JP2013115273A - 太陽電池用熱処理方法および熱処理炉 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】最高温度が形成される第5加熱域H5において、加熱ヒータ33aおよび33bからの加熱によって熱放射を行なう熱放射体36が、搬送される太陽電池セル用半導体基板38と上側の加熱ヒータ33aとの間に備えられていることから、太陽電池セル用半導体基板38がその熱放射体からの熱放射により近傍から加熱されるので、太陽電池セル用半導体基板38の高速搬送が可能となり、表面に均一加熱を加えつつ半導体基板38自体の温度上昇を抑制できる。従って、太陽電池セル40は、十分な変換効率を維持しつつ、表面電極用導電ペースト中のAgがファイヤースルーする温度、且つ裏面電極用導電ペースト中のAlが合金化する温度よりも上になるように設定する焼成温度を、大幅に低下させることができる。
【選択図】図1
Description
26:無端ベルト
28:ベルト式搬送装置(搬送装置)
36:熱放射体
38:太陽電池セル用半導体基板
40:太陽電池セル
62:ウォーキングビーム式搬送装置(搬送装置)
64:固定ビーム
66:可動ビーム
68:可動ビーム
82:ウォーキングビーム式搬送装置(搬送装置)
84:上下動ビーム
Claims (10)
- Agを含む表面電極用導電ペーストが表面に塗布され、Alを含む裏面電極用導電ペーストが裏面に塗布された太陽電池セル用半導体基板を、該太陽電池セル用半導体基板を搬送する過程で位置固定の加熱ヒータで加熱し、裏面電極および表面電極が裏面および表面に固着された太陽電池セルを得るための太陽電池セルの熱処理方法であって、
搬送される前記太陽電池セル用半導体基板と該加熱ヒータとの間に配置された、加熱によって熱放射を行なう熱放射体を用いて、前記太陽電池セル用半導体基板を加熱することを特徴とする太陽電池セルの熱処理方法。 - Agを含む表面電極用導電ペーストが表面に塗布され、Alを含む裏面電極用導電ペーストが塗布された太陽電池セル用半導体基板を、該太陽電池セル用半導体基板を搬送する過程で位置固定の加熱ヒータで加熱し、裏面電極および表面電極が裏面および表面に固着された太陽電池セルを得るための太陽電池セルの熱処理炉であって、
搬送される前記太陽電池セル用半導体基板と該加熱ヒータとの間に配置された、加熱によって熱放射を行なう熱放射体を含むことを特徴とする太陽電池セルの熱処理炉。 - 前記熱放射体は、前記太陽電池セル用半導体基板の裏面から5mm乃至200mmの距離を隔てて設けられていることを特徴とする請求項2の太陽電池セルの熱処理炉。
- 前記熱放射体は、Si板であることを特徴とする請求項2または3の太陽電池セルの熱処理炉。
- 前記熱処理炉は、複数の加熱域を有し、
前記熱放射体は、前記複数の加熱域のうち、前記半導体基板の温度が最高温度となる加熱域内に少なくとも設けられていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1の太陽電池セルの熱処理炉。 - 前記太陽電池セル用半導体基板を、該太陽電池セル用半導体基板の裏面が上側となるように搬送する搬送装置を含み、
前記熱放射体は、該太陽電池セル用半導体基板の上側に位置固定に配置されていることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1の太陽電池用熱処理炉。 - 前記搬送装置は、一方向に回転駆動される無端ベルトを有し、該無端ベルトの上側ベルト部上に載置された前記太陽電池セル用半導体基板を搬送するものであることを特徴とする請求項6の太陽電池用熱処理炉。
- 前記搬送装置は、水平方向および垂直方向に一定のストロークで相対的に往復移動させられる第1ビームおよび第2ビームを有し、該第1ビームおよび第2ビームが前記太陽電池セル用半導体基板を交互に支持することにより一方向へ搬送するものであることを特徴とする請求項6の太陽電池用熱処理炉。
- 前記太陽電池セル用半導体基板を、該太陽電池セル用半導体基板の裏面が下側となるように搬送する搬送装置を含み、
前記熱放射体は、該太陽電池セル用半導体基板の下側に配置されていることを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1の太陽電池用熱処理炉。 - 前記搬送装置は、水平方向および垂直方向に一定のストロークで相対的に往復移動させられる第1ビームおよび第2ビームを有し、該第1ビームおよび第2ビームが前記太陽電池セル用半導体基板を交互に支持することにより一方向へ搬送するものであり、
銭熱放射体は、該ビームおよび第2ビームの少なくとも一方に固定されていることを特徴とする請求項9の太陽電池用熱処理炉。
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