JP2013084942A - 三次元ナノ構造体アレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の三次元ナノ構造体アレイの製造方法は、基板を提供する第一ステップと、前記基板の表面にマスク層を設置する第二ステップと、前記マスク層を加工して、前記マスク層の表面に、並列した複数のストリップ状の突部構造を形成し、隣接する該ストリップ状の突部構造の間に、凹溝を形成させる第三ステップと、前記マスク層をエッチングして、前記凹溝と対応する領域における前記基板の表面を露出させる第四ステップと、エッチングによって、前記隣接するストリップ状の突部構造を二つずつ互いに接近させて、更に接触させ、三次元ナノ構造体予備成形物を形成する第五ステップと、前記マスク層を取り除き、三次元ナノ構造体アレイを形成する第六ステップと、を含む。
【選択図】図4
Description
図1及び図2を参照すると、本発明の三次元ナノ構造体アレイ10は、基板100と、該基板100の少なくとも一つの表面に設置される複数の三次元ナノ構造体102と、を含み、且つ、隣接する二つの三次元ナノ構造体102は、間隔をおいて配列されるか、又は、隣接する二つの三次元ナノ構造体102は、間隔を有さず、緊密に接触して配列されても良い。各々の三次元ナノ構造体102は、‘M’型の形状を呈する。
P=λ+λ0 (1)
図6及び図7を参照すると、本発明の第二実施例は、三次元ナノ構造体アレイ20を提供する。該三次元ナノ構造体アレイ20は、前記基板100と該基板100の少なくとも一つの表面に設置される三次元ナノ構造体202を含む。前記三次元ナノ構造体202は、M型の構造である。第二実施例において提供された三次元ナノ構造体アレイ20と、前記第一実施例において提供された三次元ナノ構造体アレイ10との構造は、基本的に同じであるが、第二実施例における、複数の前記三次元ナノ構造体アレイ20はその中心から並列に延伸し、複数の同心円形構造を形成する。複数の前記三次元ナノ構造体202の横断面はM型である。また、該三次元ナノ構造体202は、前記基板100の表面を全て、或いは一部被覆しても良い。
図8及び図9を参照すると、本発明の第三実施例は、三次元ナノ構造体アレイ30を提供する。該三次元ナノ構造体アレイ30は、前記基板100と該基板100の少なくとも一つの表面に設置される三次元ナノ構造体302を含む。前記三次元ナノ構造体302はM型の構造である。第三実施例において提供される三次元ナノ構造体アレイ30と、前記第一実施例において提供される三次元ナノ構造体アレイ10との構造は、基本的に同じであるが、前記第三実施例において、前記複数三次元ナノ構造体アレイ30はその中心から並列に延伸し、複数の同心四角形構造を形成する。複数の前記三次元ナノ構造体302の横断面はM型である。該三次元ナノ構造体302は、前記基板100の表面を全て、或いは一部被覆しても良い。
100 基板
100a 基板100の表面
101 基板
102、202、302、 三次元ナノ構造体
1021 三次元ナノ構造体予備成形物
1022 第一突部
1024 第二突部
1022a、1024a、 第一面
1022b、1024b、 第二面
1026 第一溝
1028 第二溝
103 マスク層
1031 突部構造
1033 溝
1032 第一マスク層
1034 第二マスク層
200 金型
Claims (1)
- 基板を提供する第一ステップと、
前記基板の表面にマスク層を設置する第二ステップと、
前記マスク層を加工して、前記マスク層の表面に、並列した複数のストリップ状の突部構造を形成し、隣接する該ストリップ状の突部構造の間に、凹溝を形成させる第三ステップと、
前記マスク層をエッチングして、前記凹溝と対応する領域における前記基板の表面を露出させる第四ステップと、
エッチングによって、前記隣接するストリップ状の突部構造を二つずつ互いに接近させて、更に接触させ、三次元ナノ構造体予備成形物を形成する第五ステップと、
前記マスク層を取り除き、三次元ナノ構造体アレイを形成する第六ステップと、
を含むことを特徴とする三次元ナノ構造体アレイの製造方法。
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