JP2013030556A - 電子部品の吸着ヘッド及び実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明はＴＣＰの幅寸法が変更になっても、その幅寸法に対応することができる吸着ヘッドを提供することにある。
【解決手段】下面に粘着テープが貼着されたＴＣＰの上面を吸着保持して搬送する吸着ヘッドであって、
ＴＣＰの上面を吸着する吸着面７７を有するヘッド本体７１と、吸着面に開口形成された吸着孔７８と、吸着面のほぼ全体に吸着孔に連通して形成され吸着孔に生じる吸引力を吸着面に分散させる連通溝７９を具備する。
【選択図】 図７

Description

この発明は下面に粘着テープが貼着された電子部品の上面を吸着して搬送する吸着ヘッド及びその吸着ヘッドを用いて電子部品を基板に実装する実装装置に関する。

基板としての液晶表示装置のパネルを製造する場合、そのパネルに電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装装置によって実装するということが行われる。上記実装装置はキャリアテープから上記ＴＣＰを打ち抜く打ち抜き装置を有する。打ち抜き装置の金型によって打ち抜かれたＴＣＰは供給手段に受け渡される。

ＴＣＰを受けた供給手段は、所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルの、周方向に所定間隔で設けられた保持ヘッドである第１の吸着ヘッドに上記ＴＣＰを受け渡す。第１の吸着ヘッドは上記ＴＣＰの上面を吸着保持する。

上記インデックステーブルの第１の吸着ヘッドに受け渡されたＴＣＰは、このインデックステーブルの間欠回転に応じて上記ＴＣＰの下面の端子部を清掃装置で清掃した後、その端子部に異方性導電部材（ＡＣＦ）からなる粘着テープを貼着する。

粘着テープが貼着されたＴＣＰは受け渡し手段を介して実装ヘッドである第２の吸着ヘッドに受け渡される。この第２の吸着ヘッドは上記ＴＣＰの上面を吸着保持する。そして、ＴＣＰを受けた第２の吸着ヘッドはＸ、Ｙ及びＺ方向に駆動されて上記ＴＣＰを所定の位置に位置決めされた上記パネルの側辺部の上面に実装する。

ところで、第１の吸着ヘッドに保持されたＴＣＰの下面には粘着テープが幅方向全長にわたって貼着されるため、上記第１の吸着ヘッドはＴＣＰの幅寸法全長を確実に吸着保持することが必要である。

そして、粘着テープが貼着されて第１の吸着ヘッドに受け渡されたＴＣＰは幅方向全長を押圧してパネルに実装されるため、上記第２の吸着ヘッドもＴＣＰの幅寸法全長を確実に吸着保持することが必要となる。

そこで、従来は、上記第１、第２の吸着ヘッドの幅寸法を、上記ＴＣＰの幅寸法と同じに設定し、ＴＣＰの幅方向全長を確実に吸着保持できるようにしていた。

特開２０１０−８０８７４号公報

ところで、上記第１、第２の吸着ヘッドに上面を吸着されて搬送される上記ＴＣＰは、上記パネルのサイズ変更などに伴って異なるサイズ、つまり異なる幅寸法に変更されるということがある。

しかしながら、従来、上記第１、第２の吸着ヘッドは、上述したように所定のサイズのＴＣＰの幅寸法に対応する幅寸法に設定されていた。そのため、パネルのサイズ変更などに伴ってＴＣＰのサイズが変更になると、そのＴＣＰを吸着搬送する上記第１、第２の吸着ヘッドを、ＴＣＰの幅寸法に対応する幅寸法のものに交換するということが行なわれていた。

しかしながら、第１、第２の吸着ヘッドを異なるサイズのものに交換するという作業は非常に多くの手間が掛かるため、交換時に実装装置を休止させる時間が長くなり、生産性を大きく低下させる原因となっていた。

この発明は電子部品のサイズが変更になっても、そのサイズ変更に応じて異なるサイズに変更せずにすむようにした電子部品の吸着ヘッド及びその吸着ヘッドを用いた電子部品の実装装置を提供することにある。

この発明は、下面に粘着テープが貼着された電子部品の上面を吸着保持して搬送する電子部品の吸着ヘッドであって、
上記電子部品の上面を吸着する吸着面を有するヘッド本体と、
上記吸着面に開口形成された吸着孔と、
上記吸着面のほぼ全体に上記吸着孔に連通して形成され上記吸着孔に生じる吸引力を上記吸着面に分散させる連通溝と
を具備したことを特徴とする電子部品の吸着ヘッドにある。

上記ヘッド本体の吸着面は、上記粘着テープが貼着するのを阻止する非粘着性に形成されていることが好ましい。

上記吸着孔は、上記吸着面の幅方向に対して複数のグループに分けられていて、各グループの吸着孔には吸引力を別々に発生させることができるようになっていることが好ましい。

この発明は、下面に粘着テープが貼着された電子部品を基板の側辺部の上面に実装する電子部品の実装装置であって、
上記電子部品を供給する供給手段と、
この供給手段から供給された上記電子部品の上面を吸着保持する複数の第１の吸着ヘッドが周方向に所定間隔で設けられて回転駆動されるインデックステーブルと、
このインデックステーブルの第１の吸着ヘッドに上面が吸着保持された上記電子部品の下面に上記粘着テープを貼着する貼着手段と、
この貼着手段によって下面に粘着テープが貼着された上記電子部品の上面を吸着して受け取り、上記基板の側辺部の上面に実装する第２の吸着ヘッドを具備し、
上記第１の吸着ヘッドと上記第２の吸着ヘッドは請求項１に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置にある。

この発明によれば、吸着ヘッドのヘッド本体の吸着面に吸着孔を開口形成するとともに、上記吸着面のほぼ全体にわたって上記吸着孔に連通する連通溝を形成したから、上記吸着面には吸引孔が開口した部分だけでなく、連通溝が形成された吸着面全体に吸引力が発生する。

そのため、上記電子部品は上記吸引孔を覆う大きさから、上記吸着面の全体を覆う大きさまでの範囲で、上記吸引孔に生じる吸引力によって上記吸着面に吸着保持することが可能となるから、電子部品のサイズが変更になっても、吸着ヘッドを交換せずに電子部品を吸着保持して搬送することができる。

この発明の第１の実施の形態を示す実装装置の内部構造を示す平面図。 実装装置の内部構造を示す側面図。 離型テープに貼着された粘着テープを所定の長さに分断する状態を示す側面図。 受け渡し位置で粘着テープが貼着されたＴＣＰを実装ヘッドに受け渡す状態を示す側面図。 （ａ）は保持ヘッドと実装ヘッドの正面図、（ｂ）は同じく側面図。 ＴＣＰの粘着テープが貼着された裏面側を示す平面図。 （ａ）は吸着部の下プレートの下面側を示す平面図、（ｂ）は吸着部の上プレートの下面側を示す平面図。 この発明の第２の実施の形態を示し（ａ）は吸着部の下プレートの下面側を示す平面図、（ｂ）は吸着部の上プレートの下面側を示す平面図。 第１、第２のグループの吸着孔にそれぞれ連通する第１、第２の凹部と吸引ポンプとを接続する配管図。

以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。

図１乃至図７はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１は実装装置の内部構造を示す平面図、図２は同じく側面図である。図１と図２に示すように、上記実装装置はクリーンルームに設置される箱型状の装置本体１を備えている。この装置本体１の前後方向後端側の幅方向中央部には後方へ突出した突出部２が形成されていて、この突出部２にはキヤリアテープ３から電子部品としてのＴＣＰ４を打ち抜くための第１の打ち抜き装置５Ａと第２の打ち抜き装置５Ｂが装置本体１の幅方向の中心線Ｏ（図１に示す）に対して左右に対称に配置されている。

上記第１の打ち抜き装置５Ａと第２の打ち抜き装置５Ｂは交互に稼動され、一方の打ち抜き装置５Ａ又は５Ｂによって打ち抜かれたＴＣＰ４は一対の第１の受け渡し手段６Ａ、６Ｂによって受け取られる。

すなわち、第１の打ち抜き装置５ＡによってＴＣＰ４を打ち抜いているときには第２の打ち抜き装置５Ｂが待機しており、第１の打ち抜き装置５Ａに供給されるからＴＣＰ４を打ち抜き終わったときに、第２の打ち抜き装置５Ｂが稼動されて第１の打ち抜き装置５Ａにキヤリアテープ３の新たな部分が供給される。それによって、キヤリアテープ３から打ち抜かれたＴＣＰ４は一対の第１の受け渡し手段６Ａ,６Ｂに交互に供給されるようになっている。

上記第１、第２の打抜き装置５Ａ，５Ｂは、図２に示すように下面にポンチ１１ａが設けられた上金型１１と、上記ポンチ１１ａが入り込む貫通孔１２ａが上下方向に形成された下金型１２を備えている。上記上金型１１は駆動源１３によって矢印で示す上下方向に駆動されるようになっている。

上記キヤリアテープ３は供給リール１４から繰り出され、複数のガイドローラ１５によって方向変換され、一部が上記下金型１２の上面に沿って平行に走行するようガイドされて巻き取りリール１６に巻き取られるようになっている。

なお、供給リール１４にはキヤリアテープ３を保護する保護テープ１７がキヤリアテープ３と重ねて巻装されている。上記供給リール１４からキヤリアテープ３とともに繰り出された保護テープ１７とキヤリアテープ３に分離され、上記第１、第２の打抜き装置５Ａ，５ＢによってＴＣＰ４が打抜かれたキヤリアテープ３と一緒に上記巻き取りリール１６に巻き取られるようになっている。

一方の上記第１の受け渡し手段６Ａが受けたＴＣＰ４は第１のインデックス手段１８Ａまで搬送され、この第１のインデックス手段１８Ａに設けられた第１の吸着ヘッドとしての保持ヘッド１９に受け取られる。保持ヘッド１９の詳細な構成は後述する。

他方の第１の受け渡し手段６Ｂが受けたＴＣＰ４は第２のインデックス手段１８Ｂまで搬送され、この第２のインデックス手段１８Ｂに設けられた保持ヘッド１９に受け取られる。

すなわち、この実施の形態では、上記第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂと上記一対の第１の受け渡し手段６Ａ、６ＢがＴＣＰ４を第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂに供給する供給手段となっている。

上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂは、図２に示すように第１のθ駆動源２１によって周方向に９０度間隔で間欠的に回転駆動されるインデックステーブル２２を有する。各インデックステーブル２２の下面には周方向に９０度間隔で上記保持ヘッド１９が設けられている。

それによって、上記一対の第１の受け渡し手段６Ａ，６Ｂによって搬送されたＴＣＰ４は各インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９によって吸着保持される。つまり、ＴＣＰ４は第１の受け渡し手段６Ａ，６Ｂからインデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９に受け渡される。インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９がＴＣＰ４を受け取る受け取り位置を図１にＡで示す。
なお、各インデックステーブル２２の回転方向は図１に矢印で示すように逆方向となっている。

上記第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂによって打ち抜かれたＴＣＰ４は、各受け渡し手段６Ａ，６Ｂのそれぞれの受け具２４によって交互に受け取られる。この受け具２４は図２に矢印で示すＸ方向、つまり装置本体１の前後方向に沿って駆動されるＸテーブル２５にＺθ駆動源２３によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動可能に設けられている。上記Ｘテーブル２５は、Ｘ方向に沿って設けられたＸガイド体２６に移動可能に設けられ、図示しないリニアモータなどによって上記Ｘガイド体２６に沿って駆動可能となっている。

一方の第１の受け渡し手段６Ａの受け具２４は、第１の打ち抜き装置５ＡからＴＣＰ４を受けると、図１に矢印Ｘで示す装置本体１の前後方向及び矢印Ｙで示す幅方向に駆動され、上記受け具２４の上面に保持されたＴＣＰ４の一端部が第１のインデックス手段１８Ａのインデックステーブル２２の下面に周方向に９０度間隔で設けられた４つの保持ヘッド１９のうちの、上記受け取り位置Ａに位置決めされた保持ヘッド１９の下方に対向するよう駆動位置決めされる。

同様に、他方の第１の受け渡し手段６Ｂの受け具２４は、ＴＣＰ４を受けると第２のインデックス手段１８Ｂのインデックステーブル２２の下面に周方向に９０度間隔で設けられた４つの保持ヘッド１９のうちの、上記受け取り位置Ａに位置決めされた保持ヘッド１９の下方に対向するよう駆動位置決めされる。

位置決めされた受け具２４はＺθ駆動源２３によって上昇方向に駆動される。それによって、受け具２４に保持されたＴＣＰ４が上記インデックステーブル２２に設けられた保持ヘッド１９の下面に接触接近し、その状態でＴＣＰ４が上記受け具２４から上記保持ヘッド１９に受け渡されて吸着保持される。

ＴＣＰ４が第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂのインデックステーブル２２に設けられた保持ヘッド１９に受け渡されると、一対のインデックステーブル２２は上記第１のθ駆動源２１によって図１に矢印で示す逆方向にそれぞれ９０度の角度で間欠的に回転駆動される。それによって、ＴＣＰ４を吸着保持した各インデックステーブル２２の保持ヘッド１９は図１にＢで示すブラッシング位置に位置決めされる。

上記受け具２４からＴＣＰ４を受けた保持ヘッド１９がインデックステーブル２２とともに周方向に９０度回転駆動されてブラッシング位置Ｂに位置決めされると、上記保持ヘッド１９に保持された上記ＴＣＰ４の下面の一端部に複数の端子４ａ（図６に示す）が所定間隔で設けられた部分が回転ブラシ（図示せず）によってブラッシング、つまりクリーニングされる。それによって、端子４ａに付着した塵埃が除去される。

ＴＣＰ４の端子４ａが設けられた端部が回転ブラシによってクリーニングされると、そのＴＣＰ４を保持した保持ヘッド１９は、インデックステーブル２２とともに周方向に９０度回転駆動されて図１にＣで示す貼着位置に位置決めされる。

貼着位置Ｃに位置決めされたＴＣＰ４は、貼着手段としての第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂによって上記ＴＣＰ４のクリーニングされた端子４ａの部分に、ＴＣＰ４の幅寸法と対応する長さに切断された異方性導電部材（ＡＣＦ）からなら粘着テープ３２が後述するように貼着される。

上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂ及び第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは、第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂと同様、装置本体１の幅方向の中心線Ｏに対して左右対称に配置されている。

第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂは第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂよりも装置本体１の幅方向外方に配置され、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂよりも幅方向外方に配置されている。

上記第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは図２に示すように装置本体１内の底面に近い下部に配置された供給リール３４を有する。この供給リール３４には上記粘着テープ３２が離型テープ３５の一側面に貼着されて巻装されている。

離型テープ３５の一側面に貼着された上記粘着テープ３２は上記供給リール３４から帯板状の支持ブロック３３の板面に沿って上方にほぼ垂直に引き出され、第１のガイドローラ３６によって粘着テープ３２が上を向くよう水平方向に方向変換されて走行する。

図３に示すように、上記粘着テープ３２が上記支持ブロック３３に対向して垂直に走行する部分では、切断手段３７を構成する駆動源３７ａによって二枚刃を有するカッタ３７ｂが矢印で示す粘着テープ３２に接近する方向に駆動されることで、その粘着テープ３２に２本の切断線３２ａを所定間隔で形成する。なお、粘着テープ３２が貼着された離型テープ３５はカッタ３７ｂによって切断されないよう、上記カッタ３７ｂによる切込み量が設定されている。

上記粘着テープ３２の２本の切断線３２ａによって他の部分と分離された部分、つまり抜き取り部分３２ｂは切断手段３７よりも上方に配置された抜き取り手段３９によって抜き取られる。それによって、粘着テープ３２は所定長さ、つまりＴＣＰ４に対応する長さに分離される。

上記抜き取り手段３９は、駆動源３９ａと、この駆動源３９ａによって上記粘着テープ３２に接離する方向に駆動される押圧部３９ｂと、この押圧部３９ｂによって上記抜き取り部分３２ｂに押圧される除去テープ４０を有する。

除去テープ４０の一部が上記押圧部３９ｂによって粘着テープ３２の抜き取り部分３２ｂに押圧されることで、この抜き取り部分３２ｂが除去テープ４０に貼着されて除去される。なお、除去テープ４０は図示しない供給リールから繰り出され、同じく図示しない巻き取りリールによって所定長さずつ巻き取られるようになっている。

所定長さに分離された粘着テープ３２は、図２に示すように離型テープ３５とともに上記第１のガイドローラ３６によって水平方向に方向変換されて走行し、上記第１のガイドローラ３６に対して所定間隔で配置された第２のガイドローラ４１によって下方に方向変換される。

上記離型テープ３５の上記第１のガイドローラ３６と第２のガイドローラ４１との間の部分は、上記インデックステーブル２２の貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４のクリーニングされた端子４ａ部分の下面を走行する。

上記離型テープ３５は、図示しない駆動源によって開閉駆動及び図２にＺで示す上下方向に往復駆動されるチャック機構４２によって挟持されて所定長さずつ間欠的に搬送される。つまり、離型テープ３５の所定長さに切断された粘着テープ３２が貼着された部分はチャック機構４２によって貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９の下方を水平に走行するようになっている。

上記離型テープ３５がチャック機構４２によって間欠的に搬送され、所定長さに分離された粘着テープ３２が貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の端子４ａの部分の下方に対向するよう位置決めされると、その粘着テープ３２は押し上げ手段４３によって加熱されながら上記ＴＣＰ４に加圧貼着される。

上記押し上げ手段４３は、駆動源４４によって上昇方向に駆動される加圧体４５を有する。この加圧体４５は熱源となるヒータ４５ａが内蔵されている。そして、加圧体４５が上昇方向に駆動されると、この加圧体４５は離型テープ３５を介して所定長さに分離された上記粘着テープ３２を、上記ＴＣＰ４の端子４ａの部分に加熱しながら加圧する。なお、ＴＣＰ４の上記端子４ａが設けられた反対側の面である上面の一端部側の幅方向中央部には図６に示すようにチップ４ｂが実装されている。

それによって、粘着テープ３２がＴＣＰ４の端子４ａの部分に貼着される。なお、粘着テープ３２はヒータ４５ａによって加熱されることで粘着性が向上するから、ＴＣＰ４の端子４ａの部分に確実に貼着されることになる。

粘着テープ３２がＴＣＰ４に貼着されると、図示しない離型ローラによってその粘着テープ３２から離型テープ３５が剥離される。剥離後、インデックステーブル２２はさらに９０度回転させられる。それによって、粘着テープ３２が貼着されたＴＣＰ４を保持した保持ヘッド１９は図１にＤで示す受け渡し位置に位置決めされる。

それと同時に、離型テープ３５がチャック機構４２によって搬送され、粘着テープ３２の所定長さに切断された新たな部分が貼着位置ＣのＴＣＰ４に対向位置決めされる。なお、離型テープ３５の粘着テープ３２が貼着除去された部分は回収容器４６に格納される。

粘着テープ３２が貼着されて受け渡し位置Ｄに位置決めされたＴＣＰ４は、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂによってそれぞれ吸着ヘッドとしての一対の実装ヘッド５３にそれぞれ受け渡される。なお、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂから一対の実装ヘッド５３へのＴＣＰ４の受け渡しは、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂの一方から一対の実装ヘッド５３の一方に対して行った後、他方から他方の実装ヘッド５３に対して行われる。つまり、ＴＣＰ４は一対の実装ヘッド５３に対して交互に受け渡されるようになっている。実装ヘッド５３の詳細な構成は後述する。

図４に示すように、上記第２の受け渡し手段５１Ａ、５１ＢはＸ方向に沿って配置されたＸガイド体５５を有する。このＸガイド体５５には可動体５６が図示せぬ駆動源によって駆動可能に設けられている。この可動体５６にはＺ駆動源５７が設けられている。このＺ駆動源５７の駆動軸５７ａは上下方向であるＺ方向に駆動されるようになっていて、その先端には側面形状がＬ字状の受け具５４が取り付けられている。

受け具５４は、上記可動体５６によってＸ方向に駆動され、その上面（吸着面）が上記受け渡し位置Ｄに位置決めされた保持ヘッド１９に吸着保持されたＴＣＰ４の粘着テープ３２が貼着されていない他端部に対向するよう位置決めされる。

ついで、受け具５４は２点鎖線で示すようにＺ方向上方に駆動されて上記ＴＣＰ４の他端部の下面を吸着する。それと同時に、ＴＣＰ４は保持ヘッド１９による吸着保持が解除される。それによって、ＴＣＰ４はインデックステーブル２２の保持ヘッド１９から受け具５４に受け渡される。

ＴＣＰ４を受けた受け具５４が下降すると、可動体５６は図４に矢印Ｘで示す方向に駆動され、２点鎖線で示す位置に位置決めされる。それによって、受け具５４は、その移動方向の上方で待機した上記実装ヘッド５３の下方に対向するよう位置決めされる。実装ヘッド５３はＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によってＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動されるようになっている。

上記実装ヘッド５３の下方に上記受け具５４が位置決めされると、実装ヘッド５３は下降方向に駆動されて受け具５４に吸着保持されたＴＣＰ４の粘着テープ３２が貼着された一端部の上面を吸着する。それと同時に、上記受け具５４による上記ＴＣＰ４の吸着状態が解除される。それによって、ＴＣＰ４が上記受け具５４から実装ヘッド５３に受け渡される。

ＴＣＰ４を受けた実装ヘッド５３は、図２に示すようにテーブル装置６１の上面に吸着保持された液晶表示パネルなどの基板Ｗの上記ＴＣＰ４が実装される側部の上方に位置決めされる。実装ヘッド５３と基板Ｗは図示しない撮像手段によって撮像され、その撮像手段からの撮像信号に基いて上記基板Ｗの実装位置の上方に上記ＴＣＰ４が位置決めされるよう上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によってＸ、Ｙ及びθ方向に対して駆動される。

上記実装ヘッド５３に吸着保持されたＴＣＰ４が基板Ｗの実装位置の上方に位置決めされると、上記実装ヘッド５３は上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によって下降方向に駆動される。それによって、実装ヘッド５３に吸着保持されたＴＣＰ４が基板Ｗの側辺部に実装される。

このようにして、粘着テープ３２が貼着された複数のＴＣＰ４が図１に鎖線で示すようにテーブル装置６１の上面に吸着保持された基板Ｗの側辺部に対して所定間隔で順次実装される。

上記装置本体１内の前端部には一対のＹガイドレール６２が装置本体１の幅方向、つまりＸ方向と直交するＹ方向に沿って敷設されている。上記テーブル装置６１は上記Ｙガイドレール６２に移動可能に設けられていて、図示せぬ駆動源によってＹガイドレール６２に沿って駆動されるようになっている。

図１に示すように、上記装置本体１の前端部の幅方向の一側部には供給口６４が開口形成され、この供給口６４は扉６７によって開閉されるようになっている。上記テーブル装置６１がＹガイドレール６２に沿って上記装置本体１の幅方向の一側部に移動したとき、図１に鎖線で示す供給装置６３が上記供給口６４から装置本体１内の上記テーブル装置６１に基板Ｗを供給するようになっている。

上記装置本体１の前端部の幅方向の他側部には排出口６６が開口形成されている。上記テーブル装置６１がＹガイドレール６２に沿って上記装置本体１の幅方向の他側部に移動したとき、図１に鎖線で示す排出装置６５が上記排出口６６から装置本体１内に入り込み、上記テーブル装置６１の基板Ｗ、つまり側辺部に複数のＴＣＰ４が実装された基板Ｗを搬出するようになっている。

上記保持ヘッド１９と実装ヘッド５３は図５乃至図７に示すように構成されている。すなわち、上記各ヘッド１９，５３はほぼ逆Ｌ字状をなしたヘッド本体７１を有する。このヘッド本体７１の先端部の下面にはこのヘッド本体７１よりも大きな幅寸法の吸着部７２が設けられている。この吸着部７２は重合された上プレート７４と下プレート７５からなる。

図７（ａ）に示すように、上記下プレート７５の下面には上記ＴＣＰ４の上面に設けられたチップ４ｂを避ける凹部７６が形成され、この凹部７６を除く部分は上記ＴＣＰ４の端子４ａ側の上面を吸着保持する吸着面７７に形成されている。

上記吸着面７７の幅方向両端部分にはそれぞれ複数の吸着孔７８、この実施の形態では各４つの吸着孔７８が開口形成されている。さらに、上記吸着面７７には、上記吸着孔７８に連通する所定の深さの連通溝７９が上記吸着面７７のほぼ全体にわたって格子状に形成されている。

上記連通溝７９は、上記吸着面７７の上記吸着孔７８に対応する部分及び吸着孔７８よりも上記吸着面７７の幅方向外側の部分にも形成されている。つまり、上記吸着面７７の上記吸着孔７８が形成された部分の幅寸法をＬ１とすると、この幅寸法Ｌ１よりも上記吸着面７７の上記連通溝７９が形成された部分の幅寸法Ｌ２の方が大きくなるよう設定されている。たとえば、Ｌ１は４０ｍｍで、Ｌ２は４４ｍｍに設定されている。

上記吸着面７７は非粘着性となるよう非粘着性処理が施されている。この非粘着性処理は、上記吸着面７７をブラスト処理してその面を粗面にする。ついで、その粗面にフッ素樹脂やシリコン系樹脂等の非粘着性樹脂を塗布することで、非粘着性に形成されている。

それによって、上記吸着面７７に上記ＴＣＰ４の上面の一端部が吸着保持されたとき、その一端部の下面に貼着された粘着テープ３２の両端部が上記ＴＣＰ４の幅方向両端から外方に突出し、その突出部分が上方に競りあがっていても、その競りあがった部分が非粘着性に形成された上記吸着面７７に貼着するのが防止されるようになっている。

なお、上記吸着面７７を非粘着性に処理する際、上記吸着面７７に塗布される非粘着性樹脂が上記連通溝７９を埋めることがないよう考慮されている。たとえば、上記吸着面７７に非粘着性樹脂を塗布してから、上記連通溝７９を形成してもよいが、上記連通溝７９を埋め尽くすことがないよう上記連通溝７９の深さと非粘着性樹脂の塗布量を制御して、上記連通溝７９も非粘着性とするようにしてもよい。

下端を上記吸着面７７に開口させた上記吸着孔７８は、上記下プレート７５の厚さ方向に貫通して形成されている。上記吸着孔７８の上端は図７（ｂ）に示すように、上記上プレート７４の下面に開口形成された凹状の吸引路８１に連通している。

この吸引路８１には上記上プレート７４の端面に一端を開口させた接続口８２の他端が連通している。この接続口８２には図７（ｂ）に２点鎖線で示す吸引チューブ８３の一端が接続される。この吸引チューブ８３の他端には吸引ポンプ８４が接続される。

上記吸引ポンプ８４が作動すると、その吸引力が上記吸引路８１を介して上記吸着孔７８に作用する。吸着孔７８に生じた吸引力によって上記吸着面７７にＴＣＰ４の一端部の上面を吸着すると、上記吸引ポンプ８４の吸引力が吸着孔７８に連通して形成された連通溝７９にも作用するから、その連通溝７９にも吸引力が発生する。つまり、吸着面７７のほぼ全面に吸引力が生じることになるから、上記ＴＣＰ４は上記吸着面７７の上記吸引孔７８と上記連通溝７９とで吸着保持されるようになっている。

上記ＴＣＰ４の幅寸法がＬ２よりも小さいときには、上記連通溝７９の一部が露出し、上記吸着孔７８に生じる吸引力によって連通溝７９を通じて外気を吸引し、吸着面７７に生じる吸引力が低下する虞がある。

しかしながら、上記連通溝７９の深さや幅寸法を吸着孔７８に生じる吸引力に応じて設定すれば、吸着面７７に生じる吸引力を、この吸着面７７にＴＣＰ４を吸着保持するに十分となるよう確保することができる。

上記構成の実装装置において、インデックステーブル２２に供給されたＴＣＰ４の上面を吸着保持する第１の吸着ヘッドとしての保持ヘッド１９及びインデックステーブル２２で下面に粘着テープ３２が貼着されたＴＣＰ４の上面を吸着保持して基板Ｗに実装する第２の吸着ヘッドとしての実装ヘッド５３の吸着面７７に、吸着孔７８を開口形成するとともに、吸着面７７のほぼ全体にわたって上記吸着孔７８に連通する連通溝７９を格子状に形成した。

吸着部７２の吸着面７７に吸着孔７８と連通溝７９が形成されていると、上記吸着面７７にＴＣＰ４を吸着保持する際、上記吸着孔７８に生じた吸引力によってＴＣＰ４が吸着面７７に吸引されることで吸着孔７８がＴＣＰ４によって塞がれると、吸着孔７８に生じた吸引力が連通溝７９にも作用することになる。

つまり、上記保持ヘッド１９及び実装ヘッド５３の吸着面７７には、吸着孔７８が開口形成された部分の幅寸法Ｌ１の範囲だけでなく、この幅寸法Ｌ１よりも大きな幅寸法Ｌ２である、吸着面７７のほぼ全体に吸引力が生じることになる。

そのため、上記基板Ｗの品種変更などによって、基板Ｗに実装されるＴＣＰ４の幅寸法が吸着面７７の吸着孔７８が開口形成された部分の幅寸法Ｌ１に対応する大きさから、吸着面７７の連通溝７９が形成された部分の幅寸法Ｌ２に代わった場合であっても、上記保持ヘッド１９及び実装ヘッド５３を異なる大きさのものに交換することなく、そのＴＣＰ４を吸着面７７に確実に吸着保持して搬送することができる。

つまり、ＴＣＰ４の大きさが変更になった場合でも、上記保持ヘッド１９及び実装ヘッド５３を交換せずにすむため、交換作業に掛かる手間によって生産性の低下を招くのを防止できる。

上記保持ヘッド１９及び実装ヘッド５３の吸着面７７は非粘着性に形成されている。そのため、上記吸着面７７によってＴＣＰ４の上面を吸着保持した際、下面に貼着された粘着テープ３２の両端部がＴＣＰ４の下面両端から上面側に競りあがっていることがあっても、その部分が上記吸着面７７に貼着するのが防止される。

仮に、上記粘着テープ３２の両端部が吸着面７７に貼着すると、ＴＣＰ４を上記保持ヘッド１９から受け具５４に受け渡す際、ＴＣＰ４が保持ヘッド１９に残留して受け渡しが円滑に行えないということが生じる。

また、上記実装ヘッド５３に保持されたＴＣＰ４を基板Ｗに実装して実装ヘッド５３を上昇させる際、ＴＣＰ４が基板Ｗに残留せず、実装ヘッド５３に付着して上昇し、実装が確実に行えないということがある。

さらに、実装ヘッド５３を上昇させたときにＴＣＰ４が付着してしまうと、その実装ヘッド５３がつぎのＴＣＰ４を受けて基板ＷにＴＣＰ４を２枚重ねで実装するということがあり、その場合には基板Ｗが通常よりも強く押圧されることになるから、基板Ｗに欠けや割れが生じる原因になる。

しかしながら、上記保持ヘッド１９及び実装ヘッド５３の吸着面７７は非粘着性に形成されているため、その吸着面７７に粘着テープ３２が接触しても、その粘着テープ３２が吸着面７７に貼着してＴＣＰ４の受け渡しや実装が円滑に行なえなくなるのを確実に防止することができるということもある。

図８と図９はこの発明の第２の実施の形態を示す。この実施の形態は下プレート７５の吸着面７７に開口形成される吸着孔７８の配置状態が第１の実施の形態と異なっている。すなわち、図８（ａ）に示すように、吸着部７２の下プレート７５の吸着面７７には幅方向の中央部分と両端部分とにそれぞれ吸着孔７８が形成されている。

上記吸着面７７の幅方向の中央部分に形成された吸着孔７８を第１のグループＧ１とし、両端部分に形成された吸着孔７８を第２のグループＧ２とする。上記吸着面７７における第１のグループＧ１の吸着孔７８が形成された部分の幅寸法をＬ３とし、第２のグループＧ２の吸着孔７８が形成された部分の幅寸法をＬ４とする。Ｌ３＜Ｌ４であって、たとえばＬ３は２８ｍｍ，Ｌ４は４２ｍｍに設定される。

下プレート７５を上プレート７４に接合すると、上記第１のグループＧ１の吸着孔７８は図８（ｂ）に示す上記吸着部７２の上プレート７４の下面に形成された第１の凹部８６に連通し、一対の第２のグループＧ２の吸着孔７８は一対の第２の凹部８７に連通する。

各凹部８６，８７にはそれぞれ上プレート７４の端面に開口する接続口８６ａ，８７ａが形成されていて、これらの接続口８６ａ，８７ａを介して各グループＧ１、Ｇ２の吸着孔７８は図９に示すように吸引ポンプ８４に接続されている。

すなわち、第１のグループＧ１の吸着孔７８が連通した上記第１の凹部８６の接続口８６ａには可撓性のチューブからなる第１の配管８８の一端が接続されている。この第１の配管８８は中途部に第１の開閉弁８９が設けられ、他端は上記吸引ポンプ８４に接続されている。

一対の上記第２のグループＧ２の吸着孔７８が連通した上記第２の凹部８７の接続口８７ａには可撓性のチューブからなる第２の配管９１の一端が接続されている。この第２の配管９１は中途部に第２の開閉弁９２が設けられ、他端は上記吸引ポンプ８４に接続されている。

上記第１、第２の開閉弁８９，９２は図示しない制御装置によって開閉が制御されるようになっている。

なお、この第２の実施の形態においても、上記下プレート７５の吸着面７７は第１の実施の形態と同様、非粘着性に処理されている。

このような構成によれば、上記吸引ポンプ８４を作動して上記第１の開閉弁８９を開にすれば、上記吸着面７７の第１のグループＧ１の吸着孔７８に吸引力を生じさせることができる。それによって、上記吸着面７７には幅寸法がＬ３のＴＣＰ４を吸着保持することができる。

また、上記第１の開閉弁８９とともに第２の開閉弁９２を開にすれば、上記吸着面７７の第１のグループＧ１と一対の第２のグループＧ２の吸着孔７８に吸引力を生じさせることができる。それによって、上記吸着面７７には幅寸法がＬ４のＴＣＰ４を吸着保持することができる。

つまり、基板Ｗのサイズ変更などによってＴＣＰ４の幅寸法がＬ３からＬ４又はその逆に変更になる場合、吸引力を生じさせる吸着孔７８のグループを第１のグループＧ１或いは第１、第２のグループＧ１、Ｇ２両方とすることで、保持ヘッド１９や実装ヘッド５３を異なるサイズに変更せずに対応することができる。

この第２の実施の形態において、第１の実施の形態のように、吸着面７７のほぼ全体に第１、第２のグループＧ１、Ｇ２の吸着孔７８にそれぞれ連通する連通溝７９を形成してもよい。

そうすれば、吸着孔７８の数が少なくとも、ＴＣＰ４を幅方向全長にわたった吸着面７７に吸着保持することが可能となる。しかも、ＴＣＰ４の幅寸法がＬ３よりも大きく、Ｌ４よりも小さい場合であっても、第１のグループＧ１の吸着孔７８に生じる吸引力が連通溝７９に作用するから、そのＴＣＰ４の幅方向全長を吸着面７７に確実に吸着保持することができる。

しかも、第１のグループＧ１或いは第２のグループＧ２のどちらか一方の吸着孔７８に吸引力を作用させれば、その吸引力を上記連通溝７９を介して吸着面７７のほぼ全体に作用させることができる。そのため、ＴＣＰ４を吸着面７７に確実に吸着保持することができる。

また、吸着孔７８を第１のグループＧ１と第２のグループＧ２との２つのグループに分けたが、第２のグループＧ２を上記吸着面７７の幅方向に対して２つ以上のグループに分け、各グループ毎に選択的に吸引力を生じさせることができるようにすれば、上記吸着面７７に吸着保持することができるＴＣＰ４の幅寸法のサイズを第２のグループの数に応じて多様化することができる。

５Ａ，５Ｂ…打ち抜き装置（供給手段）、６Ａ，６Ｂ…受け渡し手段（供給手段）、１９…保持ヘッド（第１の吸着ヘッド）、２２…インデックステーブル、３１Ａ，３１Ｂ…貼着装置（貼着手段）、５３…実装ヘッド（第２の吸着ヘッド）、７１…ヘッド本体、７２…吸着部、７４…上プレート、７５…下プレート、７７…吸着面、７８…吸着孔、７９…連通溝、８４…吸引ポンプ。

Claims (4)

1. 下面に粘着テープが貼着された電子部品の上面を吸着保持して搬送する電子部品の吸着ヘッドであって、
   上記電子部品の上面を吸着する吸着面を有するヘッド本体と、
   上記吸着面に開口形成された吸着孔と、
   上記吸着面のほぼ全体に上記吸着孔に連通して形成され上記吸着孔に生じる吸引力を上記吸着面に分散させる連通溝と
   を具備したことを特徴とする電子部品の吸着ヘッド。
2. 上記ヘッド本体の吸着面は、上記粘着テープが貼着するのを阻止する非粘着性に形成されていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の吸着ヘッド。
3. 上記吸着孔は、上記吸着面の幅方向に対して複数のグループに分けられていて、各グループの吸着孔には吸引力を別々に発生させることができるようになっていることを特徴とする請求項１記載の電子部品の吸着ヘッド。
4. 下面に粘着テープが貼着された電子部品を基板の側辺部の上面に実装する電子部品の実装装置であって、
   上記電子部品を供給する供給手段と、
   この供給手段から供給された上記電子部品の上面を吸着保持する複数の第１の吸着ヘッドが周方向に所定間隔で設けられて回転駆動されるインデックステーブルと、
   このインデックステーブルの第１の吸着ヘッドに上面が吸着保持された上記電子部品の下面に上記粘着テープを貼着する貼着手段と、
   この貼着手段によって下面に粘着テープが貼着された上記電子部品の上面を吸着して受け取り、上記基板の側辺部の上面に実装する第２の吸着ヘッドを具備し、
   上記第１の吸着ヘッドと上記第２の吸着ヘッドは請求項１に記載された構成であることを特徴とする電子部品の実装装置。

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