JP2013155393A - 被覆部材およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】該被覆部材は、基材の表面にNiを含むNi系めっき層を形成するめっき工程と、Ni系めっき層にプラズマを供給するプラズマ工程とを経て得られる。Ni系被膜を構成する多孔質層は、数十〜数百nm程度の微細な空孔を多数有するため、潤滑油の保持性に優れる。その結果、その表面において高い摺動性を発揮する。また、多孔質層による投錨効果により、Ni系被膜上にも高密着性のDLC膜等を形成し得る。なお、プラズマ工程により、多孔質層が形成されるのみならず、基材まで窒化される。
【選択図】図1A
Description
(1)本発明の被覆部材は、基材と、該基材上に被着され、少なくとも窒素(N)を含むニッケル合金(Ni合金)からなる多孔質層を有するNi系被膜と、からなることを特徴とする。
本発明の被覆部材は、その製造方法を問わないが、例えば、次のような本発明の製造方法により得ることができる。この本発明の製造方法は、基材の表面上にNiを含むめっき層(以下「Ni系めっき層」という。)を形成するめっき工程と、該めっき層上にプラズマ窒素を供給して加熱するプラズマ工程とを備え、上述した被覆部材が得られることを特徴とする。
(1)本発明に係るNi系被膜の多孔質層は、Nを含むNi合金からなるが、それ以外の改質元素や不可避不純物を適宜含み得る。
(1)基材
本発明に係る基材は、Ni系被膜の形成が可能である限り、その種類を問わず、金属の他、樹脂等でもよい。基材を構成する金属として、各純金属の他、鉄鋼等の鉄合金、銅合金、アルミニウム合金、チタン合金などがある。
Ni系被膜は、多孔質層を有する被膜である。この多孔質層は、Ni系被膜の全体でも、その一部(例えば表面側の一部)でもよい。またNi系被膜全体がNi合金からなる必要もない。例えば、純ニッケルからなるめっき層の表面側に、Ni合金からなる多孔質層が形成される場合、その基材側は純ニッケルのままでもよい。
本発明の被覆部材は、前述したように、Ni系被膜の多孔質層を下地層とする別の第二被膜を有していてもよい。この第二被膜は、その種類を問わず、有機被膜(樹脂コート等)、無機被膜のいずれでもよい。本明細書では、本発明に係るNi系被膜と第二被膜を合わせて、適宜「複合被膜」という。
(1)めっき工程
本発明に係るめっき工程は、基材の表面上に、多孔質層の母層となるNi系めっき層を形成する工程である。その際、めっき方法やめっき層の組成等は問わない。例えば、めっき方法は、溶融めっき、気相めっき(PVD、CVD等)、電気めっき(電解めっき)、化学めっき(無電解めっき)など、いずれでもよい。基材の材質、めっき層の厚さ、生産性等を考慮して適切なめっき方法が採用される。もっとも、無電解めっきを用いると、導体以外の基材(例えばプラスチック材)等にも、めっき液の組成、その温度、めっき時間等を調整することにより、所望のNi系めっき層を容易に形成し得る。
本発明に係るプラズマ工程は、上述したNi系めっき層にプラズマ窒素を供給(照射)して加熱することにより、その少なくとも一部をNi合金からなる多孔質層にする工程である。プラズマ窒素は、窒素ガス等がプラズマ化されて生じた窒素イオンまたは窒素ラジカルからなる。
本発明の被覆部材は、第二被膜の有無に拘わらず、その用途を問わない。例えば、各種の摺動部材、金型、電子部品、電極材料等に本発明の被覆部材が用いられる。
(1)基材
高速度鋼(JIS SKH51)からなる鉄鋼基材と、アルミニウム合金(JIS A2017)からなるAl合金基材の2種類を用意した。これら基材は円板状(φ20×10mm)とした。
基材の表面には、Ni系めっき層として、無電解めっき法によるNi−Pめっき層または電解めっき法による純Niめっき層をそれぞれ形成した。なお、無電解めっき法は、市販されている無電解ニッケルリンめっき液(奥野製薬工業株式会社製トップニコロンBL)を用いて行った。得られたNi−Pめっき層の組成(P濃度)は表1に示した。電解めっき法は、ワット浴を用いて、浴温度:50℃、電流密度:100mA/cm2 として行った。
鉄鋼基材はアルカリ脱脂後、5%硫酸で酸洗をし、1%塩酸で酸活性化処理をした。なお、各工程間で水洗をした。Al合金基材は、5%NaOHでエッチングし、その後、pH11.5のNa2CO3水溶液で活性化処理して、そのまま、めっきを行った。なお、Al合金基材の前処理は、特開平2−185981号公報の記載を参照して行った。
各基材上に形成しためっき層へ、プラズマ加熱処理を施した。具体的には、直流グロー放電装置を用いて、真空排気したチャンバー内で放電させることにより行った。このときのチャンバー内の雰囲気(導入ガス流量、ガス圧力)、処理温度および処理時間は表1に示した。
上記のプラズマ工程後に、同じ直流グロー放電装置を用いて、DLC−Si膜(第二被膜)を成膜した(試料No.4)。この際、テトラメチルシラン(TMS/Si(CH3)4):6sccm、メタンガス(CH4):100sccm、窒素ガス(N2):300sccmおよびアルゴンガス(Ar):300sccmをチャンバー内に導入し、チャンバー内を533Pa×500℃として、0.5時間処理した。こうして、プラズマ工程後のめっき層(多孔質層)上に厚さ3μmのDLC−Si膜が形成された。
〈Ni系被膜〉
(1)表面性状
試料No.1および試料No.2に係る被膜断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した写真をそれぞれ図1Aおよび図1Bに示した。各試料の最表面に現れた孔径を、既述した方法で算出した平均孔径を表1に併せて示した。
試料No.3に係る被膜の最表面近傍の成分組成をX線マイクロアナライザ(EPMA)により元素分析(線分析)した結果を図2に示した。
試料No.4に係る被膜とその上に形成したDLC−Si膜の断面をSEMで観察した写真を図3に示した。
試料No.5に係るディスク状の試験片(φ30×3mm)を用いてボールオンディスク試験を行った。試験装置にはCSM INSTRUMENTS社製高温摩擦試験機を用いた。相手材にはステンレス製(JIS SUS440C)からなるボール(φ6mm)を用いた。試験は、化学合成油であるポリアルファオレフィン(PAO4:100℃での動粘度4mm2/S)を試験片上に約1mg塗布して、潤滑油が介在する条件下で行った。この際、押付け荷重:1N、摺動速度:0.2m/s、摺動距離:120mとした。
(1)表面性状
図1Aおよび図1Bから明らかなように、無電解めっきした場合でも電解めっきした場合でも、表面近傍に多孔質層が確認された。また、その多孔質層を形成する多くの空孔は、最表面側に開孔状態となっていた。この多孔質層を有するNi系めっき層が、本発明でいうNi系被膜に相当する。
先ず、Ni系被膜部分(保護膜と基材の挟間部分)では、主成分であるNiの他にNが検出された。特に、その最表面近傍(多孔質層部分)では比較的多くのNが検出され、N量は0.4〜1.9原子%程度であった。Ni中におけるNの固溶上限値(二元系)は0.03原子%であるから、多孔質層中には、その固溶上限値よりも遥かに多くのNが存在していることがわかった。このことからNは、Ni系被膜中にある粒界や非常に微細な孔等に存在しているか、不純物と結合して窒化物を形成していることが考えられる。なお、このN量は既述した方法により特定した。
図3からもわかるように、Ni系被膜上に被着されたDLC−Si膜は、剥離せずに密着しており、上述したスクラッチ試験機により測定した膜剥離発生荷重も23Nで高かった。一方、プラズマ工程を行わないNi系めっき層(試料No.4と同様)上に形成したDLC−Si膜は、剥離するか、膜剥離発生荷重が5N以下であった。従って、本発明に係るNi系被膜を中間層として介在させると、多孔質層の投錨効果により、高密着性の第二被膜が形成されることが確認された。なお、このような傾向は、めっき方法やNi系めっき層の成分組成(純Ni、Ni−1〜10%P、Ni−1.6%W−0.1%B等)を変化させた場合でも、同様の傾向があることを確認している。
表2からわかるように、潤滑油が存在する湿式条件下の摩擦係数は、多孔質層の有無に拘わらず、同じであった。しかし、各試験片の摺動面における摩耗量(ディスク摩耗深さ)および相手材の摩耗量(ボール摩耗痕径)は、多孔質層の有無により大きく相違した。つまり、試験片の摺動面に多孔質層が存在する場合、いずれも大幅に低減した。これは多孔質層による潤滑油の保持性が向上したためと考えられる。また、プラズマ工程時の加熱により、非晶質であったNi−P系めっき層が結晶化され、硬質な多孔質層が形成されたことも、耐摩耗性が向上した一因と考えられる。
試料No.1に係る被膜上に、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE:商品名「テフロン(登録商標)」)を含浸させることにより、その表面が優れた潤滑性や撥水性を発揮することを確認した。例えば、接触角で120°を超える撥水性が発現された。また、そのPTFE層は、密着性や耐久性にも優れるものであった。
Claims (8)
- 基材と、
該基材上に被着され、少なくとも窒素(N)を含むニッケル合金からなる多孔質層を有するニッケル系被膜と、
からなることを特徴とする被覆部材。 - 前記多孔質層は、最表面に開口した空孔の平均孔径が20〜200nmである請求項1に記載の被覆部材。
- 前記多孔質層は、最表面近傍のN量が全体を100原子%としたときに0.001〜5原子%である請求項1または2に記載の被覆部材。
- 前記基材は、前記ニッケル系被膜が被着している界面近傍が窒化されている請求項1または3に記載の被覆部材。
- 前記ニッケル系被膜は、少なくとも一部が結晶質である請求項1〜4のいずれかに記載の被覆部材
- さらに、前記ニッケル系被膜の表面に形成された別の第二被膜を有する請求項1に記載の被覆部材。
- 前記第二被膜は、非晶質炭素膜(DLC膜)である請求項6に記載の被覆部材。
- 基材の表面上にニッケル(Ni)を含むめっき層を形成するめっき工程と、
該めっき層上にプラズマ窒素を供給して加熱するプラズマ工程とを備え、
請求項1〜7のいずれかに記載の被覆部材が得られることを特徴とする被覆部材の製造方法。
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