JP2013145668A - 有機el封止膜、有機el素子、および、有機el封止膜製造方法 - Google Patents
有機el封止膜、有機el素子、および、有機el封止膜製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013145668A JP2013145668A JP2012005104A JP2012005104A JP2013145668A JP 2013145668 A JP2013145668 A JP 2013145668A JP 2012005104 A JP2012005104 A JP 2012005104A JP 2012005104 A JP2012005104 A JP 2012005104A JP 2013145668 A JP2013145668 A JP 2013145668A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- organic
- film
- gas
- sealing film
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 20
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 45
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 138
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【課題】SiN膜、中間膜、SiN膜を順次成膜してなる封止膜と同等のバリア性を有し、かつ、中間膜を設けない薄型構造の有機EL封止膜、有機EL素子、および、有機EL封止膜製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】有機EL封止膜20は、有機EL基板7の窒化シリコン被成膜面7Sに成膜される第1層の窒化シリコン膜21と、第1層の窒化シリコン膜21の表面21Sをパッシベート処理した後に表面21S上に成膜された第2層の窒化シリコン膜22と、備える。
【選択図】図2
【解決手段】有機EL封止膜20は、有機EL基板7の窒化シリコン被成膜面7Sに成膜される第1層の窒化シリコン膜21と、第1層の窒化シリコン膜21の表面21Sをパッシベート処理した後に表面21S上に成膜された第2層の窒化シリコン膜22と、備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、有機EL封止膜、有機EL素子、および、有機EL封止膜製造方法に関する。
有機EL基板に成膜する際、CVD法などにより封止膜(パッシベーション膜)が形成されることが多い。
また、太陽電池のパッシベーション膜としてSiN膜を使用されることも行われている(例えば、特許文献1参照)。この場合、実際のパッシベーション作用の高い水素の含有量の高い膜を1層目に成膜し、その上に屈折率などの特性を考慮したSiN膜を成膜することも行われている。
近年、液晶表示素子の次期技術として有機EL素子が注目されている。この有機EL素子では、有機層やそれに接する電極界面での酸化が深刻な表示性能劣化の原因となるため、水蒸気透過率として10-5g/m2/dレベルの高いバリア性が要望されている。また、用いる有機層のガラス転移温度が100℃以下と低いため、低温で高いバリア性を有する薄膜が望まれている。
これらの要求に対し、無機層と有機層を交互に積層した構造のバリア膜を低温で形成する方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。しかしながらこのような積層膜は、複雑なプロセスを経て形成されるため製造コストが嵩む。さらに、大面積に均一に成膜する場合には不利になる。
また、近年、有機EL(有機エレクトロニクス)の進展が目覚しく、発光素子、有機薄膜太陽電池や有機薄膜トランジスタなど幅広い広がりを見せている。この有機ELの分野では、プラスチック基板との組み合わせで軽量、耐衝撃性、フレキシブル性といった有機材料の特徴を生かしてニーズに応えようとする動きが活発化している。ここで、プラスチック基板では従来のガラス基板に対してガスバリア性が低く、特に有機材料に対して致命的な劣化となる場合がある。プラスチック基板を用いたこれら有機ELではよりバリア性の高い膜を形成したプラスチック基板が必須となっている。
ところで、SiN膜を封止膜として有機ELの基板上にCVD法などにより成膜した場合、SiN膜の欠陥成長に起因する微細な細孔が生じ、その細孔を通じて水分が透過(浸透)すると考えられる現象が見られる。
この対策として、SiN膜の膜厚を厚くする必要があるが、厚くすると成膜工程に時間がかかるためスループットが悪くなり、製造コストが高くなる。また、膜厚を充分に厚くしても、上記細孔を塞ぐバリア性の改善については、必ずしも膜厚に比例して改善されるものではない。
ここで、SiN膜、中間膜、SiN膜を順次成膜してなる積層膜(封止膜)では、膜厚2μmの単層のSiN膜よりもバリア性が格段に向上することを本発明者は実験等を行って確認している。しかしながら、このような積層膜は、複雑なプロセスを経て形成されるため製造コストが嵩む。さらに、高分子有機薄膜は基本的には蒸着による成膜となるため、大面積に均一に成膜する場合には不利になる。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、SiN膜、中間膜、SiN膜を順次成膜してなる封止膜と同等のバリア性を有し、かつ、中間膜を設けない薄型構造の有機EL封止膜、有機EL素子、および、有機EL封止膜製造方法を提供することを課題とする。
一般に、結晶性膜を2層にわたって成膜する場合では、1層目に続いて2層目で、1層目に比べて格子定数の近い結晶性膜を成膜すると、1層目の表面原子のダングリングボンドに2層目の原子が結合することでエピタキシャル成長し、そのことが2層目の結晶性膜の特性上で良い効果をもたらす場合がある。しかし、逆に2層目をエピタキシャル成長させないように、1層目の結晶性膜における界面原子のダングリングボンドをパッシベート処理する場合もある。
有機EL封止膜を構成するSiN膜はアモルファス膜であるが、膜表面層の原子はダングリングボンドを持っていると考えられる。従って、上記のように膜厚1μmの1層目のSiN膜に水分を浸透させる細孔が形成されている場合、真空中で一定時間保持した後、続けて2層目を成膜すると、1層目の界面原子のダングリングボンドに2層目の原子が結合しながら成膜され、1層目の構造を引き継いだアモルファス膜になり、細孔が残ると考えられる。
本発明者は、以上のような検討を行い、実験を重ねて更に検討を加え、本発明を完成するに至った。
本発明の一態様によれば、有機EL基板の窒化シリコン被成膜面に成膜される第1層の窒化シリコン膜と、前記第1層の窒化シリコン膜の表面をパッシベート処理した後に前記表面上に成膜された第2層の窒化シリコン膜と、備えた有機EL封止膜が提供される。
本発明の別の一態様によれば、請求項1記載の有機EL封止膜をバリア膜として有する有機EL素子が提供される。
本発明の更に別の一態様によれば、有機EL基板の窒化シリコン被成膜面に窒化シリコン膜を成膜する工程と、前記窒化シリコン膜の表面を、還元性ガスを含むガスでパッシベート処理する工程と、前記パッシベート処理を行った後に、更に窒化シリコン膜を成膜する工程と、を行う有機EL封止膜製造方法が提供される。
本発明によれば、SiN膜、中間膜、および、SiN膜を順次成膜してなる封止膜と同等のバリア性を有し、かつ、中間膜を設けない薄型構造の有機EL封止膜、有機EL素子、および、有機EL封止膜製造方法とすることができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。ただし、図面は模式的なものであり、寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。従って、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。
また、以下に示す実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施の形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の実施の形態は、要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施できる。
[第1実施形態]
まず、第1実施形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態(以下、本実施形態という)で用いるマイクロ波プラズマCVD装置1の構成を示す模式的側面図である。図2は、本実施形態に係る有機EL封止膜20の側面断面図である。有機EL封止膜20を製造するために本実施形態で用いるマイクロ波プラズマCVD装置1は、表面波モードを用いたマイクロ波プラズマCVD装置である。
まず、第1実施形態について説明する。図1は、本発明の一実施形態(以下、本実施形態という)で用いるマイクロ波プラズマCVD装置1の構成を示す模式的側面図である。図2は、本実施形態に係る有機EL封止膜20の側面断面図である。有機EL封止膜20を製造するために本実施形態で用いるマイクロ波プラズマCVD装置1は、表面波モードを用いたマイクロ波プラズマCVD装置である。
マイクロ波プラズマCVD装置1は、マイクロ波MWを案内する導波管2と、導波管2の下側に位置するチャンバ3と、を備えている。チャンバ3には、誘電体窓4と、放電ガスがチャンバ内に噴き出される放電ガス噴き出し口5と、成膜ガスがチャンバ内に噴き出される成膜ガス噴き出し口6と、成膜対象の基板(有機EL基板7など)が載置されるステージ8と、排気口9と、が設けられている。
本実施形態では、導波管2にマイクロ波MWを導入すると、マイクロ波MWはスロットアンテナ13を通して誘電体窓4に到達する。また、放電ガス噴き出し口5からアルゴンガス(Arガス)を導入し、アルゴンイオンのプラズマAPを発生させる。このとき、プラズマ中の電子密度が7.45×1010個/cm3以上になる条件では、プラズマAPはカットオフ条件となり、電子密度が高すぎてプラズマ中にマイクロ波が入っていかない、いわゆる金属的なふるまいが生じる。この結果、マイクロ波はプラズマ中を伝搬せずに誘電体窓4に沿って横方向に広がり、いわゆる表面波プラズマモードとなる。
本実施形態では、主にこの表面波プラズマモードを用いた条件で成膜を行う。本実施形態では、有機EL基板7の窒化シリコン被成膜面7Sに、第1層のSiN膜21を例えば厚さ100nmで成膜する。その後、第1層のSiN膜21の表面21Sに対し、還元性ガスとしてNH3ガスによるパッシベート処理を行う。この結果、1層目の表面原子のダングリングボンドがパッシベートされる。
そして、第2層のSiN膜22を、例えば厚さ900nmで、第1層のSiN膜21の表面21S上に成膜する。この結果、第1層のSiN膜21と第2層のSiN膜22とで構成される有機EL封止膜20が形成される。
以上説明したように、本実施形態では、第1層のSiN膜21の表面原子のダングリングボンドがパッシベートされている。このため、第2層のSiN膜22の成膜が開始された直後の第2層の原子は第1層の原子の構造に強く影響されず、空間的に更にランダムに成膜され、原子配置、すなわち構造の連続性が断ち切られることになる。そのため、第1層のSiN膜21にバリア性に影響する細孔の要因となる欠陥が生じていても、第2層のSiN膜22には同じ場所に欠陥が生じ難く、この結果、第1層のSiN膜21の細孔が塞がれる。従って、有機EL封止膜20は、SiN膜、中間膜、および、SiN膜を順次成膜してなる封止膜と同等のバリア性を有し、かつ、中間膜を設けなくてもよくて薄型構造である。
また、第2層のSiN膜22の成膜では、ダングリングボンドがパシベートされたSiN膜界面への成膜となる。従って、不純物の吸着や欠陥が極めて少なくなることが想定され、界面状態に起因する欠陥が生じ難い、すなわち微細な細孔が形成され難いと考えられる。
更に、本実施形態では、SiN膜21、22を構成している元素を含むガスでプラズマ生成およびパッシベート処理行っているので、有機EL封止膜20の透明度、屈折率、その他の特定への悪影響がほとんどない。
なお、本実施形態では、窒化シリコン膜として、二層のSiN膜(第1層のSiN膜21と第2層のSiN膜22)で構成されたものを例に挙げて説明したが、3層以上のSiN膜を形成してもよい。例えば、第2層のSiN膜22の表面を更にSiN膜をパッシベート処理して第3層のSiN膜を形成してもよい。このように各層の表面をパッシベート処理して3層以上のSiN膜を形成することで、封止性能が更に向上する。
また、本実施形態では、パッシベート処理を行う際にNH3ガスを用いることで説明したが、NH3ガスに限らず、他の還元性ガスを用いることも可能である。例えば、窒素元素と水素元素とからなるガス(N2ガスとH2ガスとの混合ガスなど)を用いてパッシベート処理を行っても良い。また、パッシベート処理を行う際に、NH3ガスなどの還元性ガスに不活性ガスを混合させて還元性ガスの濃度を調整してもよい。
[第2実施形態]
次に、第2実施形態について説明する。図3は、有機EL封止膜が形成された有機EL素子29の一例の側面断面図である。本実施形態に係る有機EL素子29はトップエミッション型の有機EL素子であり、基板30上に、反射電極31、正孔輸送層32、有機EL層33、電子注入層34、透明電極35が順次積層され、更に透明バリア性薄膜36で上面および側面が覆われたものである。
次に、第2実施形態について説明する。図3は、有機EL封止膜が形成された有機EL素子29の一例の側面断面図である。本実施形態に係る有機EL素子29はトップエミッション型の有機EL素子であり、基板30上に、反射電極31、正孔輸送層32、有機EL層33、電子注入層34、透明電極35が順次積層され、更に透明バリア性薄膜36で上面および側面が覆われたものである。
有機EL素子29を製造するには、ガラス基板30上に反射金属としてアルミニウムを蒸着法で成膜する。その後、フォトリソグラフィ法によりアルミニウムをパターン化し、反射電極31を形成する。
次に、反射電極31上に正孔輸送層32、発光層33を印刷法により形成する。正孔輸送層32は、電極から注入された正孔を発光層33にまで輸送するためのものであり、ここではポリチオフェン系化合物とポリスチレンスルホン酸との混合物を用いる。
発光層33は、反射電極31と透明電極35とへの電圧印加時にそれぞれの電極から電子、正孔が注入されてこれら電子、正孔が再結合する領域である。この発光層33については発光効率の高い材料で構成する。具体的には、ポリフェニレンビニレン系化合物を用いる。電子輸送層34は注入された電子を発光層33に輸送するための層であり、アルカリ土類金属をドープしたアルミニウムのキノリノール錯体を用いる。その上に透明電極35をスパッタリング法で積層する。
このようにして形成された有機EL素子29を封止する目的で素子全体を覆うように透明バリア性薄膜36(積層構造は有機EL封止膜20と同じ)を形成する。この透明バリア性薄膜36を形成する際には、有機EL封止膜20を製造する場合と同様に、上述した表面波モードプラズマCVD法にて、放電ガスとしてアルゴンガス、成膜ガスとしてシランガスとアンモニアガスとの混合ガスを成膜室内(チャンバ3内)に導入し、1μmの膜厚で第1層のSiN膜21を成膜した後、水素プラズマ処理を所定時間(例えば約60秒)行い、その上に膜厚1μmで第2層のSiN膜22を更に成膜する。
<実験例1>
本発明者は、マイクロ波プラズマCVD装置1を用いて有機EL基板への成膜実験を行った。本実験例では、実施例1として第1実施形態で説明したように成膜し、従来例1として、界面改質を行わずに成膜、すなわち連続した単層のSiN膜を有機EL封止膜として成膜した。
本発明者は、マイクロ波プラズマCVD装置1を用いて有機EL基板への成膜実験を行った。本実験例では、実施例1として第1実施形態で説明したように成膜し、従来例1として、界面改質を行わずに成膜、すなわち連続した単層のSiN膜を有機EL封止膜として成膜した。
(A)実施例1では、まず、以下の条件で第1層のSiN膜21(膜厚は100nm)を成膜した。
(1)ガス噴き出し口からのガス流量
シランガス:70sccm
アンモニアガス:500sccm
アルゴンガス:350sccm
成膜中のガス圧:10Pa
(2)プラズマ−有機EL基板の距離:200mm
(3)マイクロ波出力密度:1.57W/cm2
(4)有機EL基板の表面温度:80℃(ステージ加熱がない場合)
第1層のSiN膜21の成膜後、アンモニアガスプラズマによる界面改質を以下の条件で行った。
シランガス:70sccm
アンモニアガス:500sccm
アルゴンガス:350sccm
成膜中のガス圧:10Pa
(2)プラズマ−有機EL基板の距離:200mm
(3)マイクロ波出力密度:1.57W/cm2
(4)有機EL基板の表面温度:80℃(ステージ加熱がない場合)
第1層のSiN膜21の成膜後、アンモニアガスプラズマによる界面改質を以下の条件で行った。
(5)ガス噴き出し口からのガス流量
アンモニアガス:175sccm
成膜中のガス圧:10Pa
(6)プラズマ−有機EL基板の距離:200mm
(7)マイクロ波出力密度:1.57W/cm2
(8)プラズマ放電時間:100秒
続いて、第2層のSiN膜22(膜厚は900nm)を、第1層のSiN膜21と同じ成膜条件で成膜した。
アンモニアガス:175sccm
成膜中のガス圧:10Pa
(6)プラズマ−有機EL基板の距離:200mm
(7)マイクロ波出力密度:1.57W/cm2
(8)プラズマ放電時間:100秒
続いて、第2層のSiN膜22(膜厚は900nm)を、第1層のSiN膜21と同じ成膜条件で成膜した。
(B)従来例1では、実施例1でSiN膜21、22を成膜したのと同じ成膜条件で、界面改質を行わずに1μm膜厚のSiN膜を連続して成膜した。すなわち、従来例1のSiN膜の膜厚は、実施例1のSiN膜21の膜厚とSiN膜22の膜厚とを加算したものである。
(C)本実験例では、実施例1で製造された試料、および、従来例1で製造された試料について、簡易的なカルシウム腐食法により、有機EL封止膜の腐食率、すなわち平均反応率を測定することで、膜の水蒸気透過性能を評価した。試料平面図および評価結果を図4に示す。
図4に示すように、本実験例では、実施例1、従来例1の両者とも、1試料あたり4箇所の観察エリアを選定し、各エリアの腐食率を求めて平均反応率(平均腐食率)を算出した。この結果、実施例1(パッシベート処理による界面改質あり)では平均反応率が17.8%であり、従来例1(パッシベート処理による界面改質なし)では平均反応率が33.7%であった。従って、従来例1に比べ、実施例1では有機EL封止膜20のバリア性が大幅に高いことが確認された。
<実験例2>
本発明者は、第2実施形態で得られた有機EL素子29を、85℃、85%RHの恒温恒湿槽に250時間にわたって放置した。この結果、発光表面にはダークスポットの発生は見られず、良好なバリア性を有することが確認された。
本発明者は、第2実施形態で得られた有機EL素子29を、85℃、85%RHの恒温恒湿槽に250時間にわたって放置した。この結果、発光表面にはダークスポットの発生は見られず、良好なバリア性を有することが確認された。
7S 窒化シリコン被成膜面
20 有機EL封止膜
21 第1層のSiN膜
21S 表面
22 第2層のSiN膜
29 有機EL素子
36 透明バリア性薄膜(有機EL封止膜)
20 有機EL封止膜
21 第1層のSiN膜
21S 表面
22 第2層のSiN膜
29 有機EL素子
36 透明バリア性薄膜(有機EL封止膜)
Claims (7)
- 有機EL基板の封止膜被成膜面に成膜される第1層の窒化シリコン膜と、
前記第1層の窒化シリコン膜の表面をパッシベート処理した後に前記表面上に成膜された第2層の窒化シリコン膜と、
備えたことを特徴とする有機EL封止膜。 - 請求項1記載の有機EL封止膜をバリア膜として有することを特徴とする有機EL素子。
- 有機EL基板の窒化シリコン被成膜面に窒化シリコン膜を成膜する工程と、
前記窒化シリコン膜の表面を、還元性ガスを含むガスでパッシベート処理する工程と、
前記パッシベート処理を行った後に、更に窒化シリコン膜を成膜する工程と、
を行うことを特徴とする有機EL封止膜製造方法。 - 前記還元性ガスとして、窒素元素と水素元素とからなるガスを用いることを特徴とする請求項3記載の有機EL封止膜製造方法。
- 前記還元性ガスとしてアンモニアガスを用いることを特徴とする請求項4記載の有機EL封止膜製造方法。
- 前記還元性ガスとして窒素ガスと水素ガスとの混合ガスを用いることを特徴とする請求項3記載の有機EL封止膜製造方法。
- 前記還元性ガスに不活性ガスを混合させて前記還元性ガスの濃度を調整することを特徴とする請求項3〜6のいずれか1項記載の有機EL封止膜製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012005104A JP2013145668A (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 有機el封止膜、有機el素子、および、有機el封止膜製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012005104A JP2013145668A (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 有機el封止膜、有機el素子、および、有機el封止膜製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013145668A true JP2013145668A (ja) | 2013-07-25 |
Family
ID=49041360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012005104A Pending JP2013145668A (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 有機el封止膜、有機el素子、および、有機el封止膜製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013145668A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107275507A (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-20 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el显示面板及其制作方法 |
JP2019050113A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社Joled | 有機el表示パネル、有機el表示装置、およびその製造方法 |
-
2012
- 2012-01-13 JP JP2012005104A patent/JP2013145668A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107275507A (zh) * | 2016-03-31 | 2017-10-20 | 株式会社日本有机雷特显示器 | 有机el显示面板及其制作方法 |
JP2019050113A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社Joled | 有機el表示パネル、有機el表示装置、およびその製造方法 |
US10998526B2 (en) | 2017-09-08 | 2021-05-04 | Joled Inc. | Organic EL display panel including a multilayer sealing layer, organic EL display device, and manufacturing method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101623961B1 (ko) | 트랜지스터와 그 제조방법 및 트랜지스터를 포함하는 전자소자 | |
JP5375732B2 (ja) | バリヤ膜を形成する方法およびバリヤ膜を形成するために用いるcvd装置 | |
JP7424659B2 (ja) | 複合金属酸化物半導体および薄膜トランジスタとその応用 | |
KR101674347B1 (ko) | 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법, 어레이 기판 및 표시 장치 | |
KR101413655B1 (ko) | 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 제조 방법 | |
TW201021131A (en) | Capping layers for metal oxynitride TFTs | |
JP2008199005A (ja) | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
KR20120084133A (ko) | 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법 | |
JP4171162B2 (ja) | 光起電力素子およびその製造方法 | |
KR20080114068A (ko) | 아연산화물 반도체 및 이를 제조하기 위한 방법 | |
WO2018119958A1 (zh) | 薄膜晶体管和薄膜晶体管的制备方法和阵列基板 | |
TW201027780A (en) | Photoelectric conversion device and method for manufacturing the same | |
CN202957251U (zh) | 一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置 | |
JP2015130509A (ja) | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5615442B2 (ja) | 薄膜電極および薄膜スタックを堆積させる方法 | |
CN112447867A (zh) | 太阳能电池结构及其制作方法 | |
JP2013145668A (ja) | 有機el封止膜、有機el素子、および、有機el封止膜製造方法 | |
JP3819793B2 (ja) | 成膜方法及び半導体装置の製造方法 | |
TW202301694A (zh) | 薄膜電晶體及薄膜電晶體的製造方法 | |
JP2015162615A (ja) | 水素拡散障壁を備える半導体デバイス及びその製作方法 | |
KR20130022438A (ko) | 나노결정 실리콘을 포함한 실리콘 탄화막의 형성 방법 | |
KR101610006B1 (ko) | 유기 광·전자 소자의 박막형 봉지막 및 그 제조방법 | |
WO2023153509A1 (ja) | 薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP2014041983A (ja) | 界面パッシベーション構造の製造方法および光電変換素子 | |
CN110911496B (zh) | 薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法及显示面板 |