JP2013145143A - 剥離強度試験用サンプルの作成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】正確な剥離強度試験を行なうことができるような剥離強度試験用サンプルの作成方法を提供する。
【解決手段】剥離強度試験用サンプルの作成方法は、透明基板1の表面に形成された透明導電性酸化膜2と透明導電性酸化膜2の表面に形成されたシリコン膜3とを含む対象物101における透明導電性酸化膜2とシリコン膜3との間の剥離強度試験を行なうためのサンプルの作成方法であって、対象物101を、第2高調波発生レーザの光源60に対して位置合わせする工程と、対象物101に対して透明基板1の側から光源60によるレーザ光61を照射して格子状に走査することによって、透明導電性酸化膜2は残しつつシリコン膜3を格子状に切断する工程とを含む。
【選択図】図5
【解決手段】剥離強度試験用サンプルの作成方法は、透明基板1の表面に形成された透明導電性酸化膜2と透明導電性酸化膜2の表面に形成されたシリコン膜3とを含む対象物101における透明導電性酸化膜2とシリコン膜3との間の剥離強度試験を行なうためのサンプルの作成方法であって、対象物101を、第2高調波発生レーザの光源60に対して位置合わせする工程と、対象物101に対して透明基板1の側から光源60によるレーザ光61を照射して格子状に走査することによって、透明導電性酸化膜2は残しつつシリコン膜3を格子状に切断する工程とを含む。
【選択図】図5
Description
本発明は、剥離強度試験用サンプルの作成方法に関するものである。
一般的に、薄膜太陽電池においては透明導電性酸化物(Transparent Conductive Oxide)の膜(以下、「TCO膜」または「透明導電性酸化膜」という。)によって表面電極が形成される。この場合、TCO膜とシリコン膜との間の界面の剥離が問題となる。剥離に関する改善のための技術の一例としては、特開2009−4702号公報(特許文献1)に記載されたものを挙げることができる。
太陽電池セルなどのように基板に薄膜が形成された構造のものにおいて、シリコン膜の剥離強度試験を行なう場合、日本工業規格(Japanese Industrial Standards:以下「JIS」という。)H 8504に則り、カッターナイフなどの鋭利な刃物によって格子状の傷をつけ、専用テープすなわちJIS Z 1522に規定された粘着テープで剥離強度試験を実施する場合がある。
カッターナイフなどによって格子状の傷をつけることとした場合、傷口がボロボロになるという問題があった。また、たとえば1mm角などの格子状の傷を用意したい場合など、カッターナイフ、定規などを使って手作業で傷をつけていくこととなるが、そのような方法では作業者の手ぶれなどが避けられず、その結果、正確な格子状の傷をつけることができないという問題があった。格子状の傷が正確でない場合、剥離強度試験も不正確なものとなりがちである。
さらに、たとえば薄膜太陽電池セルのように、ガラス基板の表面にTCO膜を形成し、さらにこのTCO膜を覆うようにシリコン膜を形成した積層構造において、シリコン膜とTCO膜との界面における剥離強度を調べようとする場合、カッターナイフではシリコン膜だけでなくTCO膜まで傷つけてしまうので、正確な評価ができないという問題があった。
そこで、本発明は、正確な剥離強度試験を行なうことができるような剥離強度試験用サンプルの作成方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に基づく剥離強度試験用サンプルの作成方法は、透明基板の表面に形成された透明導電性酸化膜と上記透明導電性酸化膜の表面に形成されたシリコン膜とを含む対象物における上記透明導電性酸化膜と上記シリコン膜との間の剥離強度試験用サンプルの作成方法であって、上記対象物を、第2高調波発生レーザの光源に対して位置合わせする工程と、上記対象物に対して上記透明基板の側から上記光源によるレーザ光を照射して格子状に走査することによって、上記透明導電性酸化膜は残しつつ上記シリコン膜を格子状に切断する工程とを含む。
本発明によれば、正確な格子状の傷を作ることができるので、正確な剥離強度試験を行なうことができる。
ここでは、薄膜太陽電池セルを模した構造における剥離強度試験のサンプルの作成を念頭において説明するが、剥離強度試験の目的は薄膜太陽電池セルに限らない。本発明としては、何らかの透明基板の表面に形成された透明導電性酸化膜と前記透明導電性酸化膜の表面に形成されたシリコン膜とを含む対象物における前記透明導電性酸化膜と前記シリコン膜との間の剥離強度試験のためのサンプルであれば、薄膜太陽電池セル以外の目的での剥離強度試験のサンプルであってもよい。
(実施の形態1)
(構成)
図1〜図7を参照して、本発明に基づく実施の形態1における剥離強度試験用サンプルの作成方法について説明する。
(構成)
図1〜図7を参照して、本発明に基づく実施の形態1における剥離強度試験用サンプルの作成方法について説明する。
まず、図1に示すように透明基板1を用意する。薄膜太陽電池セルを想定する場合、透明基板1は絶縁性である。絶縁性の透明基板1とは、たとえばガラス基板であってよい。
図2に示すように透明基板1の表面に透明導電性酸化膜2を形成する。透明導電性酸化膜2は、たとえばSnO2(酸化スズ)、ITO(Indium Tin Oxide)、ZnO(酸化亜鉛)などからなる層であってよい。透明導電性酸化膜2の形成方法は特に限定されず、たとえば従来から公知の熱CVD法、スパッタリング法、蒸着法、イオンプレーティング法などを用いることができる。
図3に示すように、透明導電性酸化膜2を覆うようにシリコン膜3を形成する。シリコン膜3は、薄膜太陽電池セルにおいては半導体光電変換層に相当するものである。
シリコン膜3は、たとえばプラズマCVD法により形成することができる。シリコン膜3の厚みは、たとえば200nm以上5μm以下とすることができるが、この範囲には限定されない。シリコン膜3の形成方法は、プラズマCVD法以外であってもよい。
ここまでの工程によって対象物101を作成する。
本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法のフローチャートを図4に示す。この中で行なわれるレーザ光照射の様子を図5に示す。図5に矢印で示されるように、レーザ光61の照射は透明基板1の側から行なわれる。
本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法のフローチャートを図4に示す。この中で行なわれるレーザ光照射の様子を図5に示す。図5に矢印で示されるように、レーザ光61の照射は透明基板1の側から行なわれる。
本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法は、透明基板1の表面に形成された透明導電性酸化膜2と透明導電性酸化膜2の表面に形成されたシリコン膜3とを含む対象物101における透明導電性酸化膜2とシリコン膜3との間の剥離強度試験を行なうためのサンプルの作成方法であって、対象物101を、第2高調波発生レーザ(Second Harmonic Generation Laser)の光源60に対して位置合わせする工程S1と、対象物101に対して透明基板1の側から光源60によるレーザ光61を照射して格子状に走査することによって、透明導電性酸化膜2は残しつつシリコン膜3を格子状に切断する工程S2とを含む。
レーザ光61はシリコン膜3にピントを合わせるように照射される。レーザ光61は透明基板1および透明導電性酸化膜2を透過してシリコン膜3に到達する。
工程S2によってレーザ光61は格子状に走査されるので、図6に例示するように格子状の傷が形成される。この格子状の傷の1つの近傍の断面を拡大して示すと図7のようになる。レーザ光61によって形成された傷の各々は、図7に示されるように溝8となっている。こうして剥離強度試験用サンプル151を得ることができる。
(作用・効果)
本実施の形態では、第2高調波発生レーザのレーザ光61を照射するので、図7に示すように、透明導電性酸化膜2には傷をつけずにシリコン膜3のみを加工することができる。シリコン膜3のうちレーザ光61が照射された部分は、溶解して吹き飛ぶことによって、溝8となっている。
本実施の形態では、第2高調波発生レーザのレーザ光61を照射するので、図7に示すように、透明導電性酸化膜2には傷をつけずにシリコン膜3のみを加工することができる。シリコン膜3のうちレーザ光61が照射された部分は、溶解して吹き飛ぶことによって、溝8となっている。
レーザ光61の光源と対象物101との相対的位置関係は、座標指定によって制御することができるので、正確な格子状の傷を作ることができる。
このように正確な格子状の傷を有する状態に仕上げた剥離強度試験用サンプル151を用いれば、正確な剥離強度試験を行なうことができる。
具体的には、この剥離強度試験用サンプル151の格子状の傷を有する側の表面5に専用テープを貼り付け、JIS H 8504に則って剥離強度の試験を行なうことができる。図8には、剥離強度試験用サンプル151の表面5に貼り付けた専用テープ4を引き剥がす様子を示す。専用テープ4はJIS Z 1522に規定された粘着テープである。専用テープ4はテープ本体4aと粘着剤層4bとを備える。専用テープ4は表面5に垂直な矢印91の向きに強く引っ張られることによって、矢印92に示すように表面5から引き剥がされている。引き剥がされた後の専用テープ4の粘着剤層4bにシリコン膜3の断片が付着しているか否か、あるいは、どの程度付着しているかを視認することで透明導電性酸化膜2とシリコン膜3との界面の剥離強度を評価することができる。
なお、本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法において、前記格子状に切断する工程では、シリコン膜3を1mm角の格子状に切断することが好ましい。JIS H 8504:1999の「15.1.4 試験方法」の「c)」では、「この試験を特に厳しく行うときは、テープをはり付ける前に鋭利な刃物でめっき面に一辺が2mmの正方形ができるように素地まで達する条こんを作り、…」と記載されているが、ここで述べたようにシリコン膜3を1mm角の格子状に切断することにすれば、さらに精密に剥離試験を行なうことができる。特に本実施の形態では、レーザ光61を用いており、この照射位置は座標指定によって制御することができるので、たとえ1mm角のような細密な格子状パターンであっても容易に正確に加工することができる。
(実施の形態2)
(構成)
図9〜図11を参照して、本発明に基づく実施の形態2における剥離強度試験用サンプルの作成方法について説明する。本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法は、基本的構成としては実施の形態1で説明した作成方法と共通しているが、以下の点で異なる。
(構成)
図9〜図11を参照して、本発明に基づく実施の形態2における剥離強度試験用サンプルの作成方法について説明する。本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法は、基本的構成としては実施の形態1で説明した作成方法と共通しているが、以下の点で異なる。
本実施の形態における剥離強度試験用サンプルの作成方法においては、前記位置合わせする工程S1の時点で、図9に示すように、シリコン膜3の透明基板1とは反対側の面には、裏面電極6が予め形成されている。すなわち、本実施の形態では、裏面電極6を有する対象物102が用いられる。前記格子状に切断する工程S2は、透明導電性酸化膜2は残しつつシリコン膜3および裏面電極6を格子状に切断する工程である。
裏面電極6は、たとえば銀によって形成された膜であってよい。工程S2におけるレーザ光61の照射の様子を図10に示す。レーザ光61は、実施の形態1と同様に、シリコン膜3にピントを合わせるように照射される。こうして図11に示すように剥離強度試験用サンプル152が得られる。
(作用・効果)
本実施の形態では、第2高調波発生レーザのレーザ光61を照射するので、図11に示したように、透明導電性酸化膜2には傷をつけずにシリコン膜3のみを加工することができる。シリコン膜3のうちレーザ光61が照射された部分は、溶解して吹き飛び、この際にシリコン膜3の表面の裏面電極6も同時に吹き飛ぶ。その結果、シリコン膜3および裏面電極6の2層を貫通するように溝8が形成されている。
本実施の形態では、第2高調波発生レーザのレーザ光61を照射するので、図11に示したように、透明導電性酸化膜2には傷をつけずにシリコン膜3のみを加工することができる。シリコン膜3のうちレーザ光61が照射された部分は、溶解して吹き飛び、この際にシリコン膜3の表面の裏面電極6も同時に吹き飛ぶ。その結果、シリコン膜3および裏面電極6の2層を貫通するように溝8が形成されている。
本実施の形態では、剥離強度試験用サンプル152の格子状の傷を有する側の表面9に専用テープを貼り付け、JIS H 8504に則って剥離強度の試験を行なうことができる。
このように正確な格子状の傷を有する状態に仕上げた剥離強度試験用サンプル152を用いることによっても、正確な剥離強度試験を行なうことができる。裏面電極6とシリコン膜3との界面の剥離強度は、透明導電性酸化膜2とシリコン膜3との界面の剥離強度に比べてはるかに高いので、透明導電性酸化膜2とシリコン膜3との界面の剥離強度を試験する際には、裏面電極6とシリコン膜3との界面での剥離は問題とならない。
薄膜太陽電池の製造現場などにおいては、シリコン膜を形成した後、かつ、裏面電極を形成する前の段階で生産ラインから剥離強度試験のために対象物を取り出すことが困難な場合がある。本実施の形態では、対象物は既に裏面電極まで形成した後のものであってもよく、このような対象物を用いても剥離強度試験用サンプルを作成することができるので好都合である。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
1 透明基板、2 透明導電性酸化膜、3 シリコン膜、4 専用テープ、4a テープ本体、4b 粘着剤層、5,9 表面、6 裏面電極、8 溝、60 光源、61 レーザ光、91,92 矢印、101,102 対象物、151,152 剥離強度試験用サンプル。
Claims (3)
- 透明基板の表面に形成された透明導電性酸化膜と前記透明導電性酸化膜の表面に形成されたシリコン膜とを含む対象物における前記透明導電性酸化膜と前記シリコン膜との間の剥離強度試験を行なうためのサンプルの作成方法であって、
前記対象物を、第2高調波発生レーザの光源に対して位置合わせする工程と、
前記対象物に対して前記透明基板の側から前記光源によるレーザ光を照射して格子状に走査することによって、前記透明導電性酸化膜は残しつつ前記シリコン膜を格子状に切断する工程とを含む、剥離強度試験用サンプルの作成方法。 - 前記位置合わせする工程の時点で、前記シリコン膜の前記透明基板とは反対側の面には、裏面電極が予め形成されており、
前記格子状に切断する工程は、前記透明導電性酸化膜は残しつつ前記シリコン膜および前記裏面電極を格子状に切断する工程である、請求項1に記載の剥離強度試験用サンプルの作成方法。 - 前記格子状に切断する工程では、前記シリコン膜を1mm角の格子状に切断する、請求項1または2に記載の剥離強度試験用サンプルの作成方法。
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JP2012005095A JP2013145143A (ja) | 2012-01-13 | 2012-01-13 | 剥離強度試験用サンプルの作成方法 |
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CN110838535A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-25 | 晶澳太阳能有限公司 | 太阳能电池组件的制备方法及摩擦力测试系统 |
CN115290557A (zh) * | 2022-09-28 | 2022-11-04 | 惠州市金百泽电路科技有限公司 | 一种剥离强度pcb测试板、其制备方法及应用 |
-
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