JP2013142774A - 照明装置、および拡大観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料面を照明する光源31と、光源像を開口絞り33に結像させるための照明光学系32と、を備え、前記開口絞り33の近傍に、射出面に光を拡散させる拡散面を形成した凹レンズ36を光路に取り付け、取り外し可能に配置した。照明領域を均等に照明する通常照明時には、凹レンズ36を光路から外し、広い領域を照明するときには凹レンズ36を光路に配置する。
【選択図】図1
Description
2:ビームエキスパンダ
3:オプティカルインテグレータ
4:σ絞り
5:リレーレンズ
7:コリメータレンズ
8:視野絞り
9:チューブレンズ
10:ビームスプリッター
11:対物レンズ
12:開口絞り
13:試料面
14:結像レンズ
15:結像面
16:σ絞り共役位置
17:凹レンズ
20:マスク検査装置
24:凹レンズ
30:照明装置
31:光源
32:照明光学系
33:開口絞り
34:試料面
35:コンデンサーレンズ
36:凹レンズ
Claims (4)
- 試料面を照明する光源と、
光源像を開口絞り、または前記開口絞りの共役位置に結像させるための光学系と、
を有する照明装置において、
前記開口絞り近傍、または開口絞りの共役点近傍に拡散性のある光学素子およびパワーを有する光学素子を光路に取り付け、取り外し可能に配置することを特徴とする照明装置。 - 前記拡散性のある光学素子は、前記パワーのある光学素子の入射面および射出面の少なくとも一方の面に形成した拡散面であることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。
- 前記パワーを有する光学素子は、凹レンズであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の照明装置。
- 請求項1から請求項3のいずれかに記載の照明装置と、該照明装置で照明した試料の拡大像を得る拡大光学系とを備えることを特徴とする拡大観察装置。
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