温23℃及び相対湿度65%の環境下で、2kgの圧着ゴムローラーを用いて、300mm/分の速度で、金属膜蒸着再剥離テープを支持板(SUS304)に貼り付けた。貼付した状態で24時間放置した後、JIS Z 0237に準拠し、25mmにおける180度剥離強度を300mm/分の速度で測定した。このようにして測定された剥離強度を初期接着力とした。その結果、再剥離粘着剤層の初期接着力は0.3N/25mmであった。
(5)半導体ウエハの製造
直径20cmの円形に切断した金属膜蒸着再剥離テープを、直径20.4cmのガラス板の一方の面に貼付した。
該ガラス板の他方の面を、市販の両面粘着テープを用いて、直径20cm、厚さ約50μmシリコンウエハに貼り付けて、支持板により保護されたウエハサンプルを得た。
得られたウエハサンプルを、金属膜蒸着再剥離テープの金属膜をJohnsen−Rahbek type(J/R type)の静電チャックステージを有するCVD装置にチャックした状態で、ウエハの表面にCVDにより酸化膜を形成する処理を行った。
同様の処理を、同じ金属膜蒸着再剥離テープが貼付されたガラス板を用いて、連続50回行ったが、金属膜蒸着再剥離テープがガラス板から剥離する等の問題も生じず、スムーズに処理を行うことができた。
直径20cmの円形に切断した金属膜蒸着再剥離テープを、直径20.4cmのガラス板の一方の面に貼付した。
該ガラス板の他方の面を、市販の両面粘着テープを用いて、直径20cm、厚さ約50μmシリコンウエハに貼り付けて、支持板により保護されたウエハサンプルを得た。
得られたウエハサンプルを、金属膜蒸着再剥離テープの金属膜をJohnsen−Rahbek type(J/R type)の静電チャックステージを有するCVD装置にチャックした状態で、ウエハの表面にCVDにより酸化膜を形成する処理を行った。
同様の処理を、同じ金属膜蒸着再剥離テープが貼付されたガラス板を用いて、連続50回行ったが、金属膜蒸着再剥離テープがガラス板から剥離する等の問題も生じず、スムーズに処理を行うことができた。
連続50回半導体ウエハの製造を行った後、ガラス板から金属膜蒸着再剥離テープを剥離して、新たな金属膜蒸着再剥離テープに張り替えた。
古い金属膜蒸着再剥離テープの剥離は手で行ったが、糊残り等することなく容易に剥離することができた。
古い金属膜蒸着再剥離テープの剥離は手で行ったが、糊残り等することなく容易に剥離することができた。
本発明によれば、半導体ウエハを固定する支持板に対して高い静電チャック吸着性を付与し、容易に張り替え可能な金属膜蒸着再剥離テープ、及び、該金属膜蒸着再剥離テープを用いた半導体ウエハの製造方法を提供することができる。
Claims (4)
- 半導体チップの製造工程において半導体ウエハを補強するための支持板に貼付することにより、該支持板に静電チャック吸着性を付与するための金属膜蒸着再剥離テープであって、
ベースフィルムと、該ベースフィルムの一方の面に形成された蒸着金属膜層と、他方の面に形成された再剥離粘着剤層とからなり、
前記ベースフィルムは、200℃における熱収縮率が10%以下であり、
前記蒸着金属膜層は、厚み1μmに蒸着したときの表面固有抵抗が10000Ω以下の金属からなり、
前記再剥離粘着剤層は、空気下かつ常圧条件下で30℃から200℃にまで加熱したときの重量減少率が10重量%以下の粘着剤からなり、前記支持板に対する初期接着力が0.2〜1.5N/25mmである
ことを特徴とする金属膜蒸着再剥離テープ。 - 蒸着金属膜層は、錫ドープ酸化インジウム、酸化亜鉛又は酸化錫からなることを特徴とする請求項1記載の金属膜蒸着再剥離テープ。
- 半導体ウエハを補強するための支持板に請求項1又は2記載の金属膜蒸着再剥離テープを貼付する工程と、前記金属膜蒸着再剥離テープが貼付された支持板を半導体ウエハに貼付して補強する工程と、前記支持板により補強された半導体ウエハを、金属膜蒸着再剥離テープの金属膜を静電チャックに吸着することにより固定した状態で表面処理を施す工程とを有することを特徴とする半導体ウエハの製造方法。
- 複数回の半導体ウエハの製造を行った後、支持板から金属膜蒸着再剥離テープを剥離して、新しい金属膜蒸着再剥離テープに張り替える工程を有することを特徴とする請求項3記載の半導体ウエハの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6719694B1 (ja) * | 2018-11-26 | 2020-07-08 | リンテック株式会社 | プラズマダイシング用ダイシングシート |
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