JP2013065652A5 - - Google Patents
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本発明の実施形態に係る固体撮像素子は、それぞれ多角形の平面形状を有し、中心部に前記多角形の辺により空間が形成されるように配列された６個のフォトダイオードと、これらのフォトダイオードにより光電変換され、蓄積された信号電荷を検出するために、前記中心部の空間内に配置されたフローティングジャンクションと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を前記フローティングジャンクションに読み出すために、前記中心部の空間内に配置された転送ゲートトランジスタと、を基本単位セルとして含み、この基本単位セルを２次元に複数個配置してなることを特徴とするものである。
Claims (8)
- それぞれ多角形の平面形状を有し、中心部に前記多角形の辺により空間が形成されるように配列された６個のフォトダイオードと、これらのフォトダイオードにより光電変換され、蓄積された信号電荷を検出するために、前記中心部の空間内に配置されたフローティングジャンクションと、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を前記フローティングジャンクションに読み出すために、前記中心部の空間内に配置された転送ゲートトランジスタと、を基本単位セルとして含み、この基本単位セルを２次元に複数個配置してなることを特徴とする固体撮像素子。
- 前記中心部の空間内には、さらに、前記フローティングジャンクションの電位変化を検出するために配置されたアンプトランジスタと、前記フローティングジャンクションの電位をリセットするために配置されたリセットトランジスタと、を含む出力回路を備えたことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
- 前記フォトダイオードと、前記出力回路との間にはシャロートレンチを用いた素子分離領域が形成されていることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像素子。
- 前記６個のフォトダイオードのうち、互いに隣接するフォトダイオード間にはイオン注入による素子分離領域が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像素子。
- 前記出力回路は、前記中心部の空間内に２組配置されていることを特徴とする請求項２に記載の固体撮像素子。
- 前記２組の出力回路は、前記リセットトランジスタのドレイン電極を共用していることを特徴とする請求項５に記載の固体撮像素子。
- 前記複数個の基本単位セルは市松状に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像素子。
- 前記各基本単位セルに含まれる前記フォトダイオード、前記リセットトランジスタあるいは前記アンプトランジスタは、それぞれ行および列からなる格子状に配列され、前記格子状に配列されたフォトダイオードのうち、同じ行に配列されたフォトダイオードに蓄積された信号電荷を読み出すための転送ゲートトランジスタの転送ゲート電極に共通接続された転送ゲート配線と、前記格子状に配列されたリセットトランジスタのうち、同じ行に配列されたリセットトランジスタのリセットゲート電極に共通接続されたリセット配線と、前記前記格子状に配列されたアンプトランジスタのうち、同じ列に配列されたアンプトランジスタのソース電極に共通接続された出力配線と、を備えることを特徴とする請求項７に記載の固体撮像素子。
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