JP2013080757A - Laminate structure for printed wiring board and method of manufacturing printed wiring board - Google Patents

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Takenori Sumiya
武徳 角谷
Hiroyuki Niino
弘之 新納
Daisuke Shibata
大介 柴田
Katsuto Murata
勝人 邑田
Gen Itokawa
弦 糸川
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
Taiyo Holdings Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laminate structure for a printed wiring board capable of performing fine and quick via hole formation without denaturation of a surface layer around a via hole periphery when the via hole reaching a substrate is formed by irradiation with an ultraviolet laser, and also to provide a method of manufacturing a printed wiring board using the same.SOLUTION: A laminate structure for a printed wiring board includes: a substrate; a second cured coated film layer formed on the substrate; and a first cured coated film formed between the second cured coated film layer and the substrate. The second cured coated film is formed of a thermosetting resin composition including (C) a polyimide resin having a multi-branched structure and (D) a multifunctional cycloaliphatic epoxy resin, and the first cured coated film is formed of the thermosetting resin composition including at least one kind of a component having ultraviolet absorption.

Description

本発明は、プリント配線板等に用いられる積層構造体およびそれを用いたプリント配線板の製造方法に関する。   The present invention relates to a laminated structure used for a printed wiring board and the like and a method for manufacturing a printed wiring board using the same.

近年、情報通信機器をはじめとした電子機器の小型化・高密度化に伴い、プリント配線板においても、小型化や薄型化が進み、それによる配線パターンの高密度化・微細化の要望が高まっている。このような基板上の樹脂絶縁層に対して、直径50から250μm程度の基板に到達するビアホール(貫通孔)を形成する際は、炭酸ガスレーザーを用いるのが一般的である(特許文献1等参照)。   In recent years, with the miniaturization and high density of electronic devices such as information communication devices, printed wiring boards have also become smaller and thinner, and the demand for higher density and miniaturization of wiring patterns has increased. ing. When forming a via hole (through hole) reaching a substrate having a diameter of about 50 to 250 μm with respect to such a resin insulating layer on the substrate, a carbon dioxide laser is generally used (Patent Document 1, etc.) reference).

また、直径30から50μm程度の微細なビアホールを形成する際は、紫外線レーザーが使用される(特許文献2から4等参照)。その際、紫外線レーザーの加工速度を上げる目的で、樹脂絶縁層の紫外線吸収性を高めるために、樹脂絶縁層の成分中に紫外線吸収剤等を含有させることがある(特許文献5等参照)。   Further, when forming a fine via hole having a diameter of about 30 to 50 μm, an ultraviolet laser is used (see Patent Documents 2 to 4). At that time, for the purpose of increasing the processing speed of the ultraviolet laser, in order to increase the ultraviolet absorptivity of the resin insulating layer, an ultraviolet absorber or the like may be included in the component of the resin insulating layer (see Patent Document 5).

このような紫外線レーザー加工の際には、エネルギー密度の高いレーザー光が、樹脂絶縁層に照射され、当該部が除去加工されるが、同時に、エネルギー密度の低いレーザー光も樹脂絶縁層に照射され、特に、紫外線吸収性が高い樹脂絶縁層において、ビアホール周縁の表層部が変性してしまうために、塗膜物性が著しく悪化するという問題があった。これは、樹脂絶縁層が1層のみであるため、所望のビアホールが形成される以外にも、ビアホール周縁の表層部が変性してしまう弊害が生じることによる。   In such ultraviolet laser processing, a laser beam having a high energy density is irradiated onto the resin insulating layer and the part is removed, but at the same time, a laser beam having a low energy density is also irradiated onto the resin insulating layer. In particular, in a resin insulating layer having a high UV absorption property, the surface layer portion around the via hole is denatured, so that the physical properties of the coating film are significantly deteriorated. This is because the resin insulating layer is only one layer, and therefore, in addition to the formation of a desired via hole, there is a problem that the surface layer portion around the periphery of the via hole is modified.

また、紫外線レーザーを用いる場合に、樹脂絶縁層の紫外線吸収性が低いと、除去性が悪く照射回数が多くなるため、加工速度は遅く、迅速に加工できないことから適当でない。一方、炭酸ガスレーザーを用いる場合では、樹脂絶縁層の加工速度は速いものの、波長および回折限界から50μm以下のビアホール形成を安定的に形成できないため、適当でない。   In addition, when an ultraviolet laser is used, if the resin insulating layer has a low ultraviolet absorptivity, the removability is poor and the number of times of irradiation increases, so that the processing speed is slow and the processing cannot be performed quickly. On the other hand, in the case of using a carbon dioxide laser, although the processing speed of the resin insulating layer is high, it is not appropriate because the formation of a via hole of 50 μm or less cannot be stably formed from the wavelength and diffraction limit.

上記問題に対し、レーザー光の焦点位置を変える(デフォーカス)ことにより、樹脂層を除去する方法が開示されている(特許文献6等参照)。また、樹脂絶縁層上にプラスチックフィルムを積層させ、2層以上の複層にした状態で、紫外線レーザーによって加工する方法が開示されている(特許文献7から8等参照)。   To solve the above problem, a method of removing the resin layer by changing the focal position of the laser beam (defocusing) has been disclosed (see Patent Document 6 and the like). In addition, a method of processing with an ultraviolet laser in a state where a plastic film is laminated on a resin insulating layer to form two or more layers is disclosed (see Patent Documents 7 to 8, etc.).

国際公開2009−066759号International Publication No. 2009-0666759 特開平11−266068号公報(特許請求の範囲等)Japanese Patent Laid-Open No. 11-266068 (Claims etc.) 特開2004−240233号公報(特許請求の範囲等)JP 2004-240233 A (Claims etc.) 国際公開2009−096507号(特許請求の範囲等)International Publication No. 2009-096507 (Claims etc.) 特開2002−121360号公報(請求項1等)JP 2002-121360 A (Claim 1 etc.) 特開2006−203074号公報(特許請求の範囲等)JP 2006-203074 A (Claims etc.) 特開2004−087991号公報(特許請求の範囲等)JP 2004-079991 A (Claims etc.) 特開2001−323075号公報(特許請求の範囲等)JP 2001-323075 A (Claims etc.)

しかしながら、上記特許文献6記載の方法では、レーザー加工の際に発生するスミアと呼ばれる樹脂分解物の発生を低減させることはできるものの、ビアホール周縁の表層部の変性を生じさせないことは示されておらず、上記問題の解決にはならない。また、上記特許文献7および8記載の方法では、レーザー加工後にフィルムを剥離する工程を別途設ける必要があり、また、20μm未満の厚みの薄膜フィルムでは変性を抑える効果が薄く、20μm以上の厚みのフィルムでは、除去するのにレーザーの照射回数が多く必要となり、生産性低下の問題があった。このように従来の方法では、ビアホール周縁の表層部が変性しないことと、微細で迅速なビアホール形成との両立は難しいという問題があった。   However, although the method described in Patent Document 6 can reduce the generation of a resin degradation product called smear generated during laser processing, it does not show that the surface layer portion around the periphery of the via hole is not modified. However, it does not solve the above problem. Further, in the methods described in Patent Documents 7 and 8, it is necessary to separately provide a step of peeling the film after laser processing. In addition, a thin film having a thickness of less than 20 μm has a small effect of suppressing denaturation, and has a thickness of 20 μm or more. In the case of a film, a large number of laser irradiations are required to remove the film, which causes a problem of a decrease in productivity. As described above, in the conventional method, there is a problem that it is difficult to satisfy both the fact that the surface layer portion around the periphery of the via hole is not modified and the formation of a fine and quick via hole.

そこで本発明の目的は、基板上の樹脂絶縁層において、基板に到達するビアホールを紫外線レーザー照射によって形成する際、ビアホール周縁の表層部が変性することなく、かつ、微細で迅速なビアホール形成が可能な、プリント配線板用積層構造体およびそれを用いたプリント配線板の製造方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to form a fine and quick via hole without modifying the surface layer portion of the periphery of the via hole when a via hole reaching the substrate is formed by ultraviolet laser irradiation in the resin insulating layer on the substrate. Another object of the present invention is to provide a laminated structure for a printed wiring board and a method for producing a printed wiring board using the same.

本発明者らは、鋭意検討した結果、紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物を用いた第1の硬化塗膜の層と、紫外線吸収性を有さない熱硬化性樹脂組成物を用いた第2の硬化塗膜の層と、を含むプリント配線板用積層構造体とすることで上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies, the present inventors have used a first cured coating layer using a thermosetting resin composition having ultraviolet absorptivity and a thermosetting resin composition having no ultraviolet absorptivity. The present invention has been completed by finding that the above-mentioned problems can be solved by using a laminated structure for a printed wiring board including the second cured coating layer.

すなわち、プリント配線板用の本発明の積層構造体は、基板と、前記基板上に形成された第2の硬化塗膜の層と、前記第2の硬化塗膜の層と前記基板との間に形成された第1の硬化塗膜の層とを備え、前記第2の硬化塗膜が、(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂および(D)多官能脂環式エポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂組成物より形成され、前記第1の硬化塗膜が、紫外線吸収性を有する成分を少なくとも1種を含む熱硬化性樹脂組成物により形成されることを特徴とするものである。   That is, the laminated structure of the present invention for a printed wiring board includes a substrate, a second cured coating layer formed on the substrate, and between the second cured coating layer and the substrate. And the second cured coating film comprises (C) a polyimide resin having a multi-branched structure and (D) a polyfunctional alicyclic epoxy resin. The first cured coating film is formed from a thermosetting resin composition containing at least one component having ultraviolet absorptivity.

本発明のプリント配線板用積層構造体は、前記第1の硬化塗膜が、(A)線状構造を有するポリイミド樹脂、(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂、及び(E)紫外線吸収剤のうちの少なくともいずれか1種の紫外線吸収性を有する成分を含む熱硬化性樹脂組成物により形成されることが好ましい。   In the laminated structure for a printed wiring board according to the present invention, the first cured coating film includes (A) a polyimide resin having a linear structure, (B) an epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring, and (E ) It is preferably formed of a thermosetting resin composition containing a component having at least one of ultraviolet absorbers among ultraviolet absorbers.

本発明のプリント配線板用積層構造体は、前記第1の硬化塗膜および前記第2の硬化塗膜が、絶縁性永久保護膜であることが好ましい。   In the laminated structure for a printed wiring board of the present invention, it is preferable that the first cured coating film and the second cured coating film are insulating permanent protective films.

本発明のプリント配線板用積層構造体は、前記(A)線状構造を有するポリイミド樹脂が、反応性官能基を有する芳香族ポリイミド樹脂であることが好ましい。   In the laminated structure for a printed wiring board of the present invention, the polyimide resin having the linear structure (A) is preferably an aromatic polyimide resin having a reactive functional group.

本発明のプリント配線板用積層構造体は、前記(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂が、ナフタレン型エポキシ樹脂およびアントラセン型エポキシ樹脂のうちの少なくともいずれか1種であることが好ましい。   In the laminated structure for a printed wiring board according to the present invention, the (B) epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring may be at least one of a naphthalene type epoxy resin and an anthracene type epoxy resin. preferable.

本発明のプリント配線板用積層構造体は、前記第1の硬化塗膜の膜厚よりも前記第2の硬化塗膜の膜厚の方が薄いことが好ましい。   In the laminated structure for a printed wiring board of the present invention, the film thickness of the second cured coating film is preferably thinner than the film thickness of the first cured coating film.

本発明のプリント配線板の製造方法は、上述したプリント配線板用積層構造体に対して紫外線レーザーを照射して、第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜を除去し、前記基板に到達するビアホールを形成することを特徴とするものである。   In the method for producing a printed wiring board of the present invention, the laminated structure for printed wiring board is irradiated with an ultraviolet laser to remove the first cured coating film and the second cured coating film. A reaching via hole is formed.

本発明によれば、基板上の第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜からなる樹脂絶縁層に対して、基板に到達するビアホールを紫外線レーザー照射によって形成する際、ビアホール周縁の表層部が変性することなく、かつ、微細で迅速なビアホール形成が可能となる。   According to the present invention, when a via hole reaching the substrate is formed by ultraviolet laser irradiation with respect to the resin insulating layer composed of the first cured coating film and the second cured coating film on the substrate, the surface layer portion at the periphery of the via hole It is possible to form a fine and quick via hole without degeneration.

本発明の積層構造体の紫外線レーザー加工による貫通孔および配線溝形成過程を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the through-hole and wiring groove | channel formation process by the ultraviolet laser processing of the laminated structure of this invention. 従来の樹脂絶縁層を備えた基板の紫外線レーザー加工による貫通孔形成過程を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the through-hole formation process by the ultraviolet laser processing of the board | substrate provided with the conventional resin insulation layer.

以下、本発明について詳細に説明する。
本発明のプリント配線板用積層構造体は、基板と、前記基板上に形成された第2の硬化塗膜の層と、前記第2の硬化塗膜の層と前記基板との間に形成された第1の硬化塗膜の層とを備えることを特徴とするものである。第1の硬化塗膜は下記構成を備えることにより紫外線吸収性を有し、第2の硬化塗膜は下記構成を備えることにより紫外線吸収性を有さないか、もしくは紫外線吸収性が著しく低い。ここで、紫外線とは200〜400nmの波長を指す。本発明のプリント配線板用積層構造体は、プリント配線板として有用である。即ち、レーザー加工、好ましくは紫外線レーザー加工により、貫通穴を形成し、めっき処理を施すことで高密度で微細な配線パターンを備えたプリント配線板として用いることができる。
Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The laminated structure for a printed wiring board according to the present invention is formed between a substrate, a second cured coating layer formed on the substrate, the second cured coating layer, and the substrate. And a first cured coating layer. The first cured coating film has ultraviolet absorption by having the following constitution, and the second cured coating film has no ultraviolet absorption by having the following constitution, or has extremely low ultraviolet absorption. Here, the ultraviolet ray refers to a wavelength of 200 to 400 nm. The laminated structure for a printed wiring board of the present invention is useful as a printed wiring board. That is, through holes are formed by laser processing, preferably ultraviolet laser processing, and plating treatment is performed, so that it can be used as a printed wiring board having a high-density and fine wiring pattern.

本発明者らの検討の結果、本発明の構成を採用することにより、紫外線レーザー照射によって第2の硬化塗膜および第1の硬化塗膜が除去加工され、微細で迅速なビアホール形成が可能となることが明らかとなった。これは、紫外線レーザーを照射すると、レーザー光は第2の硬化塗膜を透過するものの、紫外線吸収性を有する第1の硬化塗膜がレーザー光を吸収する。そして、塗膜が分解および気化して除去加工される際、同時に第2の硬化塗膜も第1の硬化塗膜側から押し出される様に除去されていると考えられる。そして第2の硬化塗膜をレーザー光が透過することから、第2の硬化塗膜の層において貫通穴周縁の変性の発生が抑制される。   As a result of the study by the present inventors, by adopting the configuration of the present invention, the second cured coating film and the first cured coating film are removed by ultraviolet laser irradiation, and a fine and quick via hole can be formed. It became clear that This is because when irradiated with an ultraviolet laser, the laser light is transmitted through the second cured coating film, but the first cured coating film having ultraviolet absorptivity absorbs the laser light. And when a coating film decomposes | disassembles and vaporizes and is removed, it is thought that the 2nd cured coating film is simultaneously removed so that it may be extruded from the 1st cured coating film side. And since a laser beam permeate | transmits a 2nd cured coating film, generation | occurrence | production of the modification | denaturation of a through-hole periphery is suppressed in the layer of a 2nd cured coating film.

<第1の硬化塗膜>
第1の硬化塗膜は、紫外線吸収性を有する成分を少なくとも一種含む熱硬化性樹脂組成物により形成されることを特徴とするものである。
第1の硬化塗膜に用いられる熱硬化性樹脂組成物は、(A)線状構造を有するポリイミド樹脂、(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂、及び(E)紫外線吸収剤の少なくとも何れか一種を含むことが好ましい。
なお、紫外線吸収性を有する成分として(E)紫外線吸収剤のみを含む場合は、熱硬化性樹脂組成物中に熱硬化性樹脂成分を含む必要がある。
<First cured coating film>
The first cured coating film is formed of a thermosetting resin composition containing at least one component having ultraviolet absorptivity.
The thermosetting resin composition used for the first cured coating film includes (A) a polyimide resin having a linear structure, (B) an epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring, and (E) an ultraviolet absorber. It is preferable that at least any one of these is included.
In addition, when (E) only an ultraviolet absorber is included as a component which has ultraviolet absorptivity, it is necessary to include a thermosetting resin component in a thermosetting resin composition.

紫外線吸収性を有する成分としての上記(A)線状構造を有するポリイミド樹脂は、樹脂骨格中に環状イミド結合を含むことが好ましく、紫外域に高い吸収性を有するものである。また、反応性官能基を有する芳香族ポリイミド樹脂が好ましく、有機溶剤に可溶なことが好ましい。ここで、芳香族ポリイミド樹脂とは、好ましくは下記一般式で表される構造単位を有する樹脂であり、また分子中に、下記と同様の反応性官能基を有することが好ましい。

Figure 2013080757
(式中、Rは、芳香族環を有する4価の有機基を表し、Rは、芳香族環を有する2価の有機基を表す。) The (A) polyimide resin having a linear structure as a component having ultraviolet absorptivity preferably contains a cyclic imide bond in the resin skeleton, and has a high absorptivity in the ultraviolet region. Moreover, the aromatic polyimide resin which has a reactive functional group is preferable, and it is preferable that it is soluble in an organic solvent. Here, the aromatic polyimide resin is preferably a resin having a structural unit represented by the following general formula, and preferably has a reactive functional group similar to the following in the molecule.
Figure 2013080757
(In the formula, R 3 represents a tetravalent organic group having an aromatic ring, and R 4 represents a divalent organic group having an aromatic ring.)

(A)線状構造を有するポリイミド樹脂の具体例としては、V−8005(DIC社製);GPI−NT、−HT(群栄化学工業社製);リカコートSN−20、−PN−20、−CN−20(新日本理化社製)等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   (A) Specific examples of the polyimide resin having a linear structure include V-8005 (manufactured by DIC); GPI-NT, -HT (manufactured by Gunei Chemical Industry Co., Ltd.); Rika Coat SN-20, -PN-20, -CN-20 (made by Shin Nippon Rika Co., Ltd.) etc. are mentioned. These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more types.

なお、上記(A)線状構造を有するポリイミド樹脂は、紫外線吸収性を有するものであれば、具体例に記載した以外のポリイミド樹脂も使用できる。   In addition, the polyimide resin which has the said (A) linear structure can also use polyimide resin other than having described in the specific example, if it has ultraviolet absorptivity.

このような(A)線状構造を有するポリイミド樹脂の組成物中の含有率は、第1の硬化塗膜を形成する為の熱硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として、好ましくは10〜90質量%であり、より好ましくは20〜60質量%である。上記(A)線状構造を有するポリイミド樹脂が10質量%未満では、耐熱性が低下するため、本発明の効果が発揮されないことがあり、90質量%を超えると、硬化性が不十分となり、硬化塗膜としての機能が発現されないことがある。   The content of the polyimide resin having such a linear structure (A) in the composition is preferably 10 based on the total solid content of the thermosetting resin composition for forming the first cured coating film. It is -90 mass%, More preferably, it is 20-60 mass%. If the polyimide resin having the linear structure (A) is less than 10% by mass, the heat resistance is lowered, so the effect of the present invention may not be exhibited. If it exceeds 90% by mass, the curability becomes insufficient. The function as a cured coating film may not be expressed.

紫外線吸収性を有する成分としての上記(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂は、樹脂骨格中に2つ以上の芳香環が縮合した多環芳香族炭化水素環を含むエポキシ樹脂のことである。それら多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂のなかでも、良好な紫外線レーザー加工性を得ることができる点で、特に紫外線領域に高い吸収性を有するナフタレン型エポキシ樹脂またはアントラセン型エポキシ樹脂が好ましい。   The epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring (B) as a component having ultraviolet absorptivity is an epoxy resin containing a polycyclic aromatic hydrocarbon ring in which two or more aromatic rings are condensed in the resin skeleton. That is. Among these epoxy resins having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring, naphthalene type epoxy resins or anthracene type epoxy resins having particularly high absorbability in the ultraviolet region are preferable in that good ultraviolet laser processability can be obtained. .

上記(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂の具体例としては、ナフタレン型エポキシ樹脂として、HP−4032、HP−4032D、HP−4700、HP−4710、HP−4770、EXA−4700、EXA−4710、EXA−7311、EXA−9900(いずれもDIC社製);ESN−175、ESN−355、ESN−375(いずれも新日鉄化学社製);アントラセン型エポキシ樹脂として、YX−8800(三菱化学社製)等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   Specific examples of the epoxy resin having the (B) polycyclic aromatic hydrocarbon ring include naphthalene type epoxy resins such as HP-4032, HP-4032D, HP-4700, HP-4710, HP-4770, EXA-4700. , EXA-4710, EXA-7311, EXA-9900 (all manufactured by DIC); ESN-175, ESN-355, ESN-375 (all manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.); YX-8800 (as anthracene type epoxy resin) Mitsubishi Chemical Corporation). These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more types.

(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂の組成物中の含有率は、第1の硬化塗膜を形成する為の熱硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として、好ましくは10〜90質量%であり、より好ましくは20〜60質量%である。   (B) The content of the epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring in the composition is preferably based on the total solid content of the thermosetting resin composition for forming the first cured coating film. It is 10-90 mass%, More preferably, it is 20-60 mass%.

紫外線吸収性を有する成分としての上記(E)紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン誘導体、ベンゾエート誘導体、ベンゾトリアゾール誘導体、トリアジン誘導体、ベンゾチアゾール誘導体、シンナメート誘導体、アントラニレート誘導体、ジベンゾイルメタン誘導体等が挙げられる。例えば、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2,2’−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−エチルヘキシルサリチレート、フェニルサリチレート、p−t−ブチルフェニルサリチレート、2,4−ジ−t−ブチルフェニル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート、ヘキサデシル−3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンゾエート、2−(2’−ヒドロキシ−5’−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)べンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、ヒドロキシフェニルトリアジン、ビスエチルヘキシルオキシフェノールメトキシフェニルトリアジン等が挙げられ、具体例としては、CHIMASSORB81、TINUVIN120、−NP、−234、−320、−326、−327、−328、−329、−1577ED(BASFジャパン社製);スミソープ200、−250、−300、−340、−350(住友化学社製);アデカスタブLA−31、−32、−36(ADEKA社製)等が挙げられる。   Examples of the ultraviolet absorber (E) as a component having ultraviolet absorptivity include benzophenone derivatives, benzoate derivatives, benzotriazole derivatives, triazine derivatives, benzothiazole derivatives, cinnamate derivatives, anthranilate derivatives, dibenzoylmethane derivatives and the like. It is done. For example, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2,2′-dihydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-ethylhexyl salicylate, phenyl Salicylate, pt-butylphenyl salicylate, 2,4-di-t-butylphenyl-3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzoate, hexadecyl-3,5-di-t- Butyl-4-hydroxybenzoate, 2- (2′-hydroxy-5′-t-butylphenyl) benzotriazole, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2 ′ -Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- 2'-hydroxy-3 ', 5'-di-t-butylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (2'-hydroxy-5'-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy- 3 ', 5'-di-t-amylphenyl) benzotriazole, hydroxyphenyltriazine, bisethylhexyloxyphenol methoxyphenyltriazine, etc., and specific examples include CHIMASSORB81, TINUVIN120, -NP, -234, -320, -326, -327, -328, -329, -1577ED (manufactured by BASF Japan); Sumisorp 200, -250, -300, -340, -350 (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.); ADK STAB LA-31, -32, -36 (made by ADEKA) etc. are mentioned.

また、上記(E)紫外線吸収剤として、フォトレジスト用として一般的に用いられている光重合開始剤も使用できる。そのような光重合開始剤としては、α−アミノアルキルフェノン化合物、アシルホスフィンオキサイド化合物、オキシムエステル化合物、ベンゾフェノン化合物等が挙げられる。光重合開始剤の具体例としては、例えば、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−ジメチルアミノ−2−(4−メチル−ベンジル)−1−(4−モルフォリン−4−イル−フェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−(アセチルオキシイミノメチル)チオキサンテン−9−オン、1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、1−(9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル)、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(0−アセチルオキシム)、4,4′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられる。また、市販品の具体例としては、イルガキュア−369、−379、−907、−OXE01、−OXE02、CGI−242(BASFジャパン社製);N−1919(ADEKA社製);EAB(保土谷化学社製)等が挙げられる。
上記の(E)紫外線吸収剤は、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
Moreover, the photoinitiator generally used for the photoresist as said (E) ultraviolet absorber can also be used. Examples of such a photopolymerization initiator include α-aminoalkylphenone compounds, acylphosphine oxide compounds, oxime ester compounds, benzophenone compounds, and the like. Specific examples of the photopolymerization initiator include 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,2-dimethylamino-2- (4-methyl-benzyl)- 1- (4-morpholin-4-yl-phenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1 [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2- (acetyloxy Iminomethyl) thioxanthen-9-one, 1,2-octanedione, 1- [4- (phenylthio)-, 2- (O-benzoyloxime)], 1- (9-ethyl-6- (2-methyl) Benzoyl) -9H-carbazol-3-yl), ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (0-acetyloxime), , 4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, and the like. As specific examples of commercially available products, Irgacure-369, -379, -907, -OXE01, -OXE02, CGI-242 (BASF Japan); N-1919 (ADEKA); EAB (Hodogaya Chemical) Etc.).
Said (E) ultraviolet absorber may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

(E)紫外線吸収剤の含有率は、第1の硬化塗膜を形成する為の熱硬化性樹脂組成物の全固形分を基準として、好ましくは0.5〜10質量%であり、より好ましくは3〜7質量%である。紫外線吸収剤が0.5質量%未満では、レーザー加工性が十分に向上しないことがあり、10質量%を超えると、樹脂絶縁層としての物性が低下してくることがある。   (E) The content of the ultraviolet absorber is preferably 0.5 to 10% by mass, more preferably, based on the total solid content of the thermosetting resin composition for forming the first cured coating film. Is 3-7% by mass. If the ultraviolet absorber is less than 0.5% by mass, the laser processability may not be sufficiently improved, and if it exceeds 10% by mass, the physical properties as the resin insulating layer may be deteriorated.

なお、紫外線吸収性を有する成分として(A)線状構造を有するポリイミド樹脂と(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂を併用する場合、第1の硬化塗膜を形成する為の熱硬化性樹脂組成物全体における配合量は、(A)線状構造を有するポリイミド樹脂と(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂の合計量で、第1の硬化塗膜に用いる熱硬化性樹脂組成物100質量部に対して、40質量部から80質量部であることが好ましい。配合量が40質量部未満である場合、組成物全体における樹脂量が低いため、組成物の流動性の制御が難しく、印刷性が悪くなることがある。一方、配合割合が80質量部を超える場合、無機充填剤等の配合量が相対的に低下し、樹脂絶縁層の機械的強度が低下することがある。
また、紫外線吸収性を有する成分として(E)紫外線吸収剤のみを含む場合、熱硬化性樹脂成分としては、エポキシ系樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、または熱硬化性ポリイミド樹脂等の公知慣用の熱硬化性樹脂を用いることができる。
In addition, when (A) a polyimide resin having a linear structure and (B) an epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring are used in combination as a component having ultraviolet absorptivity, the first cured coating film is formed. The compounding amount in the whole thermosetting resin composition is the total amount of (A) a polyimide resin having a linear structure and (B) an epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring, and is used for the first cured coating film. It is preferably 40 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting resin composition. When the blending amount is less than 40 parts by mass, since the amount of resin in the entire composition is low, it is difficult to control the fluidity of the composition, and printability may be deteriorated. On the other hand, when the blending ratio exceeds 80 parts by mass, the blending amount of the inorganic filler or the like may be relatively decreased, and the mechanical strength of the resin insulating layer may be decreased.
When the component having ultraviolet absorptivity includes (E) only the ultraviolet absorber, the thermosetting resin component includes an epoxy resin, a phenol resin, an amino resin, an unsaturated polyester resin, a polyurethane resin, a silicone resin, or A known and commonly used thermosetting resin such as a thermosetting polyimide resin can be used.

上記熱硬化性樹脂組成物を用いた第1の硬化塗膜の膜厚は、10〜30μmであることが好ましく、より好ましくは10〜20μmである。また、硬化塗膜はレベリング(平滑化)されていることが望ましい。膜厚が10μm未満である場合、レーザー照射によりクラック等の損傷を受けやすくなるため、好ましくない。また、膜厚が30μmを超える場合、基板としての厚みが増してしまい、基板の薄型化に対応できない。   It is preferable that the film thickness of the 1st cured coating film using the said thermosetting resin composition is 10-30 micrometers, More preferably, it is 10-20 micrometers. The cured coating film is preferably leveled (smoothed). When the film thickness is less than 10 μm, it is not preferable because it is easily damaged by laser irradiation such as cracks. On the other hand, when the film thickness exceeds 30 μm, the thickness of the substrate increases, and the substrate cannot be made thinner.

<第2の硬化塗膜>
第2の硬化塗膜に用いられる熱硬化性樹脂組成物は、(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂および(D)多官能脂環式エポキシ樹脂を含むことを特徴とするものである。
上記の(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂は、樹脂骨格中にイソシアヌレート環を有し、該イソシアヌレート環から分岐が生じている構造を有し、紫外線吸収性がないか、もしくは著しく低いポリイミド樹脂である。また、ナフタレン環やアントラセン環等の多環芳香族といった紫外線吸収性をもたらすような構造を樹脂構造中に含まず、好ましくは、ウレタン結合と、イミド環と、イソシアヌレート環とを有し、かつ、エポキシ基と反応する反応性官能基を有する。反応性官能基を有することで、加熱による硬化が可能となる。さらに、有機溶剤に可溶であることが好ましい。前記反応性官能基にはカルボキシル基、アミノ基、水酸基等の活性水素を有する官能基が挙げられる。イミド構造を有する為に、耐熱性が高い硬化塗膜が得られる。その為、レーザー加工に起因する発熱による分解、溶解、膨張、変性を抑制することが期待できる。
<Second cured coating film>
The thermosetting resin composition used for the second cured coating film includes (C) a polyimide resin having a multi-branched structure and (D) a polyfunctional alicyclic epoxy resin.
(C) The polyimide resin having a multi-branched structure has an isocyanurate ring in the resin skeleton, and has a structure in which branching occurs from the isocyanurate ring, and has no or extremely low ultraviolet absorptivity. It is a polyimide resin. Further, the resin structure does not include a structure that brings about ultraviolet absorption such as a polycyclic aromatic group such as a naphthalene ring or an anthracene ring, and preferably has a urethane bond, an imide ring, and an isocyanurate ring, and , Having a reactive functional group that reacts with an epoxy group. By having a reactive functional group, curing by heating becomes possible. Further, it is preferably soluble in an organic solvent. Examples of the reactive functional group include functional groups having active hydrogen such as a carboxyl group, an amino group, and a hydroxyl group. Since it has an imide structure, a cured coating film having high heat resistance can be obtained. Therefore, it can be expected to suppress decomposition, dissolution, expansion, and denaturation due to heat generation caused by laser processing.

上記の(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂のうち、好適なものの具体例としては、例えば、下記一般式(1)で示される構造単位と下記一般式(2)で示される構造単位を有し、かつ、下記一般式(3)、(4)及び(5)で示される末端構造のいずれか1種以上を有するものが挙げられる。

Figure 2013080757
(式中、Rは炭素原子数6〜13の環式脂肪族構造を有する有機基を示し、Rは数平均分子量700〜4,500の線状炭化水素構造を示す。)
Figure 2013080757
Specific examples of suitable (C) polyimide resins having a multi-branched structure include, for example, a structural unit represented by the following general formula (1) and a structural unit represented by the following general formula (2). And what has any 1 or more types of the terminal structure shown by the following general formula (3), (4) and (5) is mentioned.
Figure 2013080757
(Wherein R 1 represents an organic group having a cyclic aliphatic structure having 6 to 13 carbon atoms, and R 2 represents a linear hydrocarbon structure having a number average molecular weight of 700 to 4,500.)
Figure 2013080757

(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂の具体例としては、V−8000(DIC社製)等が挙げられる。
なお、上記(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂は、紫外線吸収性がないか、もしくは著しく低いものであれば、具体例に記載した以外のポリイミド樹脂も使用できる。
(C) Specific examples of the polyimide resin having a multi-branched structure include V-8000 (manufactured by DIC).
In addition, the polyimide resin which has the said (C) multi-branched structure can also use polyimide resin other than what was described in the specific example, as long as it does not have ultraviolet absorptivity or is remarkably low.

このような(C)ポリイミド樹脂の含有率は、第2の硬化塗膜を形成する為の熱硬化性樹脂組成物の全固形分(組成物全体から、溶剤を除いた分)を基準として、好ましくは50〜90質量%であり、より好ましくは50〜75質量%である。上記(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂が50質量%未満では、耐熱性が低下するため、本発明の効果が発揮されないことがあり、90質量%を超えると、熱硬化性が悪いため、樹脂絶縁層としての物性が低下してくることがある。   The content of such (C) polyimide resin is based on the total solid content of the thermosetting resin composition for forming the second cured coating film (minus the solvent from the entire composition), Preferably it is 50-90 mass%, More preferably, it is 50-75 mass%. If the polyimide resin having the above-mentioned (C) multi-branched structure is less than 50% by mass, the heat resistance is lowered, so the effect of the present invention may not be exhibited. If it exceeds 90% by mass, the thermosetting property is poor. The physical properties of the resin insulating layer may be deteriorated.

上記(D)多官能脂環式エポキシ樹脂は、骨格に不飽和結合を有さない炭素環を含み、官能基としてエポキシ基を2以上有する構造の樹脂である。
上記(D)多官能脂環式エポキシ樹脂の具体例としては、セロキサイド2021、−2021P、−2080、−2081、−2083、−2085、エポリードGT−301、−302、−401、−403、EHPE−3150(ダイセル化学工業社製);サイラキュアUVR−6105、−6107、−6110、−6128(ダウ・ケミカル社製);YX8000、YX8034(三菱化学社製);HBE−100(新日本理化社製)等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。
The (D) polyfunctional alicyclic epoxy resin is a resin having a structure including a carbocycle having no unsaturated bond in the skeleton and having two or more epoxy groups as functional groups.
Specific examples of the (D) polyfunctional alicyclic epoxy resin include Celoxide 2021, -2021P, -2080, -2081, -2083, -2085, Epolide GT-301, -302, -401, -403, EHPE. -3150 (manufactured by Daicel Chemical Industries); Cyracure UVR-6105, -6107, -6110, -6128 (manufactured by Dow Chemical Company); YX8000, YX8034 (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); ) And the like. These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more types.

(D)多官能脂環式エポキシ樹脂の含有率は、第2の硬化塗膜を形成する為の組成物の全固形分を基準として、好ましくは10〜40質量%であり、より好ましくは10〜25質量%である。   (D) The content of the polyfunctional alicyclic epoxy resin is preferably 10 to 40% by mass, more preferably 10 based on the total solid content of the composition for forming the second cured coating film. -25% by mass.

また、(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂と(D)多官能脂環式エポキシ樹脂の、第2の硬化塗膜を形成する為の熱硬化性樹脂組成物全体における配合量は、(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂と(D)多官能脂環式エポキシ樹脂の合計量で、第2の硬化塗膜に用いる熱硬化性樹脂組成物100質量部に対して、40質量部から95質量部であることが好ましい。配合量が40質量部未満である場合、組成物全体における樹脂量が低いため、組成物の流動性の制御が難しく、印刷性が悪くなることがある。また、配合割合が95質量部を超える場合、塗膜物性を強化するための添加剤類の配合量が相対的に低下するため、樹脂絶縁層の機械的強度が低下することがある。   Moreover, the compounding quantity in the whole thermosetting resin composition for forming the 2nd cured coating film of (C) polyimide resin which has a multi-branch structure, and (D) polyfunctional alicyclic epoxy resin is (C ) The total amount of the polyimide resin having a multi-branched structure and (D) the polyfunctional alicyclic epoxy resin, and from 40 parts by mass to 95 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting resin composition used for the second cured coating film. It is preferable that it is a mass part. When the blending amount is less than 40 parts by mass, since the amount of resin in the entire composition is low, it is difficult to control the fluidity of the composition, and printability may be deteriorated. Further, when the blending ratio exceeds 95 parts by mass, the blending amount of additives for enhancing the physical properties of the coating film is relatively decreased, so that the mechanical strength of the resin insulating layer may be decreased.

上記熱硬化性樹脂組成物を用いた第2の硬化塗膜の膜厚は、5〜20μmであることが好ましく、より好ましくは、5〜10μmである。膜厚が5μm未満である場合、レーザー照射によりビアホール周縁の表層部の変性を抑える効果が薄れるため、好ましくない。また、膜厚が20μmを超える場合、基板としての厚みが増してしまい、基板の薄型化に対応できない。また、第2の硬化塗膜の膜厚の方が、第1の硬化塗膜の膜厚よりも薄いことが好ましい。   The film thickness of the second cured coating film using the thermosetting resin composition is preferably 5 to 20 μm, more preferably 5 to 10 μm. When the film thickness is less than 5 μm, the effect of suppressing the modification of the surface layer portion around the via hole by the laser irradiation is not preferable. On the other hand, when the film thickness exceeds 20 μm, the thickness of the substrate increases, and the substrate cannot be made thinner. Moreover, it is preferable that the film thickness of a 2nd cured coating film is thinner than the film thickness of a 1st cured coating film.

本発明に用いる第1の硬化塗膜に用いる熱硬化性樹脂組成物を構成する(A)線状構造を有するポリイミド樹脂、(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂、第2の硬化塗膜に用いる熱硬化性樹脂組成物を構成する(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂、(D)多官能脂環式エポキシ樹脂は、液状であることが好ましいが、常温で固形または結晶性固体であってもよい。その際は、有機溶剤に溶解させ樹脂ワニスとして使用される。
有機溶剤は、上記のように樹脂ワニスを調整するために用いる他、組成物の印刷適性を得るための粘度調整をする際等にも適宜使用できる。
(A) a polyimide resin having a linear structure constituting the thermosetting resin composition used in the first cured coating film used in the present invention, (B) an epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring, (C) Polyimide resin having a multi-branched structure and (D) polyfunctional alicyclic epoxy resin constituting the thermosetting resin composition used for the cured coating film are preferably liquid, but are solid or crystalline at room temperature. It may be a conductive solid. In that case, it is dissolved in an organic solvent and used as a resin varnish.
The organic solvent can be used appropriately when adjusting the viscosity for obtaining the printability of the composition, as well as for adjusting the resin varnish as described above.

有機溶剤としては、公知のものをいずれも使用することができる。そのような溶剤として、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤、等を用いることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、アセトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテート、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチルなどのエステル類;γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類;エタノール、プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤が挙げられ、特に、(A)線状構造を有するポリイミド樹脂に対しては、γ−ブチロラクトン、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類、(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂に対しては、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のグリコールエーテル類、は溶解性が良好であり、好ましい。これら有機溶剤は1種を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   Any known organic solvent can be used. As such a solvent, ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like can be used. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone, acetone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, diethylene glycol Glycol ethers such as monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether; ethyl acetate, butyl acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl Ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol buty Esters such as ether acetate, methyl lactate, ethyl lactate, butyl lactate; amides such as γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide; ethanol, propanol, Examples include alcohols such as ethylene glycol and propylene glycol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha. Especially, (A) linear structure Amides such as γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, and (C) a polyimide resin having a multi-branched structure. For diethylene glycol monoethyl ether acetate Glycol ethers etc., has good solubility, preferred. These organic solvents may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

本発明に用いる第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜に用いられる熱硬化性樹脂組成物は、さらに、熱硬化触媒、無機充填剤、着色剤、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤等の公知慣用の添加剤類を含有することができる。ただし、第2の硬化塗膜に用いられる熱硬化性樹脂組成物中には、紫外線吸収性を有する添加剤類を使用することはできない。   The thermosetting resin composition used for the first cured coating film and the second cured coating film used in the present invention further includes a thermosetting catalyst, an inorganic filler, a colorant, a thickener, an antifoaming agent, and a leveling. It can contain known and commonly used additives such as an agent and an adhesion-imparting agent. However, additives having ultraviolet absorptivity cannot be used in the thermosetting resin composition used for the second cured coating film.

上記熱硬化触媒は、熱硬化性樹脂組成物の熱硬化特性をさらに向上させるために使用され、例えば、ジシアンジアミド、芳香族アミンなどのアミン化合物、イミダゾール類、リン化合物、酸無水物、二環式アミジン化合物などを使用できる。具体的には、イミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、トリフェニルホスフィン等のリン化合物等を用いることができる。より具体的には、イミダゾール類化合物として、1B2PZ、2E4MZ、2MZ−A、2MZ−OK、2PHZ、2P4MHZ(四国化成工業社製);ジメチルアミンのブロックイソシアネート化合物として、U−CAT3503N、−3502T(サンアプロ社製);二環式アミジン化合物およびその塩として、DBU、DBN、U−CAT SA102、U−CAT5002(サンアプロ社製)等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、あるいは2種類以上を組み合わせて使用してもよい。   The thermosetting catalyst is used to further improve the thermosetting properties of the thermosetting resin composition. For example, amine compounds such as dicyandiamide and aromatic amines, imidazoles, phosphorus compounds, acid anhydrides, bicyclics Amidine compounds can be used. Specifically, imidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2 -Imidazoles such as phenylimidazole, 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy- Amine compounds such as N, N-dimethylbenzylamine and 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, phosphorus compounds such as triphenylphosphine, and the like can be used. More specifically, as imidazole compounds, 1B2PZ, 2E4MZ, 2MZ-A, 2MZ-OK, 2PHZ, 2P4MHZ (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.); As a bicyclic amidine compound and a salt thereof, DBU, DBN, U-CAT SA102, U-CAT5002 (manufactured by San Apro) and the like can be mentioned. These may be used singly or in combination of two or more.

上記熱硬化触媒の含有率は、通常の配合割合で充分であり、例えば、熱硬化成分であるエポキシ樹脂成分100質量部に対して、0.1質量部から10質量部が好ましい。
上記無機充填剤は、樹脂絶縁層の硬化収縮を抑制し、密着性、硬度などの特性を向上させるために使用される。無機充填剤としては、例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等が挙げられる。これらは1種を単独で用いてもよく、あるいは2種類以上を組み合わせて使用してもよい。
For the content of the thermosetting catalyst, a normal blending ratio is sufficient. For example, 0.1 to 10 parts by mass is preferable with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin component that is a thermosetting component.
The inorganic filler is used to suppress curing shrinkage of the resin insulating layer and improve properties such as adhesion and hardness. Examples of inorganic fillers include barium sulfate, barium titanate, amorphous silica, crystalline silica, fused silica, spherical silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide, silicon nitride, and nitride. Aluminum etc. are mentioned. These may be used singly or in combination of two or more.

次に、上述した熱硬化性樹脂組成物を用いて、本発明にかかるプリント配線板用積層構造体を作製し、紫外線レーザー加工によりビアホールを形成するプリント配線板の製造方法の好適例について説明する。温度や時間、塗布膜厚等の製造条件は、下記に限定されること無く所望に応じて適宜変更することができる。   Next, a preferred example of a method for manufacturing a printed wiring board in which a laminated structure for a printed wiring board according to the present invention is produced using the above-described thermosetting resin composition and via holes are formed by ultraviolet laser processing will be described. . Manufacturing conditions such as temperature, time, and coating film thickness are not limited to the following and can be appropriately changed as desired.

基板はバフロール研磨、化学研磨等の前処理を施した後、印刷塗布方法に適した粘度に有機溶剤で調整した第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を、乾燥膜厚で10μm〜20μmとなるように印刷する。次いで、40℃〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発、乾燥させる。さらに、170℃〜230℃の温度で30分〜120分間加熱硬化させて、第1の硬化塗膜を形成することができる(図1(a)参照)。   After the substrate is subjected to pretreatment such as buffling polishing and chemical polishing, the thermosetting resin composition for the first cured coating film adjusted to the viscosity suitable for the printing application method with an organic solvent is 10 μm in dry film thickness. Print to ~ 20 μm. Next, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried at a temperature of 40 ° C to 100 ° C. Furthermore, it can be heat-cured for 30 minutes to 120 minutes at a temperature of 170 ° C. to 230 ° C. to form a first cured coating film (see FIG. 1A).

次いで、同様に調整した第2の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を、乾燥膜厚で5μm〜10μmとなるように印刷する。次いで、40℃〜100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発、乾燥させる。さらに、150℃〜230℃の温度で30分〜120分間加熱硬化させて、第2の硬化塗膜を形成することができる。この時、第2の硬化塗膜はレベリング(平滑化)され、基板上に第1の硬化塗膜が、第1の硬化塗膜上に第2の硬化塗膜が形成されたプリント配線板用積層構造体が完成する(図1(b)参照)。   Subsequently, the thermosetting resin composition for the second cured coating film, which is similarly adjusted, is printed so that the dry film thickness is 5 μm to 10 μm. Next, the organic solvent contained in the composition is volatilized and dried at a temperature of 40 ° C to 100 ° C. Furthermore, the second cured coating film can be formed by heat curing at a temperature of 150 ° C. to 230 ° C. for 30 minutes to 120 minutes. At this time, the second cured coating film is leveled (smoothed), and the first cured coating film is formed on the substrate, and the second cured coating film is formed on the first cured coating film. A laminated structure is completed (see FIG. 1B).

上記基板としては、主として、予め回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布−エポキシ樹脂、ガラス−ポリイミド、ガラス布/不繊布−エポキシ樹脂、ガラス布/紙−エポキシ樹脂、合成繊維−エポキシ樹脂、フッ素樹脂・ポリエチレン・PPO・シアネートエステル等の複合材を用いた全てのグレード(FR−4等)の銅張積層板を用いることができる。   The above-mentioned substrates mainly include printed circuit boards and flexible printed circuit boards in which circuits are formed in advance, paper-phenolic resin, paper-epoxy resin, glass cloth-epoxy resin, glass-polyimide, glass cloth / non-woven cloth-epoxy. Use of copper-clad laminates of all grades (FR-4 etc.) using composite materials such as resin, glass cloth / paper-epoxy resin, synthetic fiber-epoxy resin, fluororesin / polyethylene / PPO / cyanate ester it can.

上記印刷方法としては、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等などがある。また、キャリアフィルム上に塗布、乾燥させてフィルムとして巻き取ってドライフィルムとし、基板上にラミネートすることにより、製膜することも可能である。また、塗布時に、配線ないしは実装部分を設けるために、マスク等を使用することで部分印刷を行っても良い。   Examples of the printing method include a dip coating method, a flow coating method, a roll coating method, a bar coater method, a screen printing method, and a curtain coating method. It is also possible to form a film by coating and drying on a carrier film, winding up as a film to form a dry film, and laminating on a substrate. Further, partial printing may be performed by using a mask or the like in order to provide wiring or a mounting portion at the time of application.

上記乾燥および加熱方法としては、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等、蒸気による加熱方式の熱源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触させる方法、およびノズルより支持体に吹き付ける方法が適用できる。   As the drying and heating method, a method using a hot-air circulation type drying furnace, an IR furnace, a hot plate, a convection oven or the like equipped with a heat source of a heating method using steam, and a countercurrent contact of hot air in the dryer, and a nozzle A method of spraying more on the support can be applied.

次いで、樹脂絶縁層に紫外線レーザー加工を行い、第2の硬化塗膜および第1の硬化塗膜を除去し基板の導体層が露出したビアホールを形成する(図1(c)参照)。   Next, the resin insulating layer is subjected to ultraviolet laser processing to remove the second cured coating film and the first cured coating film, thereby forming a via hole in which the conductor layer of the substrate is exposed (see FIG. 1C).

上記紫外線レーザーは、紫外線領域(波長200nmから400nmまでを指す)を発振波長とするレーザーであり、本発明においては、YLF結晶が媒体の第3高調波レーザー(351nm)、YAGまたはYVO結晶が媒体の第3高調波レーザー(355nm)であることが特に好ましい。 The ultraviolet laser is a laser having an oscillation wavelength in the ultraviolet region (having a wavelength of 200 nm to 400 nm). In the present invention, the YLF crystal is a medium third harmonic laser (351 nm), YAG or YVO 4 crystal is a medium. It is particularly preferable that the medium is a third harmonic laser (355 nm).

上記紫外線レーザーの照射方法としては、パルス(pulse)照射と連続照射があるが、パルス照射の方が、ビアホール周縁の損傷が少ないため、好ましい。また、パルス照射の繰返し周波数は、1kHz〜500kHzまでが好ましく、より好ましくは、10kHz〜100kHzである。   As the ultraviolet laser irradiation method, there are pulse irradiation and continuous irradiation, but pulse irradiation is preferable because damage to the periphery of the via hole is less. Moreover, the repetition frequency of pulse irradiation is preferably 1 kHz to 500 kHz, and more preferably 10 kHz to 100 kHz.

1kHz未満であると、レーザー加工に長時間を要するため、生産性の低下につながりうる。一方、500kHzを超えると、例えばナノ秒レーザーの場合、1パルス当たりの照射時間が短くなるため、第2の硬化塗膜のビアホール周縁にクラック等の損傷を受けることがある。また、紫外線レーザーの焦点位置は、第2の硬化塗膜表面とするのが好ましい。焦点位置を第2の硬化塗膜の内部または、塗膜より離した位置にすると、所望の加工形状が得られないことがある。   If it is less than 1 kHz, it takes a long time for laser processing, which may lead to a decrease in productivity. On the other hand, when the frequency exceeds 500 kHz, for example, in the case of a nanosecond laser, the irradiation time per pulse is shortened, so that the periphery of the via hole of the second cured coating film may be damaged such as cracks. The focal position of the ultraviolet laser is preferably the surface of the second cured coating film. If the focal position is within the second cured coating film or at a position separated from the coating film, a desired processed shape may not be obtained.

上記紫外線レーザーの照射エネルギーは、1パルス当たりの照射エネルギー[μJ/pulse]として示され、本発明においては、0.5μJ/pulse〜50μJ/pulseが好ましく、より好ましくは、1μJ/pulse〜10μJ/pulseである。また、その際のパルス幅は1マイクロ秒以下とする。0.5μJ/pulse未満であると、樹脂絶縁層がほとんど除去されないため、ビアホールを形成するのが困難となり、好ましくない。一方、50μJ/pulseを超えると、樹脂絶縁層を貫通するだけでなく、基板面まで除去されたり、所望の加工径よりも大きく加工されたりすることがある。   The irradiation energy of the ultraviolet laser is shown as irradiation energy [μJ / pulse] per pulse. In the present invention, 0.5 μJ / pulse to 50 μJ / pulse is preferable, and more preferably 1 μJ / pulse to 10 μJ / pulse. pulse. In this case, the pulse width is 1 microsecond or less. If it is less than 0.5 μJ / pulse, the resin insulating layer is hardly removed, so that it is difficult to form a via hole, which is not preferable. On the other hand, when it exceeds 50 μJ / pulse, not only the resin insulating layer may be penetrated, but also the substrate surface may be removed, or the processed diameter may be larger than a desired processing diameter.

上記紫外線レーザーの照射回数は、ビアホールが形成できるまで行う必要があり、照射回数は樹脂絶縁層の膜厚に比例する。具体的に、ビアホールを形成する場合、膜厚5〜10μmの第2の硬化塗膜および膜厚10〜20μmの第1の硬化塗膜を除去し導体層に到達するのに必要なレーザーの照射回数は、1回〜100回が好ましく、より好ましくは、1〜50回である。照射回数が多すぎると、第2の硬化塗膜、導体層に対しクラック等の損傷が起こることがある。   The number of times of irradiation of the ultraviolet laser needs to be performed until a via hole can be formed, and the number of times of irradiation is proportional to the film thickness of the resin insulating layer. Specifically, when forming a via hole, the laser irradiation necessary to reach the conductor layer by removing the second cured coating film having a thickness of 5 to 10 μm and the first cured coating film having a thickness of 10 to 20 μm. The number of times is preferably 1 to 100 times, and more preferably 1 to 50 times. If the number of times of irradiation is too large, damage such as cracks may occur in the second cured coating film and conductor layer.

上記紫外線レーザーにより形成されるビアホールの形状は、第2の硬化塗膜表面の直径Dと導体層表面(ビアホール底面)の直径dとの比率、つまり、式(d/D)×100[%]で示される。本発明においては、50%以上が好ましく、より好ましくは70%以上である。50%未満であると、ビアホール底面が細すぎて、はんだや金属めっきの密着不良の問題が起こりうる。また、100%を超えるとビアホールが逆テーパー状になるため、好ましくない。   The shape of the via hole formed by the ultraviolet laser is the ratio between the diameter D of the second cured coating film surface and the diameter d of the conductor layer surface (via hole bottom surface), that is, the formula (d / D) × 100 [%]. Indicated by In this invention, 50% or more is preferable, More preferably, it is 70% or more. If it is less than 50%, the bottom surface of the via hole is too thin, and a problem of poor adhesion of solder or metal plating may occur. On the other hand, if it exceeds 100%, the via hole becomes reverse tapered, which is not preferable.

また、上記紫外線レーザーにより形成されるビアホールの直径は、第2の硬化塗膜表面の直径Dにおいて、10μm〜70μmが好ましく、より好ましくは、10μm〜45μmである。紫外線レーザーおよび本発明のプリント配線板用積層構造体を使用することで、例えば汎用に使用される炭酸ガスレーザーおよびそれに用いる組成物では対応できない、狭ピッチ回路配線に対応したプリント配線板が提供できる。   The diameter of the via hole formed by the ultraviolet laser is preferably 10 μm to 70 μm, more preferably 10 μm to 45 μm, in the diameter D of the second cured coating film surface. By using the laminated structure for a printed wiring board of the present invention, for example, a printed wiring board corresponding to a narrow pitch circuit wiring that cannot be handled by a carbon dioxide laser used for general purposes and a composition used therefor can be provided. .

上記紫外線レーザーにより形成されたビアホールは、ソルダーレジストのパターンとして利用でき、過マンガン酸塩溶液等のデスミア処理の薬液を用いて紫外線レーザー加工後の残留成分を分解除去するデスミア処理を行い、プリント配線板を製造する。なお、両面基板、多層基板においても、同様にして熱硬化性樹脂組成物を用いて樹脂絶縁層を形成し、紫外線レーザーによりビアホールを形成後、デスミア処理される。   The via hole formed by the ultraviolet laser can be used as a solder resist pattern, and desmear treatment that decomposes and removes residual components after ultraviolet laser processing using a chemical solution for desmear treatment such as permanganate solution, Manufacture a board. Note that a double-sided substrate and a multilayer substrate are similarly subjected to desmearing after forming a resin insulating layer using a thermosetting resin composition and forming a via hole with an ultraviolet laser.

このようにして製造したプリント配線板に対し、ビアホールは、金属めっきを施し、あるいはプリフラックス処理した後、実装される半導体チップなどの電子部品が金バンプやはんだバンプにより接合されて搭載される。   Via holes are subjected to metal plating or preflux treatment on the printed wiring board thus manufactured, and then electronic components such as semiconductor chips to be mounted are bonded and mounted by gold bumps or solder bumps.

以下に、実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明する。なお、各成分の配合量を示す値は、特に断りのない限り、全て質量基準である。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. In addition, the value which shows the compounding quantity of each component is a mass reference | standard all unless there is particular notice.

<実施例1>
(紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製(第1の硬化塗膜用))
紫外線吸収性を有する線状ポリイミド樹脂(V−8005・DIC社製)を不揮発分15%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス333部、アントラセン型エポキシ樹脂(YX−8800・三菱化学社製)を不揮発分30%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス167部、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(1B2PZ・四国化成工業社製)1部、シリカ30部、硫酸バリウム15部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.05部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
上記第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物の調製により、エポキシ樹脂およびポリイミド樹脂自体に高い紫外線吸収性を有しているため、紫外線吸収剤等を添加しなくとも、紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物が調製できた。
<Example 1>
(Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity (for first cured coating film))
UV-absorbing linear polyimide resin (V-8005, manufactured by DIC) 333 parts of varnish obtained by dissolving dimethylacetamide to a non-volatile content of 15%, anthracene type epoxy resin (YX-8800, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) 167 parts of varnish dissolved in dimethylacetamide so as to have a nonvolatile content of 30%, 1 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole (1B2PZ, manufactured by Shikoku Chemicals), 30 parts of silica, 15 parts of barium sulfate, silicone-based surface A tension adjuster (BYK-310, manufactured by BYK-Chemie Co., Ltd.) 0.05 parts was blended, premixed with a stirrer, kneaded using a three-roll mill, and thermosetting for the first cured coating film. A resin composition was prepared.
Since the epoxy resin and the polyimide resin itself have high ultraviolet absorptivity by preparing the thermosetting resin composition for the first cured coating film, the ultraviolet absorptivity can be obtained without adding an ultraviolet absorber or the like. A thermosetting resin composition having the following characteristics could be prepared.

(紫外線吸収性を有さない樹脂組成物の調製(第2の硬化塗膜用))
分岐状ポリイミド樹脂(V−8000・DIC社製)を不揮発分40%になるようにジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートで溶かしたワニス188部、脂環式エポキシ樹脂(セロキサイド2021・ダイセル化学社製)25部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第2の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
(Preparation of resin composition having no UV absorption (for second cured coating film))
188 parts of varnish in which branched polyimide resin (V-8000, manufactured by DIC) is dissolved in diethylene glycol monoethyl ether acetate so as to have a nonvolatile content of 40%, alicyclic epoxy resin (Celoxide 2021, manufactured by Daicel Chemical Industries), 25 parts Were premixed with a stirrer and kneaded using a three-roll mill to prepare a thermosetting resin composition for a second cured coating film.

(プリント配線板用積層構造体の製造)
上記第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を、バフロール研磨した0.8mm厚の銅張り積層板上に塗布し、熱風循環式乾燥炉中、80℃で30分乾燥後、230℃で1時間、加熱により硬化させて第1の硬化塗膜を形成した。この後、上記第2の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を、第1の硬化塗膜上に塗布し、熱風循環式乾燥炉中、80℃で30分乾燥後、170℃で1時間、加熱により硬化させ、第2の硬化塗膜を第1の硬化塗膜上に積層させプリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。この時、基板上の硬化塗膜はレベリングされており、紫外線レーザー照射前における硬化塗膜の凹凸は見られないものとする。
(Manufacture of laminated structures for printed wiring boards)
The thermosetting resin composition for the first cured coating film was applied onto a 0.8 mm thick copper-clad laminate that had been buffed, dried in a hot air circulating oven at 80 ° C. for 30 minutes, and then 230 The first cured coating film was formed by curing at 0 ° C. for 1 hour. Thereafter, the thermosetting resin composition for the second cured coating film is applied onto the first cured coating film, dried at 80 ° C. for 30 minutes in a hot air circulating drying oven, and then at 170 ° C. for 1 minute. It was cured by heating for a time, and the second cured coating film was laminated on the first cured coating film to produce a test piece of a laminated structure for a printed wiring board. At this time, the cured coating film on the substrate is leveled, and the unevenness of the cured coating film before the ultraviolet laser irradiation is not observed.

上記プリント配線板用積層構造体の硬化塗膜上に対し垂直となるよう、紫外線レーザー(YVOレーザーの三倍高調波、波長:355nm、繰返し周波数:50kHz、パルスエネルギー:0.4μJ/pulse、パルス幅:30ns、ビーム形状:ガウシアン)を照射した。 Ultraviolet laser (YVO 4 laser triple harmonic, wavelength: 355 nm, repetition frequency: 50 kHz, pulse energy: 0.4 μJ / pulse, so as to be perpendicular to the cured coating film of the laminated structure for printed wiring board. (Pulse width: 30 ns, beam shape: Gaussian).

<実施例2>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表1に記載のように変更した以外は、実施例1と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Example 2>
A test piece was prepared in the same manner as in Example 1 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 1 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<実施例3>
第1の硬化塗膜用樹脂組成物の調製を下記の様に変更した以外は、上記実施例1と同様の方法にてプリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーの照射を実施した。
<Example 3>
A test piece of the laminated structure for printed wiring board was prepared by the same method as in Example 1 except that the preparation of the first resin composition for cured coating film was changed as follows, and irradiated with an ultraviolet laser. Carried out.

(紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製(第1の硬化塗膜用))
紫外線吸収性を有する線状ポリイミド樹脂(V−8005・DIC社製)を不揮発分15%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス333部、ナフタレン型エポキシ樹脂(HP−4032・DIC社製)を不揮発分50%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス100部、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(1B2PZ・四国化成工業社製)1部、シリカ30部、硫酸バリウム15部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.05部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
(Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity (for first cured coating film))
333 parts of varnish obtained by dissolving linear polyimide resin (V-8005, manufactured by DIC) having ultraviolet absorptivity with dimethylacetamide so as to have a nonvolatile content of 15%, naphthalene type epoxy resin (manufactured by HP-4032, DIC) 100 parts of varnish dissolved with dimethylacetamide so as to have a nonvolatile content of 50%, 1 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole (1B2PZ, manufactured by Shikoku Chemicals), 30 parts of silica, 15 parts of barium sulfate, silicone surface tension 0.05 part of a regulator (BYK-310, manufactured by BYK Chemie) was blended, premixed with a stirrer, kneaded using a three-roll mill, and thermosetting resin for the first cured coating film. A composition was prepared.

<実施例4>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表1に記載のように変更した以外は、実施例3と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Example 4>
A test piece was prepared in the same manner as in Example 3 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 1 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<実施例5>
第1の硬化塗膜用樹脂組成物の調製を下記の様に変更した以外は、上記実施例1と同様の方法にてプリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーの照射を実施した。
<Example 5>
A test piece of the laminated structure for printed wiring board was prepared by the same method as in Example 1 except that the preparation of the first resin composition for cured coating film was changed as follows, and irradiated with an ultraviolet laser. Carried out.

(紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製(第1の硬化塗膜用))
紫外線吸収性を有する線状ポリイミド樹脂(V−8005・DIC社製)を不揮発分15%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス333部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(E828・三菱化学社製)50部、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(1B2PZ・四国化成工業社製)1部、シリカ30部、硫酸バリウム15部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.05部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
上記第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物の調製により、エポキシ樹脂に紫外線吸収性を有さない場合でも、線状ポリイミド樹脂を含んでいるため、高い紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物が調製できた。
(Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity (for first cured coating film))
UV-absorbing linear polyimide resin (V-8005, manufactured by DIC) 333 parts of varnish obtained by dissolving dimethylacetamide to a non-volatile content of 15%, bisphenol A type epoxy resin (E828, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) 50 Parts, 1 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole (1B2PZ, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.), 30 parts of silica, 15 parts of barium sulfate, 0.05 part of a silicone-based surface tension adjuster (BYK-310, manufactured by BYK Chemie) Were premixed with a stirrer and kneaded using a three-roll mill to prepare a thermosetting resin composition for a first cured coating film.
Even if the epoxy resin does not have ultraviolet absorptivity by the preparation of the thermosetting resin composition for the first cured coating film, it contains a linear polyimide resin, and therefore has a high ultraviolet absorptivity. A functional resin composition could be prepared.

<実施例6>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表1に記載のように変更した以外は、実施例5と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Example 6>
A test piece was prepared in the same manner as in Example 5 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 1 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<実施例7>
第1の硬化塗膜用樹脂組成物の調製と、プリント配線板用積層構造体の硬化温度を変更した以外は、上記実施例1と同様の方法にてプリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーの照射を実施した。
<Example 7>
The test piece of the laminated structure for printed wiring boards in the same manner as in Example 1 except that the preparation of the resin composition for the first cured coating film and the curing temperature of the laminated structure for printed wiring boards were changed. Were prepared and irradiated with an ultraviolet laser.

(紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製(第1の硬化塗膜用))
アントラセン型エポキシ樹脂(YX−8800・三菱化学社製)を不揮発分30%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス67部、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂(EPPH−501H・日本化薬社製)を不揮発分80%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで溶かしたワニス63部、フェノキシ樹脂(YX8100H30・三菱化学社製)67部、シリカ70部、硫酸バリウム35部、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(1B2PZ・四国化成工業社製)1部、フェノールノボラック樹脂(HF−1M・明和化成社製)を不揮発分65%になるようにジエチレングリコールモノエチルエーテルで溶かしたワニス62部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAc・大伸化学社製)30部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.05部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
(Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity (for first cured coating film))
67 parts of varnish obtained by dissolving anthracene type epoxy resin (YX-8800, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) with dimethylacetamide so as to have a nonvolatile content of 30%, trihydroxyphenylmethane type epoxy resin (EPPH-501H, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 63 parts of varnish dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate so that the nonvolatile content is 80%, 67 parts of phenoxy resin (YX8100H30, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), 70 parts of silica, 35 parts of barium sulfate, 1-benzyl-2-phenyl 1 part of imidazole (1B2PZ, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.), 62 parts of varnish obtained by dissolving phenol novolac resin (HF-1M, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.) with diethylene glycol monoethyl ether to a non-volatile content of 65%, propylene glycol monomethyl ether acetate 30 parts of PGMAc (manufactured by Daishin Chemical Co., Ltd.) and 0.05 parts of a silicone-based surface tension modifier (BYK-310, manufactured by BYK Chemie) were premixed with a stirrer and then mixed using a three-roll mill. It knead | mixed and the thermosetting resin composition for 1st cured coating films was prepared.

上記第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物の調製により、アントラセン型エポキシ樹脂に紫外線吸収性を有しているため、高い紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物が調製できた。   By preparing the thermosetting resin composition for the first cured coating film, since the anthracene type epoxy resin has ultraviolet absorptivity, a thermosetting resin composition having high ultraviolet absorptivity could be prepared. .

(プリント配線板用積層構造体の製造)
上記第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を、170℃で1時間、加熱により硬化させた以外は、実施例1と同様の方法にて、プリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーを照射した。
(Manufacture of laminated structures for printed wiring boards)
Test of laminated structure for printed wiring board in the same manner as in Example 1 except that the thermosetting resin composition for the first cured coating film was cured by heating at 170 ° C. for 1 hour. A piece was prepared and irradiated with an ultraviolet laser.

<実施例8>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表1に記載のように変更した以外は、実施例7と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Example 8>
A test piece was prepared in the same manner as in Example 7 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 1 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<実施例9>
第1の硬化塗膜用樹脂組成物の調製を下記の様に変更した以外は、上記実施例1と同様の方法にてプリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーの照射を実施した。
<Example 9>
A test piece of the laminated structure for printed wiring board was prepared by the same method as in Example 1 except that the preparation of the first resin composition for cured coating film was changed as follows, and irradiated with an ultraviolet laser. Carried out.

(紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製(第1の硬化塗膜用))
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(E828・三菱化学社製)50部、トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂(EPPH−501H・日本化薬社製)を不揮発分80%になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで溶かしたワニス63部、フェノキシ樹脂(YX8100H30・三菱化学社製)67部、シリカ70部、硫酸バリウム35部、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(1B2PZ・四国化成工業社製)1部、フェノールノボラック樹脂(HF−1M・明和化成社製)を不揮発分65%になるようにジエチレングリコールモノエチルエーテルで溶かしたワニス62部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMAc・大伸化学社製)30部、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤(EAB・保土谷化学工業社製)15部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.05部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
上記第1の硬化塗膜用の調製により、エポキシ樹脂に紫外線吸収性を有さない場合でも、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤を含んでいるため、高い紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物が調製できた。
(Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity (for first cured coating film))
Dissolve 50 parts of bisphenol A type epoxy resin (E828, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and trihydroxyphenylmethane type epoxy resin (EPPH-501H, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) with propylene glycol monomethyl ether acetate so that the nonvolatile content is 80%. 63 parts of varnish, 67 parts of phenoxy resin (YX8100H30, manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), 70 parts of silica, 35 parts of barium sulfate, 1 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole (1B2PZ, manufactured by Shikoku Chemicals), phenol novolac resin 62 parts of varnish obtained by dissolving HF-1M (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.) with diethylene glycol monoethyl ether to a non-volatile content of 65%, 30 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMAc, manufactured by Daishin Chemical Co., Ltd.), benzophenone ultraviolet Absorbent ( AB, manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) and 15 parts of a silicone-based surface tension modifier (BYK-310, manufactured by BYK Chemie) were each mixed and premixed with a stirrer, and then a three-roll mill was used. And kneaded to prepare a thermosetting resin composition for the first cured coating film.
Even when the epoxy resin does not have ultraviolet absorptivity by the preparation for the first cured coating film, a thermosetting resin composition having high ultraviolet absorptivity is prepared because it contains a benzophenone-based ultraviolet absorber. did it.

<実施例10>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表1に記載のように変更した以外は、実施例9と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Example 10>
A test piece was prepared in the same manner as in Example 9 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 1 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<比較例1>
第2の硬化塗膜用樹脂組成物の調製を下記の様に変更した以外は、上記実施例1と同様の方法にてプリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーの照射を実施した。
<Comparative Example 1>
A test piece of the laminated structure for printed wiring board was prepared in the same manner as in Example 1 except that the preparation of the second resin composition for cured coating film was changed as follows, and irradiated with an ultraviolet laser. Carried out.

(紫外線吸収性を有さない樹脂組成物の調製(第2の硬化塗膜用))
多官能脂環式エポキシ樹脂(セロキサイド2021・ダイセル化学社製)50部、多官能脂環式エポキシ樹脂(水素化エポキシ・YX−8000・三菱化学社製)25部、トリアリールスルホニウム塩系光酸発生剤(CPI−100P・サンアプロ社製)1部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.05部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
(Preparation of resin composition having no UV absorption (for second cured coating film))
50 parts of polyfunctional alicyclic epoxy resin (Celoxide 2021 manufactured by Daicel Chemical Industries), 25 parts of polyfunctional alicyclic epoxy resin (hydrogenated epoxy / YX-8000 manufactured by Mitsubishi Chemical), triarylsulfonium salt photoacid Three parts of a roll mill after blending 1 part of a generator (CPI-100P, manufactured by San Apro) and 0.05 part of a silicone-based surface tension adjuster (BYK-310, manufactured by Big Chemie), respectively, and premixing with a stirrer Was used to prepare a thermosetting resin composition for the first cured coating film.

<比較例2>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表2に記載のように変更した以外は、比較例1と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Comparative example 2>
A test piece was prepared in the same manner as in Comparative Example 1 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 2 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<比較例3>
熱硬化性樹脂組成物の調製において、第2の硬化塗膜用として紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物を調製したこと以外は、上記実施例1と同様の方法にて、プリント配線板用積層構造体の試験片を作製し、紫外線レーザーを照射した。
<Comparative Example 3>
In the preparation of the thermosetting resin composition, a printed wiring board was prepared in the same manner as in Example 1 except that a thermosetting resin composition having ultraviolet absorptivity was prepared for the second cured coating film. A test piece of a laminated structure for a sample was prepared and irradiated with an ultraviolet laser.

(紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製(第1の硬化塗膜用))
線状ポリイミド樹脂(V−8005・DIC社製)を不揮発分15%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス167部、アントラセン型エポキシ樹脂(YX−8800・三菱化学社製)を不揮発分30%になるようにジメチルアセトアミドで溶かしたワニス83部、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール(1B2PZ・四国化成工業社製)0.5部、シリコーン系表面張力調整剤(BYK−310・ビックケミー社製)0.02部、をそれぞれ配合し、攪拌機にて予備混合した後、3本ロールミルを用いて混練し、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を調製した。
(Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity (for first cured coating film))
167 parts of varnish obtained by dissolving linear polyimide resin (V-8005, manufactured by DIC) with dimethylacetamide so that the nonvolatile content is 15%, anthracene type epoxy resin (YX-8800, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) is 30% nonvolatile 83 parts of varnish dissolved in dimethylacetamide, 0.5 part of 1-benzyl-2-phenylimidazole (1B2PZ, manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.), silicone surface tension adjuster (BYK-310, manufactured by BYK Chemie) 0.02 part was blended and premixed with a stirrer, and then kneaded using a three-roll mill to prepare a thermosetting resin composition for a first cured coating film.

<比較例4>
第1の硬化塗膜および第2の硬化塗膜の膜厚を下記表2に記載のように変更した以外は、比較例3と同様にして試験片を作製し、紫外線レーザー照射を行った。
<Comparative example 4>
A test piece was prepared in the same manner as in Comparative Example 3 except that the film thicknesses of the first cured coating film and the second cured coating film were changed as shown in Table 2 below, and ultraviolet laser irradiation was performed.

<比較例5>
プリント配線板用積層構造体の製造において、第2の硬化塗膜の代わりにプラスチックフィルムを使用する方法にて、プラスチックフィルムを含むプリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。紫外線レーザーの照射は、上記実施例1と同様の条件にて行なった。
<Comparative Example 5>
In the production of the laminated structure for a printed wiring board, a test piece of the laminated structure for a printed wiring board containing a plastic film was produced by a method using a plastic film instead of the second cured coating film. The ultraviolet laser irradiation was performed under the same conditions as in Example 1 above.

(プリント配線板用積層構造体の製造)
実施例1記載の、第1の硬化塗膜用の熱硬化性樹脂組成物を、乾燥塗膜(硬化塗膜)の厚みが20μmになるようにポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(G2−16・帝人デュポンフィルム社製、フィルム厚み16μm)上に塗布し、80℃で30分、乾燥して乾燥塗膜付フィルムを得た。乾燥塗膜付フィルムを、バフロール研磨した0.8mm厚の銅張り積層板に真空ラミネーター(MVLP−500・名機製作所社製)を用いて、5kgf/cm、1Torr、120℃で1分、加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm、130℃で1分、レベリングした後、熱風循環式乾燥機中、170℃で1時間、加熱により硬化させて、銅張り積層板上に第1の硬化塗膜が、第1の硬化塗膜上にPETフィルムが、それぞれ形成されたプリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。
(Manufacture of laminated structures for printed wiring boards)
The thermosetting resin composition for the first cured coating film described in Example 1 is made of a polyethylene terephthalate (PET) film (G2-16, Teijin) so that the dry coating film (cured coating film) has a thickness of 20 μm. The film was applied onto a film having a thickness of 16 μm manufactured by DuPont Films, and dried at 80 ° C. for 30 minutes to obtain a film with a dry coating film. Using a vacuum laminator (MVLP-500, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) on a 0.8 mm thick copper-clad laminate that has been buffed with a dry coated film, 1 minute at 120 ° C. at 5 kgf / cm 2 , 1 Torr, After heating and laminating, leveling at 10 kgf / cm 2 and 130 ° C. for 1 minute with a hot plate press machine, it was cured by heating at 170 ° C. for 1 hour in a hot-air circulating dryer, and then on the copper-clad laminate. The test piece of the laminated structure for printed wiring boards in which the 1st cured coating film and the PET film were each formed on the 1st cured coating film was produced.

<比較例6>
比較例5のプラスチックフィルムの厚みを変更した以外は、同様にプラスチックフィルムを含むプリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。紫外線レーザーの照射は、上記実施例1と同様の条件にて行った。
<Comparative Example 6>
A test piece of a laminated structure for a printed wiring board containing a plastic film was produced in the same manner except that the thickness of the plastic film of Comparative Example 5 was changed. Ultraviolet laser irradiation was performed under the same conditions as in Example 1 above.

(プリント配線板用積層構造体の製造)
PETフィルムを変更(ルミラー38R75・東レ社製、フィルム厚み38μm)したこと以外は、比較例5と同様にプリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。
(Manufacture of laminated structures for printed wiring boards)
A test piece of a laminated structure for a printed wiring board was prepared in the same manner as in Comparative Example 5 except that the PET film was changed (Lumirror 38R75, manufactured by Toray Industries, Inc., film thickness 38 μm).

<比較例7>
プリント配線板用積層構造体の製造において、紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物を用いた第1の硬化塗膜のみ形成し、プリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。ここで、紫外線吸収性を有する熱硬化性樹脂組成物は、上記実施例1の「紫外線吸収性を有する樹脂組成物の調製」と同様の方法にて調製した。なお、紫外線レーザーの照射は、上記実施例1と同様の条件にて行った。
<Comparative Example 7>
In the production of the laminated structure for printed wiring board, only the first cured coating film using the thermosetting resin composition having ultraviolet absorptivity was formed to prepare a test piece of the laminated structure for printed wiring board. Here, the thermosetting resin composition having ultraviolet absorptivity was prepared in the same manner as in “Preparation of resin composition having ultraviolet absorptivity” in Example 1 above. The ultraviolet laser irradiation was performed under the same conditions as in Example 1 above.

(プリント配線板用積層構造体の製造)
実施例1記載の、第1の硬化塗膜の形成において、硬化塗膜の厚みが20μmとなるようにすること以外は、同様の方法にて銅張り積層板上に第1の硬化塗膜を形成し、プリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。
(Manufacture of laminated structures for printed wiring boards)
In the formation of the first cured coating film described in Example 1, the first cured coating film was formed on the copper-clad laminate in the same manner except that the thickness of the cured coating film was 20 μm. The test piece of the laminated structure for printed wiring boards was formed.

<比較例8>
プリント配線板用積層構造体の製造において、紫外線吸収性を有さない熱硬化性樹脂組成物を用いた第1の硬化塗膜のみ形成し、プリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。ここで、紫外線吸収性を有さない熱硬化性樹脂組成物は、上記実施例1の「紫外線吸収性を有さない樹脂組成物の調製」と同様の方法にて調製し、第1の硬化塗膜用とした。なお、紫外線レーザーの照射は、上記実施例1と同様の条件にて行った。
<Comparative Example 8>
In the production of a laminated structure for a printed wiring board, only a first cured coating film using a thermosetting resin composition having no ultraviolet absorptivity was formed to prepare a test piece of the laminated structure for a printed wiring board. . Here, the thermosetting resin composition having no ultraviolet absorptivity is prepared by the same method as in “Preparation of resin composition having no UV absorptivity” in Example 1, and the first curing is performed. It was for coating film. The ultraviolet laser irradiation was performed under the same conditions as in Example 1 above.

(プリント配線板用積層構造体の製造)
実施例1記載の、第2の硬化塗膜の形成において、硬化塗膜の厚みが20μmとなるようにすること以外は、同様の方法にて銅張り積層板上に第2の硬化塗膜を形成し、プリント配線板用積層構造体の試験片を作製した。
(Manufacture of laminated structures for printed wiring boards)
In the formation of the second cured coating film described in Example 1, the second cured coating film was formed on the copper-clad laminate in the same manner except that the thickness of the cured coating film was 20 μm. The test piece of the laminated structure for printed wiring boards was formed.

(実施例1〜10および比較例1〜8にかかる試験片の性能評価)
(密着性試験)
JIS K5600−5−6:1999に準拠して、試験片の樹脂絶縁層にクロスカットを入れ、硬化塗膜にセロハンテープを貼り付け、これを引き剥がすというピーリングテストを行った後、樹脂絶縁層の剥がれの状態を目視観察し、以下の基準で評価した。
○:剥がれ無し(基板と塗膜間および塗膜間の密着性が良好)
△:樹脂絶縁層の一部分に剥がれあり
×:樹脂絶縁層の大部分に剥がれあり
結果を下記表1および表2に示す。
(Performance evaluation of test pieces according to Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 8)
(Adhesion test)
In accordance with JIS K5600-5-6: 1999, a cross-cut is made on the resin insulation layer of the test piece, a cellophane tape is applied to the cured coating film, and a peeling test is performed to peel it off, and then the resin insulation layer The state of peeling was visually observed and evaluated according to the following criteria.
○: No peeling (good adhesion between substrate and coating film and coating film)
Δ: Peeled on a part of the resin insulation layer ×: Peeled on most of the resin insulation layer The results are shown in Tables 1 and 2 below.

(耐溶剤性試験)
常温常圧下、イソプロピルアルコールに60分間浸漬後、密着性試験と同様のピーリングテストを行った後、樹脂絶縁層の剥がれの状態を目視観察し、以下の基準で評価した。
○:剥がれ無し
△:樹脂絶縁層の一部に剥がれあり
×:樹脂絶縁層の大部分に剥がれあり
結果を下記表1および表2に示す。
(Solvent resistance test)
After being immersed in isopropyl alcohol for 60 minutes at room temperature and normal pressure, a peeling test similar to the adhesion test was performed, and then the state of peeling of the resin insulation layer was visually observed and evaluated according to the following criteria.
○: No peeling Δ: Peeling part of the resin insulation layer ×: Peeling most part of the resin insulation layer The results are shown in Tables 1 and 2 below.

(耐熱性試験)
試験片を260℃のはんだ槽に10秒間浸漬し、これを3回繰り返した後、密着性試験と同様のピーリングテストを行った後、樹脂絶縁層の剥がれの状態を目視観察し、以下の基準で評価した。
○:剥がれ無し
△:樹脂絶縁層の一部に剥がれあり
×:樹脂絶縁層の大部分に剥がれあり
結果を下記表1および表2に示す。
(Heat resistance test)
After immersing the test piece in a 260 ° C. solder bath for 10 seconds and repeating this three times, after performing the same peeling test as the adhesion test, the state of peeling of the resin insulation layer was visually observed, and the following criteria It was evaluated with.
○: No peeling Δ: Peeling part of the resin insulation layer ×: Peeling most part of the resin insulation layer The results are shown in Tables 1 and 2 below.

(レーザー加工性1(紫外線レーザー照射回数))
ビアホールを形成した際の紫外線レーザーの照射回数を、以下の基準で評価した。
基準:樹脂絶縁層表面のビアホール径Dと銅張り積層板表面(ビアホール底面)のビアホール径dとの比率[式(d/D)×100[%]]が、70%を越えるために要する照射回数とした。ただし、樹脂絶縁層(またはPETフィルムおよび樹脂絶縁層)のみを加工し銅張り積層板を損傷しないこととした。また、ビアホールの形状は、レーザー顕微鏡を用いて測長した。
○:照射回数40回以下
△:照射回数40回を超え100回以下
×:照射回数100回を超えても基準に満たない
結果を下記表1および表2に示す。なお、照射回数40回以下で形成された樹脂絶縁層表面のビアホール径Rは30μmであった。
(Laser processability 1 (number of times of UV laser irradiation))
The number of ultraviolet laser irradiations when forming the via hole was evaluated according to the following criteria.
Standard: Irradiation required for the ratio [formula (d / D) × 100 [%]] of the via hole diameter D on the surface of the resin insulation layer and the via hole diameter d on the surface of the copper-clad laminate (via hole bottom surface) to exceed 70% Number of times. However, only the resin insulation layer (or PET film and resin insulation layer) was processed, and the copper-clad laminate was not damaged. The shape of the via hole was measured using a laser microscope.
○: Number of irradiation times of 40 or less Δ: Number of irradiation times exceeding 40 and 100 times or less X: The number of irradiation times exceeding 100 times does not satisfy the standard. The via hole diameter R on the surface of the resin insulating layer formed with 40 or less irradiations was 30 μm.

(レーザー加工性2(ビアホール周縁の表層部における変質の有無))
ビアホールを形成した際のビアホール周縁の表層部における変質の有無を、以下の基準で評価した。
基準:ビアホール周縁に厚み0.5μm以上の凹みおよび膨らみ(凹凸)の有無を確認した。観察および測長は、デジタルマイクロスコープ(KH−1300・ハイロックス社製)、レーザー顕微鏡(VK−8500・キーエンス社製)を用いた。
○:変質(凹凸)無し
×:変質(凹凸)有り
結果を下記表1および表2に示す。
(Laser processability 2 (presence or absence of alteration in the surface layer around the via hole))
The presence or absence of alteration in the surface layer around the periphery of the via hole when the via hole was formed was evaluated according to the following criteria.
Reference | standard: The presence or absence of the dent and swelling (unevenness | corrugation) of thickness 0.5 micrometer or more was confirmed in the via-hole periphery. For observation and measurement, a digital microscope (KH-1300, manufactured by Hilox) and a laser microscope (VK-8500, manufactured by Keyence) were used.
○: No alteration (unevenness) ×: Alteration (irregularity) The results are shown in Tables 1 and 2 below.

(デスミア耐性)
酸化剤処理液(ATOTECH社製)を用い、Swelling Dip Securiganth P(NaOH含有)により80℃で10分間の膨潤処理、Concentrate Compact CP(KMnO含有)により80℃で10分間の粗化処理、及びReduction Solution Securiganth P500(HSO含有)により40℃で5分間の還元処理を行った。その後、第2の硬化塗膜表面(ビアホール周縁)をレーザー顕微鏡にて観察し、以下の基準で評価した。結果を表1および表2に示す。
○:ビアホール周縁の塗膜の剥離無し
△:ビアホール周縁の塗膜の剥離が一部分に見られる
×:ビアホール周縁の塗膜の剥離が大部分に見られる
(Desmear resistance)
Using an oxidizing agent treatment solution (manufactured by ATOTECH), swelling treatment at 80 ° C. for 10 minutes with Welling Dip Securiganth P (containing NaOH), roughening treatment at 80 ° C. for 10 minutes with Concentrate Compact CP (containing KMnO 4 ), and The reduction treatment was carried out at 40 ° C. for 5 minutes using Reduction Solution Security P500 (containing H 2 SO 4 ). Then, the 2nd cured coating film surface (via-hole periphery) was observed with the laser microscope, and the following references | standards evaluated. The results are shown in Tables 1 and 2.
○: No peeling of the coating film on the periphery of the via hole Δ: Partial peeling of the coating film on the periphery of the via hole is observed x: Most peeling of the coating film on the periphery of the via hole is observed

Figure 2013080757
Figure 2013080757

Figure 2013080757
*1:硬化塗膜の代わりにプラスチックフィルムを使用。
*2:硬化塗膜が第1の硬化塗膜(一層)のみから形成。
Figure 2013080757
* 1: Plastic film is used instead of the cured coating film.
* 2: The cured coating film is formed only from the first cured coating film (one layer).

表1に示す結果から明らかなように、紫外線吸収性を有さない多官能脂環式エポキシ樹脂を用いた比較例1および2では、第2の硬化塗膜の耐熱性が劣り、ビアホール周縁の表層部における変質が起きていた。また、第2の硬化塗膜に用いられる樹脂組成物に紫外線吸収性を有する比較例3、4では、いずれもがビアホール周縁の表層部における変質が起きていた。また、第2の硬化塗膜の代わりにプラスチックフィルムを用いた比較例5、6、紫外線吸収性を有さない樹脂組成物を用いた第1の硬化塗膜のみ形成した比較例8では、紫外線レーザーの照射回数を多く必要とした。   As is apparent from the results shown in Table 1, in Comparative Examples 1 and 2 using a polyfunctional alicyclic epoxy resin that does not have ultraviolet absorptivity, the heat resistance of the second cured coating film is inferior, Alteration in the surface layer occurred. Moreover, in Comparative Examples 3 and 4 in which the resin composition used for the second cured coating film has ultraviolet absorptivity, the deterioration occurred in the surface layer portion around the via hole. Further, in Comparative Examples 5 and 6 using a plastic film instead of the second cured coating film, and in Comparative Example 8 in which only the first cured coating film using a resin composition having no ultraviolet absorptivity is formed, ultraviolet rays are used. A large number of laser irradiations were required.

ビアホール周縁に凹みおよび膨らみといった変性が認められるのは、紫外線吸収性の高い樹脂組成物を用いた硬化塗膜を樹脂絶縁層表面に用いて紫外線レーザーを照射した際、エネルギー密度の低いレーザー光が周縁部に当たって変性したためである。   Deformations such as dents and bulges are observed at the periphery of the via hole. When a cured coating using a resin composition having a high UV-absorbing property is applied to the surface of the resin insulation layer, a laser beam having a low energy density is emitted. This is because it has been denatured by hitting the peripheral edge.

それに対して、実施例1〜10においては、紫外線レーザー照射することで、樹脂絶縁層が除去加工され基板に到達し、その際、ビアホール周縁の表層部が、凹みおよび膨らみ等の変性することなく、かつ、ビアホール径30μm程度の微細で迅速なビアホールが形成されたことで、レーザー加工性が良好で、かつ、密着性、耐熱性も優れたものであった。
したがって、本発明のプリント配線板およびその製造方法は、ビアホール周縁の表層部が変性することなく、かつ、微細で迅速なビアホール形成が可能となる。
On the other hand, in Examples 1 to 10, the resin insulating layer is removed by irradiating with an ultraviolet laser to reach the substrate, and at this time, the surface layer portion around the via hole is not modified such as a dent and a bulge. In addition, since a fine and quick via hole with a via hole diameter of about 30 μm was formed, the laser processability was good, and the adhesion and heat resistance were also excellent.
Therefore, the printed wiring board and the manufacturing method thereof according to the present invention can form a fine and quick via hole without modifying the surface layer portion around the periphery of the via hole.

本発明は、高密度化・微細化の要求に応え得る狭ピッチ回路に対応したプリント配線板等として利用可能である。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used as a printed wiring board corresponding to a narrow pitch circuit that can meet demands for higher density and miniaturization.

1 基板(銅張積層板)
1a 導体層(回路配線)
1b 絶縁層
2 第1の硬化塗膜(樹脂絶縁層)
3 第2の硬化塗膜(樹脂絶縁層)
4 レーザー光
5 ビアホール
6 表層部の変性箇所
1 Substrate (copper-clad laminate)
1a Conductor layer (circuit wiring)
1b Insulating layer 2 First cured coating film (resin insulating layer)
3 Second cured coating (resin insulation layer)
4 Laser light 5 Via hole 6 Denatured part of the surface layer

Claims (7)

基板と、
前記基板上に形成された第2の硬化塗膜の層と、
前記第2の硬化塗膜の層と前記基板との間に形成された第1の硬化塗膜の層とを備え、
前記第2の硬化塗膜が、(C)多分岐構造を有するポリイミド樹脂および(D)多官能脂環式エポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂組成物より形成され、
前記第1の硬化塗膜が、紫外線吸収性を有する成分を少なくとも1種を含む熱硬化性樹脂組成物により形成されることを特徴とするプリント配線板用積層構造体。
A substrate,
A second cured coating layer formed on the substrate;
A first cured coating layer formed between the second cured coating layer and the substrate;
The second cured coating film is formed from a thermosetting resin composition containing (C) a polyimide resin having a multi-branched structure and (D) a polyfunctional alicyclic epoxy resin,
The laminated structure for a printed wiring board, wherein the first cured coating film is formed of a thermosetting resin composition containing at least one component having ultraviolet absorptivity.
前記第1の硬化塗膜が、(A)線状構造を有するポリイミド樹脂、(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂、及び(E)紫外線吸収剤のうちの少なくともいずれか1種を含む熱硬化性樹脂組成物により形成されることを特徴とする請求項1記載のプリント配線板用積層構造体。   The first cured coating film is at least one of (A) a polyimide resin having a linear structure, (B) an epoxy resin having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring, and (E) an ultraviolet absorber. The laminated structure for a printed wiring board according to claim 1, which is formed of a thermosetting resin composition containing 前記第1の硬化塗膜および前記第2の硬化塗膜が、絶縁性永久保護膜である請求項1又は2記載のプリント配線板用積層構造体。   The laminated structure for a printed wiring board according to claim 1 or 2, wherein the first cured coating film and the second cured coating film are insulating permanent protective films. 前記(A)線状構造を有するポリイミド樹脂が、反応性官能基を有する芳香族ポリイミド樹脂である請求項2記載のプリント配線板用積層構造体。   The laminated structure for a printed wiring board according to claim 2, wherein the polyimide resin having a linear structure (A) is an aromatic polyimide resin having a reactive functional group. 前記(B)多環芳香族炭化水素環を有するエポキシ樹脂が、ナフタレン型エポキシ樹脂およびアントラセン型エポキシ樹脂のうちの少なくともいずれか1種である請求項2記載のプリント配線板用積層構造体。   The laminated structure for a printed wiring board according to claim 2, wherein the epoxy resin (B) having a polycyclic aromatic hydrocarbon ring is at least one of a naphthalene type epoxy resin and an anthracene type epoxy resin. 前記第1の硬化塗膜の膜厚よりも前記第2の硬化塗膜の膜厚の方が薄い請求項1から5までのいずれか一項記載のプリント配線板用積層構造体。   The laminated structure for a printed wiring board according to any one of claims 1 to 5, wherein the film thickness of the second cured coating film is thinner than the film thickness of the first cured coating film. 請求項1から6までのいずれか一項記載のプリント配線板用積層構造体に対して紫外線レーザーを照射して、前記第1の硬化塗膜および前記第2の硬化塗膜を除去し、前記基板に到達するビアホールを形成することを特徴とするプリント配線板の製造方法。   Irradiating the laminated structure for printed wiring board according to any one of claims 1 to 6 with an ultraviolet laser to remove the first cured coating film and the second cured coating film, A method of manufacturing a printed wiring board, comprising forming a via hole reaching a substrate.
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