JP2013065682A5 - - Google Patents
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- 樹脂層（Ａ）を備えるダイシングシート用基材フィルムであって、
当該樹脂層（Ａ）は、芳香族系環および脂肪族系環の少なくとも一種を有する熱可塑性樹脂である環含有樹脂（ａ１）と、当該環含有樹脂（ａ１）以外のオレフィン系熱可塑性樹脂である非環式オレフィン系樹脂（ａ２）とを含有し、
前記樹脂層（Ａ）中の前記環含有樹脂（ａ１）の含有量は３．０質量％超であり、
前記環含有樹脂（ａ１）は流動化温度が２３５℃以下であることを特徴とするダイシングシート用基材フィルム。 - 前記非環式オレフィン系樹脂（ａ２）はエチレン系重合体である請求項１記載のダイシングシート用基材フィルム。
- 前記環含有樹脂（ａ１）は２３℃における引張弾性率が１．５ＧＰａ超である、請求項１または２に記載のダイシングシート用基材フィルム。
- 前記樹脂層（Ａ）は前記環含有樹脂（ａ１）を３．０質量％超６０．０質量％以下で含有する、請求項１から３のいずれか一項に記載のダイシングシート用基材フィルム。
- 前記樹脂層（Ａ）における内部ヘーズ値が８０％以下である、請求項１から４のいずれか一項に記載のダイシングシート用基材フィルム。
- 請求項１から５のいずれかに記載される基材フィルムと、当該基材フィルム上に配置された粘着剤層とを備えるダイシングシート。
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