KR101456130B1 - 하이브리드 광 집적 모듈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 수동소자인 평판형 광도파로 소자에 능동소자를 집적한 하이브리드 광 집적 모듈에 관한 것으로, 복수 개의 광도파로를 포함하고, 각각에 광도파로 영역에는 상기 광도파로의 길이 방향을 따라 상부로부터 코어를 향해 복수 개의 트렌치가 형성되어 있으며, 상기 트렌치 내부에는 코어보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질이 주입되어 있는 평판형 광도파로 소자 및 상기 트렌치가 형성되어 있는 영역 상부에 집적된 능동소자를 포함하여 이루어지며, 상기 복수 개의 트렌치의 길이는 가운데에 위치한 트렌치에 가까울수록 더 길고, 상기 트렌치의 너비는 상기 광도파로의 코어의 너비에 대응하고, 상기 트렌치는 인접한 광도파로 영역에 형성된 트렌치들과 오버클래드에 의하여 이격되어 있으며, 상기 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호는 상기 트렌치가 형성된 영역에서 상기 능동소자 쪽으로 쏠리면서 그 일부가 상기 트렌치를 통해 상기 능동소자로 분기되는 것을 특징으로 한다.

Description

하이브리드 광 집적 모듈{HYBRID OPTICAL INTEGRATED MODULE}

본 발명은 수동소자에 능동소자를 집적시킨 하이브리드 집적 모듈에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호를 능동소자 쪽으로 쏠리게 하여 광신호의 일부가 능동소자로 분기되도록 하는 하이브리드 광 집적 모듈에 관한 것이다.

광통신 분야에서 다양한 파장의 광신호를 다중화하거나 다중화된 광신호를 개별 파장의 광신호들로 분리하거나 광 파워를 균등 분배하는 소자 등을 평판형 광도파로 소자(PLC: Planar Lightwave Circuit)라고 하는데, 대표적으로 어레이도파로회절격자(AWG: Arrayed Waveguide Grating), 광 파워 분배기(Optical Power Splitter) 등이 있다.

이와 같은 PLC 소자를 집적하여 광신호를 처리하는 시스템을 형성할 때 복수의 입력포트 또는 복수의 출력포트를 가지는 PLC 소자들의 각 입력포트 또는 각 출력포트로부터 입출사되는 광신호 파워를 능동소자인 포토 다이오드로 모니터링하여 일정하게 조절시켜 주는 것이 바람직하다.

그러나 PLC 수동소자와 포토 다이오드 능동소자는 각각 다른 매질로 구성되기 때문에 한 기판 위에서 동일한 공정으로 제작될 수 없고, 각각의 공정을 통해 완성된 각 소자를 정렬하고 부착하는 하이브리드 집적 방법으로 광 패키징 모듈을 제작하여야 한다.

이러한 패키징 기술로서 종래에는 PLC 소자를 구성하는 평면 광도파로를 끊는 좁고 기울어진 홈을 만들고 반사필터를 삽입하여 평면 광도파로를 진행하는 광신호를 평면 광도파로의 코어 밖으로 반사시켜 포토 다이오드 수광 영역에 입사시키는 방법을 사용하였다.

그러나 이러한 종래 기술은 홈 구현 공정과 필터 사용으로 인해 제작 원가가 증가하고, 정밀한 정렬이 어렵기 때문에 재현성과 신뢰성 측면에서 불리한 문제점이 있었다.

또한 PLC 소자의 광신호를 포토 다이오드 수광 영역으로 전달하기 위해 반사용 금속선을 사용하는 방법도 있었으나 금속선을 삽입하는 공정의 어려움 등으로 불량율이 높고 공정 시간이 오래 걸려 양산성이 크게 저하되는 문제점 등이 있었다.

이러한 문제를 해결하기 위해 본 출원인은 가요성 인쇄회로기판(FPCB)을 사용하여 PLC 수동소자에 포토 다이오드 능동소자를 집적화할 수 있는 기술을 개발하여 특허를 획득하였다(한국 특허 제10-1220303호, 제10-1226704호 및 제10-1227039호).

그러나 상기와 같은 특허 기술은 능동소자와 수동소자를 집적화시키는 구조에서 가격을 낮출 수 있는 우수한 방법이지만 초소형을 원하는 국제적 요구에 대해 여전히 한계를 갖는 기술이다.

한국특허 제10-0897887호 "광섬유어레이를 이용한 평판형 광도파로 소자와 능동소자의 하이브리드 집적구조" 한국특허 제10-1220303호 "광 파워 감시 모듈" 한국특허 제10-1226704호 "경사각을 이용한 광 파워 감시 모듈" 한국특허 제10-1227039호 "광 파워 감시 모듈"

본 발명의 목적은 수동소자와 능동소자의 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 구성요소를 최소화하고, 구조를 단순화하여 소형 제작이 가능한 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 인접한 광도파로를 따라 진행하는 광신호에 의한 간섭을 최소화하는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 수동소자에 형성된 트렌치와 트렌치 내부 인덱스 매칭 물질을 이용하여 광신호를 트렌치 쪽으로 쏠리게 하는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 쏠림 현상을 이용하여 수동소자로부터 능동소자로 용이하게 광신호를 분기할 수 있는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 트렌치의 개수, 트렌치의 깊이, 트렌치의 길이, 트렌치들 사이의 간격, 인덱스 매칭 물질의 굴절률을 조절하여 원하는 분기율(또는 쏠림 위치 조절)을 만들 수 있는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 광도파로의 길이 방향을 따라 복수 개의 트렌치를 갖는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

본 발명의 또 다른 목적은 복수 개의 트렌치의 깊이, 길이, 간격, 인덱스 매칭 물질의 굴절률 등을 조절하여 광손실을 최소화할 수 있는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 것이다.

상기의 목적은 본 발명에 따른 하이브리드 광 집적 모듈에 의해 모두 달성될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은 복수 개의 광도파로를 포함하고, 각각에 광도파로 영역에는 상기 광도파로의 길이 방향을 따라 상부로부터 코어를 향해 복수 개의 트렌치가 형성되어 있으며, 상기 트렌치 내부에는 코어보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질이 주입되어 있는 평판형 광도파로 소자 및 상기 트렌치가 형성되어 있는 영역 상부에 집적된 능동소자를 포함하여 이루어지며, 상기 복수 개의 트렌치의 길이는 가운데에 위치한 트렌치에 가까울수록 더 길고, 상기 트렌치의 너비는 상기 광도파로의 코어의 너비에 대응하고, 상기 트렌치는 인접한 광도파로 영역에 형성된 트렌치들과 오버클래드에 의하여 이격되어 있으며, 상기 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호는 상기 트렌치가 형성된 영역에서 상기 능동소자 쪽으로 쏠리면서 그 일부가 상기 트렌치를 통해 상기 능동소자로 분기된다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은, 복수 개의 광도파로를 포함하고, 각각에 광도파로 영역에는 상기 광도파로의 길이 방향을 따라 상부로부터 코어를 향해 복수 개의 트렌치가 형성되어 있으며, 상기 트렌치 내부에는 코어보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질이 주입되어 있는 평판형 광도파로 소자 및 상기 트렌치가 형성되어 있는 영역 상부에 집적된 능동소자를 포함하여 이루어지며, 상기 복수 개의 트렌치 사이의 간격은 가운데 영역에 가까울수록 더 좁고, 상기 트렌치의 너비는 상기 광도파로의 코어의 너비에 대응하고, 상기 트렌치는 인접한 광도파로 영역에 형성된 트렌치들과 오버클래드에 의하여 이격되어 있으며, 상기 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호는 상기 트렌치가 형성된 영역에서 상기 능동소자 쪽으로 쏠리면서 그 일부가 상기 트렌치를 통해 상기 능동 소자로 분기된다.

상기 트렌치의 깊이는 일부 또는 전체 오버클래드, 또는 일부 또는 전체 코어까지 형성될 수 있다.

본 발명에 따른 하이브리드 광 집적 모듈에서 광신호의 일부가 상기 능동소자로 전달되는 분기율은 상기 트렌치의 깊이, 길이, 트렌치의 개수, 서로 이웃하는 트렌치 사이의 간격 또는 상기 인덱스 매칭 물질의 굴절률에 따라 조절될 수 있다.

본 발명의 또 다른 실시예에서 능동소자는 포토다이오드 또는 포토다이오드 어레이일 수 있으며, 상기 평판형 광도파로 소자의 일부 커버글라스가 제거되고, 커버글라스가 제거된 영역에 상기 트렌치 및 상기 능동소자를 위한 전극이 형성되며, 형성된 상기 트렌치 및 전극의 상부에 상기 능동소자가 집적된다.

본 발명은 수동소자에 형성된 트렌치와 트렌치 내부 인덱스 매칭 물질을 이용하여 광신호를 트렌치 쪽으로 쏠리게 하며, 쏠림 현상을 이용하여 수동소자로부터 능동소자로 용이하게 광신호를 분기할 수 있어 구성요소를 최소화하고, 구조를 단순화하여 소형 제작이 가능한 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 효과를 갖는다.

또한, 인접한 광도파로 영역에 형성된 트렌치들은 오버클래드에 의하여 이격되도록 함으로써, 인접한 광도파로를 따라 진행하는 광신호에 의한 간섭을 최소화하는 효과를 갖는다.

또한 트렌치의 개수, 트렌치의 깊이, 트렌치의 길이, 트렌치들 사이의 간격, 인덱스 매칭 물질의 굴절률을 조절하여 원하는 분기율을 만들 수 있으며, 이러한 특징을 이용하여 광도파로의 길이 방향을 따라 형성된 복수 개의 트렌치를 적절히 배치함으로써 광신호의 손실을 최소화할 수 있는 하이브리드 광 집적 모듈을 제공하는 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈의 평면도이다.
도 2는 도 1의 A-A' 단면도이다.
도 3은 광원의 손실을 최소화하기 위한 예시적인 트렌치 배치를 보여주는 도면이다.
도 4는 광도파로의 길이 방향에 따라 형성되는 트렌치를 나타내는 사시도이다.
도 5a 및 도 5b는 광도파로의 길이 방향에 따라 형성되는 트렌치를 나타내는 평면도이다.
도 6은 트렌치 위치에 따른 광모드의 움직임을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈에서의 분기율 시뮬레이션 결과를 보여주는 도면이다.

본 발명은 수동소자인 평판형 광도파로 소자에 능동소자를 집적시킨 하이브리드 광 집적 모듈에 관한 것으로, 이하에서 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈에 대해 상세히 설명한다.

도 1에 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈의 평면도가 도시되어 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은 수동소자인 평판형 광도파로 소자(10)에 능동소자(20)가 집적되어 구성된다.

평판형 광도파로 소자(10)를 통과하는 광신호는 평판형 광도파로 소자의 일측(도 1의 왼쪽)에 위치한 입력 광섬유 어레이로 입력되어 타측(도 1의 오른쪽)에 위치한 출력 광섬유 어레이로 출력된다.

이와 같이 평판형 광도파로 소자(10)를 통해 진행하는 광신호를 모니터링하기 위해 평판형 광도파로 소자의 상부에 능동소자(20)가 집적되며, 이러한 수동소자로서 예를 들어 단일 포토다이오드 또는 포토다이오드 어레이가 평판형 광도파로 소자 상부에 집적될 수 있다.

위와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은 반사 필터, 반사용 금속선 등을 이용하여 반사시키거나 탭커플러 등을 이용하여 분기하는 방법으로 수동소자로부터 능동소자쪽으로 일부 광신호를 전달하도록 하는 종래 광 모듈과 달리 평판형 광도파로 소자(10)를 통해 진행하는 광신호를 능동소자 쪽으로 쏠리게 하고 이를 이용하여 수동소자로부터 능동소자 쪽으로 일부 광신호가 전달되도록 하는 새로운 방식의 하이브리드 광 집적 모듈이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈을 형성하기 위해 도 2의 일부 확대도에 도시된 바와 같이 평판형 광도파로 소자(10)의 일부 영역에 상부로부터 코어를 향해 트렌치(T)를 형성하고 능동소자(20)를 트렌치가 형성된 영역 상부에 집적한다.

보다 상세히 설명하면, 광도파로와 능동소자 사이의 거리를 최소화하여 분기된 광신호가 능동소자로 잘 전달되고, 하이브리드 광 집적 모듈의 크기가 최소화되도록 도 2에 도시된 바와 같이 능동소자가 집적될 일부 영역의 커버글라스(16)를 제거한다.

커버글라스가 제거된 영역에서 코어를 향해 트렌치(T)를 형성하고, 트렌치 내부에 인덱스 매칭 물질을 주입한다. 또한 트렌치가 형성되지 않은 나머지 영역에 능동소자로부터의 전기적 신호를 전달하기 위한 전극(15)을 와이어 본딩 또는 플립칩 본딩 방법으로 패터닝하고, 트렌치(T)를 통해 광신호를 수신하고 전극(15)에 연결될 수 있는 적절한 위치에 능동소자(20)를 집적한다.

트렌치(T)는 포토레지스트를 마스크로 일부 영역을 식각하는 방법으로 용이하게 형성할 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 광도파로를 통과하는 광신호가 능동소자(20)로 적절히 분기되도록 하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은 광도파로의 길이 방향을 따라 복수 개의 트렌치를 형성할 수 있다.

이 때 광신호는 트렌치가 형성된 영역에서 일부분이 능동소자(20)로 분기되기 위해 능동소자 쪽으로 쏠려야 하나 트렌치가 형성된 영역을 통과한 이후에는 다시 안정적으로 광도파로를 통과할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.

따라서 광도파로를 따라 복수 개의 트렌치를 형성했을 때 도 3(c)에 도시된 바와 같이 광도파로를 통과하는 광신호가 점차 능동소자 쪽으로 쏠렸다가 다시 제자리로 돌아오도록 트렌치를 형성하는 것이 바람직하며, 이 경우 오버클래드 영역으로의 산란에 의한 광원의 손실을 최소화할 수 있다.

이를 위해 예를 들어 도 3(a)에 도시된 바와 같이 광도파로를 따라 형성된 복수 개의 트렌치는 양쪽 끝(즉, 시작과 끝) 영역에 위치한 트렌치 보다 가운데 영역에 위치한 트렌치의 길이가 길도록 형성할 수 있다. 보다 바람직하게는 그 길이가 점진적으로 넓어졌다 좁아지도록 구성한다.

또한 도 3(b)에 도시된 바와 같이 광도파로를 따라 형성된 복수 개의 트렌치는 양쪽 끝 영역에 위치한 트렌치들 사이의 간격이 가운데 영역에 위치한 트렌치들 사이의 간격보다 넓게 형성할 수 있다. 보다 바람직하게는 트렌치들 사이의 간격이 점진적으로 좁아졌다 넓어지도록 구성한다.

즉, 트렌치의 길이가 길수록 또는 트렌치 사이의 간격이 좁을수록 광신호의 쏠림현상이 커지기 때문에(당연히 분기율도 커짐) 복수 개의 트렌치를 형성할 경우 도 3(c)에 도시된 바와 같이 광도파로를 통과하는 광신호는 능동소자쪽으로 쏠렸다가 다시 제자리로 돌아오도록 트렌치의 길이, 트렌치 사이의 간격을 적절히 형성하는 것이 바람직하다.

비록 도 3에는 각각 트렌치의 너비, 트렌치 사이의 간격만으로 광신호의 쏠림 내지 분기율을 조절하였으나 이들 조건 즉, 너비와 간격을 적절히 조합하여 구성할 수도 있다.

또한 광신호의 쏠림 내지 분기율은 트렌치의 길이, 트렌치 사이의 간격뿐만 아니라 트렌치의 깊이, 트렌치의 개수, 인덱스 매칭 물질의 굴절률 등에 의해서도 조절될 수 있으므로 당업자는 이러한 특징에 따라 복수 개의 트렌치를 적절히 구성할 수 있을 것이다.

한편, 상기 트렌치(T)는 도 4에 도시되는 바와 같이 각각의 광도파로 영역에서 상기 광도파로의 길이 방향을 따라 상부로부터 코어를 향해 복수 개가 형성된다. 여기서 광도파로 영역은 평판형 광도파로 소자에서 광신호가 진행하는 코어 영역을 의미하는 것으로 이해되어야 한다. 따라서, 코어가 형성되지 않는 영역에는 트렌치(T)가 형성되지 않으며, 인접한 광도파로 영역에 형성되는 트렌치들은 서로 오버클래드에 의하여 이격되어 있다.

상술한 바와 같이 상기 트렌치(T)가 형성되는 영역 상부에는 능동소자(20)가 집적되는데, 코어가 형성되지 않는 영역에서도 오버클래드를 트렌치(T)의 깊이만큼 식각하게 되면 코어에서 분기되는 광신호가 인접한 코어에 대응하는 능동소자로 쏠리는 현상이 발생할 수 있으며, 이는 정확한 광신호 측정을 방해하는 요인으로 작용한다.

따라서, 코어가 형성되는 영역에 한정하여 트렌치(T)를 형성함으로써 인접한 코어를 따라 진행하는 광신호에 의한 간섭을 방지하는 효과를 제공한다.

한편, 상기 트렌치(T)의 너비는 상기 광도파로의 코어의 너비에 대응하는데, 도 5를 참조하면, 상기 코어의 너비와 동일하거나 약간 넓을 수 있음을 의미한다. 실제 트렌치(T)를 형성하는 공정은 코어의 너비와 동일한 너비로 형성되도록 이루어지는데, 공정상 오차가 발생할 수 있으며, 실제로 코어의 너비에 비하여 인접하는 코어 사이의 간격은 10배 이상 넓기 때문에 트렌치(T)의 너비는 코어의 너비보다 약간 넓게 형성되어도 무방하다.

이와 같이 평판형 광도파로 소자에 트렌치(T)를 형성한다 하더라도 도 2에 도시된 바와 같이 광신호는 광도파로를 따라 진행할 뿐 트렌치를 통해 능동소자로 이동하지 않는다. 따라서 본 발명에서는 트렌치 내부에 광도파로의 코어(12) 보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질을 주입하여 광도파로를 따라 진행하는 일부 광신호가 능동소자(20)쪽으로 분기되도록 한다.

도 2에는 트렌치(T)의 깊이가 광도파로의 코어까지 이르도록 도시되어 있으나 코어 전체를 식각하여 트렌치를 형성하지 않고 코어(12)의 일부만 식각되도록, 오버클래드(13)만 식각되도록, 또는 일부 오버클래드만 식각되도록 하여 트렌치를 형성할 수도 있으며, 그에 따라 광도파로를 통과하는 광신호의 움직임이 달라진다.

이를 광도파로를 따라 이동하는 광모드(optical mode)의 움직임을 도시하는 도 6을 참조로 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 6(a)에 도시된 바와 같이 광신호는 광도파로를 따라 이동할 때 코어(core) 영역으로만 이동하지 않고 클래드(Clad) 영역까지 걸쳐서 이동한다(도 6(a)의 점선 원 참조).

이러한 광신호는 도 6(b)에 도시된 바와 같이 코어보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질이 주입된 트렌치(T)가 형성된 영역에서 능동소자(포토다이오드(PD))쪽으로 이동(쏠림)하게 되며, 이에 따라 일부 광신호가 능동소자로 분기된다.

이러한 분기율은 도 6(b)~6(d)에 도시된 바와 같이 트렌치의 깊이가 깊을수록 높아진다. 즉, 도 6(c)가 광손실을 최소화할 수 있는 구조이나 분기율이 부족할 경우 도 6(d)에 도시된 바와 같이 코어의 일부 또는 전체까지 에칭하여 분기율을 조절할 수 있다.

지금까지 구체적인 실시예를 참고로 본 발명을 상세히 설명하였다.

본 발명에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은 수동소자를 통과하는 광신호를 능동소자 쪽으로 쏠리게 하여 일부 광신호를 분기함으로써 종래 기술들과 달리 광신호를 반사시키기 위한 복잡한 구조를 갖지 않을 뿐만 아니라 추가적인 구성요소를 구비할 필요도 없어 수동소자에 능동소자를 집적하는 하이브리드 광 집적 모듈을 저비용, 초소형으로 구현할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 하이브리드 광 집적 모듈은 도 7에 도시된 바와 같이 트렌치의 깊이, 길이, 개수, 트렌치 사이의 간격, 인덱스 매칭 물질의 굴절률 등으로 분기율을 자유롭게 조절할 수도 있다.

이러한 본 발명은 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자에 의해 수정 및 변형되어 실시될 수 있으며, 그러한 수정 및 변형 역시 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.

10 : 수동소자 11 : 기판
12 : 코어 13 : 오버클래드
14 : 인덱스 매칭 물질 15 : 전극
16 : 커버글라스 20 : 능동소자

Claims (5)

1. 복수 개의 광도파로를 포함하고, 각각의 광도파로 영역에는 상기 광도파로의 길이 방향을 따라 상부로부터 코어를 향해 복수 개의 트렌치가 형성되어 있으며, 상기 트렌치 내부에는 코어보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질이 주입되어 있는 평판형 광도파로 소자; 및
   상기 트렌치가 형성되어 있는 영역 상부에 집적된 능동소자;
   를 포함하여 이루어지며,
   상기 복수 개의 트렌치의 길이는 가운데에 위치한 트렌치에 가까울수록 더 길고, 상기 트렌치의 너비는 상기 광도파로의 코어의 너비와 공정 오차 범위 내에서 동일하고, 상기 트렌치는 인접한 광도파로 영역에 형성된 트렌치들과 오버클래드에 의하여 이격되어 있으며, 상기 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호는 상기 트렌치가 형성된 영역에서 상기 능동소자 쪽으로 쏠리면서 그 일부가 상기 트렌치를 통해 상기 능동소자로 분기되는 하이브리드 광 집적 모듈.
   
2. 복수 개의 광도파로를 포함하고, 각각의 광도파로 영역에는 상기 광도파로의 길이 방향을 따라 상부로부터 코어를 향해 복수 개의 트렌치가 형성되어 있으며, 상기 트렌치 내부에는 코어보다 굴절률이 큰 인덱스 매칭 물질이 주입되어 있는 평판형 광도파로 소자; 및
   상기 트렌치가 형성되어 있는 영역 상부에 집적된 능동소자;
   를 포함하여 이루어지며,
   상기 복수 개의 트렌치 사이의 간격은 가운데 영역에 가까울수록 더 좁고, 상기 트렌치의 너비는 상기 광도파로의 코어의 너비와 공정 오차 범위 내에서 동일하고, 상기 트렌치는 인접한 광도파로 영역에 형성된 트렌치들과 오버클래드에 의하여 이격되어 있으며, 상기 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호는 상기 트렌치가 형성된 영역에서 상기 능동소자 쪽으로 쏠리면서 그 일부가 상기 트렌치를 통해 상기 능동소자로 분기되는 하이브리드 광 집적 모듈.
   
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 트렌치의 깊이는 일부 또는 전체 오버클래드, 또는 일부 또는 전체 코어까지 형성되어 있는 하이브리드 광 집적 모듈.
   
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 평판형 광도파로 소자를 통과하는 광신호의 일부가 상기 인덱스 매칭 물질을 통해 상기 능동소자로 전달되는 분기율은 상기 트렌치의 깊이, 트렌치의 길이, 트렌치의 개수, 서로 이웃하는 트렌치 사이의 간격 또는 상기 인덱스 매칭 물질의 굴절률에 따라 조절되는 하이브리드 광 집적 모듈.
   
5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 능동소자는 포토다이오드 또는 포토다이오드 어레이이며,
   상기 평판형 광도파로 소자의 일부 커버글라스가 제거되고, 커버글라스가 제거된 영역에 상기 트렌치 및 상기 능동소자를 위한 전극이 형성되며, 형성된 상기 트렌치 및 전극의 상부에 상기 능동소자가 집적된 것을 특징으로 하는 하이브리드 광 집적 모듈.
   

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