JP2013142609A - 光束分岐素子、およびマスク欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光軸Oに45°傾斜して配置され、互いに平行な入射面32と射出面33とが形成された透明なベース部材31を備え、入射面32からの入射光を射出面33の射出位置から射出する本光束と、射出位置から離れた分岐位置から射出する本光束より小光量の分岐光束と、に分ける光束分岐素子30である。入射面32に入射面32の一部を遮る遮光部材35および射出面33からの反射光を入射面32で反射させる多重反射ミラー34を配置し、遮光部材35と多重反射ミラー34との間を入射光が入射する入射領域37を形成し、前記入射領域37からの入射光が到達する射出面33の領域に反射防止処理を施さないノンコート領域36を形成し、前記ノンコート領域36を除く射出面33、および入射領域37に反射防止処理を施した。
【選択図】図1
Description
また、本発明に係るマスク欠陥検査装置によれば、光源からの光のロスを防止し、光学系の構成を複雑なものとすることがない。
まず実施形態に係る光束分岐素子を図面に基づいて説明する。図1は実施形態に係る光束分岐素子を示す模式図である。実施形態に係る光束分岐素子30は、例えば光学ガラス、合成石英製平行平面板であるベース部材31の第1面(入射面)32の中央部に形成した入射領域37を挟んで下部に反射部材として多重反射ミラー34を、上部に遮光部材35を配置する。光は入射領域37を透過して第2面(射出面)33に向かう。
次に光束分岐素子30を使用した拡大観察装置であるマスク欠陥検査装置10について説明する。図2は実施形態に係るマスク欠陥検査装置の光学系を示す模式図である。
11:コリメータレンズ
12:光路長補正プレート
13:絞り
14:チューブレンズ
15:ビームスプリッター
16:対物レンズ
17:マスク
18:結像レンズ
19:マスク欠陥検出センサー
20:オートフォーカスセンサー
30:光束分岐素子
31:ベース部材
32:入射面
33:射出面
34:多重反射ミラー(反射部材)
35:遮光部材
36:ノンコート領域
37:入射領域
38:空気間隔部
Claims (6)
- 光軸に傾斜して配置され、互いに平行な入射面と射出面とが形成された透明なベース部材を備え、
前記入射面からの入射光を射出面の射出位置から射出する本光束と、前記射出位置から離れた分岐位置から射出する前記本光束より小光量の分岐光束と、に分ける光束分岐素子であって、
前記入射面に前記射出面からの反射光を前記入射面で反射させる反射部材を配置し、
前記入射面からの入射光が到達する前記射出面の領域に反射防止処理を施さないノンコート領域を形成し、
前記ノンコート領域を除く前記射出面、および前記入射面に反射防止処理を施したことを特徴とする光束分岐素子。 - 前記入射面に該入射面の一部を遮る遮光部材を配置し、前記遮光部材と前記反射部材との間に前記入射光が入射する入射領域を形成したことを特徴とする請求項1に記載の光束分岐素子。
- 前記分岐光束の経路に光路長を補正する補正手段を配置し、前記本光束と前記分岐光束のピント位置を同じ箇所にすることを特徴とする請求項1または2に記載の光束分岐素子。
- 前記ベース部材と前記反射部材との間に空気間隔部を設けることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の光束分岐素子。
- 前記ノンコート領域では、フレネル反射により入射光の一部を反射することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の光束分岐素子。
- 請求項1から5のいずれかに記載の光束分岐素子と、マスク欠陥検査を行う欠陥検査手段と、前記欠陥検査手段の合焦を行うオートフォーカス手段とを備え、前記光束分岐素子からの本光束に基づいてマスク欠陥検査用照明を行い、前記光束分岐素子からの前記分岐光束に基づいてオートフォーカス用照明を行うことを特徴とするマスク欠陥検査装置。
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