JP2013092702A - エレクトロウェッティングデバイスの製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】低コストであり、かつ生産性の高いエレクトロウェッティングデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】注入口１ａと吸引口１ｂとを備えたパネルの前記吸引口１ｂから真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイル５を導入して充填する工程と、前記パネル内に前記着色オイル５を充填した後、前記吸引口１ｂから真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイル５の液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイル５を充填する工程と、前記パネル内の前記着色オイル５の液面を上昇させ、前記吸引口１ｂまで達した後も吸引を実施して、前記吸引口１ｂに接続された真空系に備えられたトラップ容器４に前記着色オイル５を排出させることで、前記パネル内の前記着色オイル５と前記水の充填を終了する工程と、前記パネルを加圧し、前記注入口１ａと前記吸引口１ｂを紫外線硬化樹脂で封止する工程とを有する。
【選択図】図５

Description

本発明は、エレクトロウェッティング現象を用いたエレクトウェッティングデバイスの製造方法に関する。
エレクトロウェッティングディスプレイは、透明電極上に撥水性（疎水性）の絶縁膜を形成し、その上に格子状の隔壁を形成する。隔壁で囲まれた部分には着色オイルで満たされており、その上方は水で満たされて透明電極が形成された対向基板と貼り合わされる。この電極間に電圧を印加すると、撥水性絶縁膜の水に対する接触角が低下して撥水性絶縁膜面が親水性に変化し、水がなじむようになる。その結果、水が着色オイルを押しのけ、画素内の着色オイルと水との面積比が変化し画素の明暗が作り出されて表示体として機能する。
従来、エレクトロウェッティングディスプレイにおけるオイル充填方式を説明する基本的なエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法を開示するものがある（例えば、非特許文献１参照）。また、従来のエレクトロウェッティングディスプレイとして、少なくとも２つの異なる状態を有する分離層または移動層を利用する、例えば光スイッチのような表示装置であって、流体の一方は、例えば油等であり、第１の状態では、少なくとも第１の支持板に隣接し、第２の状態では、他の流体の少なくとも一部が、第１の支持板に隣接し、画像素子が、親水性表面を有する領域によって分離されるものがある（例えば、特許文献１参照）。
このようなエレクトロウェッティングディスプレイを製造するには次のような工程が必要となる。
１．対向基板の画素外周部に予め環状にＵＶ硬化シールを塗布しておき、水槽内に水没させておく。
２．画素毎に隔壁が形成された基板を、水／着色オイルが層分離している水槽に一定速度で沈降させる。
３．水槽中に水没させていた対向基板と貼り合わせる。
４．貼り合わせ後に、水中でＵＶ照射しＵＶシールを硬化させる。
しかしながら、上述した従来のようなエレクトロウェッティングディスプレイを製造するには次のような問題点がある。
・隔壁で囲まれた部分に着色オイルで満たすためには、水面上に着色オイルの油層が形成された水槽の水面上に対して基板を垂直状態で下降させながら隔壁間に着色オイルを満たした後、水中で当該基板を垂直状態から水平状態になる迄旋回させる防水機能を有する装置が必要である。
・防水機能を有し、対向基板を保持し、且つアライメント機構を備えた貼合せ装置が必要である。
・基板サイズに対応し、且つ上記装置が入る水槽が必要である。
従って、これらを満たすためには、巨大なスペースを占有する水槽と、且つ防水機能を備えた高価な装置を導入する必要が生じる。また、水中でＵＶ硬化する為、耐水性を持ったＵＶ硬化シール材が必要となる。このような問題点は、比重の異なる２種類の液体（着色オイル／水）を下層から比重の低いもの（着色オイル）から比重の高いもの（水）の順番に充填しなければいけなく、複雑な工程を経て基板同士を貼り合わせるためである。このようなことから大規模な生産設備が必要であり、また、装置／使用材料が高価となる。
特許第４６１０５６１号公報
K Zhou, J Heikenfeld, K A Dean, E M Howard and M R Johnson, "A full description of a simple and scalable fabrication process for electrowetting displays" Journal of Micromechanics and Microengineering 19(2009) 065029(12pp), 2009 IOP Publishing Ltd Printed in the UK
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、低コストであり、かつ生産性の高いエレクトウェッティングデバイスの製造方法を提供することを課題とする。
本発明に係るエレクトウェッティングデバイスの製造方法は、エレクトウェッティングデバイスの製造方法であって、注入口と吸引口とを備えたパネルの前記吸入口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程と、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記吸入口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程と、前記パネル内の前記着色オイルの液面を上昇させ、前記吸引口まで達した後も吸引を実施して、前記吸引口に接続された真空系に備えられたトラップ容器に前記着色オイルを排出させることで、前記パネル内の前記着色オイルと前記水の充填を終了する工程と、前記パネルを加圧し、前記注入口と前記吸引口を紫外線硬化樹脂で封止する工程とを有する。
本発明によれば、従来の真空注入方式のＬＣＤパネルと同プロセスの設備を１００％有効に活用して、パネル内で液面を上昇しながら着色オイル／水を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いエレクトウェッティングデバイスの製造方法を提供することができる。
本発明に係るエレクトロウェッティングディスプレイパネルを示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。 本発明の実施の形態１に係るエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法を説明する工程図である。 図２に続く工程図である。 図３に続く工程図である。 図４に続く工程図である。 図５に続く工程図である。 図６に続く工程図である。 本発明の実施の形態２に係るエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法を説明する工程図である。 図８に続く工程図である。 図９に続く工程図である。 図１０に続く工程図である。 図１１に続く工程図である。 図１２に続く工程図である。
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係るエレクトウェッティングデバイスの製造方法について説明する。図１（ａ）と（ｂ）は、エレクトロウェッティングディスプレイパネルの正面図と側面図を示し、パネル１は、注入口１ａと吸引口１ｂをと備え、画素部毎に隔壁リブ１ｃが形成されている。外周シール１ｄのシール材は耐水性である必要はなく、ＬＣＤ用のＵＶ硬化／熱硬化型のシール材を活用できる。
まず、図２に示すように、注入口１ａ／吸引口１ｂにそれぞれリークが発生しないようにジョイント２を接続する。注入口１ａに接続されたジョイント２にはバルブ３を備え、着色オイル／水の供給を切り替えられる配管系に接続される。一方、吸引口１ｂに接続されたジョイント２には真空系が接続され、途中には余剰の着色オイル／水を回収するトラップ容器４を装備している。
次に、図３に示すように、注入口１ａに接続されたバルブ３を着色オイル導入側配管系に切り替え、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に着色オイル５を導入する。真空系にトラップ容器４を有していることから、着色オイル５の量は、画素充填できる丁度の量で無くてもよく、ある程度余剰の量をパネル１内に充填する。例えば、２インチサイズのパネルの場合、注入口１ａのパネル端から３ｍｍ程度まで着色オイル５を充填する。
次に、図４及び図５に示すように、適当量な着色オイル５をパネル１内に充填後、注入口１ａに接続さ入れた配管系のバルブ３を水導入側配管系に切り替え、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に水６を充填しつつ、着色オイル５の液面を上昇させて、画素部に着色オイル５を充填する。この時、画素部に最適量が充填される為には、液面上昇速度と、画素サイズの間に最適値が存在する。例えば、画素サイズが２５０μｍの場合、液面の上昇速度は０．２ｍｍ／ｓｅｃ〜０．５ｍｍ／ｓｅｃが最適であり、画素サイズが５００μｍであると、０．７ｍｍ／ｓｅｃ〜１．２ｍｍ／ｓｅｃが最適となる。この速度以下であれば、隔壁で着色オイルを擦り切る時の持ち出し量が多くなり画素部への充填不足が発生し、その速度以上で有れば、隔壁で着色オイルを適量に擦り切ることが出来ずに画部への充填が過剰になり、隣接画素と着色オイル５が連結してしまう。液面の上昇速度は、吸引口１ｂより真空引きする時の真空圧により適宜調整可能である。
さらに、図６に示すように、液面を最適速度で上昇させ、吸引口１ｂまで達した後も吸引を実施しておき、トラップ容器４に着色オイル５の排出が終了したときを終点とする。その後、図７に示すように、着色オイル５／水６の充填が終了した後、ジョイント２を外す。その後、パネル１を適宜加圧し、注入口１ａ／吸引口１ｂを紫外線硬化樹脂等の封止材７で封止する。
従って、上記実施の形態１によるエレクトウェッティングデバイスの製造方法によれば、従来の真空注入方式のＬＣＤパネルと同プロセスの設備を１００％有効に活用して、パネル１内で液面を上昇しながら着色オイル５／水６を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いものが得られる。
実施の形態２．
次に、本発明の実施の形態２に係るエレクトウェッティングデバイスの製造方法について説明する。まず、図８に示すように、実施の形態１と同様な注入口１ａと吸引口１ｂを備えたパネル１を組み立てる。そして、着色オイル５／水６の入った水槽８を用意し、着色オイル５の層は２００μｍ程度になるよう調整する。また、吸引口１ｂにそれぞれリークが発生しないようにジョイント２を接続する。さらに、吸引口１ｂに接続されたジョイント２には真空系が接続され、途中には余剰の着色オイル５／水６を回収するトラップ容器４を装備している。
次に、図９に示すように、パネル１全体を下降し、着色オイル５層内１００μｍで停止する。ここで、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に着色オイル５を導入する。真空系にトラップ容器４を有していることから、着色オイル５の量は、画素充填できる丁度の量で無くてもよく、ある程度余剰の量をパネル１内に充填する。例えば、２インチサイズのパネルの場合、注入口１ａのパネル端から３ｍｍ程度まで着色オイル５を充填する。
次に、図１０及び図１１に示すように、適当量な着色オイル５をパネル１内に充填後、パネル端面が水６の層に達するように液面より２００μｍ以上下降させる。そして、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に水６を充填しつつ、着色オイル５の液面を上昇させ、画素部に着色オイル５を充填する。液面の上昇速度は、吸引口１ｂより真空引きする時の真空圧により適宜調整可能である。
さらに、図１２に示すように、液面を最適速度で上昇させ、吸引口１ｂまで達した後も吸引を実施しておき、トラップ容器４に着色オイル５の排出が終了したときを終点とする。その後、図１３に示すように、着色オイル５／水６の充填が終了した後、ジョイント２を外す。その後、パネル１を適宜加圧し、注入口１ａ／吸引口１ｂを紫外線硬化樹脂等の封止材７で封止する。
従って、上記実施の形態２によるエレクトウェッティングデバイスの製造方法によれば、実施の形態１と同様に、従来の真空注入方式のＬＣＤパネルと同プロセスの設備を１００％有効に活用して、パネル１内で液面を上昇しながら着色オイル５／水６を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いものが得られる。
１ パネル、１ａ 注入口、１ｂ 吸引口、１ｃ 隔壁リブ、１ｄ 外周シール、２ ジョイント、３ バルブ、４ トラップ容器、５ 着色オイル、６ 水、７ 封止材、８ 水槽。
本発明は、エレクトロウェッティング現象を用いたエレクトロウェッティングデバイスの製造方法に関する。
エレクトロウェッティングディスプレイは、透明電極上に撥水性（疎水性）の絶縁膜を形成し、その上に格子状の隔壁を形成する。隔壁で囲まれた部分には着色オイルで満たされており、その上方は水で満たされて透明電極が形成された対向基板と貼り合わされる。この電極間に電圧を印加すると、撥水性絶縁膜の水に対する接触角が低下して撥水性絶縁膜面が親水性に変化し、水がなじむようになる。その結果、水が着色オイルを押しのけ、画素内の着色オイルと水との面積比が変化し画素の明暗が作り出されて表示体として機能する。
従来、エレクトロウェッティングディスプレイにおけるオイル充填方式を説明する基本的なエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法を開示するものがある（例えば、非特許文献１参照）。また、従来のエレクトロウェッティングディスプレイとして、少なくとも２つの異なる状態を有する分離層または移動層を利用する、例えば光スイッチのような表示装置であって、流体の一方は、例えば油等であり、第１の状態では、少なくとも第１の支持板に隣接し、第２の状態では、他の流体の少なくとも一部が、第１の支持板に隣接し、画像素子が、親水性表面を有する領域によって分離されるものがある（例えば、特許文献１参照）。
このようなエレクトロウェッティングディスプレイを製造するには次のような工程が必要となる。
１．対向基板の画素外周部に予め環状にＵＶ硬化シールを塗布しておき、水槽内に水没させておく。
２．画素毎に隔壁が形成された基板を、水／着色オイルが層分離している水槽に一定速度で沈降させる。
３．水槽中に水没させていた対向基板と貼り合わせる。
４．貼り合わせ後に、水中でＵＶ照射しＵＶシールを硬化させる。
しかしながら、上述した従来のようなエレクトロウェッティングディスプレイを製造するには次のような問題点がある。
・隔壁で囲まれた部分に着色オイルで満たすためには、水面上に着色オイルの油層が形成された水槽の水面上に対して基板を垂直状態で下降させながら隔壁間に着色オイルを満たした後、水中で当該基板を垂直状態から水平状態になる迄旋回させる防水機能を有する装置が必要である。
・防水機能を有し、対向基板を保持し、且つアライメント機構を備えた貼合せ装置が必要である。
・基板サイズに対応し、且つ上記装置が入る水槽が必要である。
従って、これらを満たすためには、巨大なスペースを占有する水槽と、且つ防水機能を備えた高価な装置を導入する必要が生じる。また、水中でＵＶ硬化する為、耐水性を持ったＵＶ硬化シール材が必要となる。このような問題点は、比重の異なる２種類の液体（着色オイル／水）を下層から比重の低いもの（着色オイル）から比重の高いもの（水）の順番に充填しなければいけなく、複雑な工程を経て基板同士を貼り合わせるためである。このようなことから大規模な生産設備が必要であり、また、装置／使用材料が高価となる。
特許第４６１０５６１号公報
K Zhou, J Heikenfeld, K A Dean, E M Howard and M R Johnson, "A full description of a simple and scalable fabrication process for electrowetting displays" Journal of Micromechanics and Microengineering 19(2009) 065029(12pp), 2009 IOP Publishing Ltd Printed in the UK
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、低コストであり、かつ生産性の高いエレクトロトウェッティングデバイスの製造方法を提供することを課題とする。
本発明に係るエレクトロウェッティングデバイスの製造方法は、エレクトロウェッティングデバイスの製造方法であって、注入口と吸引口とを備えたパネルの前記吸入口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程と、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記吸入口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程と、前記パネル内の前記着色オイルの液面を上昇させ、前記吸引口まで達した後も吸引を実施して、前記吸引口に接続された真空系に備えられたトラップ容器に前記着色オイルを排出させることで、前記パネル内の前記着色オイルと前記水の充填を終了する工程と、前記パネルを加圧し、前記注入口と前記吸引口を紫外線硬化樹脂で封止する工程とを有する。
本発明によれば、従来の真空注入方式のＬＣＤパネルと同プロセスの設備を１００％有効に活用して、パネル内で液面を上昇しながら着色オイル／水を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いエレクトロウェッティングデバイスの製造方法を提供することができる。
本発明に係るエレクトロウェッティングディスプレイパネルを示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。 本発明の実施の形態１に係るエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法を説明する工程図である。 図２に続く工程図である。 図３に続く工程図である。 図４に続く工程図である。 図５に続く工程図である。 図６に続く工程図である。 本発明の実施の形態２に係るエレクトロウェッティングディスプレイの製造方法を説明する工程図である。 図８に続く工程図である。 図９に続く工程図である。 図１０に続く工程図である。 図１１に続く工程図である。 図１２に続く工程図である。
実施の形態１．
以下、本発明の実施の形態１に係るエレクトロウェッティングデバイスの製造方法について説明する。図１（ａ）と（ｂ）は、エレクトロウェッティングディスプレイパネルの正面図と側面図を示し、パネル１は、注入口１ａと吸引口１ｂをと備え、画素部毎に隔壁リブ１ｃが形成されている。外周シール１ｄのシール材は耐水性である必要はなく、ＬＣＤ用のＵＶ硬化／熱硬化型のシール材を活用できる。
まず、図２に示すように、注入口１ａ／吸引口１ｂにそれぞれリークが発生しないようにジョイント２を接続する。注入口１ａに接続されたジョイント２にはバルブ３を備え、着色オイル／水の供給を切り替えられる配管系に接続される。一方、吸引口１ｂに接続されたジョイント２には真空系が接続され、途中には余剰の着色オイル／水を回収するトラップ容器４を装備している。
次に、図３に示すように、注入口１ａに接続されたバルブ３を着色オイル導入側配管系に切り替え、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に着色オイル５を導入する。真空系にトラップ容器４を有していることから、着色オイル５の量は、画素充填できる丁度の量で無くてもよく、ある程度余剰の量をパネル１内に充填する。例えば、２インチサイズのパネルの場合、注入口１ａのパネル端から３ｍｍ程度まで着色オイル５を充填する。
次に、図４及び図５に示すように、適当量な着色オイル５をパネル１内に充填後、注入口１ａに接続さ入れた配管系のバルブ３を水導入側配管系に切り替え、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に水６を充填しつつ、着色オイル５の液面を上昇させて、画素部に着色オイル５を充填する。この時、画素部に最適量が充填される為には、液面上昇速度と、画素サイズの間に最適値が存在する。例えば、画素サイズが２５０μｍの場合、液面の上昇速度は０．２ｍｍ／ｓｅｃ〜０．５ｍｍ／ｓｅｃが最適であり、画素サイズが５００μｍであると、０．７ｍｍ／ｓｅｃ〜１．２ｍｍ／ｓｅｃが最適となる。この速度以下であれば、隔壁で着色オイルを擦り切る時の持ち出し量が多くなり画素部への充填不足が発生し、その速度以上で有れば、隔壁で着色オイルを適量に擦り切ることが出来ずに画部への充填が過剰になり、隣接画素と着色オイル５が連結してしまう。液面の上昇速度は、吸引口１ｂより真空引きする時の真空圧により適宜調整可能である。
さらに、図６に示すように、液面を最適速度で上昇させ、吸引口１ｂまで達した後も吸引を実施しておき、トラップ容器４に着色オイル５の排出が終了したときを終点とする。その後、図７に示すように、着色オイル５／水６の充填が終了した後、ジョイント２を外す。その後、パネル１を適宜加圧し、注入口１ａ／吸引口１ｂを紫外線硬化樹脂等の封止材７で封止する。
従って、上記実施の形態１によるエレクトロウェッティングデバイスの製造方法によれば、従来の真空注入方式のＬＣＤパネルと同プロセスの設備を１００％有効に活用して、パネル１内で液面を上昇しながら着色オイル５／水６を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いものが得られる。
実施の形態２．
次に、本発明の実施の形態２に係るエレクトロウェッティングデバイスの製造方法について説明する。まず、図８に示すように、実施の形態１と同様な注入口１ａと吸引口１ｂを備えたパネル１を組み立てる。そして、着色オイル５／水６の入った水槽８を用意し、着色オイル５の層は２００μｍ程度になるよう調整する。また、吸引口１ｂにそれぞれリークが発生しないようにジョイント２を接続する。さらに、吸引口１ｂに接続されたジョイント２には真空系が接続され、途中には余剰の着色オイル５／水６を回収するトラップ容器４を装備している。
次に、図９に示すように、パネル１全体を下降し、着色オイル５層内１００μｍで停止する。ここで、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に着色オイル５を導入する。真空系にトラップ容器４を有していることから、着色オイル５の量は、画素充填できる丁度の量で無くてもよく、ある程度余剰の量をパネル１内に充填する。例えば、２インチサイズのパネルの場合、注入口１ａのパネル端から３ｍｍ程度まで着色オイル５を充填する。
次に、図１０及び図１１に示すように、適当量な着色オイル５をパネル１内に充填後、パネル端面が水６の層に達するように液面より２００μｍ以上下降させる。そして、吸引口１ｂから真空引きを行うことで、パネル１内に水６を充填しつつ、着色オイル５の液面を上昇させ、画素部に着色オイル５を充填する。液面の上昇速度は、吸引口１ｂより真空引きする時の真空圧により適宜調整可能である。
さらに、図１２に示すように、液面を最適速度で上昇させ、吸引口１ｂまで達した後も吸引を実施しておき、トラップ容器４に着色オイル５の排出が終了したときを終点とする。その後、図１３に示すように、着色オイル５／水６の充填が終了した後、ジョイント２を外す。その後、パネル１を適宜加圧し、注入口１ａ／吸引口１ｂを紫外線硬化樹脂等の封止材７で封止する。
従って、上記実施の形態２によるエレクトロウェッティングデバイスの製造方法によれば、実施の形態１と同様に、従来の真空注入方式のＬＣＤパネルと同プロセスの設備を１００％有効に活用して、パネル１内で液面を上昇しながら着色オイル５／水６を順次充填することで、大規模な生産設備や、複雑なパネル組み立てプロセスを必要としなく、低コストであり、かつ生産性の高いものが得られる。
１ パネル、１ａ 注入口、１ｂ 吸引口、１ｃ 隔壁リブ、１ｄ 外周シール、２ ジョイント、３ バルブ、４ トラップ容器、５ 着色オイル、６ 水、７ 封止材、８ 水槽。

Claims (3)

  1. エレクトウェッティングデバイスの製造方法であって、
    注入口と吸引口とを備えたパネルの前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程と、
    前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程と、
    前記パネル内の前記着色オイルの液面を上昇させ、前記吸引口まで達した後も吸引を実施して、前記吸引口に接続された真空系に備えられたトラップ容器に前記着色オイルを排出させることで、前記パネル内の前記着色オイルと前記水の充填を終了する工程と、
    前記パネルを加圧し、前記注入口と前記吸引口を紫外線硬化樹脂で封止する工程と
    を有するエレクトロウェッティングデバイスの製造方法。
  2. 請求項１に記載のエレクトロウェッティングデバイスの製造方法において、
    前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程は、前記パネルの前記注入口に接続されたバルブを着色オイル導入側配管系に切り替え、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填し、
    前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程は、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記バルブを水導入側配管系に切り替え、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する
    ことを特徴とするエレクトロウェッティングデバイスの製造方法。
  3. 請求項１に記載のエレクトロウェッティングデバイスの製造方法において、
    前記パネル内に着色オイルを導入して充填する工程は、前記パネルを水面上で着色オイルが層分離している水槽に下降させて前記着色オイル層内で停止させ、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に着色オイルを導入して充填し、
    前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する工程は、前記パネル内に前記着色オイルを充填した後、前記パネル端面が前記水層に達するように下降させ、前記吸引口から真空引きを行うことで、前記パネル内に水を充填しつつ、前記着色オイルの液面を上昇させて前記パネルの画素部に前記着色オイルを充填する
    ことを特徴とするエレクトロウェッティングデバイスの製造方法。
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