JP2013065402A - 増幅システム - Google Patents
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Abstract
【課題】プラズマ生成時の負荷変動に高速に対応すると共に、自動インピーダンス制御回路の長寿命化を図ることが可能な増幅システムを提供する。
【解決手段】プラズマの生成によりインピーダンスが変動する負荷と接続する増幅システムは、入力線路、第1及び第2の増幅器、出力線路、接続線路及びインピーダンス制御回路を具備する。入力線路、出力線路及び接続線路の電気長は、駆動前調整により予め設定される。インピーダンス制御回路は、駆動前調整において、入力から前記負荷側を見たインピーダンスが第1のインピーダンスと等しくなるように制御する。駆動中には、第1の増幅器は、プラズマ生成前後において第1のインピーダンスを目標として信号を増幅する。第2の増幅器は、プラズマ生成前には増幅機能をオフとし、プラズマ生成後には第1のインピーダンスを目標として信号を増幅する。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- プラズマの生成によりインピーダンスが変動する負荷と接続する増幅システムにおいて、
予め設定された第1のインピーダンスが設定され、可変長の第1の電気長を有し、信号を伝送する入力線路と、
前記第1のインピーダンスを目標インピーダンスとした増幅機能で、前記入力線路により伝送された信号を増幅する第1の増幅器と、
前記第1の増幅器と並列して設置され、前記プラズマ発生の前後に応じた増幅機能で、入力された信号を増幅する第2の増幅器と、
前記第2の増幅器の出力側に位置し、前記第1のインピーダンスが設定され、前記第1の電気長を有する出力線路と、
前記第1のインピーダンスが設定され、可変長の第2の電気長を有し、前記第1の増幅器から出力される信号と前記出力線路から出力される信号とが合成された信号を伝送する接続線路と、
前記接続線路と接続し、入力から前記負荷側を見たインピーダンスを制御するインピーダンス制御回路と
を具備し、
前記インピーダンス制御回路は、駆動前調整において、前記プラズマ生成後を想定して、入力から前記負荷側を見たインピーダンスが前記第1のインピーダンスと等しくなるようにインピーダンスを制御し、
前記入力線路及び出力線路の第1の電気長と、接続線路の第2の電気長とは、前記駆動前調整において、プラズマ生成前に、前記インピーダンス制御回路の入力から前記負荷側を見たインピーダンスと、前記インピーダンス制御回路の入力から前記接続線路側を見たインピーダンスとが複素共役となるように設定され、
前記第2の増幅器は、前記プラズマ生成前には増幅機能をオフとし、前記プラズマ生成後には前記第1のインピーダンスを目標インピーダンスとした増幅機能で信号を増幅することを特徴とする増幅システム。 - 前記第2の増幅器の増幅機能は、前記プラズマ生成前後で電気的に制御されることを特徴とする請求項1記載の増幅システム。
- 前記第1の増幅器の出力インピーダンスは、前記第1及び第2の電気長が設定されることで、前記第1のインピーダンスから前記第1のインピーダンスの2倍のインピーダンスのいずれかとなることを特徴とする請求項1又は2に記載の増幅システム。
- プラズマ発生後において第1及び第2の増幅器へ供給される信号の入力レベルは、プラズマ発生前において第1の増幅器へ供給される信号の入力レベルよりも大きくなるように制御されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の増幅システム。
- 前記入力線路、出力線路及び接続線路のうち少なくともいずれかは、複数の選択線路及び切替スイッチを備え、前記切替スイッチにより、前記複数の選択線路のうちいずれかが選択されることで、前記第1又は第2の電気長が設定されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の増幅システム。
- 前記入力線路、出力線路及び接続線路のうち少なくともいずれかは、ハイブリッド回路及び可変容量コンデンサを備え、前記可変容量コンデンサの容量を変化させることで、ハイブリッド回路を構成する選択線路のうちいずれかが選択され、前記第1又は第2の電気長が設定されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の増幅システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011201925A JP2013065402A (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 増幅システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011201925A JP2013065402A (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 増幅システム |
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JP2013065402A true JP2013065402A (ja) | 2013-04-11 |
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Family Applications (1)
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JP2011201925A Withdrawn JP2013065402A (ja) | 2011-09-15 | 2011-09-15 | 増幅システム |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2013065402A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017531282A (ja) * | 2014-08-15 | 2017-10-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | プラズマ処理システム用のコンパクトな構成可能なモジュール式高周波整合ネットワークアセンブリ |
-
2011
- 2011-09-15 JP JP2011201925A patent/JP2013065402A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017531282A (ja) * | 2014-08-15 | 2017-10-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | プラズマ処理システム用のコンパクトな構成可能なモジュール式高周波整合ネットワークアセンブリ |
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