JP2013041202A - レジストマスクおよびパターン形成体の製造方法 - Google Patents
レジストマスクおよびパターン形成体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013041202A JP2013041202A JP2011179467A JP2011179467A JP2013041202A JP 2013041202 A JP2013041202 A JP 2013041202A JP 2011179467 A JP2011179467 A JP 2011179467A JP 2011179467 A JP2011179467 A JP 2011179467A JP 2013041202 A JP2013041202 A JP 2013041202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- ultraviolet light
- vacuum ultraviolet
- substrate
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明は、基板と、上記基板上に形成され、真空紫外光を透過する透過部と、上記透過部上に形成され、上記透過部よりも真空紫外光の透過率が低いレジストパターンとを有し、上記透過部は、上記透過部の大きさが上記レジストパターンの大きさ以上となるように形成されていることを特徴とするレジストマスクを提供することにより、上記目的を達成する。
【選択図】図1
Description
このようなことから、真空紫外光を用いるパターン形成体の製造方法においては、パターン形成用基板表面に、真空紫外光と作用する酸素を存在させておくことが必要となる。
そこで、特許文献1では、フォトマスクの遮光パターンと有機分子膜との間にギャップを設けるプロキシミティ露光を採用している。
そこで、特許文献2には、真空紫外光と作用する酸素の量を多くするために、フォトマスクとパターニング用基板との間隙を0.1μm〜200μmの範囲内とすることが提案されている。さらに、特許文献2には、フォトマスクとパターニング用基板との間隙を保つために、フォトマスクにスペーサ部を形成することが提案されている。
さらに、特許文献4には、レジストマスクの耐光性や耐久性を向上させるために、レジストパターンの上面および側面を酸素遮断性を有する有機保護膜で覆うことが提案されている。
さらに、レジストパターンの線幅が微細である場合には、厚膜のレジストパターンを形成するのは非常に難しく、レジストパターンを薄くせざるを得ないので、真空紫外光と作用する酸素を確保することが困難となり、上記の場合と同様にパターン形成が困難になるか、パターン形成に時間がかかるおそれがある。
また本発明によれば、透過部は真空紫外光を透過するため、本発明のレジストマスクのレジストパターンとパターン形成用基板のパターン形成面とを接触させて真空紫外光を照射した際には、透過部を介してもパターン形成用基板のパターン形成面に真空紫外光が照射されるので、真空紫外光の量を多くすることができ、レジストパターン間の空間に存在する酸素に真空紫外光が十分に作用し、酸素ラジカルの発生効率を高くすることができる。その結果、パターン形成時間を短縮することが可能となる。
さらに本発明によれば、透過部およびレジストパターンが積層されているので、透過部がパターン状に形成されている場合には、レジストパターン間の空間を確保しつつ、透過部およびレジストパターンの厚みを適宜調整することで線幅の狭いレジストパターンも形成可能である。
まず、本発明のレジストマスクについて説明する。
本発明のレジストマスクは、基板と、上記基板上に形成され、真空紫外光を透過する透過部と、上記透過部上に形成され、上記透過部よりも真空紫外光の透過率が低いレジストパターンとを有し、上記透過部は、上記透過部の大きさが上記レジストパターンの大きさ以上となるように形成されていることを特徴とするものである。
図1は本発明のレジストマスクの一例を示す概略断面図である。図1に例示するレジストマスク1は、基板2と、基板2上にパターン状に形成され、真空紫外光を透過する透過部3と、透過部3上に形成され、透過部3よりも真空紫外光の透過率が低いレジストパターン4とを有している。このレジストマスク1において、透過部3はレジストパターン4と同一のパターン形状で形成されている。
図3(c)および図4(c)に例示するように、レジストマスク1を介してパターン形成用基板10のパターン形成面Pに真空紫外光Lを照射する際、真空紫外光Lは拡散光であるため任意の角度でパターン形成用基板10のパターン形成面Pに照射される。本発明のレジストマスクにおいては、レジストパターン4は透過部3よりも真空紫外光Lの透過率が低いため、レジストパターン4によって真空紫外光Lを減衰させることができる。特に、レジストパターン4が実質的に真空紫外光Lを透過しない場合には、レジストパターン4によって真空紫外光Lを遮ることができる。そのため、レジストマスク1のレジストパターン4とパターン形成用基板10のパターン形成面Pとが接触している領域では、レジストパターン4によって真空紫外光Lが減衰され、真空紫外光Lの回り込みを抑制し、また酸素も存在しないので、特性変化部13等のパターンを高精細に形成することが可能となる。
また、本発明のレジストマスクにおいては、透過部3は真空紫外光Lを透過することから、透過部3を介してもパターン形成面Pに真空紫外光Lを照射することができ、レジストパターン4間に位置するパターン形成面Pに真空紫外光Lを多く照射させることができる。したがって、本発明のレジストマスクを用いることにより、レジストパターン4間の空隙に存在する酸素に真空紫外光Lを十分に作用させて、酸素ラジカルの発生効率を高くすることができ、効率良く真空紫外光照射処理を行い、パターン形成時間を短縮することが可能となる。レジストマスク1のレジストパターン4間の間隔が狭い場合であっても、透過部3を介してレジストパターン4間に位置するパターン形成面Pに真空紫外光Lが照射されるので、パターン形成時間を比較的短くすることができる。
一般に、レジストマスクのレジストパターンとパターン形成用基板のパターン形成面とを接触させた場合、レジストパターン間の空間を広くするにはレジストパターンを厚くするのが効果的であるが、レジストパターンの線幅が小さい場合にはレジストパターンを厚く形成することが非常に困難となる。本発明のレジストマスクにおいては、透過部3およびレジストパターン4が積層されているため、透過部3およびレジストパターン4の総厚みが厚くとも、透過部3およびレジストパターン4のそれぞれの厚みは薄くすることができるので、透過部3およびレジストパターン4の厚みを適宜調整することにより、レジストパターン4の線幅が非常に小さい場合であっても形成可能となる。したがって、本発明のレジストマスクを用いることにより、パターン間の間隔が狭いパターンも高精細に形成することが可能である。
本発明における透過部は、基板上に形成され、真空紫外光を透過するものであり、透過部の大きさが後述のレジストパターンの大きさ以上となるように形成されている。
透過部が基板上にパターン状に形成されている場合には、上述したように、本発明のレジストマスクを介してパターン形成用基板のパターン形成面に真空紫外光を照射した際に、レジストパターン間の空間が広くなるので、レジストパターン間に存在する酸素量を多くすることができ、パターン形成時間をより一層短縮することが可能となる。また、レジストパターン間に存在する酸素量を多くすることができるので、より均一に真空紫外光照射処理を行うことが可能となる。
また、透過部が基板上にパターン状に形成されている場合、透過部によって厚みをかせぐことができるので、レジストパターン間の空間を確保しつつ、レジストパターンの線幅を小さくすることが可能である。
なお、真空紫外光の透過率は、例えば、日本分光株式会社製の真空紫外分光光度計V-1000を用い、石英基板上に透過部を構成する材料を塗布して測定用基板を作製し、この測定用基板を測定することで算出することができる。
具体的に、透過部の幅は、レジストパターンの幅以上であればよく、レジストパターンの幅に応じて適宜選択される。
具体的に、透過部の厚みは、0.05μm〜200μmの範囲内であることが好ましく、中でも0.1μm〜100μmの範囲内、特に1μm〜50μmの範囲内であることが好ましい。透過部の厚みが上記範囲内であれば、上述したように、パターン形成用基板のパターン形成面に効率良く真空紫外光照射処理を施すことができるからである。一方、透過部の厚みが上記範囲よりも薄いと、透過部が真空紫外光を透過することによる上述の効果が十分に得られない場合がある。また、透過部の厚みが上記範囲よりも厚いと、透過部が基板上にパターン状に形成されている場合には、透過部の形成が困難となる場合がある。
本発明におけるレジストパターンは、上記透過部上に形成され、上記透過部よりも真空紫外光の透過率が低いものである。
なお、真空紫外光の透過率の測定方法は、上記「1.透過部」の項に記載した方法と同様である。
また、レジストパターンの幅およびレジストパターン間の間隔も、本発明のレジストマスクを用いて形成されるパターンの形状に合わせて適宜選択される。
本発明に用いられる基板は、透過部およびレジストパターンを支持するものである。
次に、本発明のパターン形成体の製造方法について説明する。
本発明のパターン形成体の製造方法は、パターン形成用基板を用い、上述のレジストマスクのレジストパターンが上記パターン形成用基板のパターン形成面に接触するように、上記レジストマスクを配置するレジストマスク配置工程と、真空紫外光の拡散光源を用い、反応性ガスの存在下で、上記レジストマスクを介して上記パターン形成用基板のパターン形成面に真空紫外光を照射する真空紫外光照射工程とを有することを特徴としている。
図3(a)〜(d)は本発明のパターン形成体の製造方法の一例を示す工程図である。まず、図3(a)に示すように、パターン形成用基板10を準備する。図3(a)に例示するパターン形成用基板10は、真空紫外光の照射によって所定の特性が変化する単一層からなる特性変化基板である。次いで、図3(b)に示すように、レジストマスク1のレジストパターン4がパターン形成用基板10のパターン形成面Pに接触するように、レジストマスク1を配置する、レジストマスク配置工程を行う。図3(b)に示すレジストマスク1は、上述の図1に例示したものと同様である。次に、図3(c)に示すように、真空紫外光の拡散光源21を用い、反応性ガスの存在下で、レジストマスク1を介してパターン形成用基板10のパターン形成面Pに真空紫外光Lを照射する、真空紫外光照射工程を行う。これにより、図3(d)に示すように、パターン形成用基板10のパターン形成面Pがパターン状に真空紫外光照射処理されたパターン形成体20が得られる。図3(d)に例示するパターン形成体20では、真空紫外光の照射によって所定の特性が変化した特性変化部13がパターン状に形成されている。
なお、レジストマスクについては、上記「A.レジストマスク」の項に詳しく記載したので、ここでの説明は省略する。以下、本発明のパターン形成体の製造方法におけるパターン形成用基板および各工程について説明する。
本発明に用いられるパターン形成用基板は、後述する真空紫外光照射工程において、パターン形成面に真空紫外光がパターン状に照射されることによって、パターン形成面がパターン状に真空紫外光照射処理されたパターン形成体を構成することができるものである。
ここで、「パターン形成面」とは、パターン形成用基板の面のうち、レジストマスクが配置され、真空紫外光照射処理される表面を指すものとする。
以下、特性変化基板、特性変化型積層体および分解除去型積層体に分けて説明する。
本発明に用いられる特性変化基板は、真空紫外光照射処理によって所望の特性変化が生じる特性変化材料からなる単一層の構成を有するものである。
本発明に用いられる特性変化型積層体は、任意の支持基板上に真空紫外光照射処理によって所望の特性が変化する特性変化層が積層された構成を有するものである。
本発明に用いられる分解除去型積層体は、任意の支持基板上に真空紫外光照射処理によって酸化分解される分解除去材料からなる分解除去層が積層された構成を有するものである。
本発明におけるレジストマスク配置工程は、上記パターン形成用基板を用い、上記レジストマスクのレジストパターンが上記パターン形成用基板のパターン形成面に接触するように、上記レジストマスクを配置する工程である。
本発明における真空紫外光照射工程は、真空紫外光の拡散光源を用い、反応性ガスの存在下で、上記レジストマスクを介して上記パターン形成用基板のパターン形成面に真空紫外光を照射する工程である。本工程では、上記パターン形成用基板のパターン形成面をパターン状に真空紫外光照射処理を行う。
すなわち、真空紫外光は指向性のない拡散光であるため、パターン形成面の全面を同時に照射する方法では、例えば、大面積のパターン形成面に真空紫外光を照射する場合に、中央部と端部とで真空紫外光の照射量に差が生じてしまう可能性がある。これに対し、パターン形成面を順次に照射する方法によれば、たとえ大面積のパターン形成面に真空紫外光を照射する場合であっても、全面に対して均一に照射することが容易になる。
本発明のパターン形成体の製造方法により製造されるパターン形成体の用途としては、例えば、半導体素子の電極や半導体層、配線基板の配線、有機EL素子の正孔注入層や発光層等の有機層、カラーフィルタ、マイクロレンズ、バイオチップ等の形成を挙げることができる。
本発明のパターン形成体の製造方法により製造されたパターン形成体を用いて、機能性素子を製造することができる。
本発明における機能性素子の製造方法は、本発明のパターン形成体の製造方法により製造されたパターン形成体の、特性変化部または分解除去部上に機能性部を形成する機能性部形成工程を有する。
以下、機能性部形成工程および機能性素子について説明する。
本発明における機能性部形成工程は、上述のパターン形成体の製造方法により製造されたパターン形成体の、特性変化部または分解除去部上に機能性部を形成する工程である。
本発明の機能性素子の製造方法により製造される機能性素子としては、例えば、半導体素子、配線基板、有機EL素子、カラーフィルタ、マイクロレンズ、バイオチップ等を挙げることができる。
[実施例1]
<パターン形成用基板の形成>
厚さ50nmの熱酸化膜が形成されたシリコンウェハー上に、ヘキサメチルジシラザンを用いて、疎水層を形成した。
厚さ3mmの石英マスクを用意し、密着性を上げるために表面にプラズマ処理を施した。石英マスク上にフッ素樹脂をグラビア・オフセット印刷し、線幅30μm、間隔30μmのストライプパターンを形成した。その後、150℃のオーブンで30分加熱し、透過部とした。この透過部の厚みは約5μmであった。
次に、石英マスクの透過部を形成した面にプラズマ処理を施した後、化薬マイクロケム社製のネガ型レジストSU−8をスピンコートした。続いて、65℃のホットプレートで1分加熱した。次いで、透過部上に、線幅30μmのラインが重なるように、フォトマスクを用いてアライメント露光した。そのときの条件は、露光量:40mJ/cm2、ギャップ:5μmとした。その際のレジストパターンの間隔は30μmであった。その後、架橋を促進する為に65℃のホットプレートで1分加熱し、PGMEAにて現像を3分行った。続いて、150℃のオーブンで30分加熱し、レジストマスクとした。このときのレジストパターンの厚さは約2μmであった。
上記の線幅30μm、間隔30μmのレジストパターンを有するレジストマスクと、疎水層が付与されたシリコン基板とを密着させ、ウシオ電機社製のエキシマランプを用いて真空紫外光を照射した。次いで、真空紫外光照射後の疎水層が付与されたシリコン基板に、Agナノコロイドインキをバーコートした。親水性領域上に形成された電極の線幅は30μmであり、間隔は30μmであった。親水性領域と疎水性領域を発現させるための露光時間は20秒であった。
<パターン形成用基板の形成>
厚さ50nmの熱酸化膜が形成されたシリコンウェハー上に、ヘキサメチルジシラザンを用いて、疎水層を形成した。
透過部を形成しないこと以外は上記実施例と同様にレジストマスクを形成した。すなわち、まず、厚さ3mmの石英マスクを用意し、密着性を上げるために表面にプラズマ処理を施した。次に、化薬マイクロケム社製のネガ型レジストSU−8をスピンコートし、2μmの膜厚を得た。続いて、65℃のホットプレートで1分加熱した。次いで、線幅30μm、間隔30μmのレジストパターンが形成されるように、フォトマスクを用いて露光した。そのときの条件は、露光量:40mJ/cm2、ギャップ:5μmであった。その後、架橋を促進する為に65℃のホットプレートで1分加熱し、PGMEAにて現像を3分行った。続いて、150℃のオーブンで30分加熱し、レジストマスクとした。
上記の線幅30μm、間隔30μmのレジストパターンを有するレジストマスクと、疎水層が付与されたシリコン基板とを密着させ、ウシオ電機社製のエキシマランプを用いて真空紫外光を照射した。次いで、真空紫外光照射後の疎水層が付与されたシリコン基板に、Agナノコロイドインキをバーコートした。親水性領域上に形成された電極の線幅は30μmであり、間隔は30μmであったが、親水性領域と疎水性領域を発現させるためには、露光時間を70秒要した。
<パターン形成用基板の形成>
厚さ50nmの熱酸化膜が形成されたシリコンウェハー上に、ヘキサメチルジシラザンを用いて、疎水層を形成した。
厚さ3mmの石英マスクを用意し、密着性を上げるために表面にプラズマ処理を施した。石英マスク上にフッ素樹脂をスピンコートし全面にフッ素樹脂膜を形成した。その後、150℃のオーブンで30分加熱し、透過部とした。この透過部の厚みは約5μmであった。
次に、石英マスクの透過部を形成した面にプラズマ処理を施した後、化薬マイクロケム社製のネガ型レジストSU−8をスピンコートした。続いて、65℃のホットプレートで1分加熱した。次いで、透過部上に、線幅10μm、間隔10μmのレジストパターンが形成されるように、フォトマスクを用いて露光した。そのときの条件は、露光量:40mJ/cm2、ギャップ:5μmとした。その後、架橋を促進する為に65℃のホットプレートで1分加熱し、PGMEAにて現像を3分行った。続いて、150℃のオーブンで30分加熱し、レジストマスクとした。このときのレジストパターンの厚さは約2μmであった。
上記の線幅10μm、間隔10μmのレジストパターンを有するレジストマスクと、疎水層が付与されたシリコン基板とを密着させ、ウシオ電機社製のエキシマランプを用いて真空紫外光を照射した。次いで、真空紫外光照射後の疎水層が付与されたシリコン基板に、Agナノコロイドインキをバーコートした。親水性領域上に形成された電極の線幅は9.2μmであり、間隔は10.8μmであった。親水性領域と疎水性領域を発現させるための露光時間は60秒であった
<パターン形成用基板の形成>
厚さ50nmの熱酸化膜が形成されたシリコンウェハー上に、ヘキサメチルジシラザンを用いて、疎水層を形成した。
透過部を形成しないこと以外は上記実施例2と同様にレジストマスクを形成した。すなわち、まず、厚さ3mmの石英マスクを用意し、密着性を上げるために表面にプラズマ処理を施した。次に、化薬マイクロケム社製のネガ型レジストSU−8をスピンコートし、2μmの膜厚を得た。続いて、65℃のホットプレートで1分加熱した。次いで、線幅10μm、間隔10μmのレジストパターンが形成されるように、フォトマスクを用いて露光した。そのときの条件は、露光量:40mJ/cm2、ギャップ:5μmであった。その後、架橋を促進する為に65℃のホットプレートで1分加熱し、PGMEAにて現像を3分行った。続いて、150℃のオーブンで30分加熱し、レジストマスクとした。
上記の線幅10μm、間隔10μmのレジストパターンを有するレジストマスクと、疎水層が付与されたシリコン基板とを密着させ、ウシオ電機社製のエキシマランプを用いて真空紫外光を照射した。次いで、真空紫外光照射後の疎水層が付与されたシリコン基板に、Agナノコロイドインキをバーコートした。親水性領域上に形成された電極の線幅は10.7μmであり、間隔は9.3μmであったが、親水性領域と疎水性領域を発現させるためには、露光時間を200秒要した。
2 … 基板
3 … 透過部
4 … レジストパターン
10 … パターン形成用基板
11 … 支持基板
12 … 特性変化層
13 … 特性変化部
14 … 分解除去層
15 … 分解除去部
16 … 機能性部
20 … パターン形成体
21 … 拡散光源
L … 真空紫外光
P … パターン形成面
Claims (2)
- 基板と、
前記基板上に形成され、真空紫外光を透過する透過部と、
前記透過部上に形成され、前記透過部よりも真空紫外光の透過率が低いレジストパターンと
を有し、前記透過部は、前記透過部の大きさが前記レジストパターンの大きさ以上となるように形成されていることを特徴とするレジストマスク。 - パターン形成用基板を用い、請求項1に記載のレジストマスクのレジストパターンが前記パターン形成用基板のパターン形成面に接触するように、前記レジストマスクを配置するレジストマスク配置工程と、
真空紫外光の拡散光源を用い、反応性ガスの存在下で、前記レジストマスクを介して前記パターン形成用基板のパターン形成面に真空紫外光を照射する真空紫外光照射工程と
を有することを特徴とするパターン形成体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011179467A JP2013041202A (ja) | 2011-08-19 | 2011-08-19 | レジストマスクおよびパターン形成体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011179467A JP2013041202A (ja) | 2011-08-19 | 2011-08-19 | レジストマスクおよびパターン形成体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013041202A true JP2013041202A (ja) | 2013-02-28 |
Family
ID=47889626
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011179467A Pending JP2013041202A (ja) | 2011-08-19 | 2011-08-19 | レジストマスクおよびパターン形成体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013041202A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016075862A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | ウシオ電機株式会社 | パターン形成体の製造方法、パターン形成体及び光照射装置 |
JP2019133070A (ja) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | 国立大学法人 筑波大学 | 有機マイクロディスクアレイおよびその製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03125150A (ja) * | 1989-10-09 | 1991-05-28 | Hitachi Ltd | マスク及びマスク作製方法 |
JPH0413140A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-17 | Matsushita Electron Corp | ホトマスクおよびその製造方法 |
JPH05289307A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レチクルおよびレチクル製造方法 |
JPH0720625A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Sony Corp | 位相シフトマスクの作製方法 |
JP2001215687A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Nec Corp | フォトマスクおよびその製造方法 |
WO2002005032A1 (fr) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Hitachi, Ltd. | Procédé de fabrication de circuit intégré |
JP2002131884A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-09 | Hitachi Ltd | フォトマスクの製造方法、フォトマスクおよび半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2002189282A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Hitachi Ltd | ハーフトーン位相シフトマスクおよびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2004020760A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Hitachi Ltd | フォトマスク及びその製造方法 |
JP2004077800A (ja) * | 2002-08-19 | 2004-03-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトレチクルの製造方法 |
-
2011
- 2011-08-19 JP JP2011179467A patent/JP2013041202A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03125150A (ja) * | 1989-10-09 | 1991-05-28 | Hitachi Ltd | マスク及びマスク作製方法 |
JPH0413140A (ja) * | 1990-05-02 | 1992-01-17 | Matsushita Electron Corp | ホトマスクおよびその製造方法 |
JPH05289307A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レチクルおよびレチクル製造方法 |
JPH0720625A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-24 | Sony Corp | 位相シフトマスクの作製方法 |
JP2001215687A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Nec Corp | フォトマスクおよびその製造方法 |
WO2002005032A1 (fr) * | 2000-07-07 | 2002-01-17 | Hitachi, Ltd. | Procédé de fabrication de circuit intégré |
JP2002131884A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-09 | Hitachi Ltd | フォトマスクの製造方法、フォトマスクおよび半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2002189282A (ja) * | 2000-12-21 | 2002-07-05 | Hitachi Ltd | ハーフトーン位相シフトマスクおよびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2004020760A (ja) * | 2002-06-14 | 2004-01-22 | Hitachi Ltd | フォトマスク及びその製造方法 |
JP2004077800A (ja) * | 2002-08-19 | 2004-03-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトレチクルの製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016075862A (ja) * | 2014-10-08 | 2016-05-12 | ウシオ電機株式会社 | パターン形成体の製造方法、パターン形成体及び光照射装置 |
JP2019133070A (ja) * | 2018-02-01 | 2019-08-08 | 国立大学法人 筑波大学 | 有機マイクロディスクアレイおよびその製造方法 |
JP7029750B2 (ja) | 2018-02-01 | 2022-03-04 | 国立大学法人 筑波大学 | 有機マイクロディスクアレイおよびその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5506401B2 (ja) | 磁気マスクデバイスを使用する基板プラズマ処理 | |
JP2007178783A (ja) | パターン形成体の製造方法、および、パターン形成体製造装置 | |
JP4526029B2 (ja) | 光触媒組成物および光触媒含有層 | |
TWI520857B (zh) | 模板及其製造方法 | |
US11714353B2 (en) | Mask and method of manufacturing the same, evaporation apparatus and display device | |
JP2013041202A (ja) | レジストマスクおよびパターン形成体の製造方法 | |
JP2012123287A (ja) | カラーフィルタ、横電界駆動式液晶表示装置、ブラックマトリクスの形成方法およびカラーフィルタの製造方法 | |
JP2004302086A (ja) | パターン形成体の製造方法 | |
KR20090047146A (ko) | 임프린트용 스탬프 및 이의 제조방법 | |
CN107436533B (zh) | 一种掩膜板、其构图方法及显示面板 | |
JP5056539B2 (ja) | 真空紫外光用マスク、真空紫外光によるパターン形成体の製造方法および真空紫外光によるパターン形成体製造装置 | |
KR101672772B1 (ko) | 미세패턴이 형성된 카드의 제조방법 | |
JP6346161B2 (ja) | パターン形成方法 | |
US7320856B2 (en) | Manufacturing method of pattern formed body | |
JP5256820B2 (ja) | 真空紫外光によるパターン形成体の製造方法 | |
KR20080073945A (ko) | 레이저를 이용한 패터닝 방법 | |
JP2009244576A (ja) | 真空紫外光によるパターン形成体の製造方法 | |
JP4844568B2 (ja) | パターン形成体の製造方法 | |
KR101416629B1 (ko) | 미세 패턴을 갖는 제품의 제조 방법, 및 이에 의해 제조되는 제품 | |
JP6001987B2 (ja) | エッジ強調型位相シフトマスクの製造方法及びエッジ強調型位相シフトマスク | |
JP2014209516A (ja) | 機能性素子の製造方法および機能性素子 | |
JP2009244569A (ja) | 真空紫外光用マスク、真空紫外光によるパターン形成体の製造方法および真空紫外光によるパターン形成体製造装置 | |
JP2004264420A (ja) | パターン形成体およびパターン形成体の製造方法 | |
CN114488687A (zh) | 转印滚轮制造方法和转印膜片制造方法 | |
KR20170013750A (ko) | 포토마스크, 상기 포토마스크를 포함하는 적층체, 상기 포토마스크의 제조방법 및 상기 포토마스크를 이용하는 패턴형성방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150331 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150804 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151005 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160105 |