JP2013143196A - 誘導結合プラズマms/ms型質量分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置10は、イオン化された試料を含むプラズマを真空中に引き込む第1の真空チャンバ11と、第1の真空チャンバから出射したイオンからイオンビームを引き出し案内する手段18を含む第2の真空チャンバ12と、第1のイオン光学分離手段20を備えた第3の真空チャンバ13と、反応ガスが導入されるセル25を有する第4の真空チャンバ14と、第2のイオン光学分離手段29及び検出器30を備えた第5の真空チャンバ15とを有し、第2の真空チャンバ12と第3の真空チャンバ13が個別に排気される。
【選択図】 図1
Description
11 第1の真空チャンバ
12 第2の真空チャンバ
13 第3の真空チャンバ
14 第4の真空チャンバ
15 第5の真空チャンバ
20, 26, 29 四重極マスフィルタ
24 コリジョン/リアクションセル
31, 31’, 32, 46, 46’ スプリットフロー型ターボ分子ポンプ
33 ロータリーポンプ
43 流路
44, 45 ターボ分子ポンプ
Claims (12)
- イオン化された試料を含むプラズマを真空中に引き込む第1の真空チャンバと、
前記第1の真空チャンバに接続され、前記第1の真空チャンバから出射したイオンからイオンビームを引き出し案内する手段を含む第2の真空チャンバと、
前記第2の真空チャンバに接続され、第1のイオン光学分離手段を備えた第3の真空チャンバと、
前記第3の真空チャンバに接続され、反応ガスが導入されるセルを有する第4の真空チャンバと、
前記第4の真空チャンバに接続され、第2のイオン光学分離手段及び検出器を備えた第5の真空チャンバとを有し、
前記第2の真空チャンバと前記第3の真空チャンバが個別に排気されてなる、誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。 - 前記イオン光学分離手段は、質量電荷比によりイオンを分離するものであることを特徴とする請求項1に記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第2の真空チャンバが0.5 Paの圧力以下に維持され、前記第3の真空チャンバが1×10-4 Pa〜2×10-2 Paの圧力に維持される、請求項1又は2に記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第4の真空チャンバが1×10-5 Pa〜0.2 Paの圧力に維持される、請求項1から3に記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第1の真空チャンバがロータリーポンプによって排気され、前記第2の真空チャンバから前記第5の真空チャンバがターボ分子ポンプ又は油拡散ポンプによって排気される、請求項1から4のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第3の真空チャンバと前記第5の真空チャンバが流路を介して相互に接続されている、請求項1から5のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第2の真空チャンバと前記第3の真空チャンバが一台のスプリットフロー型ターボ分子ポンプによって排気される、請求項1から6のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第3の真空チャンバと前記第4の真空チャンバが一台のスプリットフロー型ターボ分子ポンプによって排気される、請求項1から6のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第4の真空チャンバと前記第5の真空チャンバが一台のスプリットフロー型ターボ分子ポンプによって排気される、請求項1から6のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第2の真空チャンバと前記第3の真空チャンバが一台のスプリットフロー型ターボ分子ポンプによって排気され、前記第4の真空チャンバと前記第5の真空チャンバが一台のスプリットフロー型ターボ分子ポンプによって排気される、請求項1から5のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記ロータリーポンプが、前記第2の真空チャンバから前記第5の真空チャンバを排気するポンプのバッキングポンプを兼ねる、請求項5から10のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
- 前記第2の真空チャンバと前記第3の真空チャンバとの間の隔壁から前記第1のイオン光学分離手段までの距離がほぼ1mmからほぼ7mmまでである、請求項1から11のいずれかに記載の誘導結合プラズマMS/MS型質量分析装置。
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