JP2013112571A - 石英ガラスシリンダー材料の製造方法及びその製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炉1は、炉天井2、中央に空所31を有する炉底3及び炉壁4から構成され、炉底3は支柱7にブラケット71を介して支持されている。炉1の中央には耐火材からなる円形の中芯9が設置してある。支柱7は、回転・昇降可能であり、炉底3は炉天井2に円形に配置された熱源5に対して回転及び昇降可能である。石英ガラス原料粉が熱源5に供給され、溶融される。中芯9は、溶融時の熱放射を阻止し、溶融部の温度低下を防止する。炉底3を回転させながら降下させることによって溶融した石英ガラスは炉底3に円筒形状に積層して固化していき、円筒形の石英ガラスシリンダー材料8が得られる。
【選択図】図1
Description
しかしながら、コア抜きまたは研削による製造方法によって得られるシリンダー材料は、インゴットの大きさに依存するもので、大型のものが得られず、また、インゴットから所望の形状にコアドリルなどで加工除去して最終的なシリンダー材料を得るため、最終的に得られるシリンダー材料の重量よりも多くの石英ガラスが除去されることから、大きなインゴットを必要とし、材料効率が低く、コストがかかっていた。
また、特許文献2(特開2004−59400号公報)では、高周波コイルによる誘導加熱発熱体の耐火性ヘッド上に石英ガラス原料粉末を供給して溶融し、石英ガラス溶融体を耐火性ヘッドの外周縁から流下させながら固化させ、この下端部を一定速度で回転しつつ降下する支持部材により引き下げる石英ガラス円筒体の製造方法が提案されている。
火炎バーナーとしては、酸水素火炎バーナー、または、プロパン火炎バーナー、若しくは炭化水素−酸素ガス火炎バーナー等が使用できる。
また、石英ガラス原料粉を溶融する熱源は、メイン熱源、若しくは、メイン熱源とサブ熱源の組み合わせから構成されており、いずれの熱源も、形成する石英ガラスシリンダー材料の円筒形の上部にその焦点を結ぶように炉の上部、具体的には炉天井に固定設置されているものである。
製作される円筒形の石英ガラスシリンダー材料の円周上にプラズマアークのカップリング帯域が形成されるように、プラズマアノードトーチとプラズマカソードトーチからなるツインプラズマトーチを対称に炉天井に配置し、トーチ角度及び炉天井への挿入深さを調節できるようにして炉底との距離を微調整できるようにする。
プラズマアノードトーチとプラズマカソードトーチから生成されるプラズマアークにより円周上に形成されるプラズマアークカップリング領域に石英ガラス原料粉を連続的に供給し、カップリング帯域近傍を溶融部の頂点として円形状に石英ガラス原料粉を溶融して積層するものであり、前述の火炎バーナーと基本的には同じである。
また、本発明においては、従来使用されていた高価なノズルが不要であり、溶融石英ガラスが炉体に接触しない非接触式なので耐火材の寿命が長くなり、耐火材の交換の頻度を少なくできるので製造装置の維持費用を抑制することができ、大型リングや炉心管を低コストで製作することが可能となる。
炉1は、炉天井2、炉底3及び炉壁4から構成されている。炉底3は耐火材で構成されており、中央部には円形の空所31が形成してあり、中芯9がこの空所31に挿入設置される。
炉底3の表面には耐火材粉が敷き詰めてあり、中空円形の支柱7の上部に設けた複数のブラケット71で支持されている。支柱7の底部は回転駆動用のチャック72で保持され、チャック72は回転機構(図示しない)に連結されており、炉底3を、炉天井2に円周上に配置した火炎バーナーやプラズマトーチなどの熱源5に対し回転させることが可能である。また、炉底3は炉内を昇降可能としてあるので、炉底3は炉内において回転及び昇降自在であり、炉の中央には、耐火材からなる中芯9が円形の中空の支柱7内に配置されており、先端は炉天井2付近まで延びている。
支柱7の下部は、回転駆動機構に連結されるチャック72で保持されており、支柱7に伝達される回転駆動力によって炉底3が炉内を回転する。
支柱7の中空部には熱の放散を防止するための耐火材からなる中芯9が挿入してあり、中芯9の上端が炉天井2まで延びている。中芯9の底部は保持部材91で支持されている。この保持部材91は、棒状部材であり、上端には保持部92が設けてあり、保持部92には中芯9が設置される。保持部材91の下部はチャック73で保持されており、チャック73が保持部材91を保持する位置を変更することによって中芯9の上下方向の位置を調整することができる。
本発明では、中芯9を円筒形の石英ガラスシリンダー材料の中心に設置してあるので、製作中に周囲に放熱する熱量が抑制され、溶融した石英ガラス原料粉が円筒状に均一に積層するまで溶融状態を維持することが容易である。
また、必要に応じてサブ熱源52を石英ガラス原料粉の溶融状態を維持するために設ける。サブ熱源52は、作製する石英ガラスシリンダー材料の円周上にメイン熱源に対して適宜の間隔で1個若しくは複数個設置し、石英ガラス原料粉の溶融と積層固化が円滑に行われるようにするものである。
この装置を使用する場合、製作する石英ガラスシリンダー材料8の外径及び内径に応じて石英ガラス原料粉の供給量と炉底3の回転速度を定め、溶融された石英ガラス原料粉が均一に積層固化するように炉底3の降下速度を定める。
石英ガラス原料粉を酸水素火炎バーナーで溶融し、円筒状の透明石英ガラスシリンダー材料8を製作した。
原料供給装置を有するメインバーナー2本、サブバーナー3本を炉天井2に直径1030mmの円周上に等間隔に配置した。
火炎バーナーに水素を平均59m3/hr、酸素を平均29.5m3/hrで各火炎バーナーに均等に供給し、石英ガラス原料粉の平均フィード量1.4kg/hrとし、メインバーナーに均等に供給した。
炉底3を火炎バーナーに対して0.03rpmで回転させ、下降速度6.5mm/hrで下降させ、外径約1050mm×内径1010mm×高さ830mm、総重量123kgの透明石英ガラスシリンダー材料を得た。得られた透明石英ガラスシリンダーを図5に示す。
石英ガラス原料粉を、酸水素火炎バーナーによって溶融し、円筒状の不透明石英ガラスシリンダー材料8を製作した。
メインバーナー2本、サブバーナー3本を直径1030mmの円形の円周上に等間隔に配置し、水素を総量で平均63m3/hr、酸素を総量で平均31.5m3/hrで各バーナーに均等に供給し、石英ガラス原料粉の平均フィード量2.1kg/hrとした。
支柱7を0.03rpmで回転させると共に、下降速度5.9mm/hrで下降させたところ、外径約1060mm×内径1000mm×高さ790mm、総重量204kgの不透明石英ガラスシリンダー材料が得られた。得られた不透明石英ガラスシリンダーの外観を図6に示す。
プラズマトーチを石英ガラス原料粉を溶融する熱源として使用して石英ガラス原料粉を溶融し、円筒状の透明石英ガラスシリンダー材料8を製作した。
直径1030mmの円形の円周上にプラズマアークのカップリング領域が生成されるように、アノードトーチとカソードトーチを対称に配置し、ツインプラズマトーチの出力を100kWとした。サブ熱源2本を直径1030mmの円形の円周上に等間隔に配置し、石英ガラス原料粉の平均フィード量4.2kg/hrとして、炉底3を1.00rpmで回転させると共に、下降速度15.0mm/hrで下降させ、外径約1070mm×内径1000mm×高さ810mmの透明石英ガラスシリンダー材料8を得た。
石英ガラス原料粉を溶融する熱源を円形に配置する際の直径、石英ガラス原料粉の供給量、また、石英ガラス原料粉を溶融する熱源への燃料またはエネルギーの供給量、炉底の回転速度、及び下降速度を適宜調整することによって石英ガラスシリンダー材料の外径と内径を調節することができる。
炉の中央に設置した中芯が、溶融した石英ガラス原料粉からの過大な熱放射を阻止して溶融部の温度低下を阻止するため、溶融石英ガラス原料粉の溶融状態が維持され、溶融石英ガラス原料粉を円形に均一に積層させることが可能となり、平滑な表面の大型の石英ガラスシリンダー材料を製作することができる。
2 炉天井
3 炉底
31 空所
4 炉壁
5 熱源(火炎バーナー)
51 メイン熱源(メインバーナー)
6 回転テーブル
7 支柱
71 ブラケット
72 チャック
8 石英ガラスシリンダー材料
9 中芯
91 保持部材
Claims (5)
- 炉天井に石英ガラス原料粉を溶融する熱源を円周上に配置し、炉内中央に耐火材からなる円形の中芯を設置し、石英ガラス原料粉を熱源で溶融しながら炉底を熱源に対して回転させて溶融した石英ガラス原料粉を中芯の周囲の炉底に落下させて円形状に溶融石英ガラスを積層させ、熱源の焦点が溶融石英ガラス積層体の上面から一定距離となるように炉底を降下させて固化させ、円筒形の石英ガラス積層体とする石英ガラスシリンダー材料の製造方法。
- 請求項1において、熱源が原料供給装置を有するメイン熱源単独、若しくは、メイン熱源とサブ熱源との組み合わせである石英ガラスシリンダー材料の製造方法。
- 炉天井に円形に配置した焦点を有する石英ガラス原料粉を溶融する熱源と、炉内中央に設けた円形の耐火材からなる中芯と、中芯を挿入する空所を有する炉底と、炉底を熱源に対して回転させる回転手段及び炉内を昇降させる昇降手段と、石英ガラス原料粉を熱源に供給する原料供給手段とからなる石英ガラスシリンダー材料の製造装置。
- 請求項3において、熱源の焦点が溶融積層された溶融石英ガラス積層体の上面位置となるように炉底の降下速度を制御する制御手段を有する石英ガラスシリンダー材料の製造装置。
- 請求項3において、石英ガラス原料粉を溶融する熱源が、火炎バーナー、またはプラズマトーチのいずれかである石英ガラスシリンダー材料の製造装置。
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