JP2013147352A - レーザ切断装置用のドライ・アイス・ベルト洗浄システム - Google Patents

レーザ切断装置用のドライ・アイス・ベルト洗浄システム Download PDF

Info

Publication number
JP2013147352A
JP2013147352A JP2013002316A JP2013002316A JP2013147352A JP 2013147352 A JP2013147352 A JP 2013147352A JP 2013002316 A JP2013002316 A JP 2013002316A JP 2013002316 A JP2013002316 A JP 2013002316A JP 2013147352 A JP2013147352 A JP 2013147352A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
conveyor belt
dry ice
debris
belt
collector housing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013002316A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5965326B2 (ja
JP2013147352A5 (ja
Inventor
Richard P Ficarra
リチャード・ピー・フィカラ
Thomas C Mcgraw
トーマス・シー・マクグロー
Gordon B Reid
ゴードン・ビー・リード
Derek A Bryl
デリク・エイ・ブライル
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xerox Corp
Original Assignee
Xerox Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xerox Corp filed Critical Xerox Corp
Publication of JP2013147352A publication Critical patent/JP2013147352A/ja
Publication of JP2013147352A5 publication Critical patent/JP2013147352A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5965326B2 publication Critical patent/JP5965326B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24CABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/003Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods using material which dissolves or changes phase after the treatment, e.g. ice, CO2
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G45/00Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10Cleaning devices
    • B65G45/22Cleaning devices comprising fluid applying means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G45/00Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10Cleaning devices
    • B65G45/26Cleaning devices for gathering residue after cleaning
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/30Organic material
    • B23K2103/40Paper
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2103/00Materials to be soldered, welded or cut
    • B23K2103/50Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

【課題】搬送表面を有するコンベヤベルトを洗浄するためのベルト洗浄システムを提供する
【解決手段】ベルト洗浄システム10はドライアイス吹き付け装置20と、破片回収サブシステム22と、を含んでいる。ドライアイス吹き付け装置20は、コンベヤベルト16に隣接して配置された少なくとも1つのノズル24を有する送出システム28を含んでいる。コンベヤベルト搬送表面18上にノズル24からドライ・アイス・ペレットを放出して、これにより、ドライ・アイス・ペレットが搬送表面18から破片を除去する。破片回収サブシステム22は、コンベヤベルト搬送表面18に隣接して配置されたコレクタハウジング34を含んでいる。コレクタハウジング34は、コンベヤベルト搬送表面18から除去された破片を封じ込めて、コンベヤベルト16から離れる方向に破片を導く。
【選択図】図1

Description

本開示は、一般に、紙のレーザ切断用の装置に関する。さらに詳細には、本開示は、レーザ切断装置へ、およびレーザ切断装置から紙物品を搬送するのに使用するコンベヤベルトに関する。
紙の破片および汚染物が、レーザ切断真空搬送ベルト上に蓄積する。レーザは、次に来る通路上の破片を加熱して、続いて破片を搬送ベルト上に焼き付け、焼き付けられた破片は余計なエネルギーを吸収して、ベルトをゆがませ、ベルトの至る所を焦がして、ベルトの損傷を早める。
この問題の従来の解決方法は、機械が作動している間に手で、または作動された機械的なスクレーパブレードを用いて、ベルトを定期的に洗浄することである。しかしながら、破片は洗浄の間に蓄積して、ベルトはゆがみ、粘着性になり、文書の取り外しが困難になる。
破片をこすり落とすと、1)破片がスクレーパブレードのこすり落とし縁端部上に蓄積して、スクレーパブレードの効果を低下させて、2)スクレーパブレードがベルトをこすって、汚染物の除去がより困難になり、3)スクレーパブレードが搬送ベルトのゆがんだ領域に近づくことができない。手で洗浄すると、洗浄液と破片の両方が吸引孔により引っ張られて、ベルトの下側に移動して、それにより、駆動問題と、より多くのベルト不具合とを引き起こす可能性がある。
搬送表面を有するコンベヤベルトを洗浄するためのベルト洗浄システムを提供する。ベルト洗浄システムは、ドライアイス吹き付け装置と、破片回収サブシステムと、を含んでいる。ドライアイス吹き付け装置は、コンベヤベルトに隣接して配置された少なくとも1つのノズルを有する送出システムを含んでいる。コンベヤベルト搬送表面上にノズルからドライ・アイス・ペレットを放出して、これにより、ドライ・アイス・ペレットが搬送表面から破片を除去する。破片回収サブシステムは、コンベヤベルト搬送表面に隣接して配置されたコレクタハウジングを含んでいる。コレクタハウジングは、コンベヤベルト搬送表面から除去された破片を封じ込めて、コンベヤベルトから離れる方向に破片を導く。
また、破片回収サブシステムは、コレクタハウジングと、ドライアイス吹き付け装置送出システムと、を気密連結する第1のシールと、コレクタハウジングと、コンベヤベルトと、を気密連結する第2のシールと、を含んでいる。
破片回収サブシステムは、コレクタハウジングの排気口と流体連通する廃棄物容器をさらに含んでいてもよい。廃棄物容器は、大気に、または真空装置に放出されてもよい。
破片回収サブシステムは、コレクタハウジングの排気口と流体連通する真空システムをさらに含んでいてもよい。
図1は、コンベヤ上に設置した本開示のドライ・アイス・ベルト洗浄システムの第1の実施形態の模式図である。 図2は、図1のノズルの第1の変形の模式図である。 図3は、図1のノズルの第2の変形の模式図である。
図面を参照すると、いくつかの図面を通して類似の番号は類似の部分を示しており、本開示のベルト洗浄システム全体を番号10で示している。ドライ・アイス・ベルト洗浄システム10は、コンベヤベルト、例えば、レーザ切断装置へ、およびレーザ切断装置から物品を搬送するためのコンベヤベルトなど、のウェブの洗浄に使用してもよい。
図1を最初に参照すると、コンベヤ12が、そのまわりにコンベヤベルト16またはウェブが巻き付いているノーズローラ14を含んでいる。ベルト16の幅全体に広がるドライ・アイス・ベルト洗浄システム10の第1の実施形態が、コンベヤベルト16の周辺部に密に隣接して設置されている。ドライ・アイス・ベルト洗浄システム10は、コンベヤベルト16を実質的に途切れることなく洗浄して、それにより、コンベヤベルト16の搬送表面18上に破片8が蓄積するのを防ぐとともに、破片8がレーザ領域(図示せず)に達する可能性がある前に破片8を除去する。きれいなベルト表面18はレーザを反射して、従来のシステムで見られるレーザ誘起エッチングおよびゆがみを防止し、それにより、コンベヤベルト16の寿命を延ばす。ドライ・アイス・ベルト洗浄システムは、コンベヤベルト16から汚染物を除去するために、ドライアイス吹き付け装置20と、破片回収サブシステム22と、を利用する。
ドライアイス吹き付けは、吹き付け研磨の一形態であり、ドライアイスを加圧空気流内で加速してドライアイスを高速で表面に当てて表面を洗浄する。方法は、砂の吹き付けのような他の形態の吹き付け研磨と似ているが、吹き付け媒体としてドライアイスを代用する。ドライ・アイス・ペレットは、吹き付け洗浄で使用する他の媒体(すなわち、砂またはプラスチックペレット)よりも柔らかくて密度が低い。ドライ・アイス・ペレットは衝突した瞬間に実質的に昇華して、衝突時に表面に伝達する運動エネルギーが最小であり、摩耗を最小に抑えて、残留物を残さない。昇華プロセスは表面から多くの熱を吸収して、熱衝撃に起因するせん断応力を生成する。これは、最上層の破片が下層の基板よりも多くの熱を伝達し、容易にはがれ落ちると予想されるため、洗浄を改善すると考えられている。また、固体から気体への状態の急激な変化が微視的な衝撃波を引き起こし、このこともまた、破片の除去を助けると考えられる。
図2および図3をさらに参照すると、ドライアイス吹き付け装置20は、ノズル24またはノズルの配列24’と、ドライアイスの供給を保持するためのドライアイス貯蔵容器26またはドライアイスの供給を受け取るためのホッパーと、貯蔵容器/ホッパーからドライアイスを搬送して、ドライアイスをノズル24、24’からコンベヤベルト16の搬送表面18上に放出するための送出システム28、28’と、を含んでいる。圧縮空気とドライアイスを混合して、送出ノズル24、24’からドライアイス粒子を加速するために、2つの送出システム28、28’のうちの1つを使用してもよい。
2ホース送出システム28は1本のホースを通して圧縮空気を送出して、第2のホースからベンチュリ効果によりドライ・アイス・ペレットを吸い込んだ。単一ホース送出システム28’は、単一のホースを使用して空気とドライアイスを送出する。単一ホースシステム26’と比較して、2ホースシステム28は、単一ホースシステムよりも小さい力(所与の空気供給量に対して約5%)でドライ・アイス・ペレットを送出する。また、2ホースシステム28は、機械と吹き付け器の間の垂直距離に制限がある。これは一般に重要ではなく、その理由は、制限が25フィートをかなり上回っているためである。2ホースシステム28は設計がはるかに簡単であるため、一般に、製作にそれほど費用がかからず、2ホースシステム28では、暖かい空気と冷たい氷とを遅く混合することによりホース内での昇華がより少なくなるため、より細かい粒子のドライアイスをより低速で送出できる。後者の特性は、より繊細な表面の洗浄を可能にする。
ノズルから放出されるドライ・アイス・ペレットをコンベヤベルト16の搬送表面18上に導くように、コンベヤベルト16に隣接してノズル24、24’を設置する。吹き付けの結果として、汚染物を除去する。1つ以上のノズル24をクロスプロセス横行装置30に取り付けて、ノズル24を揺動させて、コンベヤベルトを一度に一区域ずつ系統的に洗浄できる。あるいは、コンベヤベルト16の幅32全体にわたってドライアイスを放出するノズル配列24’を用いてコンベヤベルト16の全幅32を同時に洗浄してもよい。洗浄は、要件に応じて、連続的にまたは断続的に行うことができる。
破片回収サブシステム22、22’はコレクタハウジング34を含み、このコレクタハウジング34は吹き付けたドライアイスの風を封じ込めて、吹き飛ばされた破片と、ドライアイス粒子と、CO2ガスとをコンベヤベルト16から離れる方向に導く。コレクタハウジング34は、ノズルまたはホースの周囲にシール36を有することにより、およびコンベヤベルト16に対してもシール38を有することにより、吹き付け領域を密閉する。破片と、ドライアイス粒子と、CO2ガスとを、ハウジング34を出る排気口40を通じて運び、排出管44を通じて廃棄物容器42に導いてもよい。廃棄物容器42は大気に放出46できて、ドライアイス吹き付けプロセスからの空気流が破片を廃棄物容器42まで運ぶことを可能にする。あるいは、廃棄物容器42を真空装置50に放出48してコレクタハウジング34から破片を排出し易くしてもよく、または排気口40を真空装置50に連結52してもよい。
ドライアイス吹き付けを用いれば、汚染物の中で最も取りにくい汚染物をもコンベヤベルト16から除去できる一方で、残留物を残さないことを理解すべきである。ドライアイス粒子は真空ベルト穴を通り抜けて、徹底的な洗浄を行うことができる。ベルトから汚染物を洗浄することは、搬送表面18の反射率を維持するのに役立つ。これは、余分なレーザエネルギーがコンベヤベルト16に吸収され損傷を与えるのを防ぐ。

Claims (4)

  1. レーザ切断装置へ、およびレーザ切断装置から紙物品を搬送する外側の搬送表面と、内側の表面と、を有するコンベヤベルトから破片を洗浄するベルト洗浄システムであって、
    前記コンベヤベルト搬送表面上に複数のドライ・アイス・ペレットを放出して、これにより、前記複数のドライ・アイス・ペレットが前記コンベヤベルト搬送表面から前記破片を除去するようになされた前記コンベヤベルトに隣接して配置された少なくとも1つのノズルを有する送出システムを含むドライアイス吹き付け装置と、
    前記コンベヤベルト搬送表面に隣接して配置されたコレクタハウジングを含む破片回収サブシステムであって、前記コレクタハウジングは前記コンベヤベルト搬送表面から除去された前記破片を封じ込めて、前記コンベヤベルトから離れる方向に前記破片を導くようになされている、破片回収サブシステムと、を含む
    ベルト洗浄システム。
  2. 前記破片回収サブシステムが、前記コレクタハウジングと、前記ドライアイス吹き付け装置送出システムと、を気密連結する第1のシールと、前記コレクタハウジングと、前記コンベヤベルトと、を気密連結する第2のシールと、をまた同様に含む、請求項1に記載のベルト洗浄システム。
  3. 前記破片回収サブシステムが、前記コレクタハウジングの排気口と流体連通する廃棄物容器をさらに含む、請求項2に記載のベルト洗浄システム。
  4. 真空システムが、前記コレクタハウジングの排気口と流体連通している、請求項2に記載のベルト洗浄システム。
JP2013002316A 2012-01-18 2013-01-10 レーザ切断装置用のドライ・アイス・ベルト洗浄システム Expired - Fee Related JP5965326B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US13/352,377 US8556063B2 (en) 2012-01-18 2012-01-18 Dry ice belt cleaning system for laser cutting device
US13/352,377 2012-01-18

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2013147352A true JP2013147352A (ja) 2013-08-01
JP2013147352A5 JP2013147352A5 (ja) 2016-02-25
JP5965326B2 JP5965326B2 (ja) 2016-08-03

Family

ID=48693342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013002316A Expired - Fee Related JP5965326B2 (ja) 2012-01-18 2013-01-10 レーザ切断装置用のドライ・アイス・ベルト洗浄システム

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8556063B2 (ja)
JP (1) JP5965326B2 (ja)
DE (1) DE102013200095A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113319514A (zh) * 2021-07-07 2021-08-31 浙江广厦建设职业技术大学 一种防护栏制造装置
CN113352045A (zh) * 2021-06-26 2021-09-07 滁州学院 一种市政交通隔离护栏制作装配辅助工装

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9895724B2 (en) * 2014-12-11 2018-02-20 Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. Pneumatic sweeping system
CN109415169B (zh) * 2015-02-02 2021-02-02 Chp股份有限公司 干式润滑传送带设备
KR101858067B1 (ko) * 2016-05-03 2018-05-18 엘지전자 주식회사 진공 청소기
KR101852435B1 (ko) * 2016-05-03 2018-04-26 엘지전자 주식회사 진공 청소기
EP3606700A1 (de) * 2017-04-03 2020-02-12 Euromicron Werkzeuge GmbH Poliermaschine und verfahren zum polieren von lichtwellenleitern
WO2018201231A1 (en) * 2017-05-02 2018-11-08 Ibl Solutions Ltd Conveyor belt cleaning apparatus
CN110548729B (zh) * 2018-06-01 2024-05-28 大连福兰特科技有限公司 一种冰粒喷射式表面处理设备
DE102019112307A1 (de) * 2019-05-10 2020-11-12 Rwe Power Ag Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen einer Oberfläche eines Fördergurt von Rückständen von bergbaulich geförderten Rohstoffen und Abraum
CN115090642B (zh) * 2022-07-12 2023-12-29 东莞市硅翔绝缘材料有限公司 一种新能源加热膜产品焊锡残留物清理用干冰清洗装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5283188U (ja) * 1975-12-18 1977-06-21
US20020166328A1 (en) * 2001-05-11 2002-11-14 Universal Ice Blast, Inc., A Nevada Corporation Method and apparatus for pressure-driven ice blasting
JP2003300030A (ja) * 2002-02-07 2003-10-21 Ohbayashi Corp 付着物の除去方法及び除去装置
JP2008183485A (ja) * 2007-01-26 2008-08-14 Dainippon Printing Co Ltd 基材洗浄装置及び基材洗浄方法
US20080216870A1 (en) * 2007-01-19 2008-09-11 Air Liquid Industrial U.S. Lp Dry Ice Blasting With Ozone-Containing Carrier Gas

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4243136A (en) * 1979-03-12 1981-01-06 Kaufman Michael J Icing prevention system for a conveyor belt
US4830175A (en) * 1987-09-25 1989-05-16 Apv Glacier Industries, Inc. Ice cream conveyor line cleaning system
US5024319A (en) * 1989-10-18 1991-06-18 Dixon Steven C Belt heater for conveyors
FR2697237B1 (fr) * 1992-10-22 1994-12-16 Fleury Michon Procédé de transport ultrapropre.
US6638062B1 (en) * 2002-09-13 2003-10-28 Michael P. Davidson Sand and stone screw heater
US7134946B1 (en) * 2004-12-13 2006-11-14 Cool Clean Technologies, Inc. Apparatus to treat and inspect a substrate
US20100243410A1 (en) * 2009-03-30 2010-09-30 H & H Green,LLC Method and apparatus for cleaning and sanitizing conveyor belts

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5283188U (ja) * 1975-12-18 1977-06-21
US20020166328A1 (en) * 2001-05-11 2002-11-14 Universal Ice Blast, Inc., A Nevada Corporation Method and apparatus for pressure-driven ice blasting
JP2003300030A (ja) * 2002-02-07 2003-10-21 Ohbayashi Corp 付着物の除去方法及び除去装置
US20080216870A1 (en) * 2007-01-19 2008-09-11 Air Liquid Industrial U.S. Lp Dry Ice Blasting With Ozone-Containing Carrier Gas
JP2008183485A (ja) * 2007-01-26 2008-08-14 Dainippon Printing Co Ltd 基材洗浄装置及び基材洗浄方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113352045A (zh) * 2021-06-26 2021-09-07 滁州学院 一种市政交通隔离护栏制作装配辅助工装
CN113319514A (zh) * 2021-07-07 2021-08-31 浙江广厦建设职业技术大学 一种防护栏制造装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP5965326B2 (ja) 2016-08-03
US20130180075A1 (en) 2013-07-18
DE102013200095A1 (de) 2013-07-18
US8556063B2 (en) 2013-10-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5965326B2 (ja) レーザ切断装置用のドライ・アイス・ベルト洗浄システム
US9636718B2 (en) Mask cleaning apparatus and mask cleaning method
JPH043676Y2 (ja)
KR101548243B1 (ko) 분사재 회수 장치, 분사재 회수 장치를 구비한 블라스트 가공 장치 및 블라스트 가공 방법
JP2015192141A (ja) 基板乾燥装置及び基板乾燥方法
SE515206C2 (sv) Sätt vid behandling av gipsskivor eller -plattor
JP2013147352A5 (ja)
CN205257359U (zh) 一种皮带机的智能集成清扫装置
TW201713419A (zh) 除塵噴嘴及除塵裝置
KR101238884B1 (ko) 밸트컨베이어의 밸트 세척장치
JP5461236B2 (ja) 半導体基板の処理装置
JP2009165968A (ja) ベルト状被洗浄物の洗浄方法及び洗浄装置
JP3194550U (ja) ドラム形屑除去装置を有する屑排出兼ろ過用搬送機
JP2018107466A (ja) 基板乾燥装置
KR102094527B1 (ko) 소형 드라이아이스 세척기
CN102435058A (zh) 干燥设备、去光阻设备及干燥方法
CN207434465U (zh) 皮带输送机智能集成清扫装置
CN104291092A (zh) 一种输送机胶带清洗装置
JP3333713B2 (ja) 空気浮上式コンベヤの清掃装置
JP3811689B2 (ja) 基板の水分除去方法と基板の水分除去装置
JP3272201B2 (ja) コンベア用ベルト面清掃装置
JP4256510B2 (ja) サンドブラスト加工における被加工物のクリーニングユニット
JP7355999B2 (ja) ベルトクリーナ及び搬送設備
CN111465207B (zh) 一种带状fpc生产线上的清洗除静电装置
JP2009072651A (ja) 付着異物除去装置および付着異物除去方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160106

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160106

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20160106

A975 Report on accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005

Effective date: 20160126

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160223

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160419

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20160607

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20160701

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5965326

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees