JP2013158700A - 酸化処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理室2と、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生装置3と、過酸化水素ガスを発生させる過酸化水素ガス発生装置4と、処理室内よりも狭い空間内でオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとし、混合ガスを処理室2内に供給する混合器10と、を具備し、過酸化水素ガスとオゾンガスとの混合ガスを用いて処理室2内の処理対象表面の酸化処理を行う酸化処理システム1とする。
【選択図】図1
Description
前記酸化処理システムによって酸化処理される処理対象には、例えば、工場廃水等の液体、または、医療機器や手術室内やクリーンルームや電気製品等の固体の表面がある。
また、前記酸化処理システムには、水中においてオゾンと過酸化水素とが反応して生成されるラジカル(例えば、OHラジカル(ヒドロキシカルラジカル))によって、処理室内の処理対象の酸化処理(促進酸化)を行うものがある。
そして、このようにオゾンガスと過酸化水素ガスとを処理室内で混合させる処理システムでは、オゾンガスおよび過酸化水素ガスが処理室内で希釈されるため、オゾンガスと過酸化水素ガスとの混合効率が悪く、ラジカルを効率よく生成することができない場合がある。
つまり、当該オゾンガスと過酸化水素ガスとを処理室内で混合させる処理システムでは、ラジカルによる処理対象の酸化処理効果を確実に得ることができない場合がある。
酸化処理システム1は、過酸化水素(H2O2)ガスとオゾン(O3)ガスとの混合ガスを用いて処理室2内の処理対象表面の酸化処理を行うように構成される。酸化処理システム1によって処理対象表面が酸化処理されることにより、処理対象表面殺菌、洗浄、または、脱臭等が行われる。
酸化処理システム1の処理室2には、例えば、精密機械工業、半導体工業、医薬品工業等の製造設備や研究施設のクリーンルームやアイソレータ、手術室、殺菌装置の殺菌室、歯科・眼科等の医院の居室、洗浄装置の洗浄室、食品製造工場、ホテルの客室、介護施設、病院等の不特定多数が集う各種施設、食堂・レストラン等の厨房、または、有害な化学物質や微生物が残留した施設等がある。
酸化処理システム1の処理室2は、排気口2aを有する。酸化処理システム1の処理室2は、排気口2aに過酸化水素分解触媒およびオゾン分解触媒が設けられて構成される。
処理対象表面には、精密機械工業、半導体工業、医薬品工業等の製造設備や研究施設のクリーンルームやアイソレータの内壁の表面、手術室の内壁の表面、殺菌装置の殺菌室の内壁の表面、歯科・眼科等の医院の居室の内壁の表面、洗浄装置の洗浄室の内壁の表面、食品製造工場の内壁、ホテルの客室の内壁表面、介護施設もしくは病院等の不特定多数が集う各種施設の内壁表面、食堂・レストラン等の厨房の内壁表面、または、有害な化学物質や微生物が残留した施設内の内壁表面等がある。また、処理対象表面には、クリーンルーム内やアイソレータ内、手術室内、殺菌装置の殺菌室内、歯科・眼科等の医院の居室内、洗浄装置の洗浄室内、食品製造工場内、ホテルの客室内、介護施設もしくは病院等の不特定多数が集う各種施設内、食堂・レストラン等の厨房内、または、有害な化学物質や微生物が残留した施設内等に配置されるもの、例えば、クリーンルームやアイソレータ内の装置や工具の表面、手術室内の手術用具の表面、殺菌装置の殺菌室内の衣類や容器の表面、歯科・眼科等の医院の居室内の設置品や機器類の表面、洗浄装置の洗浄室内の電子部品や電気製品等の表面、食品製造工場に設置された製造機器、食品工場内の雰囲気中の浮遊菌、治具類、ケーキ、パイ、もしくは、そば等の原材料、ホテルの客室内のカーテン、ベッド等の調度品、介護施設もしくは病院等の不特定多数が集う各種施設内の調度品、食堂・レストラン等の厨房内の調度品や食器類の表面及び排気される臭い物質、または、有害な化学物質や微生物が残留した施設内の設置物の表面等がある。
このように、酸化処理システム1では、半導体の表面処理のように処理対象表面そのものの処理(酸化処理)が行われる。また、酸化処理システム1では、処理対象表面に付着した化学物質または微生物の処理(酸化処理)が行われて、処理対象表面の臭い物質の低減(脱臭)、処理対象表面の有害物質の無害化、処理対象表面の微生物の殺菌等が行われる。
オゾンを用いた脱臭は、大気汚染処理として排気の脱臭、排煙処理、室内の空気浄化あるいは、浴室、病院、老人施設等でも利用されている。臭い物質を構成する硫化物や有機酸等を、オゾンの強い酸化反応を利用して分解するのが脱臭原理である。一般に、オゾンは−SH、=S、−NH2、=NH、−OH、−CHOを持つ化合物との反応性が大きい。悪臭物質の多くはこれらの基を持つので、オゾンによる脱臭は、多くの悪臭物質に対し効果を持つことになる。
オゾンは、各種難分解性化学物質とも、強力な酸化力により分解することが知られている。例えば、塩素系農薬、有機リン系農薬、尿素系農薬等に対する水中での処理に関する報告もある。
酸化処理システム1のオゾンガス発生装置3には、酸素に放電することによりオゾンガスを発生するもの(放電式オゾンガス発生装置)、または、酸素に紫外線を照射することによってオゾンガスを発生するもの(紫外線式オゾンガス発生装置)等がある。
酸化処理システム1のオゾンガス発生装置3は、処理室2の上流側に配置される。
酸化処理システム1の過酸化水素ガス発生装置4は、過酸化水素水(例えば、35wt%過酸化水素水)を蒸発させて、過酸化水素ガスを発生させるように構成される。なお、酸化処理システム1では、過酸化水素ガス発生装置4において過酸化水素ガスを発生するために用いられる過酸化水素水は、求められる効果、用途、または、過酸化水素ガス発生装置4の仕様等に応じて、適切な濃度のものが選択されて用いられてもよい。
酸化処理システム1の過酸化水素ガス発生装置4は、処理室2の上流側に配置される。
酸化処理システム1のファン5は、処理室2外に配置される。酸化処理システム1のファン5は、過酸化水素ガス発生装置4の上流側に配置される。
酸化処理システム1の混合器10は、処理室2の上流側に配置される。酸化処理システム1の混合器10は、オゾンガス発生装置3および過酸化水素ガス発生装置4の下流側に配置される。
酸化処理システム1の混合器10は、例えば図2に示すように、円筒部材11と複数個の混合羽根12とを備え、処理室2内よりも狭い空間内でオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとするスタテックミキサとして構成される。
混合ガスでは、オゾンガスと過酸化水素ガスとが反応してラジカルが生成される。オゾンと過酸化水素とが反応して生成されるラジカルには、OHラジカル(ヒドロキシカルラジカル)がある。OHラジカルは、オゾンまたは過酸化水素よりも酸化力が強いことで知られている。
酸化処理システム1は、過酸化水素ガス発生装置4と混合器10とが過酸化水素ガス供給管7を介して接続されて、構成される。
酸化処理システム1は、ファン5と過酸化水素ガス発生装置4とが配管8を介して接続されて、構成される。
酸化処理システム1は、混合器10と処理室2内とが混合ガス供給管9を介して接続されて、構成される。
また、酸化処理システム1は、オゾンガス発生装置3の供給ポンプや酸素発生装置等が作動することによって、オゾンガス発生装置3で発生されたオゾンガスがオゾンガス供給管6を介してオゾンガス発生装置3から混合器10に供給されるように、構成される。
さらに、酸化処理システム1は、オゾンガスと過酸化水素ガスとが混合器10で混合されて、当該混合ガスが混合ガス供給管9を介して混合器10から処理室2に供給されるように、構成される。
酸化処理システム1は、混合ガスが処理室2内に供給されることによって、処理室2内の気体(過酸化水素、オゾン、酸素等)が処理室2の排気口2aから排気されるように構成される。
ステップS1では、酸化処理システム1のオゾンガス発生装置3を作動させてオゾンガスを混合器10に供給するとともに、過酸化水素ガス発生装置4を作動させて過酸化水素を混合器10に供給することで、オゾンガスと過酸化水素ガスとを混合器10で混合するように行われる。このとき、酸化処理システム1の混合器10においては、処理室2内よりも狭い空間内でオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとする。
ステップS1では、オゾンガスと過酸化水素ガスとが混合器10で混合されると、混合ガスとなる。混合ガスでは、オゾンガスと過酸化水素ガスとが反応して、ラジカルが生成される。
ステップS1においてオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとした後、ステップS2に移行する。
ステップS2では、ステップS1においてオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させてなる混合ガスを混合器10から処理室2内に供給して、処理室2内の処理対象表面を酸化させるように行われる。
ステップS2において酸化処理システム1の処理室2内に混合ガスが供給されて、混合ガスが酸化処理室2内の処理対象表面に到達すると、混合ガスのラジカルによって処理対象表面が酸化されることとなる。
このようにして、ステップS2において、処理対象表面を混合ガスによって酸化させる処理が行われる。
このため、酸化処理システム1では、オゾンガスと過酸化水素ガスとが、処理室2内で混合される場合よりもそれぞれ高い濃度で、混合器10において混合されて混合ガスとなる。
よって、酸化処理システム1では、オゾンガスと過酸化水素ガスとを処理室2内で混合させるものよりも、オゾンガスと過酸化水素ガスとの混合効率を向上させることができ、ラジカルを効率よく生成することができる。
したがって、酸化処理システム1によれば、処理室2内に供給された混合ガスのラジカルによる処理対象表面の酸化処理効果を確実に得ることができる。
したがって、酸化処理システム1によれば、処理室2の排気口2aに設けられる過酸化水素分解触媒およびオゾン分解触媒を少なくすることができる。
このとき、酸化処理システム1の混合器10は、図4に示すように、オゾンガス流路13と、過酸化水素ガス流路14と、混合ガス流路15と、を有して構成される。
酸化処理システム1の混合器10のオゾンガス流路13は、オゾンガス供給管6を介して供給されたオゾンガスが混合器10内を流通する流路である。酸化処理システム1の過酸化水素ガス流路14は、過酸化水素ガス供給管7を介して供給された過酸化水素ガスが混合器10内を流通する流路である。酸化処理システム1の混合ガス流路15は、混合ガスが混合器10内を流通して、混合ガス供給管9に流出する流路である。
酸化処理システム1の混合器10は、オゾンガス流路13と過酸化水素ガス流路14とがそれぞれ混合ガス流路15に連通され、混合ガス流路15にてオゾンガスと過酸化水素ガスとが混合されるように構成される。
酸化処理システム1の混合器10は、オゾンガス流路13と混合ガス流路15との連通する部分(オゾンガス流路13の終端)の開口面積が混合ガス流路15の断面積に比べて小さく形成されて、構成される。
このため、酸化処理システム1によれば、オゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとするもの(混合器10)を、簡易な構造で実現することができる。
ステップS1では、酸化処理システム1のオゾンガス発生装置3を作動させてオゾンガスを混合器10に供給するとともに、過酸化水素ガス発生装置4を作動させて過酸化水素を混合器10に供給することで、オゾンガスと過酸化水素ガスとを混合器10で混合するように行われる。このとき、酸化処理システム1の混合器10において、処理室2内よりも狭い空間内でオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとする。
ステップS1では、オゾンガスと過酸化水素ガスとが混合器10で混合されると、混合ガスとなる。混合ガスでは、オゾンガスと過酸化水素ガスとが反応して、ラジカルが生成される。
ステップS1においてオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとした後、ステップS2に移行する。
ステップS2では、ステップS1においてオゾンガスと過酸化水素ガスとを混合させてなる混合ガスを、混合器10から処理室2内に供給して、処理室2内の処理対象表面を酸化させるように行われる。
ステップS2において酸化処理システム1の処理室2内に混合ガスが供給されて、混合ガスが酸化処理室2内の処理対象表面に到達すると、混合ガスのラジカルによって処理対象表面が酸化されることとなる。
このようにして、ステップS2において処理対象表面の促進酸化が行われる。
このため、酸化処理方法では、オゾンガスと過酸化水素ガスとが、酸化処理システム1の処理室2内で混合される場合よりもそれぞれ高い濃度で、混合器10において混合されて混合ガスとなる。
よって、酸化処理方法では、オゾンガスと過酸化水素ガスとを酸化処理システム1の処理室2内で混合させるものよりも、オゾンガスと過酸化水素ガスとの混合効率が向上させることができ、ラジカルを効率よく生成することができる。
したがって、酸化処理方法によれば、酸化処理システム1の処理室2内に供給された混合ガスのラジカルによる処理対象表面の酸化処理効果を確実に得ることができる。
2 処理室
3 オゾンガス発生装置
4 過酸化水素ガス発生装置
5 ファン
10 混合器
Claims (2)
- 処理室と、
オゾンガスを発生させるオゾンガス発生装置と、
過酸化水素ガスを発生させる過酸化水素ガス発生装置と、
前記処理室内よりも狭い空間内で前記オゾンガスと前記過酸化水素ガスとを混合させて混合ガスとし、前記混合ガスを前記処理室内に供給する混合器と、を具備し、
前記過酸化水素ガスと前記オゾンガスとの混合ガスを用いて前記処理室内の処理対象表面の酸化処理を行う、酸化処理システム。 - 前記混合器は、前記オゾンガスが前記過酸化水素ガスに吸引されるようにして、前記オゾンガスと前記過酸化水素ガスとが混合するように構成される、
請求項1に記載の酸化処理システム。
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