JP2013084536A - Active species emission unit and active species emission device employing the same - Google Patents

Active species emission unit and active species emission device employing the same Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve both an increased active species emission amount and a reduced size by achieving high density and high output corona discharge while increasing insulation properties between a needle electrode and a counter electrode to maintain safety, so that an active species emission is caused in a wider range.SOLUTION: An active species emission unit includes: a case having a cylindrical or box shape; a discharge electrode, a tip side of which is inserted through an opening at one end of the case into the case; and semiconducting parts arranged to face each other in the vicinity of the tip side of the discharge electrode. The semiconducting parts have a hole arranged at a portion facing the tip side of the discharge electrode. Voltage is applied from a power source unit to the semiconducting parts and the discharge electrode to cause an active species emission by a corona discharge.

Description

本発明は、室内空間の除菌や脱臭を行う、コロナ放電を利用した活性種発生装置に関するものである。   The present invention relates to an active species generator that uses corona discharge to sterilize and deodorize indoor spaces.

従来、コロナ放電を利用して、オゾンやマイナスイオンなどを発生させる装置が知られている。その構成は、針電極と、アース電極とを有し、前記針電極とアース電極間に高電圧を印加して、針電極先端部においてコロナ放電を生起させ、このコロナ放電により、オゾンおよびマイナスイオンを発生させるものであった(例えば特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, devices that generate ozone, negative ions, etc. using corona discharge are known. The configuration includes a needle electrode and a ground electrode, and a high voltage is applied between the needle electrode and the ground electrode to cause a corona discharge at the tip of the needle electrode. By this corona discharge, ozone and negative ions are generated. (For example, refer to Patent Document 1).

また、空気中にラジカルなどの活性種を供給し、この活性種による清浄化作用により、この空気を清浄化する活性種発生装置が開発されている。   In addition, active species generators have been developed that supply active species such as radicals into the air and purify the air by the cleaning action of the active species.

従来のこの種、活性種発生装置は、本体ケースと、針電極と、この針電極に対向する対向電極と、これらの針電極と対向電極とに電圧を印加する電源と、対向電極の表面に設けた吸着手段とを備えた構成であった。   This kind of active species generating device has a main body case, a needle electrode, a counter electrode facing the needle electrode, a power source for applying a voltage to the needle electrode and the counter electrode, and a surface of the counter electrode. It was the structure provided with the provided adsorption | suction means.

特開2004−18348号公報JP 2004-18348 A

上記従来の特許文献1に記載の装置では、放電のスパークを防止するために、放電電極としての針電極と対向電極としてのアース電極の距離を離す必要があった。また、針電極とアース電極を平行に配置しているため、イオン風の発生方向と、コロナ放電の発生部位がずれ、生成したオゾンなどの活性種を効率的に拡散させることができず、活性種の発生量を増やすことは困難であった。   In the conventional device described in Patent Document 1, it is necessary to increase the distance between the needle electrode as the discharge electrode and the ground electrode as the counter electrode in order to prevent the spark of the discharge. In addition, since the needle electrode and the earth electrode are arranged in parallel, the direction of ionic wind generation and the site of corona discharge are shifted, and the generated active species such as ozone cannot be efficiently diffused. It was difficult to increase the amount of seeds generated.

そこで、本発明は、放電のスパークを防止しつつ放電電極と対向電極の距離を近づけ、活性種の発生量を増やすことができる活性種発生ユニットおよび活性種発生装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an active species generating unit and an active species generating apparatus capable of increasing the amount of active species generated by reducing the distance between the discharge electrode and the counter electrode while preventing discharge sparks. .

そして、この目的を達成するために本発明は、筒状または箱状のケース部と、このケース部の一端開口部からこのケース部内に、その先端側を挿入した放電電極と、前記放電電極の先端側近傍に対向配置した半導電部とを備え、前記半導電部は、前記放電電極の先端側に対向する部分に配置した孔部を有し、前記半導電部と前記放電電極には電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成とし、これにより所期の目的を達成するものである。   In order to achieve this object, the present invention provides a cylindrical or box-like case portion, a discharge electrode having its tip end inserted into the case portion from one end opening of the case portion, and the discharge electrode A semiconductive portion disposed in the vicinity of the distal end side, the semiconductive portion having a hole disposed in a portion facing the distal end side of the discharge electrode, and the semiconductive portion and the discharge electrode include a power source. A configuration is adopted in which active species are generated by corona discharge by applying a voltage from the section, thereby achieving the intended purpose.

以上のように本発明は、筒状または箱状のケース部と、このケース部の一端開口部からこのケース部内に、その先端側を挿入した放電電極と、前記放電電極の先端側近傍に対向配置した半導電部とを備え、前記半導電部は、前記放電電極の先端側に対向する部分に配置した孔部を有し、前記半導電部と前記放電電極には電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成としたものであるので、放電のスパークを防止しつつ放電電極と対向電極の距離を近づけ、活性種の発生量を増やすことができる。   As described above, the present invention has a cylindrical or box-like case portion, a discharge electrode with the tip side inserted into the case portion from one end opening of the case portion, and the vicinity of the tip side of the discharge electrode. A semiconductive portion, and the semiconductive portion has a hole disposed at a portion facing the tip side of the discharge electrode, and a voltage is applied to the semiconductive portion and the discharge electrode from a power supply portion. Since the active species are generated by corona discharge, the distance between the discharge electrode and the counter electrode can be reduced and the generation amount of active species can be increased while preventing sparking of the discharge.

すなわち、本発明においては、半導電部と放電電極に電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成としたことにより、半導電部と放電電極の距離を近くでき、その結果放電電流が増えるため、活性種の発生量を増やすことができる。   That is, in the present invention, by applying a voltage from the power supply unit to the semiconductive portion and the discharge electrode to generate active species by corona discharge, the distance between the semiconductive portion and the discharge electrode can be reduced. Since the discharge current increases, the amount of active species generated can be increased.

また、半導電部が前記放電電極の先端側近傍に対向する部分に孔部を有し、この孔部周辺を放電域とし孔部周辺で活性種を発生するため、この孔部を通過する空気に発生した活性種を供給でき、イオン風を効率的に利用して、発生した活性種を拡散できるものである。また、半導電部や放電電極を複数設ける必要がなく、装置を小型化できるものである。   In addition, since the semiconductive portion has a hole in a portion facing the vicinity of the tip end side of the discharge electrode, and the periphery of the hole is used as a discharge region and active species is generated around the hole, air passing through the hole The active species generated can be supplied, and the generated active species can be diffused by utilizing the ionic wind efficiently. Further, it is not necessary to provide a plurality of semiconductive portions and discharge electrodes, and the apparatus can be miniaturized.

また、半導電部と放電電極に電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成としたことによっても、半導電部と放電電極の距離を近くでき、装置をより小型化できるものである。   In addition, by applying a voltage from the power supply unit to the semiconductive portion and the discharge electrode to generate active species by corona discharge, the distance between the semiconductive portion and the discharge electrode can be reduced, and the device can be further downsized. Is.

また、本発明においては、筒形状のケース部の一端開口部からこのケース部内に、その先端側を挿入した放電電極と、前記放電電極の先端側近傍に対向配置した半導電部を設けたことにより、放電電極と半導電部間に高電圧が印加された場合でも、放電電極と半導電部間を流れる電流は、放電電極から半導電部の孔部端面、すなわち内周側から半導電部内を面方向に流れた後に、半導電部の外周側端面(電源接続部)へと到達することになる。   Further, in the present invention, a discharge electrode in which the tip end side is inserted into the case portion from one end opening of the cylindrical case portion, and a semiconducting portion disposed opposite to the vicinity of the tip end side of the discharge electrode are provided. As a result, even when a high voltage is applied between the discharge electrode and the semiconductive portion, the current flowing between the discharge electrode and the semiconductive portion is the end surface of the hole from the discharge electrode to the semiconductive portion, that is, from the inner circumference side to the semiconductive portion. After flowing in the surface direction, it reaches the outer peripheral side end surface (power connection portion) of the semiconductive portion.

つまり、放電電極と半導電部間に高電圧が印加された場合でも、放電電極と半導電部間の沿面距離が長くなり、電子が半導電部を介してより長い距離にわたって流れることになるため、瞬間的な短絡による火花放電が起こりにくく、その結果として、安全性の向上が図れるものである。   That is, even when a high voltage is applied between the discharge electrode and the semiconductive portion, the creepage distance between the discharge electrode and the semiconductive portion is increased, and electrons flow over a longer distance through the semiconductive portion. The spark discharge due to the momentary short circuit is unlikely to occur, and as a result, the safety can be improved.

また、放電電極と半導電部間の沿面距離が長くなることにより、放電範囲が広がり、より広い範囲から活性種が生成するため、安全性の向上が図れるものである。また、集中的に高濃度の活性種が生成することがないため、半導電部の劣化が起こらず持続的に活性種を放出することができるものである。   Moreover, since the creeping distance between the discharge electrode and the semiconductive portion is increased, the discharge range is widened, and active species are generated from a wider range, so that safety can be improved. Further, since active species with high concentration are not generated intensively, the active species can be released continuously without causing deterioration of the semiconductive portion.

さらに、活性種として過酸化水素を発生させる場合には水が必要である。半導電部内に電流が流れることによって、電気抵抗によって半導電部が発熱するため、半導電部近傍の空気が暖められる。この暖められた空気には、周辺の暖められていない空気から相対湿度差によって水分が移動し、暖められた空気内の保有水分は増加する。特に、半導電部の孔部周辺には多くの電流が流れているため発熱量が多く、空気の保有水分量が増加している。孔部周辺の水分量の増加した領域において、コロナ放電を生じさせることによって、空気中の水分を有効に利用して活性種の量を増やすという効果を奏する活性種発生ユニットおよびこれを用いた活性種発生装置を提供できる。   Furthermore, water is required when hydrogen peroxide is generated as an active species. When the current flows in the semiconductive portion, the semiconductive portion generates heat due to electrical resistance, so that the air near the semiconductive portion is warmed. Moisture moves to the warmed air from the surrounding unwarmed air due to the relative humidity difference, and the retained moisture in the warmed air increases. In particular, since a large amount of current flows around the hole of the semiconductive portion, the amount of heat generated is large, and the amount of moisture retained in the air is increasing. An active species generating unit that produces an effect of increasing the amount of active species by effectively using moisture in the air by generating corona discharge in a region where the amount of water around the hole is increased, and an activity using the active species generating unit A seed generator can be provided.

本発明の実施の形態1における活性種発生装置を設置する屋内の斜視図1 is a perspective view of an indoor area where an active species generator according to Embodiment 1 of the present invention is installed. 同活性種発生装置の断面図Cross section of the active species generator 同活性種発生装置の断面図Cross section of the active species generator 同活性種発生ユニットの断面図Cross-sectional view of the same active species generation unit 同活性種発生ユニットの分解斜視図Exploded perspective view of the same active species generating unit 同活性種発生ユニットの導電部および絶縁性基板の分解斜視図Disassembled perspective view of conductive part and insulating substrate of same active species generating unit 同活性種発生装置における、半導電部の表面抵抗率とスパーク距離の関係を示すグラフGraph showing the relationship between the surface resistivity of the semiconductive part and the spark distance in the same active species generator 同活性種発生装置における、放電距離と電圧の関係を示すグラフGraph showing the relationship between discharge distance and voltage in the active species generator 同活性種発生ユニットの半導電部および導電部の電子の流れ方の概念図Conceptual diagram of how electrons flow in the semiconductive part and conductive part of the same active species generating unit 同活性種発生ユニットの導電部および絶縁性基板を切断した断面図Sectional view in which the conductive part and insulating substrate of the active species generation unit are cut 同活性種発生装置におけるプラスコロナ放電の概念を示す図Diagram showing the concept of positive corona discharge in the same active species generator 同活性種発生装置におけるマイナスコロナ放電の概念を示す図The figure which shows the concept of the minus corona discharge in the same activated species generator 同活性種発生装置における絶縁性基板および吸着手段部分の側断面図Side sectional view of insulating substrate and adsorption means in the same active species generator 同活性種発生装置における絶縁性基板、吸着手段、放電電極、対向電極、支持部材を示す側断面図Side sectional view showing insulating substrate, adsorption means, discharge electrode, counter electrode, and support member in the same active species generator 同活性種発生装置における絶縁性基板、放電電極、支持部材を示す斜視図A perspective view showing an insulating substrate, a discharge electrode, and a support member in the active species generator 絶縁性基板、対向電極、支持部材の構成を示す展開図Development view showing configurations of insulating substrate, counter electrode, and support member 絶縁性基板を対向電極側から見たときの平面図Top view when the insulating substrate is viewed from the counter electrode side 同活性種発生装置におけるプラスコロナ放電の概念を示す図Diagram showing the concept of positive corona discharge in the same active species generator 同活性種発生装置における絶縁性基板、吸着手段、放電電極、対向電極、支持部材を示す側断面図Side sectional view showing insulating substrate, adsorption means, discharge electrode, counter electrode, and support member in the same active species generator 同活性種発生装置におけるマイナスコロナ放電の概念を示す図The figure which shows the concept of the minus corona discharge in the same activated species generator

(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1)
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1に示すように、部屋1の床2上には、活性種発生装置3が配置されている。この活性種発生装置3は、部屋内の空気中にラジカルなどの活性種を供給することで、この活性種による清浄化作用により、空気を清浄化するものである。また、活性種を含む空気を衣類やカーテン等にあてることによって、衣類やカーテンの脱臭・除菌などの効果が期待できる。   As shown in FIG. 1, an active species generator 3 is arranged on the floor 2 of the room 1. The active species generator 3 supplies the active species such as radicals to the air in the room, and thereby cleans the air by the cleaning action of the active species. In addition, by applying air containing active species to clothes, curtains, etc., effects such as deodorization and sterilization of clothes and curtains can be expected.

図2は、図1における活性種発生装置3の断面図を示している。図3は、図2とは部品配置が異なる活性種発生装置3の断面図を示している。   FIG. 2 shows a cross-sectional view of the active species generator 3 in FIG. FIG. 3 shows a cross-sectional view of the active species generator 3 having a different component arrangement from that of FIG.

活性種発生装置3は、吸気口4と排気口5を有する本体ケース6と、この本体ケース6内の送風手段7および活性種発生ユニット8とを備えている。   The active species generator 3 includes a main body case 6 having an intake port 4 and an exhaust port 5, a blowing means 7 and an active species generation unit 8 in the main body case 6.

本体ケース6は、略中央に位置する仕切板部9によって、吸気口4と排気口5とを連通する風路部10と、空間部11とに分けられている。   The main body case 6 is divided into an air passage portion 10 that communicates the intake port 4 and the exhaust port 5 and a space portion 11 by a partition plate portion 9 that is positioned substantially in the center.

送風手段7は、本体ケース6の仕切板部9に固定された電動機12と、この電動機12によって回転する羽根部13と、この羽根部13を囲むケーシング部14とから形成している。ケーシング部14の吸込口15は、本体ケース6の吸気口4に対向している。送風手段7によって、吸気口4から吸い込んだ空気は、活性種発生ユニット8の一部を介して、排気口5へ送風されるものである。   The air blowing means 7 is formed of an electric motor 12 fixed to the partition plate portion 9 of the main body case 6, a blade portion 13 that is rotated by the electric motor 12, and a casing portion 14 that surrounds the blade portion 13. The suction port 15 of the casing part 14 faces the intake port 4 of the main body case 6. The air sucked from the intake port 4 by the blowing means 7 is blown to the exhaust port 5 through a part of the active species generating unit 8.

なお、図3では活性種発生ユニット8を送風経路に沿って上方に開口部を備える位置にしているが、発生する活性種が風にのって室内に送風されればよく、活性種発生ユニットの位置や向きはこの場所には限定されない。例えば活性種発生ユニット8自体は本体ケース6内の送風経路外に設置し、活性種の放出口を送風経路に備える配置でもよい。活性種発生ユニット8を送風手段7の上流に配置してもよい。また、活性種発生ユニット8を複数備えてもよい。   In FIG. 3, the active species generating unit 8 is positioned so as to have an opening upward along the air blowing path. However, the active species generating unit 8 only needs to be blown into the room on the wind. The position and orientation of is not limited to this location. For example, the active species generating unit 8 itself may be disposed outside the air blowing path in the main body case 6 and may be provided with an active species discharge port in the air blowing path. The active species generating unit 8 may be arranged upstream of the air blowing means 7. A plurality of active species generating units 8 may be provided.

活性種発生ユニット8は、図4〜図6に示すように絶縁性基板16と、絶縁性基板16の一方面で、孔部21に対向して配置された放電電極17と、絶縁性基板16の孔部21の内面と絶縁性基板16の放電電極17側の表面とに設けた半導電性の被覆18と、この半導電性の被覆18の外周部を覆うごとく設けた導電部23と、この導電部23と電気的に接続された電源接続部19と、この電源接続部19および放電電極17に電圧を印加する電源部20(図2、図3に記載)とから形成している。ここで半導電部は、絶縁性基板16と半導電性の被覆18で構成されている。   As shown in FIGS. 4 to 6, the active species generating unit 8 includes an insulating substrate 16, a discharge electrode 17 disposed on one surface of the insulating substrate 16 so as to face the hole portion 21, and the insulating substrate 16. A semiconductive coating 18 provided on the inner surface of the hole 21 and the surface of the insulating substrate 16 on the discharge electrode 17 side, and a conductive portion 23 provided so as to cover the outer periphery of the semiconductive coating 18; The power source connecting portion 19 is electrically connected to the conductive portion 23, and the power source portion 20 (described in FIGS. 2 and 3) for applying a voltage to the power source connecting portion 19 and the discharge electrode 17 is formed. Here, the semiconductive portion is composed of an insulating substrate 16 and a semiconductive coating 18.

なお、孔部21を設けなくても活性種成分を増やすことは可能である。従来の特許文献に記載のように、針電極とアース電極を平行に配置した場合、コロナ放電領域は、針電極とからアース電極側に偏って生成するため、放電領域が小さくなる。一方、本発明のように、放電電極と半導電部を略垂直方向に対向配置した場合、針からみて円錐状に広がりを持ったコロナ放電領域が形成されるため、コロナ放電領域の範囲が広がり、より多くの活性種を発生させることができる。孔部21を設けた場合には、孔部21の端面に向かってコロナ放電が発生するため、孔部21の直径を変えることによってコロナ放電の広がり方を変化させることができる。   In addition, it is possible to increase the active species component without providing the hole 21. As described in the conventional patent document, when the needle electrode and the ground electrode are arranged in parallel, the corona discharge region is generated biased toward the ground electrode from the needle electrode, so the discharge region becomes small. On the other hand, when the discharge electrode and the semiconductive portion are arranged to face each other in a substantially vertical direction as in the present invention, a corona discharge region having a conical extension as viewed from the needle is formed, so the range of the corona discharge region is widened. , More active species can be generated. When the hole portion 21 is provided, corona discharge is generated toward the end surface of the hole portion 21, and therefore, how the corona discharge spreads can be changed by changing the diameter of the hole portion 21.

絶縁性基板16は、図5、図6に示すごとく、平板形状で略中央に開口である孔部21を有し、絶縁性基板16の端部は、支持部材22を介して本体ケースの仕切板部9に固定されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the insulating substrate 16 has a flat plate-like hole portion 21 having an opening at the center, and the end portion of the insulating substrate 16 is partitioned by a support member 22. It is fixed to the plate part 9.

支持部材22および固定蓋24の組立て時の形状は、空気が直線的に通過可能な筒形状としても良いし、空気を側面から導入して上面から排出する開口部を備えた箱形状としてもよい。図2は箱形状として、下面から空気を導入し、側面から排出する構成である。図3は、筒形状として下面から空気を導入し、上面から排出する構成である。   The shape of the support member 22 and the fixed lid 24 when assembled may be a cylinder shape through which air can pass linearly, or a box shape having an opening through which air is introduced from the side surface and discharged from the upper surface. . FIG. 2 shows a configuration in which air is introduced from the lower surface and discharged from the side surface as a box shape. FIG. 3 shows a configuration in which air is introduced from the lower surface and discharged from the upper surface as a cylindrical shape.

図3の部品配置では、孔部21は、本体ケース6の排気口5に対向しており、送風手段7によって、吸気口4から吸い込んだ空気の一部は、放電電極17の周囲を通り、孔部21を介して、排気口5へ送風されるものである。   In the component arrangement of FIG. 3, the hole portion 21 faces the exhaust port 5 of the main body case 6, and a part of the air sucked from the intake port 4 by the air blowing means 7 passes around the discharge electrode 17, The air is sent to the exhaust port 5 through the hole 21.

図4には、活性種発生ユニット8の断面図が示されている。図5は、活性種発生ユニット8の分解斜視図を示している。図6は、活性種発生ユニット8の導電部23および絶縁性基板16の分解斜視図を示している。   FIG. 4 shows a cross-sectional view of the active species generating unit 8. FIG. 5 shows an exploded perspective view of the active species generating unit 8. FIG. 6 shows an exploded perspective view of the conductive portion 23 and the insulating substrate 16 of the active species generating unit 8.

活性種発生ユニット8は、上述のごとく絶縁性基板16と、この絶縁性基板16の一方面で、孔部21に対向して配置された放電電極17と、絶縁性基板16の孔部21の内面と絶縁性基板16の放電電極17側の表面とに設けた、電流を流すことによって発熱して近傍の水分量を増加させる効果を有する半導電性の被覆18と、この半導電性の被覆18の外周部を覆うごとく電気的に接続されるように設けた導電部23と、この導電部23と電気的に接続された電源接続部19と、電源部20を設けたものである。電源接続部19は、SUSなどのステンレス、アルミ、金、銀、銅などで形成されている。なお、これらに限られること無く、導電性の素材であれば良い。   As described above, the active species generating unit 8 includes the insulating substrate 16, the discharge electrode 17 disposed opposite to the hole 21 on one surface of the insulating substrate 16, and the holes 21 of the insulating substrate 16. A semiconductive coating 18 provided on the inner surface and the surface on the discharge electrode 17 side of the insulating substrate 16 and having an effect of increasing the amount of moisture in the vicinity by generating heat by passing an electric current, and the semiconductive coating 18 is provided with a conductive portion 23 provided so as to be electrically connected so as to cover the outer peripheral portion of 18, a power supply connecting portion 19 electrically connected to the conductive portion 23, and a power supply portion 20. The power connection 19 is made of stainless steel such as SUS, aluminum, gold, silver, copper, or the like. In addition, it is not restricted to these, What is necessary is just a conductive material.

活性種発生ユニット8は、放電電極17を保持する支持部材22と、絶縁性基板16と固定蓋24を備えている。支持部材22は、仕切板部9(図2、図3に記載)に固定されている。   The active species generation unit 8 includes a support member 22 that holds the discharge electrode 17, an insulating substrate 16, and a fixed lid 24. The support member 22 is fixed to the partition plate portion 9 (described in FIGS. 2 and 3).

絶縁性基板16は、四角平板形状であり、略中央に開口する孔部21を有している。なお、絶縁性基板の形状は円形や多角形であってもよい。   The insulating substrate 16 has a rectangular flat plate shape, and has a hole 21 that is opened substantially at the center. Note that the shape of the insulating substrate may be circular or polygonal.

絶縁性基板16は、オゾンやラジカルで腐食されにくい無機系のもの、あるいは、フッ素樹脂であれば良く、セラミック基板であっても、フッ素などの樹脂基板であっても良い。セラミック基板としては、Si、Al、Zn、Ti、Mgを含む酸化物あるいは複合酸化物、炭化物、窒化物などを用いることができ、コストと入手のしやすさからアルミナが好適である。なお、絶縁性基板16の表面抵抗率は、1010Ω/□以上であることが望ましい。 The insulating substrate 16 may be an inorganic substrate that is not easily corroded by ozone or radicals, or a fluororesin, and may be a ceramic substrate or a resin substrate such as fluorine. As the ceramic substrate, an oxide containing Si, Al, Zn, Ti, Mg, a composite oxide, a carbide, a nitride, or the like can be used. Alumina is preferable from the viewpoint of cost and availability. The surface resistivity of the insulating substrate 16 is preferably 10 10 Ω / □ or more.

放電電極17は、棒形状あるいは針形状で、支持部材22の底面から垂直方向に延び、絶縁性基板16の一方面に対向している。支持部材22は多数の開口を備えて通気可能であってもよい。そして、放電電極17の先端は、絶縁性基板16から数ミリメートル〜数十ミリメートル程度の所定距離を隔てて、孔部21の外で、かつ孔部21の略中心軸上に位置するものである。略中心軸上とは、孔部21の中心を通り、絶縁性基板16に対して垂直な軸上を示す。放電電極17の材質は、コロナ放電をさせるSUSなどのステンレスやタングステン、チタン、Ni−Cr合金などである。放電可能であれば、炭素・スズ・SiCなどを含む電極を用いてもよい。   The discharge electrode 17 has a rod shape or a needle shape, extends in the vertical direction from the bottom surface of the support member 22, and faces one surface of the insulating substrate 16. The support member 22 may be ventilated with multiple openings. The tip of the discharge electrode 17 is located outside the hole 21 and on the substantially central axis of the hole 21 with a predetermined distance of several millimeters to several tens of millimeters from the insulating substrate 16. . The term “substantially on the central axis” refers to an axis that passes through the center of the hole 21 and is perpendicular to the insulating substrate 16. The material of the discharge electrode 17 is stainless steel such as SUS that causes corona discharge, tungsten, titanium, Ni—Cr alloy, or the like. If discharge is possible, an electrode containing carbon, tin, SiC, or the like may be used.

なお、放電電極の先端部は鋭利な円錐状、円柱状、半球状などの形状を利用することができる。鋭利な先端を用いた場合、放電集中が起こりやすいため、比較的低い電圧でコロナ放電を行うことができる。針先の形状を、円柱状あるいは半球状にした場合は、特定の部分に電荷集中が起こらない。そのため、針形状に比べると高い電圧を印加しないとコロナ放電が発生しないが、電荷が分散した状態でコロナ放電が継続されることから、針形状に比べて長時間劣化しにくい放電電極とすることができる。これは、鋭利な針先には電荷集中によって金属の溶融やほこりの集中付着が起こりやすいためである。   The tip of the discharge electrode can use a sharp conical shape, a cylindrical shape, a hemispherical shape, or the like. When a sharp tip is used, since discharge concentration is likely to occur, corona discharge can be performed at a relatively low voltage. When the shape of the needle tip is cylindrical or hemispherical, charge concentration does not occur in a specific portion. Therefore, corona discharge does not occur unless a high voltage is applied compared to the needle shape, but since the corona discharge is continued with the charges dispersed, the discharge electrode should be less likely to deteriorate for a long time than the needle shape. Can do. This is because the sharp needle tip is likely to cause melting of the metal and concentration of dust due to the concentration of charges.

半導電性の被覆18は、図6に示すように、絶縁性基板16の一方面側の表面、つまり、放電電極17と対向した面と、絶縁性基板16の孔部21の内面とに設けられている。放電電極17側から見ると、半導電性の被覆18の形状はリング形状である。半導電性の被覆18の表面抵抗率は、106Ω/□から1010Ω/□であることが望ましい。 As shown in FIG. 6, the semiconductive coating 18 is provided on the surface on one side of the insulating substrate 16, that is, on the surface facing the discharge electrode 17 and the inner surface of the hole 21 of the insulating substrate 16. It has been. When viewed from the discharge electrode 17 side, the shape of the semiconductive coating 18 is a ring shape. The surface resistivity of the semiconductive coating 18 is preferably 10 6 Ω / □ to 10 10 Ω / □.

表面抵抗率の測定方法は以下の2種類の方法があり、本実施の形態では方法1で行った。   There are the following two types of methods for measuring the surface resistivity. In this embodiment, method 1 was used.

方法1は、円柱状の主電極と主電極の周りを取り囲むようにリング状の対電極をそれぞれの距離が一定となるように試験片上に置き、主電極と試験片の間には接触抵抗を減らすために、導電性ゴムを挟む。次に主電極はアース側、対電極には1000Vを印加し、その間に流れる電流を測定し表面抵抗Rを算出し、試験片上で電流の流れる方向の距離Lと、電流の流れ方向と垂直方向の電極の長さWから表面抵抗率ρsを求める方法である。
ρs=R×L/W
表面抵抗率の単位は[Ω/□]または単に[Ω]を使用するが、本特許では、単なる抵抗値との区別が容易な[Ω/□]を用いている。
In Method 1, a cylindrical main electrode and a ring-shaped counter electrode are placed on a test piece so as to surround the main electrode, and a contact resistance is set between the main electrode and the test piece. To reduce, sandwich conductive rubber. Next, the main electrode is applied to the ground side, and 1000 V is applied to the counter electrode, the current flowing between them is measured to calculate the surface resistance R, the distance L in the direction of current flow on the test piece, and the direction perpendicular to the current flow direction The surface resistivity ρs is obtained from the electrode length W.
ρs = R × L / W
The unit of surface resistivity is [Ω / □] or simply [Ω], but in this patent, [Ω / □] is used, which is easy to distinguish from a simple resistance value.

方法2は、試験片の両側に平行に一定の距離を置いて同じ長さの導電性テープを貼り付け、それぞれのテープは方法1における主電極と対電極となり、同様に主電極となる側にはアースへ、対電極となる側には1000Vを印加して、その間に流れる電流から算出した表面抵抗Rと、導電性テープ間の距離Lと、導電性テープの長さWより表面抵抗率を測定する。   Method 2 is to apply a conductive tape of the same length at a certain distance in parallel to both sides of the test piece, and each tape becomes the main electrode and the counter electrode in Method 1, and on the side that becomes the main electrode as well. Is applied to the ground and 1000 V is applied to the counter electrode side, and the surface resistance R is calculated from the surface resistance R calculated from the current flowing between them, the distance L between the conductive tapes, and the length W of the conductive tape. taking measurement.

ここで、図7、図8を用いて、活性種発生量が増加する仕組みを説明する。   Here, a mechanism for increasing the amount of active species generated will be described with reference to FIGS.

図7に、本実施例の活性種発生ユニットの構成において、放電電極17と電源接続部19に−8kVを印加した際の、半導電性の被覆18の表面抵抗率とスパーク距離の関係を示す。表面抵抗率は対数表示であり、スパーク距離は、放電電極17と半導電性の被覆18の最短空間距離である。表面抵抗率が106Ω/□より低い範囲ではスパーク距離は6mmである。つまり、活性種発生ユニットとしては、放電電極17と半導電性の被覆18を6mmより離す構造にする必要があり、装置を小型化することができない。 FIG. 7 shows the relationship between the surface resistivity of the semiconductive coating 18 and the spark distance when -8 kV is applied to the discharge electrode 17 and the power supply connecting portion 19 in the configuration of the active species generating unit of this example. . The surface resistivity is expressed in logarithm, and the spark distance is the shortest spatial distance between the discharge electrode 17 and the semiconductive coating 18. In the range where the surface resistivity is lower than 10 6 Ω / □, the spark distance is 6 mm. That is, the active species generating unit needs to have a structure in which the discharge electrode 17 and the semiconductive coating 18 are separated from each other by 6 mm, and the apparatus cannot be reduced in size.

一方、表面抵抗率が106Ω/□以上の範囲では、スパーク距離は0mmであり、スパークは発生しない。従って、放電電極17と半導電性の被覆18の距離を6mm以下にすることができ、活性種発生ユニットの小型化を実現できる。放電電極17の先端側近傍に半導電性の被覆18を備えるとは、例えば−8kVを印加した場合、放電電極17と半導電性の被覆18の距離を6mm以下にした構成であり、この距離の6mmは、印加電圧により設定される。 On the other hand, in the range where the surface resistivity is 10 6 Ω / □ or more, the spark distance is 0 mm and no spark is generated. Therefore, the distance between the discharge electrode 17 and the semiconductive coating 18 can be 6 mm or less, and the active species generating unit can be downsized. The provision of the semiconductive coating 18 in the vicinity of the distal end side of the discharge electrode 17 means that, for example, when −8 kV is applied, the distance between the discharge electrode 17 and the semiconductive coating 18 is 6 mm or less. Of 6 mm is set by the applied voltage.

図8に、放電電流を一定にした場合の、電圧に対する放電距離の関係を示す。放電距離は、放電電極と半導電部の最短距離である。放電電流は放電の強さを示し、放電電流が増えると活性種の発生量は増加する。放電距離が狭い条件では、わずかに電圧をあげるだけで放電電流を増加させ、活性種発生量を増やすことができる。例えば、放電距離3mmにおいては、電圧を−3.5kVから−4.0kVに0.5kV増加させることで、放電電流を5μAから30μAまで、約6倍増加させることができる。一方、放電距離が10mmの場合、電圧を−6.1kVから−6.6kVに0.5kV増加させても、放電電流は5μAから10μAに変化するのみであり、約2倍しか増加しない。   FIG. 8 shows the relationship of the discharge distance to the voltage when the discharge current is constant. The discharge distance is the shortest distance between the discharge electrode and the semiconductive portion. The discharge current indicates the intensity of discharge, and the amount of active species generated increases as the discharge current increases. Under conditions where the discharge distance is narrow, the discharge current can be increased and the amount of active species generated can be increased by slightly increasing the voltage. For example, at a discharge distance of 3 mm, the discharge current can be increased about 6 times from 5 μA to 30 μA by increasing the voltage from −3.5 kV to −4.0 kV by 0.5 kV. On the other hand, when the discharge distance is 10 mm, even if the voltage is increased from −6.1 kV to −6.6 kV by 0.5 kV, the discharge current only changes from 5 μA to 10 μA and increases only about twice.

すなわち、図7で説明したように表面抵抗率を106Ω/□以上とし、放電距離を短くできれば、わずかな電圧変化で放電電流を大幅に増加させることが可能であり、コロナ放電を高出力化させて活性種発生量を増やすことができる。 That is, as explained in FIG. 7, if the surface resistivity is 10 6 Ω / □ or more and the discharge distance can be shortened, the discharge current can be greatly increased with a slight voltage change, and the corona discharge can be output at a high output. To increase the amount of active species generated.

放電電極17の先端は、孔部21の略中心軸上に配置されることが望ましい。放電電極17と電源接続部19に電気的に接続された半導電性の被覆18に高電圧が印加された場合、放電電極17と半導電性の被覆18間をながれる電流は、半導電性の被覆18の孔部21外周面から導電部23を介して、電源接続部19に到達する。つまり、放電電極17を中心として円周方向の周囲に半導電性の被覆18が位置するので、半導電性の被覆18の広い範囲に電流が分散することになり、発明の効果で説明したように半導電性の被覆18近傍の空気には広い範囲で発熱による水分量の増加が起こり、その広い範囲で分散して放電するため、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。   It is desirable that the tip of the discharge electrode 17 is disposed on the substantially central axis of the hole 21. When a high voltage is applied to the semiconductive coating 18 electrically connected to the discharge electrode 17 and the power supply connection portion 19, the current flowing between the discharge electrode 17 and the semiconductive coating 18 is semiconductive. The power source connecting portion 19 is reached from the outer peripheral surface of the hole portion 21 of the coating 18 through the conductive portion 23. That is, since the semiconductive coating 18 is located around the discharge electrode 17 in the circumferential direction, the current is dispersed over a wide range of the semiconductive coating 18, and as described in the effect of the invention. In addition, air in the vicinity of the semiconductive coating 18 has an increased amount of water due to heat generation in a wide range and is dispersed and discharged in the wide range, so that active species can be stably generated as a result. is there.

放電電極17の先端の断面形状と、半導電性の被覆18の孔部の形状は、同種の形状であってもよい。例えば、円状の孔部に対して、先端が円柱状または半球状の放電電極17を用いた場合には、放電部分の先端部の断面形状が円状になっているため 放電電極17を中心として円周方向に広い範囲に分散して放電が発生する。その結果、先端が鋭利な針状の放電電極17を用いる場合に比べて、局所的な放電集中が起こりにくく、放電電極17の劣化を抑制することができ、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。   The cross-sectional shape at the tip of the discharge electrode 17 and the shape of the hole of the semiconductive coating 18 may be the same type. For example, when a discharge electrode 17 having a cylindrical or hemispherical tip is used for a circular hole, the discharge electrode 17 is centered since the cross-sectional shape of the tip of the discharge portion is circular. As a result, the discharge occurs in a wide range in the circumferential direction. As a result, compared to the case where the needle-like discharge electrode 17 having a sharp tip is used, local discharge concentration is less likely to occur, the deterioration of the discharge electrode 17 can be suppressed, and as a result, active species are stably generated. It can be made to.

さらに、半導電性の被覆18の広い範囲に電流が分散するので、OHラジカルなどの活性種の発生量が増加するものである。また、集中的に高濃度の活性種が生成することがないため、半導電部の劣化が起こらず持続的に活性種を放出することができるものである。   Furthermore, since the current is dispersed over a wide range of the semiconductive coating 18, the amount of active species such as OH radicals generated increases. Further, since active species with high concentration are not generated intensively, the active species can be released continuously without causing deterioration of the semiconductive portion.

また、空気中の水分を有効に利用して活性種の量を増やすことができるので、水分の捕集のためにゼオライトなどの吸着剤を利用する必要がなく、吸着剤が劣化することがなく、安全性と持続性に優れた活性種発生ユニットとすることができる。なお、孔部の形状としては、円形状ではなく、四角形・多角形・楕円形状としてもよい。   In addition, since the amount of active species can be increased by effectively using moisture in the air, it is not necessary to use an adsorbent such as zeolite for collecting moisture, and the adsorbent is not deteriorated. The active species generating unit is excellent in safety and sustainability. The shape of the hole may be a square, a polygon, or an ellipse instead of a circle.

なお、放電電極17の放電を受ける電極として、半導電性の皮膜を備えた絶縁性基板16と半導電性の被覆18と導電部23と電源接続部19からなる構成を説明したが、電極として半導電性の被覆18と電源接続部19のみを用いてもよい。すなわち、絶縁性基板16と同形状の孔空き平板状の半導電性の被覆18を電源接続部19に電気的に接続する構成でもよい。このような構成とすることによって、構造が簡易になり組立てやすい活性種放出ユニットにすることができる。さらに、導電部および絶縁性基板の厚みを減らすことで、より小型の活性種発生ユニットとすることができる。   In addition, although the structure which consists of the insulating board | substrate 16 provided with the semiconductive film | membrane, the semiconductive coating | cover 18, the electroconductive part 23, and the power supply connection part 19 was demonstrated as an electrode which receives the discharge of the discharge electrode 17, Only the semiconductive coating 18 and the power connection 19 may be used. That is, a configuration in which a perforated flat plate-like semiconductive coating 18 having the same shape as that of the insulating substrate 16 is electrically connected to the power supply connection portion 19 may be employed. By adopting such a configuration, it is possible to provide an active species releasing unit that has a simple structure and is easy to assemble. Furthermore, by reducing the thickness of the conductive portion and the insulating substrate, a smaller active species generating unit can be obtained.

図6は、半導電性の被覆18の周縁部近傍の表面外周部を覆う位置に導電部23を設け、この導電部23は電源接続部19と半導電性の被覆18と電気的に接続しているものである。このとき、放電電極17から導電部23までの最短距離は、放電電極17から半導電性の被覆18までの最短距離よりも長いものである。図6の例では、導電部23は、四角形状の金属性平板であり、孔部21の外周よりも大きく、かつ、半導電性の被覆18の外周よりも小さい貫通孔25を有する。   In FIG. 6, a conductive portion 23 is provided at a position covering the outer peripheral portion of the surface in the vicinity of the peripheral portion of the semiconductive coating 18, and this conductive portion 23 is electrically connected to the power supply connection portion 19 and the semiconductive coating 18. It is what. At this time, the shortest distance from the discharge electrode 17 to the conductive portion 23 is longer than the shortest distance from the discharge electrode 17 to the semiconductive coating 18. In the example of FIG. 6, the conductive portion 23 is a rectangular metal flat plate, and has a through hole 25 that is larger than the outer periphery of the hole portion 21 and smaller than the outer periphery of the semiconductive coating 18.

このような構成とすることにより、放電電極17と電極端子19間を流れる電流は、例えば放電電極17から絶縁性基板16の孔部21の内面を覆う半導電性の被覆18を流れた後に、絶縁性基板16の一方面表面を覆う半導電性の被覆18を流れ、その後、導電部23を介して、ようやく電源接続部19へと到達することになる。つまり、沿面距離が長いので、その結果として火花放電が起こらず、安全性の向上が図れるものである。   With this configuration, the current flowing between the discharge electrode 17 and the electrode terminal 19 flows from the discharge electrode 17 through the semiconductive coating 18 that covers the inner surface of the hole 21 of the insulating substrate 16, for example. It flows through the semiconductive coating 18 covering one surface of the insulating substrate 16, and then finally reaches the power supply connecting portion 19 through the conductive portion 23. That is, since the creepage distance is long, spark discharge does not occur as a result, and safety can be improved.

ここで、導電部23の表面抵抗率は、半導電性の被覆18の表面抵抗率より小さいものである。具体的には、半導電性の被覆18の表面抵抗率は、106Ω/□以上から1010Ω/□未満であり、導電部23の表面抵抗率は、106Ω/□未満であり、電源接続部19の表面抵抗率は、10-1Ω/□以下であることが望ましい。 Here, the surface resistivity of the conductive portion 23 is smaller than the surface resistivity of the semiconductive coating 18. Specifically, the surface resistivity of the semiconductive coating 18 is 10 6 Ω / □ or more and less than 10 10 Ω / □, and the surface resistivity of the conductive portion 23 is less than 10 6 Ω / □. The surface resistivity of the power supply connecting portion 19 is desirably 10 −1 Ω / □ or less.

次に、導電部23を備えた場合の効果について説明する。図9に、活性種発生ユニットの半導電部および導電部の電子の流れ方の概念図を示す。(A)は導電部23を備えない場合、(B)は導電部23を備えた場合である。放電電極17からのコロナ放電によって生じた電子が、孔部21の内面を覆う半導電性の被覆18のP地点に達したとすると、電子はP地点から半導電性の被覆18を流れて直線的に電源接続部19に到達する。一方、電子がQ地点に達したとすると、電子はQ地点から孔部21の周囲を通って最短距離で電源接続部19に到達する。このように、(A)導電部23がない場合には、半導電面のなかに電子密度のかたよりが生じやすく、結果として発生する活性種の量にも部分的なかたよりが生じやすくなる。   Next, the effect when the conductive portion 23 is provided will be described. FIG. 9 shows a conceptual diagram of how the electrons flow in the semiconductive portion and the conductive portion of the active species generating unit. (A) is a case where the conductive portion 23 is not provided, and (B) is a case where the conductive portion 23 is provided. Assuming that electrons generated by corona discharge from the discharge electrode 17 reach the point P of the semiconductive coating 18 covering the inner surface of the hole 21, the electrons flow from the point P through the semiconductive coating 18 to form a straight line. Thus, the power connection 19 is reached. On the other hand, assuming that the electrons have reached the point Q, the electrons reach the power supply connection portion 19 from the point Q through the periphery of the hole 21 at the shortest distance. Thus, in the case where (A) the conductive portion 23 is not present, the electron density is more likely to occur in the semiconductive surface, and the resulting active species is likely to be partially affected.

一方、(B)導電部23がある場合、R地点に到達した電子も、S地点に到達した電子も、孔部21から外周方向に拡散する方向に流れようとする。つまり、半導電性の被覆18に均一に電子が拡散し、活性種の発生も均一に発生することから、活性種発生量を増やすことができるものである。また、電子密度の局所的な集中が生じないため、半導電部の部分劣化が生じにくいという効果を得ることができる。   On the other hand, when (B) the conductive portion 23 is present, both the electrons that have reached the point R and the electrons that have reached the point S tend to flow in the direction of diffusing from the hole 21 in the outer circumferential direction. That is, since electrons are uniformly diffused in the semiconductive coating 18 and the generation of active species is also uniformly generated, the amount of active species generated can be increased. In addition, since local concentration of the electron density does not occur, it is possible to obtain an effect that partial deterioration of the semiconductive portion hardly occurs.

導電部23は、孔部21の中心から略等距離に位置するものである。具体的には、半導電性の被覆18の孔部21の外周から外方へ略等距離延びた位置で電気的に接続するリング形状であり、この周縁部に導電部23が位置するものである。つまり、放電電極17の先端から略等距離に導電部23が位置するものである。   The conductive portion 23 is located approximately equidistant from the center of the hole portion 21. Specifically, it is a ring shape that is electrically connected at a position extending from the outer periphery of the hole portion 21 of the semiconductive coating 18 to the outside at an approximately equal distance, and the conductive portion 23 is located at the peripheral portion. is there. That is, the conductive portion 23 is located at an approximately equal distance from the tip of the discharge electrode 17.

これにより、導電部23は、孔部21の外周から略等距離に位置するので、放電電極17と電源接続部19間に高電圧が印加された場合に、放電電極17と電源接続部19間を流れる電流は、導電部23全周に均一に流れ易くなる。また、半導電性の被覆18の周縁部まで流れた電流は、導電部23の表面抵抗率が、半導電性の被覆18の表面抵抗率より小さいものであるので、導電部23を介して電源接続部19へ到達し易くなる。   As a result, since the conductive portion 23 is located at an approximately equal distance from the outer periphery of the hole portion 21, when a high voltage is applied between the discharge electrode 17 and the power supply connection portion 19, the gap between the discharge electrode 17 and the power supply connection portion 19 is achieved. The current that flows through the current flows easily around the entire circumference of the conductive portion 23. Further, the current flowing to the peripheral edge of the semiconductive coating 18 has a surface resistivity of the conductive portion 23 smaller than the surface resistivity of the semiconductive coating 18. It becomes easy to reach the connection part 19.

すなわち、半導電性の被覆18の広い範囲に電流が均一に分散し、更に、半導電性の被覆18の周縁部に位置する導電部23へ広がるように電流が流れるので、半導電性の被覆18の狭い範囲に電流が集中し、集中的に活性種を生成することなく、さらに局所的に発熱することがないため、半導電性の被覆18の劣化を抑制することができるものである。また、半導電性の被覆18の広い範囲に電流が分散するので、OHラジカルの発生量が増加するものである。   That is, the current is uniformly distributed over a wide range of the semiconductive coating 18, and further, the current flows so as to spread to the conductive portion 23 located at the peripheral portion of the semiconductive coating 18, so that the semiconductive coating is obtained. Since current concentrates in a narrow range of 18 and active species are not intensively generated and no heat is generated locally, deterioration of the semiconductive coating 18 can be suppressed. In addition, since the current is dispersed over a wide range of the semiconductive coating 18, the amount of OH radicals generated increases.

導電部23は、金属製平板であることが望ましい。導電部23をAg、Cu、カーボンなどを含む導電性インクによる印刷で形成することもできるが、長期間使用する際には導電インクの劣化が課題となる。金属製平板であれば、インクに比べて、放電によって生成した活性種に対する酸化安定性が優れているため、結果として活性種を安定して発生させることができる。   The conductive portion 23 is preferably a metal flat plate. The conductive portion 23 can also be formed by printing with a conductive ink containing Ag, Cu, carbon, or the like, but deterioration of the conductive ink becomes a problem when used for a long period of time. If it is a metal flat plate, since the oxidation stability with respect to the active seed | species produced | generated by discharge is excellent compared with ink, as a result, an active seed | species can be generated stably.

導電部23は、SUS316L、SUS316、SUS304、アルマイト処理を施したアルミニウムのいずれかからなるものであることが望ましい。これらの金属は、オゾン等の活性種に対する耐性が高いため、オゾン等の活性種による腐食に強く、導電部23の耐久性を向上できるからである。なお、導電部23は、これらに限られること無く、導電性の素材であれば良い。導電部23の表面抵抗率は、10-1Ω/□以下であることが望ましい。 The conductive portion 23 is preferably made of any one of SUS316L, SUS316, SUS304, and aluminum subjected to alumite treatment. This is because these metals have high resistance to active species such as ozone, and thus are resistant to corrosion by active species such as ozone and can improve the durability of the conductive portion 23. In addition, the electroconductive part 23 should just be an electroconductive raw material without being restricted to these. The surface resistivity of the conductive portion 23 is desirably 10 −1 Ω / □ or less.

また、電源接続部19は、絶縁性基板16における一方面の裏側に位置する他方面、又は絶縁性基板16における一方面と他方面との間の外周面に接して設けられているものであっても良い。これにより、放電電極17から流れる電子が、絶縁性基板16の表面を伝って流れる際に、電子の移動する距離である、いわゆる沿面距離が伸びることで、火花放電が起こりにくくなる。なお、これに限られること無く、電源接続部19を絶縁性基板16の表面に設ける場合には、十分な沿面距離を確保した状態で配置することが必要となる。   The power supply connecting portion 19 is provided in contact with the other surface located on the back side of one surface of the insulating substrate 16 or the outer peripheral surface between one surface and the other surface of the insulating substrate 16. May be. As a result, when electrons flowing from the discharge electrode 17 flow along the surface of the insulating substrate 16, a so-called creepage distance, which is a distance traveled by the electrons, increases, so that spark discharge hardly occurs. However, the present invention is not limited to this, and when the power supply connection portion 19 is provided on the surface of the insulating substrate 16, it is necessary to arrange the power connection portion 19 in a state in which a sufficient creepage distance is secured.

半導電性の被覆18は、セラミック製の絶縁性基板16と、この絶縁性基板16の、放電電極17側の表面に半導電性の被覆を備えたものであってもよい。また、半導電性の被覆は、半導電性の被覆18の孔部21の拡開斜面の中程にいくほど膜厚が厚くなるような曲面を形成していてもよい。   The semiconductive coating 18 may be a ceramic insulating substrate 16 and a surface of the insulating substrate 16 on the discharge electrode 17 side provided with a semiconductive coating. Moreover, the semiconductive coating may form a curved surface such that the film thickness increases toward the middle of the expanding slope of the hole 21 of the semiconductive coating 18.

図10に一例を示すように、絶縁性基板16の表面は半導電性の半導電性の被覆18で被覆されている。孔部21の拡開傾斜面26の斜面の中程27にいくほど膜厚が厚くなるような曲面を形成して拡開傾斜面26を覆う。このような構造は、以下のような手順で形成することができる。   As shown in FIG. 10, the surface of the insulating substrate 16 is covered with a semiconductive semiconductive coating 18. A curved surface is formed so as to increase in thickness toward the middle 27 of the inclined surface 26 of the hole 21 to cover the expanded inclined surface 26. Such a structure can be formed by the following procedure.

半導電性の被覆18は、絶縁性基板16の表面にスクリーン印刷によりスキージで半導電インクを塗布したものである。半導電インクは、酸化スズなどの導電剤とガラス粉などの接着剤を含み、前記成分を溶剤に混合あるいは溶解させたものである。   The semiconductive coating 18 is obtained by applying semiconductive ink to the surface of the insulating substrate 16 with a squeegee by screen printing. The semiconductive ink contains a conductive agent such as tin oxide and an adhesive such as glass powder, and the above components are mixed or dissolved in a solvent.

絶縁性基板16の孔部21上をスクリーンを介してスキージが通過することにより、孔部21の拡開傾斜面26に、半導電インクが、押し出され、押し出された半導電インクは、孔部21の拡開傾斜面26の斜面の中程27にいくほど膜厚が厚くなるような曲面を形成して拡開傾斜面26を覆う。従って、半導電性の被覆18は、絶縁性基板16の孔部21の拡開傾斜面26の中程27にいくほど膜厚が厚くなるような曲面を形成する。   When the squeegee passes through the hole 21 of the insulating substrate 16 through the screen, the semiconductive ink is pushed out to the expanding inclined surface 26 of the hole 21, and the extruded semiconductive ink is A curved surface is formed such that the film thickness increases toward the middle 27 of the slope of the 21 spread inclined surface 26, thereby covering the spread inclined surface 26. Therefore, the semiconductive coating 18 forms a curved surface such that the film thickness increases toward the middle 27 of the expanding inclined surface 26 of the hole 21 of the insulating substrate 16.

このように、孔部21の拡開傾斜面26は、半導電性の被覆18により覆われている。これにより、孔部21の開口縁が傾斜しない場合と比較して、放電電極17の先端に対向する開口縁の面積、つまり、拡開傾斜面26の面積が増加する。その結果、放電電極17の先端に対向する拡開傾斜面26を覆う半導電性の被覆18の表面積も増加する。また、拡開傾斜面26上に接着される導電剤の存在量が増加する。   As described above, the widened inclined surface 26 of the hole 21 is covered with the semiconductive coating 18. Thereby, compared with the case where the opening edge of the hole part 21 does not incline, the area of the opening edge which opposes the front-end | tip of the discharge electrode 17, ie, the area of the expansion inclination surface 26 increases. As a result, the surface area of the semiconductive coating 18 covering the spread inclined surface 26 facing the tip of the discharge electrode 17 also increases. Moreover, the abundance of the conductive agent bonded on the spread inclined surface 26 increases.

これにより、放電電極17の先端から放出された電子を受け取る面積が増加し、また、半導電性の被覆18の発熱面積が増加することから、水分がより多くコロナ放電により分解され、活性種の発生量を増加することにより、活性種による浄化作用の向上をはかることができる。   As a result, the area for receiving the electrons emitted from the tip of the discharge electrode 17 is increased, and the heat generation area of the semiconductive coating 18 is increased, so that more water is decomposed by corona discharge, and the active species By increasing the generation amount, the purification action by the active species can be improved.

接着剤は、導電剤粒子と、絶縁性基板16とを接着できればよい。接着剤としてガラス粉やコロイダルシリカ、シリケート化合物、チタネート化合物などを用いてもよい。ガラス粉は化学的に不活性で耐酸化性があり、好ましい。アルミナやジルコニア、チタニアの粉末あるいはフッ素樹脂粒子などを用いてもよい。接着剤の大きさは、形状を安定化させるために導電材粒子よりも大きいほうが好ましく、導電材の2〜100倍程度の大きさにすると良い。   The adhesive only needs to adhere the conductive agent particles and the insulating substrate 16. As an adhesive, glass powder, colloidal silica, silicate compound, titanate compound, or the like may be used. Glass powder is preferably chemically inert and oxidation resistant. Alumina, zirconia, titania powder or fluororesin particles may be used. The size of the adhesive is preferably larger than the conductive material particles in order to stabilize the shape, and is preferably about 2 to 100 times the size of the conductive material.

導電剤粒子としては、酸化スズが酸化に対する安定性と入手の容易さの理由で好ましく、他にはZnO、PbO2,CdO,In2O3、Tl2O3、Ga2O3、Fe3O4などの酸化物導電材およびこれらの複合酸化物などが使用可能である。導電剤としての酸化スズ(SnO2)にSbなどをドープしたものを用いてもよい。   As the conductive agent particles, tin oxide is preferable because of its stability against oxidation and availability, and other oxide conductive materials such as ZnO, PbO2, CdO, In2O3, Tl2O3, Ga2O3, and Fe3O4, and composite oxides thereof. Things can be used. You may use what doped Sb etc. to the tin oxide (SnO2) as a electrically conductive agent.

半導電性の被覆18として、導電剤としてのSnO2と、接着剤としてのガラスを用いる場合の構成割合は、1:13〜1:1、すなわち導電剤が7〜50%、ガラスが93〜50%が好ましく、強度面から接着剤としてのガラスは50%以上必要で、半導電性、すなわち表面抵抗率を106〜1010Ω/□とするためには、導電剤を20%以上いれることが望ましい。 The composition ratio in the case of using SnO2 as a conductive agent and glass as an adhesive as the semiconductive coating 18 is 1:13 to 1: 1, that is, the conductive agent is 7 to 50%, and the glass is 93 to 50. % Is preferable, and from the viewpoint of strength, glass as an adhesive is required to be 50% or more, and in order to have semiconductivity, that is, surface resistivity of 10 6 to 10 10 Ω / □, 20% or more of the conductive agent should be added. Is desirable.

導電材を接着するには、接着剤の溶剤を揮発させ、酸化重合を促進するために加熱処理を加えるとよい。例えば、最初に半導電インクを、絶縁性基板16の表面にスクリーン印刷によりスキージで半導電インクを塗布する。次に、インクを塗布した絶縁性基板16を加熱炉にいれて温度を上昇させる。このとき、一旦溶剤が揮発しやすい100℃前後の温度で一定時間保持するとよい。さらに、接着剤の種類の応じて、接着剤が硬化する温度まで加熱を行い、温度の保持を行う。例えば、接着剤としてコロイダルシリカを用いる場合、硬化温度を180℃以上にすることが好ましく、400℃から700℃が好適である。   In order to bond the conductive material, heat treatment may be applied to volatilize the solvent of the adhesive and promote oxidative polymerization. For example, the semiconductive ink is first applied to the surface of the insulating substrate 16 by screen printing with a squeegee. Next, the insulating substrate 16 coated with ink is placed in a heating furnace to raise the temperature. At this time, it is good to hold at a temperature of around 100 ° C. for which the solvent tends to volatilize for a certain period of time. Furthermore, according to the kind of adhesive agent, it heats to the temperature which an adhesive agent hardens | cures, and temperature holding is performed. For example, when colloidal silica is used as the adhesive, the curing temperature is preferably 180 ° C. or higher, and preferably 400 ° C. to 700 ° C.

接着剤としてガラスを用いる場合には、ガラス粉末を適度な溶媒を加えて混合し、作成した半導電性インキを絶縁性基板16に印刷し、ガラスが溶融する温度まで加熱して、ガラス中に導電剤が分散した状態を作る方法などが挙げられる。アルカリ成分を含むガラス粉の場合は、600℃から800℃程度にすることが好ましい。アルカリを含まないガラス粉の場合は、850℃から950℃程度にすることが好ましい。これらの温度を10分以上保持することにより、接着剤の硬化が進み導電材を固定化することができる。なお、酸化スズとガラスを混合して作成したインキに、絶縁性の基板をディップして乾燥させる方法で、絶縁性基板の周囲に導電材と接着剤を付着させてもよい。   When glass is used as an adhesive, glass powder is mixed with an appropriate solvent, and the prepared semiconductive ink is printed on the insulating substrate 16 and heated to a temperature at which the glass melts. A method for creating a state in which a conductive agent is dispersed is exemplified. In the case of glass powder containing an alkali component, the temperature is preferably about 600 ° C to 800 ° C. In the case of glass powder containing no alkali, it is preferable to set the temperature to about 850 ° C. to 950 ° C. By holding these temperatures for 10 minutes or more, the adhesive is cured and the conductive material can be fixed. Note that a conductive material and an adhesive may be attached to the periphery of the insulating substrate by a method of dipping and drying the insulating substrate in ink prepared by mixing tin oxide and glass.

ここで、放電電極17にプラスの電圧を印加した場合について図11を用いて説明を行う。   Here, the case where a positive voltage is applied to the discharge electrode 17 will be described with reference to FIG.

図11のように、この放電電極17に、電源部20により放電電圧をプラス約3〜10KVで印加を行うと、放電電極17表面に強い電界が形成される。放電電極17にプラスの高電圧が印加されているため、空気中に存在する遊離電子が流れ込む。このとき、半導電性の被覆18は、マイナス状態となっているので、その結果、電子が移動することで、半導電性の被覆18から放電電極17へ電子が流れる。この状態がコロナ放電であって、このコロナ放電の力で後述のごとく、OHラジカル(活性種の一例)が発生する。ここで、3〜10KV電圧を印加することによって、十分な活性種量を発生させることができる。10kV以上でも活性種は発生するが、放電針の劣化などの副作用が生じるため10kV以下で使用することが望ましい。また、3kV未満では放電が不安定になる場合があるため、3kV以上で使用することが望ましい。   As shown in FIG. 11, when a discharge voltage is applied to the discharge electrode 17 by the power supply unit 20 at a plus of about 3 to 10 KV, a strong electric field is formed on the surface of the discharge electrode 17. Since a positive high voltage is applied to the discharge electrode 17, free electrons existing in the air flow in. At this time, since the semiconductive coating 18 is in a minus state, as a result, electrons move from the semiconductive coating 18 to the discharge electrode 17 due to the movement of the electrons. This state is corona discharge, and OH radicals (an example of active species) are generated by the corona discharge force as described later. Here, a sufficient amount of active species can be generated by applying a voltage of 3 to 10 KV. Although active species are generated even at 10 kV or higher, side effects such as deterioration of the discharge needle occur, so it is desirable to use at 10 kV or lower. Moreover, since discharge may become unstable if it is less than 3 kV, it is desirable to use it at 3 kV or more.

更に詳細に説明すると、半導電性の被覆18に電流が流れることによって、電気抵抗によって半導電性の被覆18が発熱するため、半導電性の被覆18近傍の空気が暖められる。この暖められた空気には、周辺の暖められていない空気から相対湿度差によって水分が移動し、暖められた空気内の保有水分は増加する。特に、半導電性の被覆18の孔部21の周辺には多くの電流が流れているため発熱量が多く、空気の保有水分量が増加している。水分があると、オゾンやO2−などの活性種に加えて、H22やOHラジカルなども増加する。孔部周辺の水分量の増加した領域において、コロナ放電を生じさせることによって、空気中の水分を有効に利用して、さらに活性種の量を増やすという効果を得ることができる。また、水分の捕集のためにゼオライトなどの吸着剤を利用していないため、吸着剤が劣化することがないという効果を得ることができる。 More specifically, since a current flows through the semiconductive coating 18, the semiconductive coating 18 generates heat due to electrical resistance, so that the air near the semiconductive coating 18 is warmed. Moisture moves to the warmed air from the surrounding unwarmed air due to the relative humidity difference, and the retained moisture in the warmed air increases. In particular, since a large amount of current flows around the hole 21 of the semiconductive coating 18, the amount of heat generated is large, and the amount of moisture retained in the air increases. When moisture is present, H 2 O 2 and OH radicals increase in addition to active species such as ozone and O 2 −. By generating corona discharge in a region where the amount of moisture around the hole is increased, it is possible to effectively utilize moisture in the air and further increase the amount of active species. Further, since an adsorbent such as zeolite is not used for collecting moisture, an effect that the adsorbent does not deteriorate can be obtained.

放電電極17にプラスの高電圧を印加してプラスコロナ放電を行うと、半導電性の被覆18の電子は、放電電極17に強い力で引き寄せられ、表面から飛び出そうとする。表面から飛び出した電子が、半導電性の被覆18の近くに有る空気中の酸素分子と衝突すると、酸素分子に電子が一つ増えた状態の酸素分子の陰イオンが発生する。その後、酸素分子陰イオンが、半導電性の被覆18の周囲に存在する水分子と反応をすることで、OHラジカルなどの活性種を発生する。水分量を増加させた半導電部の周辺でコロナ放電が起こすことにより、水分が電子と反応しやすくなるため、OHラジカルの発生をより行いやすくするものである。   When a positive high voltage is applied to the discharge electrode 17 to perform a positive corona discharge, the electrons of the semiconductive coating 18 are attracted to the discharge electrode 17 with a strong force and try to jump out of the surface. When electrons ejected from the surface collide with oxygen molecules in the air near the semiconductive coating 18, an anion of oxygen molecules in a state where one electron is added to the oxygen molecules is generated. Thereafter, oxygen molecule anions react with water molecules present around the semiconductive coating 18 to generate active species such as OH radicals. Since corona discharge occurs in the vicinity of the semiconductive portion where the amount of moisture is increased, moisture easily reacts with electrons, so that generation of OH radicals is facilitated.

導電部23の外形を支持部材22の内部と略同一の四角形状とすれば、活性種発生ユニット8の組立工程において、導電部23の位置決めを容易にすることができる。   If the outer shape of the conductive portion 23 is substantially the same rectangular shape as the inside of the support member 22, the conductive portion 23 can be easily positioned in the assembly process of the active species generating unit 8.

なお、本実施の形態において放電電極17は、プラスに印加したものであるが、この放電電極17に印加する電圧はプラスであっても、マイナスであっても良い。   In this embodiment, the discharge electrode 17 is applied positively, but the voltage applied to the discharge electrode 17 may be positive or negative.

次に、図12のように、放電電極17にマイナスの電圧を印加した場合について説明を行う。放電電極17に、電源部20により放電電圧をマイナス約3〜10KVで印加を行うと、放電電極17表面に強い電界が形成される。放電電極17にマイナスの高電圧が印加されているため、空気中に遊離電子が放出される。半導電性の被覆18は、プラス側となる。その結果、電子が移動することで、半導電性の被覆18から放電電極17へ電流が流れる。   Next, a case where a negative voltage is applied to the discharge electrode 17 as shown in FIG. 12 will be described. When a discharge voltage is applied to the discharge electrode 17 by the power supply unit 20 at minus about 3 to 10 KV, a strong electric field is formed on the surface of the discharge electrode 17. Since a negative high voltage is applied to the discharge electrode 17, free electrons are released into the air. The semiconductive coating 18 is on the positive side. As a result, a current flows from the semiconductive coating 18 to the discharge electrode 17 due to the movement of the electrons.

図12の放電電極17から空気に放出された電子は、半導電性の被覆18の強い電界に強い力で引き寄せられるため、電子が高速で移動し、空気中の分子などと衝突する。このとき高速で移動している電子が、空気中の酸素分子と衝突すると、酸素分子に電子が一つ増えた状態の酸素分子の陰イオンが発生する。水分があると、オゾンやO2−などの活性種に加えて、H22やOHラジカルなども増加する。酸素分子陰イオンが、半導電性の被覆18の周囲に存在する水分子と反応をすることで、OHラジカルなどの活性種を発生する。水分量を増加させた半導電部の周辺でコロナ放電が起こすことにより、水分が電子と反応しやすくなるため、OHラジカルの発生をより行いやすくするものである。 Electrons released into the air from the discharge electrode 17 in FIG. 12 are attracted to the strong electric field of the semiconductive coating 18 with a strong force, so that the electrons move at high speed and collide with molecules in the air. At this time, when electrons moving at high speed collide with oxygen molecules in the air, an anion of oxygen molecules in which one electron is added to the oxygen molecules is generated. When moisture is present, H 2 O 2 and OH radicals increase in addition to active species such as ozone and O 2 −. Oxygen molecule anions react with water molecules present around the semiconductive coating 18 to generate active species such as OH radicals. Since corona discharge occurs in the vicinity of the semiconductive portion where the amount of moisture is increased, moisture easily reacts with electrons, so that generation of OH radicals is facilitated.

さらに、このように、放電電極17と電源接続部19の間に、半導電性の被覆18介して面方向に電子が流れるため、沿面距離が長くなり、絶縁性基板16の表面を電流が伝って流れるものである。   Further, in this way, electrons flow in the surface direction between the discharge electrode 17 and the power supply connection portion 19 via the semiconductive coating 18, so that the creeping distance is increased and current is transmitted through the surface of the insulating substrate 16. It will flow.

放電電極17の先端からは、イオン風と呼ばれる気流が発生する。この気流は、放電電極17の先端から絶縁性基板16の方向に向かって流れる。絶縁性基板16には孔部21が備えられているので、発生したOHラジカルなどの活性種は、イオン風に沿って孔部21を通りぬけ、放出されていく。このように、放電電極の先端側近傍に対向配置した半導電部を備え、前記半導電部は、前記放電電極の先端側に対向する部分に配置した孔部を有していることにより、水分を含む空気がイオン風の力によって常に供給され、孔部21から抜けていくため、継続的に水分の分解がおこり、安定的に活性種の発生を起こすことができるものである。   An air flow called an ion wind is generated from the tip of the discharge electrode 17. This airflow flows from the tip of the discharge electrode 17 toward the insulating substrate 16. Since the insulating substrate 16 is provided with the hole 21, the generated active species such as OH radicals pass through the hole 21 along the ion wind and are released. As described above, the semiconductive portion is provided in the vicinity of the distal end side of the discharge electrode, and the semiconductive portion has a hole disposed in a portion facing the distal end side of the discharge electrode, thereby providing moisture. Since the air containing is always supplied by the force of the ion wind and escapes from the hole portion 21, the moisture is continuously decomposed and the active species can be stably generated.

図3に示した構成においては、この気流の流れによって、本体ケース6の吸気口4から室内空気が流れ込み、放電電極17の周囲を通って、絶縁性基板16の孔部21を介して排気口5から室内へ排出される排気気流が発生する。   In the configuration shown in FIG. 3, room air flows from the intake port 4 of the main body case 6 due to the flow of the airflow, passes through the periphery of the discharge electrode 17, and passes through the hole 21 of the insulating substrate 16. Exhaust airflow discharged from 5 into the room is generated.

この場合、図2で説明した送風手段7は設けなくてもよく、活性種発生装置3を小型化でき、設置場所を選ばず、卓上等にも設置できる。   In this case, the air blowing means 7 described with reference to FIG. 2 may not be provided, and the active species generating device 3 can be reduced in size, and can be installed on a table or the like regardless of the installation location.

ここで、図11、図12のようにして発生したOHラジカルなどの活性種は、この排気気流に乗って活性種発生装置3から室内へ排出される。このOHラジカルなどの活性種を含む空気を部屋内に供給することで、空気中の菌を不活化することができる。また、空気中の臭いを分解して取り除くことで、脱臭効果を発揮させることができる。また、活性種を含む空気を衣類やカーテン等にあてることによって、衣類やカーテンの脱臭・除菌などの効果が期待できる。   Here, the active species such as OH radicals generated as shown in FIGS. 11 and 12 are exhausted from the active species generator 3 into the room on the exhaust airflow. By supplying air containing active species such as OH radicals into the room, bacteria in the air can be inactivated. Moreover, the deodorizing effect can be exhibited by decomposing and removing the odor in the air. In addition, by applying air containing active species to clothes, curtains, etc., effects such as deodorization and sterilization of clothes and curtains can be expected.

(実施の形態2)
本実施の形態は、実施の形態1の図2および図3における半導電性の被覆18の代わりに、吸着手段18aを用いており、実施の形態1と同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。
(Embodiment 2)
In the present embodiment, suction means 18a is used in place of the semiconductive coating 18 in FIGS. 2 and 3 of the first embodiment, and the same parts as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals. The detailed explanation is omitted.

活性種発生ユニット8は、絶縁性基板16と、この絶縁性基板16に対向して配置された放電電極17と、絶縁性基板16に接する吸着手段18aと、電源接続部19として対向電極19aと、電源部20とから形成している。   The active species generating unit 8 includes an insulating substrate 16, a discharge electrode 17 disposed so as to face the insulating substrate 16, an adsorption means 18 a in contact with the insulating substrate 16, and a counter electrode 19 a as a power connection 19. , And the power supply unit 20.

絶縁性基板16は、平板形状で略中央に開口である孔部21を有し、絶縁性基板16の端部が支持部材22を介して本体ケースの仕切板部9に固定されている。図2の部品配置では、送風手段7によって、吸気口4から吸い込んだ空気の一部は、放電電極17の周囲を通り、孔部21を介して、排気口5へ送風されるものである。図3の部品配置では、孔部21は、本体ケース6の排気口5に対向しており、送風手段7によって、吸気口4から吸い込んだ空気の一部は、放電電極17の周囲を通り、孔部21を介して、排気口5へ送風されるものである。絶縁性基板16は、セラミック基板であっても、フッ素などの樹脂基板であっても良い。セラミック基板として、シリカ、アルミ、マグネシウムのうちいずれか1つを含む基板であっても、アルミナ基板であっても良い。オゾンやラジカルで腐食されにくい無機系のものあるいはフッ素樹脂であれば良いためである。絶縁性基板16の表面抵抗率は、1010Ω/□以上であることが望ましい。 The insulative substrate 16 has a flat plate-like hole 21 that is open at substantially the center, and the end of the insulative substrate 16 is fixed to the partition plate portion 9 of the main body case via the support member 22. In the component arrangement of FIG. 2, a part of the air sucked from the intake port 4 by the blower 7 passes through the periphery of the discharge electrode 17 and is blown to the exhaust port 5 through the hole 21. In the component arrangement of FIG. 3, the hole portion 21 faces the exhaust port 5 of the main body case 6, and a part of the air sucked from the intake port 4 by the air blowing means 7 passes around the discharge electrode 17, The air is sent to the exhaust port 5 through the hole 21. The insulating substrate 16 may be a ceramic substrate or a resin substrate such as fluorine. The ceramic substrate may be a substrate containing any one of silica, aluminum, and magnesium, or an alumina substrate. This is because an inorganic material or a fluororesin that is not easily corroded by ozone or radicals may be used. The surface resistivity of the insulating substrate 16 is desirably 10 10 Ω / □ or more.

放電電極17は、棒形状で、絶縁性基板16の一方面、および孔部21に対向し、絶縁性基板16の風上側に配置されている。図3の配置では、棒形状の放電電極17は、送風手段7によって送風される空気の送風方向と平行に延びている。そして、放電電極17の先端は、絶縁性基板16から数ミリメートル〜数十ミリメートル程度の所定距離を隔てて、孔部21の外方で、且つ前記孔部の略中央延長線上に位置するものである。放電電極17の材質は、コロナ放電をさせるSUSやタングステンなどである。   The discharge electrode 17 has a rod shape, faces one side of the insulating substrate 16 and the hole 21, and is disposed on the windward side of the insulating substrate 16. In the arrangement of FIG. 3, the rod-shaped discharge electrode 17 extends in parallel with the blowing direction of the air blown by the blowing means 7. And the front-end | tip of the discharge electrode 17 is located in the outer side of the hole part 21, and on the approximate center extension line of the said hole part at a predetermined distance of about several millimeters-tens of millimeters from the insulating substrate 16. is there. The material of the discharge electrode 17 is SUS, tungsten, or the like that causes corona discharge.

対向電極19aは、SUSなどのステンレス、アルミ、金、銀、銅などで形成され、絶縁性基板16の周縁部に固定されている。なお、これらに限られること無く、導電性の素材であれば良い。対向電極19aの表面抵抗率は、10-1Ω/□以下であることが望ましい。 The counter electrode 19 a is formed of stainless steel such as SUS, aluminum, gold, silver, copper, or the like, and is fixed to the peripheral edge of the insulating substrate 16. In addition, it is not restricted to these, What is necessary is just a conductive material. The surface resistivity of the counter electrode 19a is desirably 10 −1 Ω / □ or less.

電源部20は、本体ケース6の空間部11に位置し、放電電極17と、対向電極19aとに、電圧を印加するものである。   The power supply unit 20 is located in the space 11 of the main body case 6 and applies a voltage to the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a.

吸着手段18aは、絶縁性基板16の一方面側の表面、つまり、絶縁性基板16の風上側の面と、孔部21の内面とに設けられ、対向電極19aと接している。吸着手段18aの表面抵抗率は、106から1010Ω/□であることが望ましい。 The suction means 18 a is provided on the surface on one side of the insulating substrate 16, that is, on the windward surface of the insulating substrate 16 and the inner surface of the hole 21, and is in contact with the counter electrode 19 a. The surface resistivity of the adsorption means 18a is preferably 10 6 to 10 10 Ω / □.

図13、図14、図15、図16および図17を用いて説明する。図13は、絶縁性基板16および吸着手段18a部分の側断面図である。図14は、図3の部品配置における絶縁性基板16、吸着手段18a、放電電極17、対向電極19a、支持部材22を示す側断面図である。図15は、絶縁性基板16、放電電極17、支持部材22を示す斜視図である。図16は、絶縁性基板16、放電電極17、対向電極19a、支持部材22の構成を示す展開図である。図17は、絶縁性基板16を放電電極17側から見たときの平面図である。   This will be described with reference to FIGS. 13, 14, 15, 16 and 17. FIG. 13 is a side sectional view of the insulating substrate 16 and the suction means 18a. FIG. 14 is a side sectional view showing the insulating substrate 16, the suction means 18a, the discharge electrode 17, the counter electrode 19a, and the support member 22 in the component arrangement of FIG. FIG. 15 is a perspective view showing the insulating substrate 16, the discharge electrode 17, and the support member 22. FIG. 16 is a development view showing the configuration of the insulating substrate 16, the discharge electrode 17, the counter electrode 19 a, and the support member 22. FIG. 17 is a plan view of the insulating substrate 16 as viewed from the discharge electrode 17 side.

図13に示すように、吸着手段18aは、絶縁性基板16の近傍の水分を吸着する吸着剤28と、この吸着剤28と絶縁性基板16を接着する接着剤29とから形成している。吸着剤28は、水を吸着する平均粒子径0.5マイクロメートルから数十マイクロメートル程度の粒子で、表面に細孔30を有しているゼオライトである。   As shown in FIG. 13, the adsorbing means 18 a is formed of an adsorbent 28 that adsorbs moisture in the vicinity of the insulating substrate 16, and an adhesive 29 that adheres the adsorbent 28 and the insulating substrate 16. The adsorbent 28 is a zeolite having an average particle diameter of about 0.5 micrometers to several tens of micrometers for adsorbing water and having pores 30 on the surface.

なお、吸着剤28としてゼオライトを例に挙げたが、吸着剤28は、ナノレベルの細孔30を有し、いわゆるKelvinの毛管凝縮現象により細孔内で水蒸気が凝縮し得るような細孔30を有する構造を有する多孔質構造体であれば、シリカ、ゼオライト、デシカイト、アロフィン、イモゴライトなどでも、これらのうちいずれか1つを含むものでも良い。また、粒子間の隙間を利用して水を吸着する、多孔質アルミナ、多孔質シリカ、多孔質チタニアであっても良い。なお、吸着剤28は、細孔30に空気中の水蒸気を吸着させるものであるが、細孔30が接着剤29の粒子で埋まりにくい平均粒子径であれば、空気中の水蒸気を吸着することができる。なお、吸着剤28は接着剤29よりも平均粒子径が大きいものであっても良い。   In addition, although the zeolite was mentioned as an example as the adsorbent 28, the adsorbent 28 has nano-level pores 30, and the pores 30 in which water vapor can be condensed in the pores by the so-called Kelvin capillary condensation phenomenon. As long as it is a porous structure having a structure having any of the above, silica, zeolite, desiccite, allophane, imogolite, etc. may be included. Further, porous alumina, porous silica, or porous titania that adsorbs water by using gaps between particles may be used. The adsorbent 28 adsorbs water vapor in the air to the pores 30, but adsorbs water vapor in the air if the pores 30 have an average particle diameter that is difficult to be filled with the particles of the adhesive 29. Can do. The adsorbent 28 may have an average particle size larger than that of the adhesive 29.

接着剤29は、吸着剤28と、絶縁性基板16とを接着するコロイダルシリカである。なお、接着剤29は、ゼオライトなどの吸着剤28の平均粒子径より小さく、ゼオライトの表面に開いている細孔30よりも大きい平均粒子径であれば良い。また、細孔30を閉塞させなければ、接着剤29としてガラス粉や、シリケート化合物を用いてもよい。   The adhesive 29 is colloidal silica that bonds the adsorbent 28 and the insulating substrate 16. The adhesive 29 may have an average particle size smaller than the average particle size of the adsorbent 28 such as zeolite and larger than the pores 30 opened on the surface of the zeolite. If the pores 30 are not blocked, glass powder or a silicate compound may be used as the adhesive 29.

ここで、図18のように、放電電極17にプラスの電圧を印加した場合について説明を行う。図18のように、この放電電極17に、電源部20により放電電圧をプラス約3〜10kVで印加を行うと、放電電極17表面に強い電界が形成される。放電電極17にプラスの高電圧が印加されているため、空気中に存在する遊離電子が流れ込む。このとき、対向電極19aは、マイナス状態となっているので、その結果、電子が移動することで、対向電極19aから放電電極17へ電子が流れる。この状態がコロナ放電であって、このコロナ放電の力で後述のごとく、OHラジカル(活性種の一例)が発生する。   Here, a case where a positive voltage is applied to the discharge electrode 17 as shown in FIG. 18 will be described. As shown in FIG. 18, when a discharge voltage is applied to the discharge electrode 17 by the power supply unit 20 at about 3 to 10 kV plus, a strong electric field is formed on the surface of the discharge electrode 17. Since a positive high voltage is applied to the discharge electrode 17, free electrons existing in the air flow in. At this time, since the counter electrode 19a is in a minus state, electrons move from the counter electrode 19a to the discharge electrode 17 as a result of movement of the electrons. This state is corona discharge, and OH radicals (an example of active species) are generated by the corona discharge force as described later.

更に詳細に説明すると、セラミック製の絶縁性基板16と吸着剤28は、接着剤29により接着されている。吸着剤28の表面はナノレベルの細孔30を有し、空気中の水分は、この細孔30内で水蒸気が凝縮することにより、水分を吸着することが知られている(Kelvinの毛管凝縮現象)。これにより、ゼオライトなどの吸着手段18aに、空気中の水分が吸着され、電子が流れやすくなる。放電電極17にプラスの高電圧を印加してプラスコロナ放電を行うと、吸着剤28中の電子は、放電電極17に強い力で引き寄せられるため、電子が高速で移動する。電子が、吸着剤28の近くに有る酸素分子と衝突すると、酸素分子に電子が一つ増えた状態の酸素分子の陰イオンが発生する。その後、酸素分子陰イオンが、絶縁性基板16の表面に吸着された水分子と反応をすることで、OHラジカルなどの活性種を発生する。吸着した水分の周辺でコロナ放電が起こることにより、水分が電子と反応しやすくなるため、OHラジカルの発生をより行いやすくするものである。   More specifically, the ceramic insulating substrate 16 and the adsorbent 28 are bonded by an adhesive 29. It is known that the surface of the adsorbent 28 has nano-level pores 30, and moisture in the air adsorbs moisture by condensing water vapor in the pores 30 (Kelvin capillary condensation). phenomenon). As a result, moisture in the air is adsorbed by the adsorption means 18a such as zeolite, and electrons easily flow. When a positive high voltage is applied to the discharge electrode 17 to perform a positive corona discharge, the electrons in the adsorbent 28 are attracted to the discharge electrode 17 with a strong force, so that the electrons move at a high speed. When an electron collides with an oxygen molecule near the adsorbent 28, an anion of the oxygen molecule in a state where one electron is added to the oxygen molecule is generated. Thereafter, oxygen molecule anions react with water molecules adsorbed on the surface of the insulating substrate 16 to generate active species such as OH radicals. Since corona discharge occurs around the adsorbed moisture, the moisture easily reacts with the electrons, so that OH radicals can be more easily generated.

本実施形態における特徴は、絶縁性基板16の孔部21の内面と、絶縁性基板16の一方面表面とに吸着手段18aを備え、放電電極17の先端が、孔部21の外方で、且つ孔部21の略中央延長線上に位置する点である。これにより、放電電極17と対向電極19a間に高電圧が印加された場合に、放電電極17と対向電極19a間をながれる電流は、放電電極17から絶縁性基板16に設けた放電電極17の周囲に位置する吸着手段18aを流れた後に、対向電極19aへと到達することになる。   The feature of this embodiment is that the inner surface of the hole 21 of the insulating substrate 16 and the one surface of the insulating substrate 16 are provided with adsorption means 18a, and the tip of the discharge electrode 17 is outside the hole 21. And it is a point located on the approximate center extension line of the hole 21. Thereby, when a high voltage is applied between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a, the current flowing between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a is changed from the discharge electrode 17 to the periphery of the discharge electrode 17 provided on the insulating substrate 16. After flowing through the suction means 18a located at the position, the counter electrode 19a is reached.

つまり、放電電極17を中心として円周方向の周囲に吸着手段18aが位置するので、吸着手段18aの広い範囲に電流が分散することになり、広い範囲で分散して放電するため、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。また、円筒棒状の放電電極17の放電部分は、先端部の断面形状が円状になっているため、放電電極17を中心として円周方向に広い範囲に分散して放電が発生する。その結果、先端が鋭利な針状の放電電極を用いる場合に比べて、局所的な放電集中が起こりにくく、放電電極17の劣化を抑制することができ、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。さらに、吸着手段18aの広い範囲に電流が分散するので、OHラジカルなどの活性種の発生量が増加するものである。   That is, since the suction means 18a is located around the discharge electrode 17 in the circumferential direction, the current is dispersed over a wide range of the suction means 18a, and the discharge is dispersed over a wide range. The seed can be stably generated. Further, since the discharge portion of the cylindrical rod-shaped discharge electrode 17 has a circular cross-sectional shape at the tip, a discharge is generated by being dispersed in a wide range in the circumferential direction around the discharge electrode 17. As a result, compared to the case where a needle-like discharge electrode having a sharp tip is used, local discharge concentration is less likely to occur, deterioration of the discharge electrode 17 can be suppressed, and active species are stably generated as a result. It is something that can be done. Further, since the current is dispersed over a wide range of the adsorption means 18a, the amount of active species such as OH radicals generated increases.

なお、放電電極17の先端が、孔部21の外方で、且つ孔部21の略中央延長線上に位置することによる上述した作用・効果は、吸着手段18aの代わりに半導電性の被覆18を用いた実施の形態1においても同様に発揮される。   It should be noted that the action and effect described above due to the tip of the discharge electrode 17 being located outside the hole portion 21 and on the substantially central extension line of the hole portion 21 is the semiconductive coating 18 instead of the adsorption means 18a. The same is achieved in the first embodiment using the above.

なお、本実施の形態において放電電極17は、プラスに印加したものであるが、この放電電極17に印加する電圧はプラスであっても、マイナスであっても良い。   In this embodiment, the discharge electrode 17 is applied positively, but the voltage applied to the discharge electrode 17 may be positive or negative.

なお、本実施の形態では、絶縁性基板16の表面の一部に吸着手段18aを有しているが、絶縁性基板16の表面の全部や、側面に吸着手段18aを有していても良い。これにより、吸着手段18aに吸着された水を効率的に分解することができる。   In this embodiment, the suction means 18a is provided on a part of the surface of the insulating substrate 16, but the suction means 18a may be provided on the entire surface of the insulating substrate 16 or on the side surface. . Thereby, the water adsorb | sucked by the adsorption | suction means 18a can be decomposed | disassembled efficiently.

また、放電電極17の先端が、孔部21の外方略中央に位置するので、放電電極17が曲がった場合にも、放電電極17の先端が吸着手段18aに直接接触しないので、安全性が向上する。   In addition, since the tip of the discharge electrode 17 is located approximately at the center of the outer side of the hole portion 21, even when the discharge electrode 17 is bent, the tip of the discharge electrode 17 does not directly contact the suction means 18a, thereby improving safety. To do.

なお、放電電極17の先端が、孔部21の外方略中央に位置し、放電電極17の先端と吸着手段18aとの距離が所定の距離を有するものでも良い。この所定の距離を、スパークが発生しない距離とすることで、放電電極17が曲がった場合にも、スパークの発生を抑制できる。   In addition, the tip of the discharge electrode 17 may be positioned at the approximate center of the outer side of the hole portion 21, and the distance between the tip of the discharge electrode 17 and the suction means 18a may be a predetermined distance. By setting the predetermined distance to a distance at which no spark is generated, the occurrence of spark can be suppressed even when the discharge electrode 17 is bent.

さらに、放電電極17の先端が、孔部21の外方略中央に位置する効果を、図19を用いて説明する。放電電極17の端部を孔部21の中心軸に向かって延長した延長線と吸着手段18aの端部との距離をa、放電電極17の先端と吸着手段18aの端部と垂直距離をb、放電電極17の先端と吸着手段18aの端部との距離をLとする。   Further, the effect that the tip of the discharge electrode 17 is positioned at the approximate center of the outside of the hole 21 will be described with reference to FIG. The distance between the extension line extending the end of the discharge electrode 17 toward the central axis of the hole 21 and the end of the suction means 18a is a, and the vertical distance between the tip of the discharge electrode 17 and the end of the suction means 18a is b. Let L be the distance between the tip of the discharge electrode 17 and the end of the suction means 18a.

放電電極17が、装置使用時の振動や取り付け時の誤差によって変位したときの変位距離を△dとする。放電電極17の先端が孔部21の内方にある場合(距離b=0mm以下)、変位△dだけ放電電極が変位すると、放電電極17と吸着手段18aの端部の距離Lはa−△dだけ接近することになり、放電が均一に発生しなくなるため、活性種の発生量が低下する恐れがある。さらに変位△dが大きくなると、放電電極17と吸着手段18aが接触する恐れがあり、高電圧をかけたときにスパークが発生するなど安全上好ましくない。一方、放電電極17の先端が孔部21の外方にある場合(距離b=0mmより大きい)、放電電極17と吸着手段18aの端部の距離Lは{(a−△d)2+b21/2の関係式で表すことができ、放電電極が内方にある場合に比べて、距離Lの変化を少なくすることができる。この場合には、放電電極17と吸着手段は接触しないため、より安全な状態にすることができる。 Let Δd be the displacement distance when the discharge electrode 17 is displaced due to vibration during use of the apparatus or due to an error during installation. When the tip of the discharge electrode 17 is inward of the hole 21 (distance b = 0 mm or less), when the discharge electrode is displaced by a displacement Δd, the distance L between the discharge electrode 17 and the end of the suction means 18a is a−Δ. Since only d is approached, the discharge is not generated uniformly, and the generation amount of active species may be reduced. If the displacement Δd is further increased, the discharge electrode 17 and the suction means 18a may come into contact with each other, which is not preferable from the viewpoint of safety, such as the occurrence of sparks when a high voltage is applied. On the other hand, when the tip of the discharge electrode 17 is outside the hole portion 21 (the distance b is greater than 0 mm), the distance L between the discharge electrode 17 and the end portion of the suction means 18a is {(a−Δd) 2 + b 2. } The relationship of 1/2 can be expressed, and the change in the distance L can be reduced as compared with the case where the discharge electrode is inward. In this case, since the discharge electrode 17 and the suction means do not contact, a safer state can be achieved.

例えば、距離a=5mmの孔部で放電電極が△d=1mm変位した場合を考える。放電電極17が内方にある場合(距離b=0mm)、距離Lは約1mm変化する。一方、放電電極17が外方(距離b=5mm)にある場合、距離Lは7.07−6.40=0.67mmの変化にとどまる。このように、放電電極を外方略中央に位置することにより、針が変形した際の極間Lの変化量を小さくすることができ、活性種発生量が変化しにくく、信頼性を高めることができる。   For example, consider a case where the discharge electrode is displaced by Δd = 1 mm in a hole having a distance a = 5 mm. When the discharge electrode 17 is inward (distance b = 0 mm), the distance L changes by about 1 mm. On the other hand, when the discharge electrode 17 is located outward (distance b = 5 mm), the distance L remains at a change of 7.07-6.40 = 0.67 mm. As described above, by positioning the discharge electrode at approximately the center on the outer side, the change amount of the gap L when the needle is deformed can be reduced, the amount of active species generated is less likely to change, and the reliability is improved. it can.

また、放電電極17は単一の材料で形成したものである。これにより、めっき等の処理をした場合に比べ、放電電極17の耐久性の向上が図れるものである。   The discharge electrode 17 is formed of a single material. Thereby, the durability of the discharge electrode 17 can be improved as compared with the case where a treatment such as plating is performed.

また、放電電極17の先端の断面形状と、絶縁性基板16の孔部21の形状は、同種の形状である。具体的には、放電電極17の断面形状と、絶縁性基板16の孔部21の形状は、円形状である。   The cross-sectional shape at the tip of the discharge electrode 17 and the shape of the hole 21 of the insulating substrate 16 are the same type. Specifically, the cross-sectional shape of the discharge electrode 17 and the shape of the hole 21 of the insulating substrate 16 are circular.

すなわち、放電電極17の先端の周囲と、絶縁性基板16の孔部21との内面との距離が、均一になる。これにより、吸着手段18aの広い範囲に電流が分散することになり、放電電極17の放電部分も、同様に放電電極17の広い範囲から分散して放電するため、放電電極17での劣化を抑制することができ、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。   That is, the distance between the periphery of the tip of the discharge electrode 17 and the inner surface of the hole 21 of the insulating substrate 16 is uniform. As a result, the current is dispersed over a wide range of the adsorption means 18a, and the discharge portion of the discharge electrode 17 is similarly dispersed and discharged from the wide range of the discharge electrode 17, so that deterioration in the discharge electrode 17 is suppressed. As a result, active species can be stably generated.

また、孔部21の内面の吸着手段18aの厚み寸法は、絶縁性基板16の一方面表面の吸着手段18aの厚み寸法より大きいものである。これにより、絶縁性基板16の一方面表面の吸着手段18aより、孔部21の内面の吸着手段18aに吸着する水分量が多く、孔部21の内面の吸着手段18aは、絶縁性基板16の一方面表面の吸着手段18aより、電流が流れ易いものである。   Further, the thickness dimension of the suction means 18 a on the inner surface of the hole 21 is larger than the thickness dimension of the suction means 18 a on the one surface of the insulating substrate 16. Accordingly, the amount of moisture adsorbed on the adsorption means 18a on the inner surface of the hole 21 is larger than the adsorption means 18a on the one surface of the insulating substrate 16, and the adsorption means 18a on the inner surface of the hole 21 Current flows more easily than the suction means 18a on the one surface.

さて、コロナ放電によって放電電極17と対向電極19a間にながれる電流は、放電電極17から導電体である対向電極19aへの最短経路に流れ易いものである。ところが、孔部21の内面の吸着手段18aは、放電電極17の先端との距離が、絶縁性基板16の一方面表面の吸着手段18aより遠いものであるが、吸着している水分量が多いため絶縁性基板16の一方面表面より電流が流れ易いものである。つまり、コロナ放電によって放電電極17と対向電極19a間にながれる電流は、最短経路の絶縁性基板16の一方面表面の吸着手段18aだけに流れるものではなく、最短経路ではない孔部21の内面の吸着手段18aにも流れ易くなると考えられる。つまり、吸着手段18a全体の広い範囲に電流が分散し易くなるので、OHラジカルの発生量が増加するものである。   The current that flows between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a due to corona discharge tends to flow along the shortest path from the discharge electrode 17 to the counter electrode 19a that is a conductor. However, the adsorption means 18a on the inner surface of the hole 21 is farther from the tip of the discharge electrode 17 than the adsorption means 18a on the one surface of the insulating substrate 16, but the adsorbed moisture amount is large. Therefore, current flows more easily than the surface of one surface of the insulating substrate 16. That is, the current that flows between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a due to corona discharge does not flow only to the adsorption means 18a on the surface of the one surface of the insulating substrate 16 with the shortest path, but on the inner surface of the hole 21 that is not the shortest path. It is considered that it easily flows to the adsorption means 18a. That is, since the current is easily dispersed over a wide range of the entire adsorption unit 18a, the amount of OH radicals generated is increased.

また、放電電極17の先端と対向電極19aとの距離は、放電電極17の先端と吸着手段18aとの距離より長いものである。具体的には、放電電極17と対向電極19a間をながれる電流は、例えば放電電極17から絶縁性基板16の孔部21の内面を覆う吸着手段18aを流れた後に、その内面を経由し、続いて絶縁性基板16の一方面表面を流れ、その後ようやく対向電極19aへと到達することになり、つまり沿面距離が長いので、その結果として火花放電が起こらず、安全性の向上が図れるものである。   The distance between the tip of the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a is longer than the distance between the tip of the discharge electrode 17 and the suction means 18a. Specifically, the current flowing between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a flows, for example, from the discharge electrode 17 through the suction means 18a covering the inner surface of the hole 21 of the insulating substrate 16 and then through the inner surface. Thus, it flows on one surface of the insulating substrate 16 and finally reaches the counter electrode 19a. That is, since the creeping distance is long, spark discharge does not occur as a result, and safety can be improved. .

また、対向電極19aは、絶縁性基板16における一方面の裏側に位置する他方面、つまり、風下側面、又は絶縁性基板16における一方面と他方面との間の外周面に接して設けられているものであっても良い。これにより、放電電極17から流れる電子が、絶縁性基板16の表面を伝って流れる際に、電子の移動する距離である、いわゆる沿面距離が伸びることで、火花放電を起こりにくくなる。   The counter electrode 19a is provided in contact with the other surface located on the back side of one surface of the insulating substrate 16, that is, the leeward side surface, or the outer peripheral surface between the one surface and the other surface of the insulating substrate 16. It may be. As a result, when electrons flowing from the discharge electrode 17 flow along the surface of the insulating substrate 16, a so-called creepage distance, which is a distance traveled by the electrons, is increased, so that spark discharge is less likely to occur.

なお、これに限られること無く、対向電極19aを絶縁性基板16の表面に設ける場合には、十分な沿面距離を確保した状態で配置することが必要となる。   However, the present invention is not limited to this, and when the counter electrode 19a is provided on the surface of the insulating substrate 16, it is necessary to arrange the counter electrode 19a in a state in which a sufficient creeping distance is secured.

次に、図20のように、放電電極17にマイナスの電圧を印加した場合について説明を行う。放電電極17に、電源により放電電圧をマイナス約3〜10KVで印加を行うと、放電電極17表面に強い電界が形成される。放電電極17にマイナスの高電圧が印加されているため、空気中に遊離電子が放出される。対向電極19aに接した絶縁性基板16は、プラス側となる。その結果、電子が移動することで、対向電極19aから放電電極17へ電流が流れる。   Next, a case where a negative voltage is applied to the discharge electrode 17 as shown in FIG. 20 will be described. When a discharge voltage is applied to the discharge electrode 17 by a power supply at about minus 3 to 10 KV, a strong electric field is formed on the surface of the discharge electrode 17. Since a negative high voltage is applied to the discharge electrode 17, free electrons are released into the air. The insulating substrate 16 in contact with the counter electrode 19a is on the plus side. As a result, a current flows from the counter electrode 19a to the discharge electrode 17 due to the movement of the electrons.

図20の放電電極17から空気に放出された電子は、対向電極19aの強い電界に強い力で引き寄せられるため、電子が高速で移動し、空気中の分子などと衝突する。このとき高速で移動している電子が、空気中の酸素分子と衝突するすると、酸素分子に電子が一つ増えた状態の酸素分子の陰イオンが発生する。その後、酸素分子陰イオンが、絶縁性基板の表面に吸着された水分子と反応をすることで、OHラジカルが発生する。   The electrons emitted from the discharge electrode 17 in FIG. 20 to the air are attracted to the strong electric field of the counter electrode 19a with a strong force, so that the electrons move at high speed and collide with molecules in the air. At this time, when electrons moving at high speed collide with oxygen molecules in the air, an oxygen molecule anion in which one electron is added to the oxygen molecule is generated. Thereafter, oxygen molecular anions react with water molecules adsorbed on the surface of the insulating substrate to generate OH radicals.

上記のようなマイナスに印加された放電電極17からの放電であるいわゆるマイナスコロナ放電を行うことにより、吸着手段18a周辺の水分が電子と反応することにより、OHラジカルの発生をより行いやすくするものである。   By performing the so-called negative corona discharge, which is a discharge from the discharge electrode 17 applied to the negative as described above, the moisture around the adsorption means 18a reacts with electrons, thereby making it easier to generate OH radicals. It is.

さらに、このように、放電電極17と対向電極19a間に吸着手段18aを介して面方向に電子が流れるため、沿面距離が長くなり、絶縁性基板16の表面を電流が伝って流れるものである。   Further, as described above, electrons flow in the surface direction between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a via the adsorption means 18a, so that the creepage distance becomes long and current flows through the surface of the insulating substrate 16 through the surface. .

以上、図9、図11のようにして発生したOHラジカル(活性種)は、図2または図3の送風手段7からの送風により、活性種発生装置3の排気口5から室内へ排出される。このOHラジカルを含む空気を部屋1内に供給することで、空気中の菌を不活化することができる。また、空気中の臭いを分解して取り除くことで、脱臭効果を発揮させることができる。   As described above, the OH radicals (active species) generated as shown in FIG. 9 and FIG. 11 are discharged into the room from the exhaust port 5 of the active species generator 3 by the blowing from the blowing means 7 of FIG. 2 or FIG. . By supplying the air containing the OH radicals into the room 1, the bacteria in the air can be inactivated. Moreover, the deodorizing effect can be exhibited by decomposing and removing the odor in the air.

また、本実施形態における特徴は、絶縁性基板16は孔部21を有し、この孔部21に放電電極17が対向し、孔部21の内面と絶縁性基板16の一方面表面とに近傍の水分を吸着する吸着手段18aを備え、この吸着手段18aの周縁部に導電部23を設け、この導電部23は対向電極19aと電気的に接続している点である。これにより、放電電極17と対向電極19a間に高電圧が印加された場合に、放電電極17と対向電極19a間を流れる電流は、まず、放電電極17から絶縁性基板16に設けた放電電極17の周囲に位置する吸着手段18aを流れ、次に、この吸着手段18aの周縁部に位置する導電部23を流れた後に、対向電極19aへと到達することになる。   The feature of the present embodiment is that the insulating substrate 16 has a hole 21, the discharge electrode 17 faces the hole 21, and is close to the inner surface of the hole 21 and the one surface of the insulating substrate 16. The adsorbing means 18a for adsorbing water is provided, and a conductive portion 23 is provided at the peripheral portion of the adsorbing means 18a, and the conductive portion 23 is electrically connected to the counter electrode 19a. Thus, when a high voltage is applied between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a, the current flowing between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a first causes the discharge electrode 17 provided on the insulating substrate 16 from the discharge electrode 17. Then, after flowing through the suction means 18a located around the periphery, and then through the conductive portion 23 located at the peripheral edge of the suction means 18a, it reaches the counter electrode 19a.

つまり、放電電極17を中心として円周方向の周囲に吸着手段18aが位置するので、吸着手段18aの広い範囲に電流が分散することになり、広い範囲で分散して放電するため、結果として活性種を広い範囲で安定して発生させることができるものである。また、円筒棒状の放電電極17の放電部分は、先端部の断面形状が円状になっているため、放電電極17を中心として円周方向に広い範囲に分散して放電が発生する。その結果、先端が鋭利な針状の放電電極を用いる場合に比べて、局所的な放電集中が起こりにくく、放電電極17の劣化を抑制することができ、結果として活性種を安定して発生させることができるものである。また、吸着手段18aの周縁部に位置する導電部23へ広がるように電流が流れるので、吸着手段18aの狭い範囲に電流が集中し、集中的に活性種を生成することなく、吸着手段18aの劣化も抑制することができるものである。   That is, since the suction means 18a is located around the discharge electrode 17 in the circumferential direction, the current is dispersed over a wide range of the suction means 18a, and the discharge is dispersed over a wide range. The seed can be stably generated over a wide range. Further, since the discharge portion of the cylindrical rod-shaped discharge electrode 17 has a circular cross-sectional shape at the tip, a discharge is generated by being dispersed in a wide range in the circumferential direction around the discharge electrode 17. As a result, compared to the case where a needle-like discharge electrode having a sharp tip is used, local discharge concentration is less likely to occur, deterioration of the discharge electrode 17 can be suppressed, and active species are stably generated as a result. It is something that can be done. Further, since the current flows so as to spread to the conductive portion 23 located at the peripheral portion of the adsorption unit 18a, the current concentrates in a narrow range of the adsorption unit 18a, and the adsorption unit 18a does not intensively generate active species. Deterioration can also be suppressed.

また、導電部23は、孔部21の中心から略等距離に位置するものである。具体的には、吸着手段18aの孔部21の外周から外方へ略等距離延びたリング形状であり、この周縁部に導電部23が位置するものである。つまり、放電電極17の先端から略等距離に導電部23が位置するものである。   In addition, the conductive portion 23 is located approximately equidistant from the center of the hole portion 21. Specifically, it has a ring shape extending substantially equidistant from the outer periphery of the hole 21 of the suction means 18a, and the conductive portion 23 is located on this peripheral edge. That is, the conductive portion 23 is located at an approximately equal distance from the tip of the discharge electrode 17.

これにより、導電部23は、孔部21の外周から略等距離に位置するので、放電電極17と対向電極19a間に高電圧が印加された場合に、放電電極17と対向電極19a間を流れる電流は、導電部23全周に均一に流れ易くなる。すなわち、吸着手段18aの広い範囲に電流が均一に分散し、更に、吸着手段18aの周縁部に位置する導電部23へ広がるように電流が流れるので、吸着手段18aの狭い範囲に電流が集中し、集中的に活性種を生成することなく、吸着手段18aの劣化を抑制することができるものである。なお、導電部23が孔部21の外周から略等距離に位置することによる上述した作用・効果は、吸着手段18aの代わりに半導電性の被覆18を用いた実施の形態1においても同様に発揮される。   As a result, the conductive portion 23 is located at an approximately equal distance from the outer periphery of the hole portion 21, and thus flows between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19 a when a high voltage is applied between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19 a. The current easily flows uniformly around the entire conductive portion 23. In other words, the current is uniformly distributed over a wide range of the suction means 18a, and further, the current flows so as to spread to the conductive portion 23 located at the peripheral edge of the suction means 18a, so that the current concentrates in a narrow range of the suction means 18a. The deterioration of the adsorbing means 18a can be suppressed without intensively generating active species. It should be noted that the above-described action and effect due to the conductive portion 23 being located at an approximately equal distance from the outer periphery of the hole portion 21 is the same as in the first embodiment in which the semiconductive coating 18 is used instead of the suction means 18a. Demonstrated.

また、吸着手段18aの広い範囲に電流が分散するので、OHラジカルの発生量が増加するものである。   In addition, since the current is dispersed over a wide range of the adsorption means 18a, the amount of OH radicals generated increases.

また、放電電極17の先端と対向電極19aとの距離は、放電電極17の先端と導電部23との距離より長いものである。具体的には、放電電極17と対向電極19a間を流れる電流は、例えば放電電極17から絶縁性基板16の孔部21の内面を覆う吸着手段18aを流れた後に、その内面を経由し、続いて絶縁性基板16の一方面表面を流れ、更に導電部23を介して、その後ようやく対向電極19aへと到達することになり、つまり、沿面距離が長いので、その結果として火花放電が起こらず、安全性の向上が図れるものである。   In addition, the distance between the tip of the discharge electrode 17 and the counter electrode 19 a is longer than the distance between the tip of the discharge electrode 17 and the conductive portion 23. Specifically, the current flowing between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a flows, for example, after flowing from the discharge electrode 17 through the suction means 18a covering the inner surface of the hole 21 of the insulating substrate 16 and then passing through the inner surface. Then, it flows on one surface of the insulating substrate 16 and finally reaches the counter electrode 19a via the conductive portion 23. That is, since the creeping distance is long, spark discharge does not occur as a result, Safety can be improved.

また、導電部23の表面抵抗率は、吸着手段18aの表面抵抗率より小さいものである。具体的には、吸着手段18aの表面抵抗率は、106から1010Ω/□であり、導電部23の表面抵抗率は、106以下であり、対向電極19aの表面抵抗率は、10-1以下であることが望ましい。 Further, the surface resistivity of the conductive portion 23 is smaller than the surface resistivity of the suction means 18a. Specifically, the surface resistivity of the suction means 18a is 10 6 to 10 10 Ω / □, the surface resistivity of the conductive portion 23 is 10 6 or less, and the surface resistivity of the counter electrode 19a is 10 -1 or less is desirable.

放電電極17と対向電極19a間に高電圧が印加された場合に、放電電極17と対向電極19a間を流れる電流は、まず、放電電極17から絶縁性基板16に設けた放電電極17の周囲に位置する吸着手段18aを流れ、次に、この吸着手段18aの周縁部に位置する導電部23を流れた後に、対向電極19aへと到達することになる。ここで、吸着手段18aの周縁部まで流れた電流は、導電部23の表面抵抗率が、吸着手段18aの表面抵抗率より小さいものであるので、導電部23を介して対向電極19aへ到達し易くなる。   When a high voltage is applied between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a, the current flowing between the discharge electrode 17 and the counter electrode 19a first flows from the discharge electrode 17 to the periphery of the discharge electrode 17 provided on the insulating substrate 16. After flowing through the adsorbing means 18a positioned, and then flowing through the conductive portion 23 positioned at the peripheral edge of the adsorbing means 18a, it reaches the counter electrode 19a. Here, the current that has flowed to the periphery of the suction means 18a reaches the counter electrode 19a via the conductive portion 23 because the surface resistivity of the conductive portion 23 is smaller than the surface resistivity of the suction means 18a. It becomes easy.

すなわち、吸着手段18aの広い範囲に電流が分散し、更に、吸着手段18aの周縁部に位置する導電部23へ広がるように電流が流れるので、吸着手段18aの狭い範囲に電流が集中し、集中的に活性種を生成することなく、吸着手段18aの劣化を抑制することができるものである。   That is, the current is distributed over a wide range of the suction means 18a and further flows so as to spread to the conductive portion 23 located at the peripheral edge of the suction means 18a, so that the current is concentrated in a narrow range of the suction means 18a. Thus, the deterioration of the adsorbing means 18a can be suppressed without generating active species.

また、導電部23は、図20に示すように絶縁被覆部31(図17では、図面の煩雑化をさけるために図示せず)で覆われていることを特徴とするものである。具体的には、導電部23が放電電極17と対向している面は、絶縁被覆部31により覆われているものである。これにより、放電電極17から導電部23へ電流が直接流れることを抑制できる。絶縁被覆部31は、ガラスやフッ素樹脂などで形成され、フッ素樹脂・塩ビ樹脂などの絶縁性テープを接着する方法、ガラスペースト・セラミック系接着剤を塗布して乾燥焼成する方法などを用いて被覆することができる。   Further, as shown in FIG. 20, the conductive portion 23 is covered with an insulating coating portion 31 (not shown in FIG. 17 in order to avoid complication of the drawing). Specifically, the surface of the conductive portion 23 facing the discharge electrode 17 is covered with the insulating coating portion 31. Thereby, it is possible to suppress a current from flowing directly from the discharge electrode 17 to the conductive portion 23. The insulating coating 31 is formed of glass, fluororesin, or the like, and is coated using a method of bonding an insulating tape such as fluororesin / vinyl chloride resin, a method of applying a glass paste / ceramic adhesive, and drying and baking. can do.

なお、これらに限られること無く、絶縁性の素材であれば良い。なお、絶縁被覆部31は、内方へ延び、吸着手段の一部を覆っても良い。これにより、吸着手段18aと導電部23との接触面も絶縁被覆部31が覆うので、更に、放電電極17から導電部23へ電流が直接流れることを抑制できる。なお、放電電極17に印加する電圧はプラスであっても、マイナスであっても良い。   In addition, it is not restricted to these, What is necessary is just an insulating material. The insulating coating 31 may extend inward and cover a part of the suction means. Thereby, since the insulation coating part 31 also covers the contact surface of the adsorption | suction means 18a and the electroconductive part 23, it can suppress that an electric current flows into the electroconductive part 23 from the discharge electrode 17 further. Note that the voltage applied to the discharge electrode 17 may be positive or negative.

以上のように本発明は、筒状または箱状のケース部と、このケース部の一端開口部からこのケース部内に、その先端側を挿入した放電電極と、前記放電電極の先端側近傍に対向配置した半導電部とを備え、前記半導電部は、前記放電電極の先端側に対向する部分に配置した孔部を有し、前記半導電部と前記放電電極には電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成としたものであるので、放電のスパークを防止しつつ放電電極と対向電極の距離を近づけ、活性種の発生量を増やすことができる。   As described above, the present invention has a cylindrical or box-like case portion, a discharge electrode with the tip side inserted into the case portion from one end opening of the case portion, and the vicinity of the tip side of the discharge electrode. A semiconductive portion, and the semiconductive portion has a hole disposed at a portion facing the tip side of the discharge electrode, and a voltage is applied to the semiconductive portion and the discharge electrode from a power supply portion. Since the active species are generated by corona discharge, the distance between the discharge electrode and the counter electrode can be reduced and the generation amount of active species can be increased while preventing sparking of the discharge.

すなわち、本発明においては、半導電部と放電電極に電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成としたことにより、半導電部と放電電極の距離を近くでき、その結果放電電流が増えるため、活性種の発生量を増やすことができる。   That is, in the present invention, by applying a voltage from the power supply unit to the semiconductive portion and the discharge electrode to generate active species by corona discharge, the distance between the semiconductive portion and the discharge electrode can be reduced. Since the discharge current increases, the amount of active species generated can be increased.

また、半導電部が前記放電電極の先端側に対向する部分に孔部を有し、この孔部周辺を放電域とし孔部周辺で活性種を発生するため、この孔部を通過する空気に発生した活性種を供給でき、イオン風を効率的に利用して、発生した活性種を拡散できるものである。また、半導電部や放電電極を複数設ける必要がなく、装置を小型化できるものである。   In addition, since the semiconductive portion has a hole at a portion facing the tip side of the discharge electrode, and the periphery of the hole is used as a discharge region and active species is generated around the hole, the air passing through the hole is The generated active species can be supplied, and the generated active species can be diffused by efficiently using the ionic wind. Further, it is not necessary to provide a plurality of semiconductive portions and discharge electrodes, and the apparatus can be miniaturized.

また、半導電部と放電電極に電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる構成としたことによっても、半導電部と放電電極の距離を近くでき、装置をより小型化できるものである。   In addition, by applying a voltage from the power supply unit to the semiconductive portion and the discharge electrode to generate active species by corona discharge, the distance between the semiconductive portion and the discharge electrode can be reduced, and the device can be further downsized. Is.

また、本発明においては、筒形状のケース部の一端開口部からこのケース部内に、その先端側を挿入した放電電極と、前記放電電極の先端側近傍に対向配置した半導電部を設けたことにより、放電電極と半導電部間に高電圧が印加された場合でも、放電電極と半導電部間を流れる電流は、放電電極から半導電部の孔部端面、すなわち内周側から半導電部内を面方向に流れた後に、半導電部の外周側端面(電源接続部)へと到達することになる。   Further, in the present invention, a discharge electrode in which the tip end side is inserted into the case portion from one end opening of the cylindrical case portion, and a semiconducting portion disposed opposite to the vicinity of the tip end side of the discharge electrode are provided. As a result, even when a high voltage is applied between the discharge electrode and the semiconductive portion, the current flowing between the discharge electrode and the semiconductive portion is the end surface of the hole from the discharge electrode to the semiconductive portion, that is, from the inner circumference side to the semiconductive portion. After flowing in the surface direction, it reaches the outer peripheral side end surface (power connection portion) of the semiconductive portion.

つまり、放電電極と半導電部間に高電圧が印加された場合でも、放電電極と半導電部間の沿面距離が長くなり、電子が半導電部を介してより長い距離にわたって流れることになるため、瞬間的な短絡による火花放電が起こりにくく、その結果として、安全性の向上が図れるものである。   That is, even when a high voltage is applied between the discharge electrode and the semiconductive portion, the creepage distance between the discharge electrode and the semiconductive portion is increased, and electrons flow over a longer distance through the semiconductive portion. The spark discharge due to the momentary short circuit is unlikely to occur, and as a result, the safety can be improved.

また、放電電極と半導電部間の沿面距離が長くなることにより、放電範囲が広がり、より広い範囲から活性種が生成するため、安全性の向上が図れるものである。また、集中的に高濃度の活性種が生成することがないため、半導電部の劣化が起こらず持続的に活性種を放出することができるものである。   Moreover, since the creeping distance between the discharge electrode and the semiconductive portion is increased, the discharge range is widened, and active species are generated from a wider range, so that safety can be improved. Further, since active species with high concentration are not generated intensively, the active species can be released continuously without causing deterioration of the semiconductive portion.

さらに、半導電部内に電流が流れることによって、電気抵抗によって半導電部が発熱するため、半導電部近傍の空気が暖められる。この暖められた空気には、周辺の暖められていない空気から相対湿度差によって水分が移動し、暖められた空気内の保有水分は増加する。特に、半導電部の孔部周辺には多くの電流が流れているため発熱量が多く、空気の保有水分量が増加している。孔部周辺の水分量の増加した領域において、コロナ放電を生じさせることによって、空気中の水分を有効に利用して活性種の量を増やすという効果を奏することができる。   Furthermore, since a current flows in the semiconductive portion, the semiconductive portion generates heat due to electrical resistance, so that the air near the semiconductive portion is warmed. Moisture moves to the warmed air from the surrounding unwarmed air due to the relative humidity difference, and the retained moisture in the warmed air increases. In particular, since a large amount of current flows around the hole of the semiconductive portion, the amount of heat generated is large, and the amount of moisture retained in the air is increasing. By generating corona discharge in a region where the amount of water around the hole is increased, the effect of increasing the amount of active species by effectively using the water in the air can be obtained.

したがって、活性種発生ユニットおよびこれを用いた活性種発生装置としての活用が期待される。   Therefore, utilization as an active species generating unit and an active species generating apparatus using the same is expected.

1 部屋
2 床
3 活性種発生装置
4 吸気口
5 排気口
6 本体ケース
7 送風手段
8 活性種発生ユニット
9 仕切板部
10 風路部
11 空間部
12 電動機
13 羽根部
14 ケーシング部
15 吸込口
16 絶縁性基板
17 放電電極
18 半導電性の被覆
18a 吸着手段
19 電源接続部
19a 対向電極
20 電源部
21 孔部
22 支持部材
23 導電部
24 固定蓋
25 貫通孔
26 拡開傾斜面
27 中程
28 吸着剤
29 接着剤
30 細孔
31 絶縁被覆部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Room 2 Floor 3 Active species generator 4 Intake port 5 Exhaust port 6 Main body case 7 Blowing means 8 Active species generation unit 9 Partition plate part 10 Air passage part 11 Space part 12 Electric motor 13 Blade part 14 Casing part 15 Inlet 16 Insulation Conductive substrate 17 Discharge electrode 18 Semi-conductive coating 18a Adsorption means 19 Power supply connection portion 19a Counter electrode 20 Power supply portion 21 Hole portion 22 Support member 23 Conductive portion 24 Fixing lid 25 Through-hole 26 Expanding inclined surface 27 Middle 28 Adsorbent 29 Adhesive 30 Pore 31 Insulation coating

Claims (18)

筒状または箱状のケース部と、
このケース部の一端開口部からこのケース部内に、その先端側を挿入した放電電極と、
前記放電電極の先端側近傍で、前記放電電極の略垂直方向に対向配置した半導電部とを備え、
前記半導電部は、外周近傍に電源接続部を有し、
前記半導電部の前記電源接続部と前記放電電極には電源部から電圧を印加してコロナ放電により活性種を発生させる活性種発生ユニット。
A cylindrical or box-like case,
A discharge electrode in which the tip side is inserted from one end opening of the case portion into the case portion,
A semiconducting portion disposed in the vicinity of the front end side of the discharge electrode and opposed to the discharge electrode in a substantially vertical direction;
The semiconductive part has a power connection part in the vicinity of the outer periphery,
An active species generating unit for generating an active species by corona discharge by applying a voltage from a power source to the power connection portion and the discharge electrode of the semiconductive portion.
半導電部は、ガラスと有機物と導電剤を含有する請求項1記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to claim 1, wherein the semiconductive portion contains glass, an organic substance, and a conductive agent. 半導電部の表面抵抗率が、106Ω/□以上から1010Ω/□未満であることを特徴とする請求項1または2記載の活性種発生ユニット。 3. The active species generating unit according to claim 1, wherein the semiconductive portion has a surface resistivity of 10 6 Ω / □ or more and less than 10 10 Ω / □. 半導電部は、放電電極の先端側に対向する部分に孔部を有する請求項1〜3のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to any one of claims 1 to 3, wherein the semiconductive portion has a hole in a portion facing the tip side of the discharge electrode. 半導電部の周縁部および/または周縁部近傍の表面に導電部を設け、前記半導電部は前記導電部を介して電源部から電圧を印加していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 5. A conductive part is provided on a peripheral part of the semiconductive part and / or a surface in the vicinity of the peripheral part, and the semiconductive part applies a voltage from a power supply part through the conductive part. The active species generating unit according to any one of the above. 導電部は、孔部の中心から略等距離であることを特徴とする請求項5記載の活性種発生ユニット。 6. The active species generating unit according to claim 5, wherein the conductive portions are substantially equidistant from the center of the hole. 導電部は、金属製平板からなることを特徴とする請求項5または6記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to claim 5 or 6, wherein the conductive portion is made of a metal flat plate. 導電部の表面抵抗率は、半導電部の表面抵抗率より小さいことを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to any one of claims 5 to 7, wherein the surface resistivity of the conductive portion is smaller than the surface resistivity of the semiconductive portion. 放電電極は、半導電部の孔部の略中心軸上に位置することを特徴とする請求項5〜8のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to any one of claims 5 to 8, wherein the discharge electrode is located on a substantially central axis of the hole of the semiconductive portion. 放電電極の先端は、孔部の外方に位置する構成とした請求項9記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to claim 9, wherein the tip of the discharge electrode is positioned outside the hole. 放電電極の先端の断面形状と、半導電部の孔部の形状は、同種の形状であることを特徴とする請求項5〜10のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 11. The active species generating unit according to claim 5, wherein the cross-sectional shape of the tip of the discharge electrode and the shape of the hole of the semiconductive portion are the same type. 半導電部の孔部は、円形状であることを特徴とする請求項5〜11のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to claim 5, wherein the hole of the semiconductive portion has a circular shape. 半導電部は、セラミック製の絶縁性基板と、孔部の内面および前記絶縁性基板の放電電極側の表面に半導電性の被覆を備えたことを特徴とする請求項1〜12のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 The semiconductive portion includes a ceramic insulating substrate, and a semiconductive coating on the inner surface of the hole and the surface on the discharge electrode side of the insulating substrate. The active species generating unit according to one. 半導電部は、セラミック製の絶縁性基板と、孔部の内面と絶縁性基板の一方面表面とに吸着手段を備えたことを特徴とする請求項1〜12のいずれか1つに記載の活性種発生ユニット。 The semiconductive portion includes an insulating substrate made of ceramic, an inner surface of the hole, and one surface of the insulating substrate, and suction means. Active species generating unit. 半導電性の被覆または吸着手段は、孔部の拡開斜面の中程にいくほど膜厚が厚くなるような曲面を形成することを特徴とする請求項13または14に記載の活性種発生ユニット。 The active species generating unit according to claim 13 or 14, wherein the semiconductive coating or adsorbing means forms a curved surface such that the film thickness increases toward the middle of the expanding slope of the hole. . 前記孔部の内面の前記吸着手段の厚み寸法は、
前記絶縁性基板の一方面表面の前記吸着手段の厚み寸法より大きいことを特徴とする請求項14または15に記載の活性種発生ユニット。
The thickness dimension of the suction means on the inner surface of the hole is
The active species generating unit according to claim 14 or 15, wherein the active species generating unit is larger than a thickness dimension of the adsorption means on one surface of the insulating substrate.
電源は、放電電極と半導電(電源接続)部間に、3〜10KVの正または負の電圧を印加することを特徴とする請求項1〜15のいずれか一つに記載の活性種発生ユニット。 16. The active species generating unit according to claim 1, wherein the power source applies a positive or negative voltage of 3 to 10 KV between the discharge electrode and the semiconductive (power source connection) part. . 吸気口と排気口を有する本体ケースと、
この本体ケース内に送風手段と請求項1〜17のいずれか一つに記載の活性種発生ユニットとを設け、
前記送風手段により前記本体ケースの吸気口から吸込んだ空気を、前記活性種発生ユニットに送り、
前記活性種発生ユニットで発生した活性種を含んだ空気を前記排気口から吹出す構成としたことを特徴とする活性種発生装置。
A body case having an air inlet and an air outlet;
In the main body case, air blowing means and the active species generating unit according to any one of claims 1 to 17 are provided,
The air sucked from the air inlet of the main body case by the blowing means is sent to the active species generating unit,
An active species generating apparatus characterized in that air containing active species generated by the active species generating unit is blown out from the exhaust port.
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