JP2013071038A - 液体供給系の脱気装置及びそれを備えたインクジェット印刷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】絶対圧力計を用いることなく、気圧変動の影響を回避して絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧による脱気対象への悪影響を抑制できる。
【解決手段】制御部５９は、減圧ポンプ５７により最大能力で減圧タンク４３内の減圧を行う。相対圧力計５３の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と、減圧ポンプ５７の絶対値基準の到達圧との差分を、最大到達圧相対圧に加算した値を目標相対圧として、制御部は減圧ポンプ５７を制御する。したがって、仕様により既知である減圧ポンプ５７による到達圧を基準するので、絶対圧力計を用いることなく装置周囲の気圧変動の影響を回避できる。その結果、絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧に起因するインクへの悪影響を抑制でき、ノズル配管３１からノズル３３へ供給されるインクによる印刷を好適に行える。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体プロセスに用いられる純水や、印刷に用いられるインクなどの液体中に存在する気体を除去する液体供給系の脱気装置及びそれを備えたインクジェット印刷装置に関する。

従来、この種の装置として、気体の透過速度が異なり、直列接続された第１の膜モジュール及び第２の膜モジュールと、それぞれの膜モジュールに形成された脱気口から減圧を行う真空ポンプとを備えたものが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。

第１の膜モジュール及び第２の膜モジュールは、脱気口を介して真空ポンプにより減圧される。そして、液体を第１の膜モジュールに通水した後、気体の透過速度が第１の膜モジュールよりも小さな第２の膜モジュールに通水することにより、効率的に脱気を行うことができるようになっている。なお、減圧は、各モジュールの気相側に設けられた圧力計により圧力が測定され、その圧力が目標値になるように制御されている。

特開平１０−２９６００５号公報（図１，図２）

しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、現在の圧力が圧力計で測定されているが、絶対圧を計測できる絶対圧力計は非常に高価である。そこで、相対圧による圧力測定を行う一般的な相対圧力計が用いられている。したがって、台風などの気象的影響や、標高が２０００ｍを超える高地のような地理的影響を受ける恐れがある。これらの要因によって装置周囲の気圧が低下する変動が生じると、装置の設計時に想定した基準となる大気圧が低下するので、圧力の目標値が設計時よりも実質的に低下する。換言すると、従来の装置は、装置周囲の気圧変動の影響を受けるので、正確に絶対圧の目標圧に減圧できないという問題がある。

因みに、液体は、固有の飽和蒸気圧を有するので、飽和蒸気圧より低い圧力にまで減圧すると、液体が気化する現象が生じる。例えば、印刷用のインクを脱気する場合には、溶媒が蒸発してインクが変質するという不都合が生じる。したがって、脱気は、減圧できればよいというものではなく、脱気対象の液体の飽和蒸気圧より低くならない圧力で減圧を行うことが重要である。

なお、上述した絶対圧とは、完全真空のときの圧力をゼロ（基準）として測定した圧力（＝ゲージ圧力＋大気圧）である。また、上述した相対圧とは、大気圧をゼロ（基準）として測定した圧力である。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、絶対圧力計を用いることなく、気圧変動の影響を回避して絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧による脱気対象への悪影響を抑制できる液体供給系の脱気装置及びそれを備えたインクジェット印刷装置を提供することを目的とする。

本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、液体を供給する前に液体に存在する気体を除去する液体供給系の脱気装置において、液体が流通され、脱気口を介して減圧されることにより液体に存在する気体を除去する脱気モジュールと、前記脱気モジュールに脱気対象である液体を供給する供給管と、前記脱気モジュールの脱気口に一端側が連通接続された減圧配管と、前記減圧配管に設けられた開閉弁と、前記減圧配管の他端側に連通接続された減圧タンクと、前記減圧タンク内を減圧する減圧ポンプと、前記減圧タンク内の圧力を測定する相対圧力計と、前記開閉弁を閉止した状態で前記減圧ポンプにより最大能力で減圧を行った後、前記相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、前記最大到達相対圧に加算した値を目標相対圧として前記減圧ポンプを制御しながら前記開閉弁を開放する制御部と、を備えていることを特徴とするものである。

［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御部は、開閉弁を閉止した状態で減圧ポンプにより最大能力で減圧タンク内の減圧を行う。減圧タンク内の圧力は、減圧ポンプの仕様である到達圧まで低下する。このときの相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と、減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、最大到達圧相対圧に加算した値を目標相対圧として、制御部は減圧ポンプを制御する。したがって、仕様により既知である減圧ポンプによる到達圧を基準とし、減圧タンクの減圧を行って開閉弁を開放して脱気モジュールによる脱気を行うことになるので、絶対圧力計を用いることなく装置周囲の気圧変動の影響を回避することができる。その結果、絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧に起因する液体への悪影響を抑制できる。

また、本発明において、前記制御部は、前記供給管から前記脱気モジュールに液体が流通されているときだけ、前記開閉弁を開放することが好ましい（請求項２）。

脱気モジュールに供給管から液体が供給されていない状態で脱気を継続すると、徐々に溶媒が揮発して液体が変質する恐れがある。そこで、脱気モジュールに液体が流通されているときだけ開閉弁を開放して脱気することで、そのような不都合を防止できる。

また、本発明において、前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧を予め記憶した記憶手段をさらに備え、前記制御部は、前記記憶手段の前記到達圧を参照することが好ましい（請求項３）。

減圧ポンプの仕様にあわせて記憶手段の到達圧を変えることができるので、減圧ポンプを交換したとしても、同様の効果を得ることができる。

また、請求項４に記載の発明は、インクジェットヘッドのノズルからインクを打滴して印刷用紙に印刷を行うインクジェット印刷装置において、インクが流通され、脱気口を介して減圧されることによりインクに存在する気体を除去する脱気モジュールと、前記脱気モジュールに脱気対象であるインクを供給する供給管と、前記脱気モジュールと前記ノズルとを連通接続したノズル配管と、前記脱気モジュールの脱気口に一端側が連通接続された減圧配管と、前記減圧配管に設けられた開閉弁と、前記減圧配管の他端側に連通接続された減圧タンクと、前記減圧タンク内を減圧する減圧ポンプと、前記減圧タンク内の圧力を測定する相対圧力計と、前記開閉弁を閉止した状態で前記減圧ポンプにより最大能力で減圧を行った後、前記相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、前記最大到達相対圧に加算した値を目標相対圧として前記減圧ポンプを制御しながら前記開閉弁を開放し、前記供給管から前記脱気モジュールにインクを供給してインクの脱気を行いつつ前記ノズル配管から前記インクジェットヘッドの各ノズルにインクを供給する制御部と、を備えているものである。

［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、制御部は、開閉弁を閉止した状態で減圧ポンプにより最大能力で減圧タンク内の減圧を行う。減圧タンク内の圧力は、減圧ポンプの仕様である到達圧まで低下する。このときの相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と、減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、最大到達圧相対圧に加算した値を目標相対圧として、制御部は減圧ポンプを制御する。したがって、仕様により既知である減圧ポンプによる到達圧を基準とし、減圧タンクの減圧を行って開閉弁を開放して脱気モジュールによる脱気を行うことになるので、絶対圧力計を用いることなく装置周囲の気圧変動の影響を回避することができる。その結果、絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧に起因するインクへの悪影響を抑制でき、ノズル配管からノズルへ供給されるインクによる印刷を好適に行うことができる。

また、本発明において、前記制御部は、前記供給管から前記脱気モジュールにインクが流通されているときだけ、前記開閉弁を開放することが好ましい（請求項５）。

脱気モジュールに供給管からインクが供給されていない状態で脱気を継続すると、徐々に溶媒が揮発してインクが変質する恐れがある。そこで、脱気モジュールにインクが流通されているときだけ開閉弁を開放して脱気することで、そのような不都合を防止できる。

また、本発明において、前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧を予め記憶した記憶手段をさらに備え、前記制御部は、前記記憶手段の前記到達圧を参照することが好ましい（請求項６）。

減圧ポンプの仕様にあわせて記憶手段の到達圧を変えることができるので、減圧ポンプを交換したとしても、同様の効果を得ることができる。

本発明に係る液体供給系の脱気装置によれば、制御部は、開閉弁を閉止した状態で減圧ポンプにより最大能力で減圧タンク内の減圧を行う。減圧タンク内の圧力は、減圧ポンプの仕様である到達圧まで低下する。このときの相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と、減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、最大到達圧相対圧に加算した値を目標相対圧として、制御部は減圧ポンプを制御する。したがって、仕様により既知である減圧ポンプによる到達圧を基準とし、減圧タンクの減圧を行って脱気モジュールによる脱気を行うことになるので、絶対圧力計を用いることなく装置周囲の気圧変動の影響を回避できる。その結果、絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧に起因する液体への悪影響を抑制できる。

実施例に係るインクジェット印刷システムの全体を示す概略構成図である。 液体供給系の脱気装置を示すブロック図である。 液体供給系の脱気装置の動作を示すフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明の一実施例を説明する。
図１は、実施例に係るインクジェット印刷システムの全体を示す概略構成図である。

本実施例に係るインクジェット印刷システムは、給紙部１と、インクジェット印刷装置３と、排紙部５とを備えている。給紙部１は、例えば、印刷対象であるロール状の連続紙ＷＰを供給する。インクジェット印刷装置３は、供給された連続紙ＷＰに対して印刷を行う。排紙部５は、印刷された連続紙ＷＰをロール状に巻き取る。

給紙部１は、ロール状の連続紙ＷＰを水平軸周りに回転可能に保持し、インクジェット印刷装置３に対して連続紙ＷＰを巻き出して供給する。排紙部５は、インクジェット印刷装置３で印刷された連続紙ＷＰを水平軸周りに巻き取る。連続紙ＷＰの供給側を上流とし、連続紙ＷＰの排紙側を下流とすると、給紙部１はインクジェット印刷装置３の上流側に配置され、排紙部５はインクジェット印刷装置３の下流側に配置されている。

インクジェット印刷装置３は、給紙部１からの連続紙ＷＰを取り込むための駆動ローラ７を上流側に備えている。駆動ローラ７によって給紙部１から巻き出された連続紙ＷＰは、複数個の搬送ローラ９に沿って下流側の排紙部５に向かって搬送される。最下流の搬送ローラ９と排紙部５との間には、駆動ローラ１１が配置されている。この駆動ローラ１１は、搬送ローラ９上を搬送されている連続紙ＷＰを排紙部５に向かって送り出す。

インクジェット印刷装置３は、駆動ローラ７と駆動ローラ１１との間に、印刷ユニット１３と、乾燥部１５と、検査部１７とを上流側から順に備えている。乾燥部１５は、印刷ユニット１３によって印刷された部分の乾燥を行う。検査部１７は、印刷された部分に汚れや抜け等がないかについて検査する。

印刷ユニット１３は、インク滴を吐出するインクジェットヘッド１９を備えている。印刷ユニット１３は、一般的には、連続紙ＷＰの搬送方向に沿って複数個配置されている。例えば、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）イエロー（Ｙ）について個別に４個の印刷ユニット１３を備えている。但し、以下の説明においては、発明の理解を容易にするために、１個の印刷ユニット１３だけを備えているものとする。また印刷ユニット１３は、連続紙ＷＰの搬送方向と直交する水平方向（幅方向）にも複数個のインクジェットヘッド１９を備えている。印刷ユニット１３は、連続紙ＷＰの幅方向における印刷領域を移動することなく印刷できるだけのインクジェットヘッド１９を連続紙ＷＰの幅方向に複数個備えている。つまり、本実施例におけるインクジェット印刷装置３は、インクジェットヘッド１９が連続紙ＷＰの搬送方向に直交する水平方向に主走査のために移動することがなく、位置固定のままで連続紙ＷＰを送りながら連続紙ＷＰに対して印刷を行う。この方式は、１パス方式と呼ばれる。

ここで、図２を参照して印刷ユニット１３における液体供給系の脱気装置について説明する。なお、図２は、液体供給系の脱気装置を示すブロック図である。

脱気モジュール２３は、液体中の気体を除去するための機能を有する。具体的には、例えば、合成樹脂からなる中空糸を束ねてハウジングに内蔵し、中空糸束の外部を脱気口２５を介して減圧し、注入口２７から注入された液体から気体を除去する。また、脱気モジュール２３は、注入口２７と連通し、脱気された液体を供給する供給口２９を備えている。なお、本実施例では、液体は印刷用のインクである。

脱気モジュール２３は、その供給口２９とインクジェットヘッド１９とがノズル配管３１で連通接続されている。ノズル配管３１は、インクジェットヘッド１９の複数個のノズル３３に連通接続され、脱気されたインクを供給される。

脱気モジュール２３の注入口２７には、供配管３５の一端側が連通接続されている。供給管３５の他端側は、インクタンク３７に連通接続されている。供給管３５には、液送ポンプ３９が設けられている。この液送ポンプ３９は、インクタンク３７に貯留しているインクを脱気モジュール２３の注入口２７に圧送する。

脱気モジュール２３の脱気口２５には、減圧配管４１の一端側が連通接続されている。減圧配管４１の他端側は、減圧タンク４３に連通接続されている。減圧配管４１には、減圧弁４５が設けられている。減圧タンク４３には、大気連通管４７の一端側が連通接続されており、大気連通管４７の他端側は大気に開放されている。大気連通管４７には、呼吸弁４９が設けられている。

なお、上記の減圧弁４５が本発明における「開閉弁」に相当する。

減圧タンク４３は、内部の相対圧力を測定する圧力測定配管５１が延出されている。この圧力測定配管５１には、相対圧力計５３が設けられている。相対圧力計５３は、減圧タンク４３の内部の相対圧力（ゲージ圧）を逐次測定し、その相対圧力値を出力する。

また、減圧タンク４３は、排気管５５の一端側が連通接続されている。排気管５５の他端側には、減圧ポンプ５７が連通接続されている。また、排気管５５には、操作弁５８が設けられている。

上述した液送ポンプ３９と、減圧弁４５と、呼吸弁４９と、減圧ポンプ５７と、操作弁５８とは、制御部５９により操作される。制御部５９は、ＣＰＵなどで構成されている。制御部５９には、メモリ６１が接続されている。本発明における「記憶手段」に相当するメモリ６１は、減圧ポンプ５７の仕様上における到達圧を予め記憶されている。この到達圧は、減圧ポンプ５７を最大能力で作動させた場合に、最大で減圧することができる仕様上の減圧度を表す。つまり、減圧ポンプ５７を動作させると、これ以上は減圧できないという限界値を表す。到達圧は絶対圧であり、この実施例では、例えば、２．５ｋＰａ（絶対圧）である。また、メモリ６１は、減圧タンク４３の減圧の目標である目標絶対圧も予め記憶されている。ここでは、目標絶対圧は、例えば、６ｋＰａである。

制御部５９の制御について簡単に説明する。制御部５９は、まず液送ポンプ３９を停止させた状態で、減圧弁４５及び呼吸弁４９を閉止させ、操作弁５８を開放させる。そして、減圧ポンプ５７を作動させる。この作動は、減圧ポンプ５７の最大能力で行われる。したがって、減圧タンク４３の内部圧力は、減圧ポンプ５７の到達圧（例えば、２．５ｋＰａ（絶対圧））となる。制御部５９は、そのときの圧力を相対圧力計５３から読み出す。この圧力が例えば、相対圧力で−９８．５ｋＰａであったとする。制御部５９は、この圧力を最大到達相対圧とし、メモリ６１の目標絶対圧と到達圧（絶対圧）との差分を求める。目標絶対圧は、到達圧（絶対値）よりも高い圧力である。制御部５９は、この差分を、最大到達相対圧（つまり、絶対値の到達圧に相当する）に加算して、これを目標相対圧とする。制御部５９は、相対圧力計５３の圧力が目標相対圧となるように、減圧ポンプ５７を制御する。そして、圧力計５３の圧力が目標相対圧となった時点、あるいは目標相対圧となって安定した時点で、減圧弁４５を開放するとともに、液送ポンプ３９を作動させ、ノズル３３から脱気されたインクを吐出させる。

次に、図３を参照して、上述したインクジェット印刷システムにおける液体供給系の脱気装置２１の動作について説明する。なお、図３は、液体供給系の脱気装置の動作を示すフローチャートである。

ステップＳ１
制御部５９は、減圧弁４５及び呼吸弁４９を閉止する。

ステップＳ２，Ｓ３
制御部５９は、減圧ポンプ５７を最大能力で作動させる。これにより、減圧タンク４３の内部が減圧ポンプ５７の到達圧（２．５ｋＰａ）まで減圧される。減圧タンク４３内の圧力が到達圧に達する時間は、減圧ポンプ４３の容積や、減圧ポンプ４３の能力などにより異なる。したがって、工場出荷前に絶対圧力計を減圧タンク４３に一時的に取り付けておき、その状態で到達圧に達する時間を測定しておく。そして、到達時間に余裕時間を加えて、その時間を到達圧到達時間としてメモリ６１に予め記憶させておき、制御部５９が減圧ポンプ４３の動作開始から到達圧到達時間に達した時点で次の処理に移行するようにすればよい。

なお、本実施例における減圧ポンプ４３のように真空到達度が高いものを用いた場合には、減圧弁４５を閉止せずに減圧を開始すると、脱気モジュール２３内に貯留しているインクが脱気される。すると、減圧タンク４３内の圧力が安定しないので、減圧弁４５の閉止は必要である。

ステップＳ４〜Ｓ６
制御部５９は、目標相対圧を求める。目標相対圧は、予めメモリ６１に記憶されている目標絶対圧と、減圧ポンプ５７の絶対値基準の到達圧の差分を、ステップＳ３後の相対圧力計５３の圧力である最大到達相対圧に加算することで求められる。この値を目標相対圧として、制御部５９は、相対圧力計５３の圧力が目標相対圧となるように減圧ポンプ５７を操作する。そして、相対圧力計５３の圧力が目標相対圧に一致した場合には、次の処理に移行する。

ステップＳ７，Ｓ８
制御部５９は、減圧弁４５を開放し、次いで液送ポンプ３９を作動させる。これにより、液送ポンプ３９からインクタンク３７のインクが脱気モジュール２３に圧送され、脱気された後にノズル３３から吐出される。

ここで、減圧タンク４３の圧力制御例について示す。上述したように、減圧ポンプ５７の到達圧は２．５ｋＰａ（絶対圧）であるとし、目標絶対圧は６ｋＰａであるとする。

通常時：大気圧は１０１ｋＰａ（絶対圧）であるとする。
減圧ポンプ５７で最大に減圧したときの相対圧力計５３の圧力（最大到達相対圧）が−９８．５ｋＰａであるとする。したがって、目標相対圧は、目標絶対圧（６ｋＰａ）と到達圧（２．５ｋＰａ）との差分（３．５ｋＰａ）を、最大到達相対圧（−９８．５ｋＰａ）に加算した−９５ｋＰａとなる。つまり、最大到達相対圧を到達圧（絶対値）に換算して目標相対圧を定める。

台風時：大気圧は９５ｋＰａ（絶対圧）であるとする。
最大到達相対圧が−９２．５ｋＰａとなるので、目標相対圧は、−９２．５ｋＰａ＋３．５ｋＰａ＝８９ｋＰａとなる。

標高２０００ｍの高地：大気圧は７９．５ｋＰａ（絶対圧）であるとする。
最大到達相対圧が−７７ｋＰａとなるので、目標相対圧は、−７７ｋＰａ＋３．５ｋＰａ＝７３．５ｋＰａとなる。

上述したように本実施例装置によると、制御部５９は、減圧弁４５及び呼吸弁４９を閉止した状態で減圧ポンプ５７により最大能力で減圧タンク４３内の減圧を行う。減圧タンク４３内の圧力は、減圧ポンプ５７の仕様である到達圧まで低下する。このときの相対圧力計５３の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と、減圧ポンプ５７の絶対値基準の到達圧との差分を、最大到達圧相対圧に加算した値を目標相対圧として、制御部は減圧ポンプ５７を制御する。したがって、仕様により既知である減圧ポンプ５７による到達圧を基準とし、減圧タンク４３の減圧を行って減圧弁４５を開放して脱気モジュール２３による脱気を行うことになるので、絶対圧力計を用いることなく装置周囲の気圧変動の影響を回避できる。その結果、絶対圧における正確な目標圧で減圧を行うことができ、過剰減圧に起因するインクへの悪影響を抑制でき、ノズル配管３１からノズル３３へ供給されるインクによる印刷を好適に行うことができる。

また、一般的に、脱気モジュール２３に供給管３５からインクが供給されていない状態で脱気を継続すると、脱気モジュール２３に滞留しているインクから徐々に溶媒が揮発してインクが変質する恐れがある。しかし、本実施例装置では、脱気モジュール２３にインクが流通されるときにだけ減圧弁４５を開放して脱気することで、そのような不都合を防止できる。

また、本実施例装置は、減圧ポンプ５７の絶対値基準の到達圧を予めメモリ６１に記憶させている。したがって、減圧ポンプ４７の仕様に合わせて到達圧を変更することができ、減圧ポンプ５７の故障等により、仕様が異なる減圧ポンプ５７に交換しても同様の効果を奏することができる。

本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。

（１）上述した実施例では、インクジェット印刷システムのインクジェット印刷装置３における液体供給系の脱気装置２１を例に採った。しかしながら、本発明はインクジェット印刷装置３における液体供給系の脱気装置２１に限定されるものではなく、例えば、純水供給装置等の液体の脱気装置にも適用することができる。

（２）上述した実施例では、脱気モジュール２３にインクが供給されるときにだけ脱気を行っているが、常時脱気を行うようにしてもよい。これにより制御を簡易化することができる。

（３）上述した実施例では、メモリ６１を備えて減圧ポンプ５７の到達圧を記憶させており、書き換え可能な構成とした。しかし、減圧ポンプ５７を同一仕様のもの以外に交換しない場合には、メモリ６１の到達圧を書き換え可能にする必要はない。

３ … インクジェット印刷システム
１９ … インクジェットヘッド
２１ … 液体供給系の脱気装置
２３ … 脱気モジュール
２５ … 脱気口
２９ … 供給口
３１ … ノズル配管
３３ … ノズル
３５ … 供給管
３７ … インクタンク
３９ … 液送ポンプ
４１ … 減圧配管
４３ … 減圧タンク
４５ … 減圧弁
４７ … 大気連通管
４９ … 呼吸弁
５３ … 相対圧力計
５５ … 排気管
５７ … 減圧ポンプ
５９ … 制御部
６１ … メモリ

Claims (6)

1. 液体を供給する前に液体に存在する気体を除去する液体供給系の脱気装置において、
   液体が流通され、脱気口を介して減圧されることにより液体に存在する気体を除去する脱気モジュールと、
   前記脱気モジュールに脱気対象である液体を供給する供給管と、
   前記脱気モジュールの脱気口に一端側が連通接続された減圧配管と、
   前記減圧配管に設けられた開閉弁と、
   前記減圧配管の他端側に連通接続された減圧タンクと、
   前記減圧タンク内を減圧する減圧ポンプと、
   前記減圧タンク内の圧力を測定する相対圧力計と、
   前記開閉弁を閉止した状態で前記減圧ポンプにより最大能力で減圧を行った後、前記相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、前記最大到達相対圧に加算した値を目標相対圧として前記減圧ポンプを制御しながら前記開閉弁を開放する制御部と、
   を備えていることを特徴とする液体供給系の脱気装置。
2. 請求項１に記載の液体供給系の脱気装置において、
   前記制御部は、前記供給管から前記脱気モジュールに液体が流通されているときだけ、前記開閉弁を開放することを特徴とする液体供給系の脱気装置。
3. 請求項１または２に記載の液体供給系の脱気装置において、
   前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧を予め記憶した記憶手段をさらに備え、
   前記制御部は、前記記憶手段の前記到達圧を参照することを特徴とする液体供給系の脱気装置。
4. インクジェットヘッドのノズルからインクを打滴して印刷用紙に印刷を行うインクジェット印刷装置において、
   インクが流通され、脱気口を介して減圧されることによりインクに存在する気体を除去する脱気モジュールと、
   前記脱気モジュールに脱気対象であるインクを供給する供給管と、
   前記脱気モジュールと前記ノズルとを連通接続したノズル配管と、
   前記脱気モジュールの脱気口に一端側が連通接続された減圧配管と、
   前記減圧配管に設けられた開閉弁と、
   前記減圧配管の他端側に連通接続された減圧タンクと、
   前記減圧タンク内を減圧する減圧ポンプと、
   前記減圧タンク内の圧力を測定する相対圧力計と、
   前記開閉弁を閉止した状態で前記減圧ポンプにより最大能力で減圧を行った後、前記相対圧力計の圧力を最大到達相対圧とし、予め設定されている目標絶対圧と前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧との差分を、前記最大到達相対圧に加算した値を目標相対圧として前記減圧ポンプを制御しながら前記開閉弁を開放し、前記供給管から前記脱気モジュールにインクを供給してインクの脱気を行いつつ前記ノズル配管から前記インクジェットヘッドの各ノズルにインクを供給する制御部と、
   を備えていることを特徴とするインクジェット印刷装置。
5. 請求項４に記載のインクジェット印刷装置において、
   前記制御部は、前記供給管から前記脱気モジュールにインクが流通されているときだけ、前記開閉弁を開放することを特徴とするインクジェット印刷装置。
6. 請求項４または５に記載のインクジェット印刷装置において、
   前記前記減圧ポンプの絶対値基準の到達圧を予め記憶した記憶手段をさらに備え、
   前記制御部は、前記記憶手段の前記到達圧を参照することを特徴とするインクジェット印刷装置。

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