JP2013142639A - 光導波路評価装置および光導波路評価方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】マルチチャンネルの光導波路の光学特性を効率よく評価可能な光導波路評価装置および光導波路評価方法を提供することにある。
【解決手段】光導波路評価装置1は、4本のコア部94とそれぞれの一方の端部に形成された光路変換用のミラー(光路変換部)99とを備えた光導波路9の光学特性を評価する装置である。光導波路評価装置1は、光導波路9に入射させるための光を発光する発光素子3と、光導波路9から出射した光を受光する受光素子4と、受光素子4で受光した光の強度を測定する測定部5と、を有している。さらに、光導波路評価装置1は、光導波路9と発光素子3との間に設けられ、1本の導波部61を2本の導波部61に分岐させる分岐点62が2段直列に接続されるよう構成された光導波路型の分岐部6と、2本の導波部71を1本の導波部71に合流させる合流点72が2段直列に接続されるよう構成された光導波路型の合流部7と、を有している。
【選択図】図1
【解決手段】光導波路評価装置1は、4本のコア部94とそれぞれの一方の端部に形成された光路変換用のミラー(光路変換部)99とを備えた光導波路9の光学特性を評価する装置である。光導波路評価装置1は、光導波路9に入射させるための光を発光する発光素子3と、光導波路9から出射した光を受光する受光素子4と、受光素子4で受光した光の強度を測定する測定部5と、を有している。さらに、光導波路評価装置1は、光導波路9と発光素子3との間に設けられ、1本の導波部61を2本の導波部61に分岐させる分岐点62が2段直列に接続されるよう構成された光導波路型の分岐部6と、2本の導波部71を1本の導波部71に合流させる合流点72が2段直列に接続されるよう構成された光導波路型の合流部7と、を有している。
【選択図】図1
Description
本発明は、光導波路評価装置および光導波路評価方法に関するものである。
光搬送波を使用してデータを移送する光通信技術が開発され、この光搬送波を、一地点から他地点に導くための手段として、光導波路が普及しつつある。この光導波路は、線状のコア部と、その周囲を覆うように設けられたクラッド部とを有している。コア部は、光搬送波の光に対して実質的に透明な材料によって構成され、クラッド部は、コア部より屈折率が低い材料によって構成されている。
光導波路では、コア部の一端から導入された光が、クラッド部との境界で反射しながら他端に搬送される。光導波路の入射側には半導体レーザー等の発光素子が配置され、出射側にはフォトダイオード等の受光素子が配置される。発光素子から入射された光は光導波路を伝搬し、受光素子により受光され、受光した光の明滅パターンもしくはその強弱パターンに基づいて通信を行う。
光導波路の分野においては、近年、通信容量の増大とともに、1つの光導波路中に複数のコア部が形成されたマルチチャンネルの光導波路が普及しつつある。光導波路では、電気配線のようなチャンネル間の相互干渉が起き難いことから、容易に高密度化することが可能である。
ところで光導波路については、これまでスーパーコンピューターや大規模サーバーのような産業用機器に適用されることが多かったが、近年、携帯電話等の民生用機器への適用も検討されている。民生用機器への適用が本格化すると、光導波路の生産数量も飛躍的に増大するため、実装前の光導波路について、伝送損失等の光学特性を効率よく評価(検査)する必要がある。
光導波路の伝送損失を評価する方法としては、光ファイバーの伝送損失を評価する方法が転用されることが多い。例えば、特許文献1には、光ファイバーの一方の端面から光ビームを入射させ、他方の端面から出射する光の光量を検出し、これに基づいて伝送損失を算出する方法が記載されている。これを利用して、出射する光の光量を測定し、光導波路の光学特性が所定の基準を満足しているか否かを評価することができる。
しかしながら、特許文献1に記載したような評価方法では、光ビームを発生させる光源の光軸と光ファイバーの光軸とを厳密に一致させる調芯作業(アライメント)を行うが、マルチチャンネルの光導波路の場合、コア部の数だけ調芯作業が必要になるため、膨大な労力と時間を必要とする。
本発明の目的は、マルチチャンネルの光導波路の光学特性を効率よく評価可能な光導波路評価装置および光導波路評価方法を提供することにある。
このような目的は、下記(1)〜(12)の本発明により達成される。
(1) 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価装置であって、
評価光を出射する発光部と、
前記評価光を前記複数のコア部のそれぞれに入射させるよう構成された光導波路型の分岐部と、
前記複数のコア部から出射した前記各評価光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記評価光の強度を測定する測定部と、を有することを特徴とする光導波路評価装置。
(1) 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価装置であって、
評価光を出射する発光部と、
前記評価光を前記複数のコア部のそれぞれに入射させるよう構成された光導波路型の分岐部と、
前記複数のコア部から出射した前記各評価光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記評価光の強度を測定する測定部と、を有することを特徴とする光導波路評価装置。
(2) 前記光導波路型の分岐部は、1本の導波部を複数本に分岐させる分岐点が複数段直列に接続されてなるものである上記(1)に記載の光導波路評価装置。
(3) 前記分岐点は、1本の導波部を2本または3本に分岐させるよう構成されている上記(2)に記載の光導波路評価装置。
(4) 前記分岐部は、前記評価光を、所定の時間ごとに異なる前記各コア部に順次入射させるよう構成されており、
前記測定部は、前記受光部で受光した前記評価光の強度を前記所定の時間ごとに測定するよう構成されている上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の光導波路評価装置。
前記測定部は、前記受光部で受光した前記評価光の強度を前記所定の時間ごとに測定するよう構成されている上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の光導波路評価装置。
(5) 前記光導波路には、その入射側にミラーが形成されており、
前記分岐部は、前記ミラーを介して前記複数のコア部と接続されるよう構成されている上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の光導波路評価装置。
前記分岐部は、前記ミラーを介して前記複数のコア部と接続されるよう構成されている上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の光導波路評価装置。
(6) さらに、前記複数のコア部から出射した前記各評価光を合流させるよう構成された光導波路型の合流部を有し、
前記受光部は、前記合流部から出射した前記評価光を受光するよう構成されている上記(1)ないし(5)のいずれかに記載の光導波路評価装置。
前記受光部は、前記合流部から出射した前記評価光を受光するよう構成されている上記(1)ないし(5)のいずれかに記載の光導波路評価装置。
(7) 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価装置であって、
評価光を出射し、前記複数のコア部のそれぞれに入射させるよう構成された発光部と、
前記複数のコア部から出射した前記各評価光を合流させるよう構成された光導波路型の合流部と、
前記合流部から出射した前記評価光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記評価光の強度を測定する測定部と、を有することを特徴とする光導波路評価装置。
評価光を出射し、前記複数のコア部のそれぞれに入射させるよう構成された発光部と、
前記複数のコア部から出射した前記各評価光を合流させるよう構成された光導波路型の合流部と、
前記合流部から出射した前記評価光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記評価光の強度を測定する測定部と、を有することを特徴とする光導波路評価装置。
(8) 前記光導波路型の合流部は、複数本の導波部を1本に合流させる合流点が複数段直列に接続されてなるものである上記(6)または(7)に記載の光導波路評価装置。
(9) 前記合流点は、2本または3本の導波部を1本に合流させるよう構成されている上記(8)に記載の光導波路評価装置。
(10) 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価方法であって、
発光部からの評価光を光導波路型の分岐部により複数に分岐して分岐光とし、前記各分岐光を前記各コア部にそれぞれ入射させ、前記各コア部から出射した前記各分岐光の強度を測定して前記光学特性を評価することを特徴とする光導波路評価方法。
発光部からの評価光を光導波路型の分岐部により複数に分岐して分岐光とし、前記各分岐光を前記各コア部にそれぞれ入射させ、前記各コア部から出射した前記各分岐光の強度を測定して前記光学特性を評価することを特徴とする光導波路評価方法。
(11) 前記光導波路型の分岐部の分岐数を減らすように切断する工程と、前記分岐光の強度を測定する工程とを、1回以上繰り返すことにより、前記複数のコア部のうちの一部についての光学特性を評価する上記(10)に記載の光導波路評価方法。
(12) 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価方法であって、
発光部からの評価光を異なる前記各コア部に向けて所定の時間ごとに順次振り分け、前記各コア部から出射した前記各評価光を光導波路型の合流部により合流させて合流光とし、前記合流光の強度を前記所定の時間ごとに測定することを特徴とする光導波路評価方法。
発光部からの評価光を異なる前記各コア部に向けて所定の時間ごとに順次振り分け、前記各コア部から出射した前記各評価光を光導波路型の合流部により合流させて合流光とし、前記合流光の強度を前記所定の時間ごとに測定することを特徴とする光導波路評価方法。
本発明によれば、マルチチャンネルの光導波路の光学特性を効率よく評価することができる。また、マルチチャンネルの光導波路の光学特性を効率よく評価可能な光導波路評価装置が得られる。
以下、本発明の光導波路評価装置および光導波路評価方法について添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
≪光導波路評価装置≫
まず、本発明の光導波路評価装置の第1実施形態について説明する。
≪光導波路評価装置≫
まず、本発明の光導波路評価装置の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の光導波路評価装置の第1実施形態を示す分解斜視図、図2は、図1に示す光導波路評価装置の受光部において受光する評価光の波形の一例である。
図1に示す光導波路評価装置1は、4本のコア部94とそれぞれの一方の端部に形成された光路変換用のミラー(光路変換部)99とを備えた光導波路9の光学特性を評価する装置である。光導波路評価装置1は、光導波路9に入射させるための光を発光する発光素子3と、光導波路9から出射した光を受光する受光素子4と、受光素子4で受光した光の強度を測定する測定部5と、を有している。さらに、光導波路評価装置1は、光導波路9と発光素子3との間に設けられ、1本の導波部61を2本の導波部61に分岐させる分岐点62が2段直列に接続されるよう構成された分岐部6と、2本の導波部71を1本の導波部71に合流させる合流点72が2段直列に接続されるよう構成された合流部7と、を有している。光導波路評価装置1では、測定した光の強度に基づき、光導波路9の光学特性を評価することができる。
このような光導波路評価装置1によれば、光導波路9と分岐部6および合流部7との位置合わせをしさえすれば、各コア部94のそれぞれに対して調芯作業をしなくても、各コア部94に対して確実に光を入射し、また、各コア部94から出射した光を合流部7に対して確実に入射させることができる。その結果、コア部94の数によらず、調芯作業に要する時間を極めて短くすることができるので、複数のコア部94を備えたマルチチャンネルの光導波路9の光学特性を短時間で効率よく評価することができる。
以下、光導波路評価装置1の各部の構成について順次説明するが、それに先立ち、評価対象である光導波路の一例について説明する。
(光導波路)
図1に示す光導波路9は、層状で細長い帯状をなしている。そして、下方からクラッド層(下部クラッド層)91、コア層93、およびクラッド層(上部クラッド層)92をこの順で積層して構成されている。このうちコア層93には、図1に示すように、コア部94と、このコア部94の側面に隣接するよう設けられた側面クラッド部95とが形成されている。図1では、4本のコア部94が並列するように、かつ、帯状をなす光導波路≪9の長手方向に沿って直線状に設けられており、各コア部94の側面にそれぞれ隣接するように複数の側面クラッド部95が設けられている。なお、図1では、クラッド層92を透過するように描いている。
図1に示す光導波路9は、層状で細長い帯状をなしている。そして、下方からクラッド層(下部クラッド層)91、コア層93、およびクラッド層(上部クラッド層)92をこの順で積層して構成されている。このうちコア層93には、図1に示すように、コア部94と、このコア部94の側面に隣接するよう設けられた側面クラッド部95とが形成されている。図1では、4本のコア部94が並列するように、かつ、帯状をなす光導波路≪9の長手方向に沿って直線状に設けられており、各コア部94の側面にそれぞれ隣接するように複数の側面クラッド部95が設けられている。なお、図1では、クラッド層92を透過するように描いている。
図1に示す光導波路9では、各コア部94の一方の端部に入射された光を、各コア部94とクラッド部(各クラッド層91、92および各側面クラッド部95)との界面で反射させ、他方の端部に伝搬させることができる。これにより、出射端で受光した光の明滅パターンまたはその強弱パターン等に基づいて光通信を行うことができる。すなわち、光導波路9は、複数(図1では4つ)のチャンネル(コア部94)を有し、複数の光通信を並行して行うことができるマルチチャンネルの光導波路である。
また、前述したように、4つのコア部94の一方の端部にはそれぞれミラー99が形成されている。このミラー99は、例えば、光導波路9に対して掘り込み加工を施し、これにより得られた凹部の内壁面で構成される。この内壁面の一部は、コア部94を斜め45°に横切る平面であり、この平面がミラー(光路変換部)99となる。このミラー99を介して、各コア部94と分岐部6とが接続される。
なお、ミラー99は、4つのコア部94の他方の端部に形成されていてもよい。この場合、このミラー99を介して、各コア部94と合流部7とが接続される。
さらに、ミラー99は、双方の端部にそれぞれ形成されていてもよい。
さらに、ミラー99は、双方の端部にそれぞれ形成されていてもよい。
(発光素子)
発光素子3は、電気信号を光信号に変換し、発光部から評価光として出射する素子である。具体的には、面発光レーザー(VCSEL)、発光ダイオード(LED)等が挙げられる。
発光素子3は、電気信号を光信号に変換し、発光部から評価光として出射する素子である。具体的には、面発光レーザー(VCSEL)、発光ダイオード(LED)等が挙げられる。
この発光素子3は、後述する分岐部6に対して固定されていてもよく、他の固定具等によって固定されていてもよい。
また、発光素子3には、必要に応じて、発光素子3の動作を制御する制御部30が接続されていてもよい。この制御部30により、発光素子3による評価光の出射タイミングや光量等を制御することができる。
(受光素子)
受光素子4は、受光部で受光した光信号を電気信号に変換し、測定部5に送信する素子である。具体的には、フォトダイオード(PD、APD)等が挙げられる。
受光素子4は、受光部で受光した光信号を電気信号に変換し、測定部5に送信する素子である。具体的には、フォトダイオード(PD、APD)等が挙げられる。
この受光素子4は、後述する合流部7に対して固定されていてもよく、他の固定具等によって固定されていてもよい。
(分岐部)
分岐部(スプリッター)6は、前述したように、光導波路9と発光素子3との間に設けられる。図1に示す分岐部6は、光導波路型のものであり、内部を透過して示している。この分岐部6には、評価光の伝搬経路となる導波部61が内部に形成されており、分岐部6は、1本の導波部61を2本の導波部61に分岐させる分岐点62が2段直列に接続されるよう構成されている。すなわち、分岐部6には、平面視でY字状をなす導波部61が2段にわたって形成されている。このような多段構造の分岐部6は、評価光を均等な光量で分岐することができるので、各コア部94にほぼ等しい光量の分岐光を入射させることができ、光導波路9をより正確に評価することができる。
分岐部(スプリッター)6は、前述したように、光導波路9と発光素子3との間に設けられる。図1に示す分岐部6は、光導波路型のものであり、内部を透過して示している。この分岐部6には、評価光の伝搬経路となる導波部61が内部に形成されており、分岐部6は、1本の導波部61を2本の導波部61に分岐させる分岐点62が2段直列に接続されるよう構成されている。すなわち、分岐部6には、平面視でY字状をなす導波部61が2段にわたって形成されている。このような多段構造の分岐部6は、評価光を均等な光量で分岐することができるので、各コア部94にほぼ等しい光量の分岐光を入射させることができ、光導波路9をより正確に評価することができる。
なお、分岐点62は、1本の導波部61を複数本の導波部61に分岐するよう構成されていればよく、好ましくは2本または3本の導波部61に分岐するよう構成されている。このような分岐点62を備えた分岐部6によれば、評価光を均等な光量で安定的に分岐することができる。
導波部61は、評価光を透過させるため、実質的に透明な材料で構成されている。具体的には、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリシラン、ポリシラザン、また、ベンゾシクロブテン系樹脂やノルボルネン系樹脂等の環状オレフィン系樹脂のような各種樹脂材料の他、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスのようなガラス材料等が挙げられる。
また、導波部61は、それに隣接する部分よりも屈折率が高くなっている。これにより、導波部61では、光導波路9と同様、前記隣接する部分との界面で反射を繰り返しながら評価光を伝搬することができる。
また、分岐点62では、1本の導波部61が2本に分かれているが、この分岐点62の形状は平面視において、1本の導波部61の光軸に対して左右対称になっている。これにより、分岐点62において、評価光の光量をより正確に二分することができる。
なお、分岐部6の上面には、導波部61の入射端面611が1つ露出している一方、分岐部6の下面には、分岐後の導波部61の出射端面612が4つ露出している。そして、4つの出射端面612の配置は、光導波路9のミラー99の配置と一致するよう設定されている。これにより、光導波路9と分岐部6との位置合わせをしさえすれば、各コア部94のそれぞれに対して調芯作業をしなくても、調芯作業を容易かつ正確に行うことができる。また、評価光を分岐させて各コア部94に入射させるよう構成されているので、発光素子3は1つですみ、光導波路評価装置1の構造の簡略化に寄与する。
また、調芯作業に際しては、あらかじめ光導波路9および分岐部6の形状に合わせて設計されたコネクターを用いて、光導波路9と分岐部6とを位置合わせし、固定するようにしてもよい。これにより、コネクターに対して光導波路9および分岐部6を挿入する作業によって調芯作業を代替することができるので、調芯作業をさらに容易かつ正確に行うことができる。
また、分岐部6は、光導波路型のものの他に、他の方式のもの(スプリッター)であってもよい。これには、例えば回折格子とマイクロレンズとを組み合わせた型のものが挙げられる。
なお、分岐部6が光導波路型である場合、導波部61とそれ以外の部分との間には所定の屈折率差ができるように屈折率分布が形成されている。この屈折率分布には、ステップインデックス(SI)型、グレーデッドインデックス(GI)型等が知られているが、本発明では特にGI型の屈折率分布を有する分岐部6が好ましく用いられる。GI型の屈折率分布を有している場合、分岐部6の入射端面611から入射した評価光は、導波部61を伝搬する間に自己集束の作用によって細く絞られることとなる。その結果、出射端面612からは、集束性の高い分岐光を出射することができ、高い結合効率で光導波路9に入射させることができる。これにより、分岐部6と光導波路9との間の光結合効率を高め、光導波路9の評価精度をより高めることができる。なお、GI型の屈折率分布とは、極大値とその極大値の両側において屈折率が漸減する漸減部とで構成された高屈折率領域を有する分布であり、この高屈折率領域が導波部として機能する。
また、前記屈折率分布は、高屈折率領域と、それに隣接し高屈折率領域よりも屈折率の低い低屈折率領域と、を有し、かつ、高屈折率領域と低屈折率領域との間に位置する極小値を有する分布であるのが好ましい。このような分布では、高屈折率領域と低屈折率領域との間に位置する極小値が、導波部61の伝搬損失を特に抑制することから、光導波路9の評価精度を特に高めることができる。
また、分岐部6が光導波路型である場合、導波部61の幅(コアの幅)は250μm以下であるのが好ましく、5〜200μmであるのがより好ましい。さらに好ましくは、20〜125μmである。このような導波部61を備えた分岐部6で分岐した分岐光は、光導波路9への入射効率に優れたものとなる。このため、光導波路9の評価精度をさらに高めることができる。
(合流部)
合流部(カプラー)7は、前述したように、光導波路9と受光素子4との間に設けられる。図1に示す合流部7も、分岐部6と同様、光導波路型のものであり、内部を透過して示している。この合流部7には、光導波路9の各コア部94を伝搬してきた分岐光の伝搬経路となる導波部71が内部に形成されており、合流部7は、2本の導波部71を1本の導波部71に合流させる合流点72が2段直列に接続されるよう構成されている。すなわち、合流部7には、平面視でY字状をなす導波部71が2段にわたって形成されている。このような多段構造の合流部7は、分岐光をほとんど損失させることなく合流させることができるので、光導波路9をより正確に評価することができる。
合流部(カプラー)7は、前述したように、光導波路9と受光素子4との間に設けられる。図1に示す合流部7も、分岐部6と同様、光導波路型のものであり、内部を透過して示している。この合流部7には、光導波路9の各コア部94を伝搬してきた分岐光の伝搬経路となる導波部71が内部に形成されており、合流部7は、2本の導波部71を1本の導波部71に合流させる合流点72が2段直列に接続されるよう構成されている。すなわち、合流部7には、平面視でY字状をなす導波部71が2段にわたって形成されている。このような多段構造の合流部7は、分岐光をほとんど損失させることなく合流させることができるので、光導波路9をより正確に評価することができる。
導波部71は、分岐光を導波させるため、分岐部6の導波部61と同様、実質的に透明な材料で構成されている。
また、導波部71は、それに隣接する部分よりも屈折率が高くなっている。これにより、導波部71では、導波部61と同様、分岐光を伝搬することができる。
また、合流点72では、2本の導波部71が1本に合流しているが、この合流点72の形状は平面視において、1本の導波部71の光軸に対して左右対称になっている。これにより、合流点72における損失を特に抑えることができる。
なお、合流点72は、複数本の導波部71を1本に合流させるよう構成されていればよく、好ましくは2本または3本の導波部71を1本に合流させるよう構成されている。このような合流点72を備えた合流部7によれば、分岐光の損失を最小限に抑えつつ合流させることができる。
また、合流部7の光導波路9側の面には、導波部71の入射端面711が4つ露出している一方、受光素子4側の面には、合流後の導波部71の出射端面712が1つ露出している。そして、4つの入射端面711の配置は、光導波路9のコア部94の配置と一致するよう構成されている。これにより、光導波路9と合流部7との位置合わせをしさえすれば、各コア部94のそれぞれに対して調芯作業をしなくても、調芯作業を容易かつ正確に行うことができる。また、分岐光を合流させ、合流光として1つの受光素子4に入射させるよう構成されているので、受光素子4は1つですみ、光導波路評価装置1の構造の簡略化に寄与する。
また、調芯作業に際しては、あらかじめ光導波路9および合流部7の形状に合わせて設計されたコネクターを用いて、光導波路9と合流部7とを位置合わせし、固定するようにしてもよい。これにより、コネクターに対して光導波路9および合流部7を挿入する作業によって調芯作業を代替することができるので、調芯作業をさらに容易かつ正確に行うことができる。
また、合流部7は、光導波路型のものの他に、他の方式のもの(カプラー)であってもよい。これには、例えば回折格子とマイクロレンズとを組み合わせた型のものが挙げられる。
なお、合流部7が光導波路型である場合、導波部71とそれ以外の部分との間には所定の屈折率差ができるように屈折率分布が形成されている。この屈折率分布には、ステップインデックス(SI)型、グレーデッドインデックス(GI)型等が知られているが、本発明では特にGI型の屈折率分布を有する合流部7が好ましく用いられる。GI型の屈折率分布を有している場合、合流部7の入射端面711から入射した分岐光は、導波部71を伝搬する間に自己集束の作用によって細く絞られることとなる。その結果、出射端面712からは、集束性の高い合流光を出射することができ、高い結合効率で受光素子4に入射させることができる。これにより、合流部7と受光素子4との間の光結合効率を高め、光導波路9の評価精度をより高めることができる。
また、前記屈折率分布は、高屈折率領域と、それに隣接し高屈折率領域よりも屈折率の低い低屈折率領域と、を有し、かつ、高屈折率領域と低屈折率領域との間に位置する極小値を有する分布であるのが好ましい。このような分布では、高屈折率領域と低屈折率領域との間に位置する極小値が、導波部71の伝搬損失を特に抑制することから、光導波路9の評価精度を特に高めることができる。
また、合流部7が光導波路型である場合、導波部71の幅(コアの幅)は250μm以下であるのが好ましく、5〜200μmであるのがより好ましい。さらに好ましくは、20〜125μmである。このような導波部71を備えた合流部7で合流した合流光は、受光素子4への入射効率に優れたものとなる。このため、光導波路9の評価精度をさらに高めることができる。
(測定部)
測定部5は、受光素子4と電気的に接続されている。そして、受光素子4で受光した合流光の強度を測定する。すなわち、測定部5では、受光素子4によって受光した合流光の強度に基づく光電流を測定し、その大きさに基づいて合流光の強度を数値化することができる。
測定部5は、受光素子4と電気的に接続されている。そして、受光素子4で受光した合流光の強度を測定する。すなわち、測定部5では、受光素子4によって受光した合流光の強度に基づく光電流を測定し、その大きさに基づいて合流光の強度を数値化することができる。
測定部5は、例えば、パーソナルコンピューター、マイコン、IC、LSI等の演算部、演算結果を表示する表示部、演算結果や設定値等を記憶する記憶部等を有している。なお、測定部5は、例えば、記憶部等にあらかじめ入力しておいたしきい値、あるいは、演算結果の平均値に基づくしきい値等に基づき、測定した合流光の強度がこのしきい値を下回ったか否かを判定し、その判定結果を表示部に表示する機能等を有していてもよい。
なお、本実施形態において合流部7は必要に応じて設ければよく、省略することもできる。合流部7を省略した場合は、コア部94から出射した評価光を受光素子4で直接受光することになるが、この際、コア部94の数だけ受光素子4を配置するか、あるいは、複数のコア部94からの出射光をまとめて受光可能な受光面の大きな受光素子を用いるようにすればよい。あるいは、コア部94の出射端面に沿って受光素子4を移動させつつ受光するようにしてもよい。このようにして合流部7を省略したとしても、分岐部6と光導波路9との調芯作業を容易にするという効果は損なわれないので、全体の評価作業を容易にするという本実施形態の効果は維持される。
一方、本実施形態において分岐部6も必要に応じて設ければよく、省略することもできる。分岐部6を省略した場合は、発光素子3から出射した評価光をコア部94に対して直接入射させることになるが、この際、コア部94の数だけ発光素子3を配置するか、あるいは、複数のコア部94に対して評価光をまとめて入射可能な発光面の大きな発光素子を用いるようにすればよい。あるいは、コア部94の入射端面に沿って発光素子3を移動させつつ発光させるようにしてもよい。このようにして分岐部6を省略したとしても、合流部7と光導波路9との調芯作業を容易にするという効果は損なわれないので、全体の評価作業を容易にするという本実施形態の効果は維持される。
≪光導波路評価方法≫
次に、図1に示す光導波路評価装置を用いた評価方法(本発明の光導波路評価方法の第1実施形態)について説明する。
次に、図1に示す光導波路評価装置を用いた評価方法(本発明の光導波路評価方法の第1実施形態)について説明する。
まず、発光素子3からの評価光を分岐部6の入射端面611に入射させる。入射された評価光は、導波部61を伝搬するとともに分岐点62で分岐し、最終的には4つの分岐光となって分岐部6の出射端面612から出射する。出射した分岐光は、ミラー99を介して光導波路9の各コア部94に入射する。各分岐光は、各コア部94を伝搬し、合流部7の各入射端面711に入射する。入射した分岐光は、導波部71を伝搬するとともに合流点72で合流し、最終的には1つの合流光となって合流部7の出射端面712から出射する。出射した合流光は、受光素子4に入射し、測定部5においてその強度が測定される。
このようにして測定された合流光の強度について、あらかじめ設定しておいた基準値(しきい値)を上回っているか否かを判定することにより、この光導波路9の光学特性(例えば伝送損失)が基準を満たしているか否かを評価することができる。図2には、受光素子4において受光された合流光の波形の一例を示しているが、図2に示すように合流光の強度Pが基準値Psを上回っているとき、光導波路9の全てのコア部94が所定の光学特性を有していると評価することができる。
なお、基準値Psは、光導波路9を測定しながら、あるいは測定する度に、その測定結果に基づいて変更されるように設定されていてもよい。これは例えば、材料のロットごとに光導波路9の光学特性がシフトする場合などに有用である。
以上、本発明によれば、分岐部6の出射端面612の配置および合流部7の入射端面711の配置を、評価対象である光導波路9のコア部94の間隔に合わせておくことにより、光導波路9に対して分岐部6および合流部7の位置をそれぞれ合わせさえすれば、各コア部94についてそれぞれ調芯作業を行うことなく、全てのコア部94の調芯作業を同時に行うことができる。その結果、調芯作業に要する時間は非常に短くて済む。
また、光導波路型の分岐部6および合流部7を用いることで、出射端面612の配置および入射端面711の配置は常に一定に維持されることが高い確率で期待できるため、これを利用することにより、コア部94の間隔が設計値通りであるか否かを評価することもできる。すなわち、合流光の強度がわずかに低下した場合、光導波路9に形成された複数のコア部94のうち、いずれかのコア部94の光学特性に問題があるか、あるいは、一部のコア部94の光軸がずれている可能性が高いと推察することが可能である。そして、合流光の強度が大幅に低下した場合には、光導波路9の全てのコア部94の光軸がずれている可能性が高いと推察することが可能である。この場合、評価をやり直すという判断を行うことができるので、良品を誤って不良品として評価してしまうのを防止することができる。
なお、各コア部94についてそれぞれ調芯作業を行う場合、コア部94の間隔にバラツキがあったとしても、コア部94の光軸と分岐部6や合流部7の光軸とを個別に合わせることから、間隔のバラツキを光学的には検出することができない。このため、各コア部94の光学特性を評価することはできても、コア部94の間隔のずれを評価することはできない。
また、分岐部6として導波路型のものを用いた場合、例えば所定の位置で切断することにより、入射端面611の数を増やす(分岐数を減らす)ことができる。例えば、図1に示す分岐部6において、入射端面611側の分岐点62と出射端面612側の分岐点62との間で導波部61を横断するように分岐部6を切断する。これにより、切断面には2本の導波部61が露出することとなり、これが新たな入射端面となる。このようにして分岐部6を切断することにより、2つの入射端面を備えた分岐部6が得られる。
ここで、2つの入射端面のうちの一方にのみ光を入射すると、4つのコア部94のうち、特定の2つに対して選択的に光を入射させることができる。このため、切断前の分岐部6を用いて全て(4つ)のコア部94の光学特性を評価した後、分岐部6を切断し、2つのコア部94について再び光学特性を評価することができる。このようにすれば、多数のコア部94のうち、どのコア部94に問題があるのかを特定することが容易になる。
また、必要に応じて、切断後の分岐部6について、導波部61を横断するように切断する。これにより、切断面には4本の導波部61が露出することとなり、これが新たな入射端面となる。すなわち、4つの入射端面を備えた分岐部6が得られる。
この4つの入射端面について、再び特定の1つに対して選択的に光を入射させることにより、問題のあるコア部94の特定が可能になる。
以上のようにして、分岐部6が短くなるよう切断する工程と、合流光の強度を測定する工程とを、1回以上繰り返すことにより、複数のコア部94のうちの一部について選択的に光学特性を評価することができるので、問題のあるコア部94を効率よく特定することができる。これにより、光導波路9の製造工程における局所的な問題点の特定が容易になるため、製造工程の改善、不具合原因の抽出等を効率的に行うことができる。
<第2実施形態>
≪光導波路評価装置≫
次に、本発明の光導波路評価装置の第2実施形態について説明する。
≪光導波路評価装置≫
次に、本発明の光導波路評価装置の第2実施形態について説明する。
図3は、本発明の光導波路評価装置の第2実施形態の発光部および分岐部を示す分解図、図4は、図3に示す光導波路評価装置の受光部において受光する評価光の波形の一例である。
以下、第2実施形態について説明するが、以下では第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図3に示す光導波路評価装置1は、分岐部6の構造が異なる以外、図1に示す光導波路評価装置1と同様である。
図3に示す分岐部6は、1本の導波部61と、この導波部61に接続され、導波部61を伝搬してきた評価光を所定の時間ごとに4つに振り分ける光スイッチ63と、光スイッチ63から下面に伸びる4本の導波部641、642、643、644と、を有している。そして、4本の導波部641、642、643、644の出射端面612は、各ミラー99に対応するように配置されている。
光スイッチ63は、時分割型の光スイッチであればいかなるものも用いられる。例えば、電気式光スイッチ、全光式光スイッチ等が挙げられる。また、スイッチング原理としては、ミラー方式、プリズム方式、MEMS方式、バブル方式、跳ね橋方式、電気光学効果方式、熱光学効果方式、磁気光学効果方式、音響光学効果方式、偏光方式、光増幅・吸収方式、非線形光学効果方式等が挙げられる。
このような分岐部6を備えた光導波路評価装置1は、光スイッチ63を用いる点で相違しているものの、調芯作業の容易さあるいは構造の簡単さ等は、第1実施形態と同様である。したがって、調芯作業を容易かつ正確に行うことができ、光導波路9の評価を短時間で効率よく行うことができる。
なお、図3には図示していないものの、本実施形態に係る光導波路評価装置1は、受光素子4で受光した光の強度を測定する測定部5および発光素子3や分岐部6の動作を制御する制御部30を有している。光スイッチ63において所定の時間ごとに評価光を振り分ける場合、この所定の時間は、あらかじめ制御部30に設定された値に基づいて決定される。また、測定部5では、制御部30に設定された所定の時間の情報、および、振り分けの順序の情報に基づいて、受光素子4において測定された強度がどのコア部94を伝搬してきたものかを特定することができる。したがって、制御部30と測定部5とは電気的に接続されており、制御部30に設定された情報を測定部5が取得できるよう構成されていてもよい。
また、測定部5の測定結果に基づき、前記所定の時間を途中で変更し得るよう、制御部30にフィードバック制御を行ってもよい。これにより、測定結果に影響を及ぼさない範囲で前記所定の時間を短縮するようにフィードバック制御することができるので、光導波路9の光学特性をより短時間で効率よく評価することができる。
≪光導波路評価方法≫
次に、図3に示す光導波路評価装置を用いた評価方法(本発明の光導波路評価方法の第2実施形態)について説明する。
次に、図3に示す光導波路評価装置を用いた評価方法(本発明の光導波路評価方法の第2実施形態)について説明する。
図3に示す光スイッチ63におけるスイッチングは、例えば次のようにして行う。まず、時間帯T1において評価光を導波部641のみに導波するようスイッチングを行う。これにより、導波部641に対応したコア部94のみを評価光が伝搬し、受光素子4により受光される。図4には、受光素子4において受光された評価光の波形の一例を示しているが、この時間帯T1で測定された評価光の強度P1は、複数のコア部94のうち、導波部641に対応するコア部94の光学特性の情報を含んだものである。したがって、この評価光の強度P1を評価することにより、この特定のコア部94のみを評価することができる。
次いで、時間帯T1に次ぐ時間帯T2において評価光を導波部642のみに導波するようスイッチングを行う。これにより、導波部642に対応したコア部94のみを評価光が伝搬し、受光素子4により受光される。その結果、図4に示すように、時間帯T2において評価光の強度P2が測定される。
次いで、時間帯T2に次ぐ時間帯T3において評価光を導波部643のみに導波するようスイッチングを行う。これにより、導波部643に対応したコア部94のみを評価光が伝搬し、受光素子4により受光される。その結果、図4に示すように、時間帯T3において評価光の強度P3が測定される。
次いで、時間帯T3に次ぐ時間帯T4において評価光を導波部644のみに導波するようスイッチングを行う。これにより、導波部644に対応したコア部94のみを評価光が伝搬し、受光素子4により受光される。その結果、図4に示すように、時間帯T4において評価光の強度P4が測定される。
なお、各時間帯T1、T2、T3、T4は、互いに同じ長さであっても互いに異なる長さであってもよい。また、各時間帯T1、T2、T3、T4の長さは、特に限定されないが、確実な測定と測定効率とを両立させる観点から、1マイクロ秒〜10秒程度に設定されるのが好ましい。
以上のように、所定の時間ごとに、異なる各コア部94に対して順次評価光を入射することにより、各コア部94について個別に評価を行うことができる。これにより、複数のコア部94のいずれに不良があるのかを特定することができる。例えば図4に示すような波形が得られたときには、評価光の強度P1、P2、P4はそれぞれ基準値Psを上回っていることから、時間帯T1、T2、T4において評価光を入射した各コア部94はそれぞれ基準以上の光学特性を有していると判断することができる。一方、評価光の強度P3は基準値Psを下回っていることから、時間帯T3において評価光を入射したコア部94の光学特性は基準未満であると判断することができる。このような判断が可能であることは、光導波路9の製造工程における局所的な問題点の特定が容易になる等、製造工程の改善、不具合原因の抽出等において有用である。
なお、各時間帯における基準値Psは、互いに同じであってもよいが、異なっていてもよい。これにより、分岐部6中の導波部61や合流部7中の導波部71等における個体差を考慮した調整を行うことができる。
以上、本発明の光導波路評価装置および光導波路評価方法の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、光導波路のチャンネル数は、複数であれば3本以下であっても5本以上であってもよい。
また、分岐部における分岐数(出射端面の数)および合流部における合流数(入射端面の数)は、光導波路のチャンネル数より多くてもよい。これにより、光導波路のチャンネル数が変わっても、同じ分岐部および合流部を用いることができるので、光導波路評価装置の汎用性を高めることができる。この場合、一部の評価光は光導波路の評価に寄与しないこととなるが、相対評価には問題がない。
また、光導波路評価装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよく、前述した実施形態同士を組み合わせるようにしてもよい。実施形態同士を組み合わせる場合、例えば、複数のコア部を2本ごとの組に分け、組ごとに時分割で測定を行う。これにより、時分割の数を半分にすることができ、トータルの評価時間を短縮しつつ、組ごとに問題点の特定が可能になる。
1 光導波路評価装置
3 発光素子
30 制御部
4 受光素子
5 測定部
6 分岐部
61 導波部
611 入射端面
612 出射端面
62 分岐点
63 光スイッチ
641、642、643、644 導波部
7 合流部
71 導波部
711 入射端面
712 出射端面
72 合流点
9 光導波路
91、92 クラッド層
93 コア層
94 コア部
95 側面クラッド部
99 ミラー
3 発光素子
30 制御部
4 受光素子
5 測定部
6 分岐部
61 導波部
611 入射端面
612 出射端面
62 分岐点
63 光スイッチ
641、642、643、644 導波部
7 合流部
71 導波部
711 入射端面
712 出射端面
72 合流点
9 光導波路
91、92 クラッド層
93 コア層
94 コア部
95 側面クラッド部
99 ミラー
Claims (12)
- 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価装置であって、
評価光を出射する発光部と、
前記評価光を前記複数のコア部のそれぞれに入射させるよう構成された光導波路型の分岐部と、
前記複数のコア部から出射した前記各評価光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記評価光の強度を測定する測定部と、を有することを特徴とする光導波路評価装置。 - 前記光導波路型の分岐部は、1本の導波部を複数本に分岐させる分岐点が複数段直列に接続されてなるものである請求項1に記載の光導波路評価装置。
- 前記分岐点は、1本の導波部を2本または3本に分岐させるよう構成されている請求項2に記載の光導波路評価装置。
- 前記分岐部は、前記評価光を、所定の時間ごとに異なる前記各コア部に順次入射させるよう構成されており、
前記測定部は、前記受光部で受光した前記評価光の強度を前記所定の時間ごとに測定するよう構成されている請求項1ないし3のいずれかに記載の光導波路評価装置。 - 前記光導波路には、その入射側にミラーが形成されており、
前記分岐部は、前記ミラーを介して前記複数のコア部と接続されるよう構成されている請求項1ないし4のいずれかに記載の光導波路評価装置。 - さらに、前記複数のコア部から出射した前記各評価光を合流させるよう構成された光導波路型の合流部を有し、
前記受光部は、前記合流部から出射した前記評価光を受光するよう構成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の光導波路評価装置。 - 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価装置であって、
評価光を出射し、前記複数のコア部のそれぞれに入射させるよう構成された発光部と、
前記複数のコア部から出射した前記各評価光を合流させるよう構成された光導波路型の合流部と、
前記合流部から出射した前記評価光を受光する受光部と、
前記受光部で受光した前記評価光の強度を測定する測定部と、を有することを特徴とする光導波路評価装置。 - 前記光導波路型の合流部は、複数本の導波部を1本に合流させる合流点が複数段直列に接続されてなるものである請求項6または7に記載の光導波路評価装置。
- 前記合流点は、2本または3本の導波部を1本に合流させるよう構成されている請求項8に記載の光導波路評価装置。
- 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価方法であって、
発光部からの評価光を光導波路型の分岐部により複数に分岐して分岐光とし、前記各分岐光を前記各コア部にそれぞれ入射させ、前記各コア部から出射した前記各分岐光の強度を測定して前記光学特性を評価することを特徴とする光導波路評価方法。 - 前記光導波路型の分岐部の分岐数を減らすように切断する工程と、前記分岐光の強度を測定する工程とを、1回以上繰り返すことにより、前記複数のコア部のうちの一部についての光学特性を評価する請求項10に記載の光導波路評価方法。
- 複数のコア部を備える光導波路の光学特性を評価する光導波路評価方法であって、
発光部からの評価光を異なる前記各コア部に向けて所定の時間ごとに順次振り分け、前記各コア部から出射した前記各評価光を光導波路型の合流部により合流させて合流光とし、前記合流光の強度を前記所定の時間ごとに測定することを特徴とする光導波路評価方法。
Priority Applications (1)
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JP2012003584A JP2013142639A (ja) | 2012-01-11 | 2012-01-11 | 光導波路評価装置および光導波路評価方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019096763A (ja) * | 2017-11-24 | 2019-06-20 | 日本電信電話株式会社 | 光特性検査用回路 |
WO2022201423A1 (ja) * | 2021-03-25 | 2022-09-29 | 日本電信電話株式会社 | 光特性検査用回路、装置および方法 |
-
2012
- 2012-01-11 JP JP2012003584A patent/JP2013142639A/ja active Pending
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