JP2017207625A - 顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】標本面での照明分布を均質にするとともに、柔軟な設置を可能にする。【解決手段】光源3から発せられた照明光を導光する光ファイバ5と、光ファイバ5により導光されてきた照明光の光束径を拡大する前段ビーム拡大レンズ群27と、前段ビーム拡大レンズ群27により光束径が拡大された照明光の照明分布を均質にするガラスロッド29と、ガラスロッド29により照明分布が均質にされた照明光を標本に照射する対物レンズ15と、対物レンズ15に入射させるガラスロッド29からの照明光の光束を制限する複数のピンホールが中心軸周りにアレイ状に配置されたピンホールアレイディスク33と、ピンホールアレイディスク33を回転軸13回りに回転可能な回転駆動部とを備える顕微鏡装置1を提供する。【選択図】図2
Description
本発明は、顕微鏡装置に関するものである。
従来、同一パターンのマイクロレンズアレイとピンホールアレイとが組み合わせられたディスクユニットを備え、レーザ光を通過させるマイクロレンズとピンホールの位置を一体的に変化させることで標本上の光スポットの位置を移動させるディスクスキャン型の共焦点顕微鏡が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2および特許文献3参照。)。
特許文献1〜3に記載の共焦点顕微鏡は、光源から発せられた照明光をマルチモードファイバにより導光し、リレー光学系によりリレーしてディスクユニットに入射させている。マルチモードファイバは、ファイバコア径を大きくして、ディスクユニットに均質な照明分布の照明光を入射させることができる。
しかしながら、従来の共焦点顕微鏡のように、マルチモードファイバにより導光した照明光をリレー光学系によりディスクスキャンにそのまま直接入射させる構成では、ファイバコア径を大きくして照明分布を均質にする分だけマルチモードファイバの許容曲げ半径が大きくなるために、柔軟な設置が制約されるという問題がある。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、標本面での照明分布を均質にするとともに、柔軟な設置を可能にする顕微鏡装置を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、光源から発せられた照明光を導光する光ファイバと、該光ファイバにより導光されてきた前記照明光の光束径を拡大する拡大光学系と、該拡大光学系により光束径が拡大された前記照明光の照明分布を均質にする照明均質部材と、該照明均質部材により照明分布が均質にされた前記照明光を標本に照射する対物レンズと、該対物レンズに入射させる前記照明均質部材からの前記照明光の光束を制限する複数の微小開口が中心軸周りにアレイ状に配置された開口ディスクと、該開口ディスクを前記中心軸回りに回転可能な回転駆動部とを備える顕微鏡装置を提供する。
本発明は、光源から発せられた照明光を導光する光ファイバと、該光ファイバにより導光されてきた前記照明光の光束径を拡大する拡大光学系と、該拡大光学系により光束径が拡大された前記照明光の照明分布を均質にする照明均質部材と、該照明均質部材により照明分布が均質にされた前記照明光を標本に照射する対物レンズと、該対物レンズに入射させる前記照明均質部材からの前記照明光の光束を制限する複数の微小開口が中心軸周りにアレイ状に配置された開口ディスクと、該開口ディスクを前記中心軸回りに回転可能な回転駆動部とを備える顕微鏡装置を提供する。
本発明によれば、光源から光ファイバにより導光されてきた照明光が、拡大光学系および照明均質部材を介して、回転駆動部により中心軸回りに回転されている開口ディスクの微小開口を通過し、対物レンズにより標本に照射される。開口ディスクの回転により照明光が通過する微小開口が次々に替わることで、照明光のスポット位置を移動させて標本上で照明光を走査させることができる。
この場合において、光ファイバからの照明光を拡大光学系により光束径を拡大して照明均質部材によりその照明分布を均質にすることで、光ファイバのコア径が小さくてすみ、また、微小開口に均質な照明分布の照明光を入射させることができる。これにより、標本面での照明分布を均質にするとともに、柔軟な設置を可能にすることができる。
上記発明においては、前記拡大光学系が、前記光ファイバの出射端面を前記照明均質部材の入射端面に投影することとしてもよい。
このように構成することで、照明均質部材に入射する照明光の漏れを防いで光量のロスを低減することができる。
このように構成することで、照明均質部材に入射する照明光の漏れを防いで光量のロスを低減することができる。
上記発明においては、前記照明均質部材の出射端面を前記微小開口に投影するリレー光学系を備えることとしてもよい。
このように構成することで、リレー光学系により、微小開口に入射する照明光の漏れを防いで光量のロスを低減することができる。
このように構成することで、リレー光学系により、微小開口に入射する照明光の漏れを防いで光量のロスを低減することができる。
上記発明においては、前記リレー光学系が、前記照明均質部材からの前記照明光を光束径を拡大して前記微小開口にリレーすることとしてもよい。
このように構成することで、光ファイバから出射された照明光をいずれも光束径を拡大する拡大光学系およびリレー光学系を介して開口ディスクの微小開口に入射させることにより、微小開口の入射NAを光ファイバの出射NAや照明均質部材の出射NAに対して小さくし、微小開口での照明光のロスを低減することができる。
このように構成することで、光ファイバから出射された照明光をいずれも光束径を拡大する拡大光学系およびリレー光学系を介して開口ディスクの微小開口に入射させることにより、微小開口の入射NAを光ファイバの出射NAや照明均質部材の出射NAに対して小さくし、微小開口での照明光のロスを低減することができる。
上記発明においては、前記照明均質部材が、ガラスブロック、ロッドレンズまたはマルチモードファイバであることとしてもよい。前記マルチモードファイバは、方形コア光ファイバ、大口径光ファイバまたはリキッドファイバであってもよい。
上記発明においては、前記照明均質部材が略四角形状の出射端面を有することとしてもよい。
標本の観察に用いられるカメラの撮像範囲は一般的に四角形状なので、このように構成することで、一般的なカメラの撮像範囲に照明範囲を合わせ込み易くすることができる。
標本の観察に用いられるカメラの撮像範囲は一般的に四角形状なので、このように構成することで、一般的なカメラの撮像範囲に照明範囲を合わせ込み易くすることができる。
上記発明においては、前記照明光としてレーザ光を発する前記光源と、該光源から発せられた前記レーザ光からスペックルノイズを除去するスペックル除去部とを備えることとしてもよい。
このように構成することで、スペックル除去部によりレーザ光からスペックルノイズが除去されるので、レーザ光により高強度で標本を照明し、明るく高精細な画像を得ることができる。
このように構成することで、スペックル除去部によりレーザ光からスペックルノイズが除去されるので、レーザ光により高強度で標本を照明し、明るく高精細な画像を得ることができる。
上記発明においては、前記開口ディスクに対して前記中心軸方向に間隔を空けて配され、前記照明均質部材からの前記照明光を前記微小開口に集光可能な複数のマイクロレンズが中心軸周りに前記複数の微小開口と同一パターンでアレイ状に配置されたレンズディスクを備え、前記回転駆動部が、前記開口ディスクと前記レンズディスクとを一体的に回転させることとしてもよい。
このように構成することで、マイクロレンズにより、照明均質部材から微小開口に入射させる照明光の入射効率を向上して、照明光量のロスを低減することができる。
このように構成することで、マイクロレンズにより、照明均質部材から微小開口に入射させる照明光の入射効率を向上して、照明光量のロスを低減することができる。
本発明によれば、標本面での照明分布を均質にするとともに、柔軟な設置を可能にすることができるという効果を奏する。
〔第1実施形態〕
本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置について図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置1は、照明光を発生する光源3と、光源3から発せられた照明光を導光する光ファイバ5と、光ファイバ5により導光されてきた照明光を整形する均質照明整形部7と、均質照明整形部7により整形にされた照明光をリレーする後段ビーム拡大レンズ群(リレー光学系)9と、複数のピンホール(微小開口)31およびマイクロレンズ35を有するディスクユニット11と、ディスクユニット11を回転軸(中心軸)13回りに回転させる回転駆動部(図示略)と、ディスクユニット11を通過した照明光を標本に照射する一方、標本Sからの蛍光(観察光)を集光する対物レンズ15とを備えている。
本発明の第1実施形態に係る顕微鏡装置について図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置1は、照明光を発生する光源3と、光源3から発せられた照明光を導光する光ファイバ5と、光ファイバ5により導光されてきた照明光を整形する均質照明整形部7と、均質照明整形部7により整形にされた照明光をリレーする後段ビーム拡大レンズ群(リレー光学系)9と、複数のピンホール(微小開口)31およびマイクロレンズ35を有するディスクユニット11と、ディスクユニット11を回転軸(中心軸)13回りに回転させる回転駆動部(図示略)と、ディスクユニット11を通過した照明光を標本に照射する一方、標本Sからの蛍光(観察光)を集光する対物レンズ15とを備えている。
また、顕微鏡装置1は、対物レンズ15により集光された標本Sからの蛍光を集光して結像させる結像レンズ17と、結像レンズ17により集光された蛍光を分岐させるダイクロイックミラー(ビームスプリッタ)19と、ダイクロイックミラー19により分岐させられた蛍光を検出する蛍光検出系21とを備えている。
光ファイバ5は、例えば、シングルモードファイバやマルチモードファイバであり、入射端が光源3に接続されている。光ファイバ5の出射端にはファイバ出射コネクタ23が取り付けられている。
均質照明整形部7は、図2に示すように、光ファイバ5のファイバ出射コネクタ23から出射された照明光を光束径を拡大してリレーする前段ビーム拡大レンズ群(拡大光学系)27と、前段ビーム拡大レンズ群27によりリレーされた照明光の照明分布を均質にするガラスロッド(照明均質部材)29とを備えている。
前段ビーム拡大レンズ群27は、ビーム拡大倍率が1よりも大きく、入射NAが出射NAよりも大きい特性を有している。この前段ビーム拡大レンズ群27は、ファイバ出射コネクタ23の出射端面(光ファイバ5の出射端面)をガラスロッド29の入射端面に投影するようになっている。これにより、ガラスロッド29に入射する照明光の漏れを防いで光量のロスを低減することができる。
ガラスロッド29は、例えば、ガラスブロック、ロッドレンズまたはマルチモードファイバである。マルチモードファイバとしては、方形コア光ファイバ、大口径光ファイバまたはリキッドファイバ等を用いることができる。このガラスロッド29は、光ファイバ5のコア径以上の大きさの有効開口を有している。
また、ガラスロッド29は、略四角形状の出射端を有している。標本Sの観察に用いられるカメラの撮像範囲は一般的に四角形状なので、このようにすることで、一般的なカメラの撮像範囲に照明範囲を合わせ込み易くすることができる。
ディスクユニット11は、図1に示すように、複数のピンホール31が回転軸13周りにアレイ状に配置されたピンホールアレイディスク(開口ディスク)33と、複数のマイクロレンズ35が回転軸13周りにアレイ状に配置されたマイクロレンズアレイディスク(レンズディスク)37とを備えている。
このディスクユニット11は、光源3側にマイクロレンズアレイディスク37が配され、標本S側にピンホールアレイディスク33が配され、マイクロレンズアレイディスク37とピンホールアレイディスク33とが互いに回転軸13方向に間隔を空けて同軸上に設けられている。また、これらマイクロレンズアレイディスク37およびピンホールアレイディスク33は、回転駆動部により共通の回転軸13回りに一体的に回転させられるようになっている。
また、ディスクユニット11は、ピンホールアレイディスク33の各ピンホール31とマイクロレンズアレイディスク37の各マイクロレンズ35とが同一パターンで形成されており、各ピンホール31と各マイクロレンズ35とが対応付けられて配されている。したがって、各マイクロレンズ35に入射した照明光は、そのマイクロレンズ35に対応するピンホール31に集光されるようになっている。各ピンホール31は、結像レンズ17により集光された蛍光の内、標本Sにおける対物レンズ15の焦点位置において発生した蛍光のみを通過させるようになっている。
後段ビーム拡大レンズ群9は、ビーム拡大倍率が1よりも大きく、入射NAが出射NAよりも大きい特性を有している。この後段ビーム拡大レンズ群9は、ガラスロッド29の出射端面をディスクユニット11のマイクロレンズ35またはピンホール31に投影するようになっている。これにより、ピンホール31に入射する照明光の漏れを防いで光量のロスを低減することができる。
ダイクロイックミラー19は、マイクロレンズアレイディスク37とピンホールアレイディスク33との間の照明光の光軸上に配されている。このダイクロイックミラー19は、各マイクロレンズ35により対応するピンホール31に集光される照明光を透過させる一方、ピンホール31を通過した標本Sからの蛍光を蛍光検出系21に向けて反射するようになっている。
蛍光検出系21は、ダイクロイックミラー19からの蛍光をリレーするリレー光学系39と、蛍光と共に標本Sから戻る照明光を吸収して、蛍光のみを通過させる吸収フィルタ41と、リレー光学系39によりリレーされた蛍光を検出して画像情報を取得するカメラ等の撮像デバイス43とを備えている。撮像デバイス43は、撮像範囲が略四角形状を有している。
このように構成された顕微鏡装置1の作用について、図1および図2を参照して説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置1により標本Sを観察するには、まず、回転駆動部によりディスクユニット11を回転軸13回りに回転させ、光源3から照明光を発生させる。
本実施形態に係る顕微鏡装置1により標本Sを観察するには、まず、回転駆動部によりディスクユニット11を回転軸13回りに回転させ、光源3から照明光を発生させる。
光源3から発せられた照明光は、光ファイバ5により導光された後、前段ビーム拡大レンズ群27により光束径を拡大されてガラスロッド29にリレーされる。そして、照明光は、ガラスロッド29により照明分布が均質にされ、後段ビーム拡大レンズ群9により光束径が拡大されて略平行光となってディスクユニット11にリレーされる。
ディスクユニット11に入射した照明光は、照明光の光路に配されたマイクロレンズ35により集光されてダイクロイックミラー19を透過し、同じく照明光の光路に配されたピンホール31を通過して、結像レンズ17を介して対物レンズ15により標本Sに照射される。ディスクユニット11の回転により照明光が通過するマイクロレンズ35およびピンホール31が次々に替わることで、これらマイクロレンズ35およびピンホール31のパターンに従い照明光のスポット位置が移動して、標本S上で照明光が走査される。
照明光が照射されることにより標本Sにおいて発生した蛍光は、対物レンズ15により集光されて照明光の光路を戻り、結像レンズ17により集光されてピンホール31を通過し、ダイクロイックミラー19により蛍光検出系21に向けて反射される。そして、蛍光は、リレー光学系39によりリレーされて吸収フィルタ41を通過し、撮像デバイス43により検出される。これにより、撮像デバイス43において、検出した蛍光に基づく標本Sの画像情報が取得される。
この場合において、光ファイバ5からの照明光を前段ビーム拡大レンズ群27により光束径を拡大してガラスロッド29によりその照明分布を均質にすることで、光ファイバ5のコア径を大きくしなくても、ピンホール31に均質な照明分布の照明光を入射させることができる。
したがって、本実施形態に係る顕微鏡装置1によれば、標本面での照明分布を均質にするとともに、コア径が小さい光ファイバ5を用いて柔軟な設置を可能にすることができる。また、光ファイバ5から出射された照明光をいずれも光束径を拡大する前段ビーム拡大レンズ群27および後段ビーム拡大レンズ群9を介してピンホール31に入射させることにより、マイクロレンズ35またはピンホール31の入射NAを光ファイバ5の出射NAやガラスロッド29の出射NAに対して小さくし、ピンホール31での照明光のロスを低減することができる。なお、後段ビーム拡大レンズ群9に代えて、照明光をその光束径を拡大せずにリレーするリレー光学系を採用することしてもよい。
〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置50は、図3に示すように、光源3に代えて、照明光としてレーザ光を発するレーザ光源51を採用し、レーザ光源51から発せられたレーザ光からスペックルノイズを除去する第1スペックル除去機構53、第2スペックル除去機構55、第3スペックル除去機構57および第4スペックル除去機構59(いずれもスペックル除去部)の少なくともいずれか1つを備える点で第1実施形態と異なる。図3は4つのスペックル除去機構53,55,57,59の全てを配置した構成を示しているが、いずれか1つのみを使用することとしてもよいし複数を併用することとしてもよい。
以下、第1実施形態に係る顕微鏡装置1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置50は、図3に示すように、光源3に代えて、照明光としてレーザ光を発するレーザ光源51を採用し、レーザ光源51から発せられたレーザ光からスペックルノイズを除去する第1スペックル除去機構53、第2スペックル除去機構55、第3スペックル除去機構57および第4スペックル除去機構59(いずれもスペックル除去部)の少なくともいずれか1つを備える点で第1実施形態と異なる。図3は4つのスペックル除去機構53,55,57,59の全てを配置した構成を示しているが、いずれか1つのみを使用することとしてもよいし複数を併用することとしてもよい。
以下、第1実施形態に係る顕微鏡装置1と構成を共通する箇所には、同一符号を付して説明を省略する。
第1スペックル除去機構53は、例えば、マルチモードファイバ用スクランブラであり、光ファイバ5に取り付けられるようになっている。
第2スペックル除去機構55は、例えば、スペックルリデューサであり、前段ビーム拡大レンズ群27を構成する2つの第2レンズ27A,27B間の光路上に配されるようになっている。
第2スペックル除去機構55は、例えば、スペックルリデューサであり、前段ビーム拡大レンズ群27を構成する2つの第2レンズ27A,27B間の光路上に配されるようになっている。
第3スペックル除去機構57は、例えば、スクランブラであり、ガラスロッド29に取り付けられるようになっている。
第4スペックル除去機構59は、例えば、スペックルリデューサであり、後段ビーム拡大レンズ群9を構成する2つの第1レンズ9A,9B間の光路上に配されるようになっている。
第4スペックル除去機構59は、例えば、スペックルリデューサであり、後段ビーム拡大レンズ群9を構成する2つの第1レンズ9A,9B間の光路上に配されるようになっている。
より具体的には、第1スペックル除去機構53および第3スペックル除去機構57は、例えば、光ファイバ5またはガラスロッド29に取り付けられる偏芯モータまたはPZT素子を備え、これら偏芯モータまたはPZT素子により光ファイバ5またはガラスロッド29に振動を与えるようになっている。図4は、ガラスロッド29としての方形コア光ファイバに第3スペックル除去機構57の偏芯モータ61を結束バンド63によって取り付けた構成を例示している。
また、第2スペックル除去機構55および第4スペックル除去機構59は、回転拡散板、回転移相板、互いに焦点位置が異なるマイクロレンズアレイまたは波面変調器等を備え、これら回転拡散板、回転移相板、互いに焦点位置が異なるマイクロレンズアレイまたは波面変調器等により、前段ビーム拡大レンズ群27または後段ビーム拡大レンズ群9によりリレーされる照明光を拡散するようになっている。図5は、第2スペックル除去機構55を例示している。
このように構成された顕微鏡装置50の作用について説明する。
レーザ光源51により標本Sにレーザ光を照射する場合、レーザ光の可干渉性の良さから、光ファイバ5やガラスロッド29から出射される照明光は、光ファイバ5やガラスロッド29内で発生する互いに光路長が異なる各モード光どうしの干渉により、ビーム形状がスペックルパターンになる。
レーザ光源51により標本Sにレーザ光を照射する場合、レーザ光の可干渉性の良さから、光ファイバ5やガラスロッド29から出射される照明光は、光ファイバ5やガラスロッド29内で発生する互いに光路長が異なる各モード光どうしの干渉により、ビーム形状がスペックルパターンになる。
この場合において、第1スペックル除去機構53および第3スペックル除去機構57により光ファイバ5およびガラスロッド29に振動を与えることで、各モード光の位相と偏光に乱れを生じさせ、例えば、図6に示すように、スペックルパターンの発生を防ぐことができる。図6において、紙面左側は第1スペックル除去機構53および第3スペックル除去機構57の駆動を停止(off)することでスペックルパターンが発生する様子を示し、紙面右側は第1スペックル除去機構53および第3スペックル除去機構57を駆動(on)することでスペックルパターンの発生が防止される様子を示している。
また、第2スペックル除去機構55および第4スペックル除去機構59により、前段ビーム拡大レンズ群27および後段ビーム拡大レンズ群9によりリレーされるレーザ光の位相と偏光を微細領域単位で乱し、干渉を抑制することができる。
したがって、本実施形態に係る顕微鏡装置50によれば、スペックル除去機構53,55,57,59によりレーザ光からスペックルノイズが除去されるので、レーザ光により高強度で標本Sを照明し、明るく高精細な画像を得ることができる。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、本発明を上記実施形態および変形例に適用したものに限定されることなく、これらの実施形態および変形例を適宜組み合わせた実施形態に適用してもよく、特に限定されるものではない。
また、上記実施形態においては、微小開口としてピンホール31を例示して説明したが、これに代えて、例えば、複数の微小開口が、回転軸13周りに複数のマイクロレンズ35と同一パターンで形成された複数のスリットであってもよい。また、上記実施形態においては、ピンホールアレイディスク33とマイクロレンズアレイディスク37とが一体的に構成されてなるディスクユニット11を例示して説明したが、マイクロレンズアレイディスク37を用いず、ピンホールアレイディスク33だけを用いることとしてもよい。
1,50 顕微鏡装置
5 光ファイバ
9 後段ビーム拡大レンズ群(リレー光学系)
13 回転軸(中心軸)
15 対物レンズ
27 前段ビーム拡大レンズ群(拡大光学系)
29 ガラスロッド(照明均質部材)
31 ピンホール(微小開口)
33 ピンホールアレイディスク(開口ディスク)
35 マイクロレンズ
37 マイクロレンズアレイディスク(レンズディスク)
S 標本
5 光ファイバ
9 後段ビーム拡大レンズ群(リレー光学系)
13 回転軸(中心軸)
15 対物レンズ
27 前段ビーム拡大レンズ群(拡大光学系)
29 ガラスロッド(照明均質部材)
31 ピンホール(微小開口)
33 ピンホールアレイディスク(開口ディスク)
35 マイクロレンズ
37 マイクロレンズアレイディスク(レンズディスク)
S 標本
Claims (9)
- 光源から発せられた照明光を導光する光ファイバと、
該光ファイバにより導光されてきた前記照明光の光束径を拡大する拡大光学系と、
該拡大光学系により光束径が拡大された前記照明光の照明分布を均質にする照明均質部材と、
該照明均質部材により照明分布が均質にされた前記照明光を標本に照射する対物レンズと、
該対物レンズに入射させる前記照明均質部材からの前記照明光の光束を制限する複数の微小開口が中心軸周りにアレイ状に配置された開口ディスクと、
該開口ディスクを前記中心軸回りに回転可能な回転駆動部とを備える顕微鏡装置。 - 前記拡大光学系が、前記光ファイバの出射端面を前記照明均質部材の入射端面に投影する請求項1に記載の顕微鏡装置。
- 前記照明均質部材の出射端面を前記微小開口に投影するリレー光学系を備える請求項1または請求項2に記載の顕微鏡装置。
- 前記リレー光学系が、前記照明均質部材からの前記照明光を光束径を拡大して前記微小開口にリレーする請求項3に記載の顕微鏡装置。
- 前記照明均質部材が、ガラスブロック、ロッドレンズまたはマルチモードファイバである請求項1から請求項4のいずれかに記載の顕微鏡装置。
- 前記マルチモードファイバが、方形コア光ファイバ、大口径光ファイバまたはリキッドファイバである請求項5に記載の顕微鏡装置。
- 前記照明均質部材が略四角形状の出射端面を有する請求項1から請求項6のいずれかに記載の顕微鏡装置。
- 前記照明光としてレーザ光を発する前記光源と、
該光源から発せられた前記レーザ光からスペックルノイズを除去するスペックル除去部とを備える請求項1から請求項7のいずれかに記載の顕微鏡装置。 - 前記開口ディスクに対して前記中心軸方向に間隔を空けて配され、前記照明均質部材からの前記照明光を前記微小開口に集光可能な複数のマイクロレンズが中心軸周りに前記複数の微小開口と同一パターンでアレイ状に配置されたレンズディスクを備え、
前記回転駆動部が、前記開口ディスクと前記レンズディスクとを一体的に回転させる請求項1から請求項8のいずれかに記載の顕微鏡装置。
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