KR20140005821A

KR20140005821A - 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법

Info

Publication number: KR20140005821A
Application number: KR1020130078825A
Authority: KR
Inventors: 가즈히사 야마구치; 히데아키 가토
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2012-07-06
Filing date: 2013-07-05
Publication date: 2014-01-15
Also published as: CN103531504B; JP2014017307A; TW201407697A; JP6007008B2; KR102033795B1; CN103531504A; TWI623985B

Abstract

시트 부착 장치(1)는, 접착 시트(AS)를 통해 웨이퍼(WF)와 일체화되는 링 프레임(RF)을 복수 수용 가능한 프레임 수용 수단(3)과, 링 프레임(RF) 및 웨이퍼(WF) 중 적어도 링 프레임(RF)을 지지하는 지지 수단(7)과, 프레임 수용 수단(3)으로부터 링 프레임(RF)을 취출하여 지지 수단(7)으로 이동 탑재하는 이동 탑재 수단(8)과, 지지 수단(7)에 지지된 링 프레임(RF) 또는 링 프레임(RF) 및 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS)를 접촉시켜 부착하는 부착 수단(9)을 구비하고, 프레임 수용 수단(3)은, 링 프레임(RF)을 종배치로 하여 수용 가능하게 구성되어 있다.

Description

시트 부착 장치 및 시트 부착 방법{SHEET ADHESION APPARATUS AND SHEET ADHESION METHOD}

본 발명은, 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법에 관한 것이다.

종래, 링 프레임에 접착 테이프를 부착하고, 이 접착 테이프가 부착된 링 프레임에 반도체 웨이퍼(이하 「웨이퍼」라 칭하는 경우가 있음)를 부착하는 마운트 장치가 알려져 있다(예를 들어, 문헌 1:일본 특허 출원 공개 제2005-33119호 공보 참조).

이 문헌 1의 마운트 장치는, 링 프레임의 면을 수평면 방향을 향해 적층하는 수평 적층 수용하는 링 프레임 공급부를 구비하고, 이 수평 적층 수용되어 있는 링 프레임을 링 프레임 반송 기구가 상측으로부터 1매씩 순서대로 흡착 유지하고, 접착 테이프를 부착하는 위치로 반송하도록 구성되어 있다.

그러나 문헌 1과 같은 구성에서는, 링 프레임 공급부가 링 프레임을 수평 적층 수용하는 구성이므로, 오퍼레이터는 링 프레임을 양손으로 지지하여 링 프레임 공급부에 공급해야 한다고 하는 문제가 있다. 특히, 대형의 링 프레임의 경우, 중력에 거슬러 한 손으로 링 프레임을 수평 적층 자세로 하기 위해서는 매우 어려움이 있고, 하물며 장치의 가동률을 저하시키지 않기 위해, 한번에 복수매의 링 프레임을 공급한다고 하면, 양손으로 지지하여 작업을 행하지 않으면 수평 적층 수용은 할 수 없다.

본 발명의 목적은, 프레임 부재를 용이하게 공급할 수 있는 시트 부착 장치 및 시트 부착 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 시트 부착 장치는, 접착 시트를 통해 피착체와 일체화되는 프레임 부재를 복수 수용 가능한 프레임 수용 수단과, 상기 프레임 부재 및 상기 피착체 중 적어도 프레임 부재를 지지하는 지지 수단과, 상기 프레임 수용 수단으로부터 상기 프레임 부재를 취출하여 상기 지지 수단으로 이동 탑재하는 이동 탑재 수단과, 상기 지지 수단에 지지된 프레임 부재 또는, 프레임 부재 및 피착체에 상기 접착 시트를 접촉시켜 부착하는 부착 수단을 구비하고, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 프레임 부재를 종배치로 하여 수용 가능하게 구성되어 있다고 하는 구성을 채용하고 있다.

이때, 본 발명의 시트 부착 장치에서는, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 프레임 부재를 일 방향으로 가압하는 가압 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치에서는, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 프레임 부재의 하부를 일 방향으로 이동시키는 자세 유지 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 시트 부착 장치에서는, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 이동 탑재 수단에 의해 상기 프레임 부재가 복수매 동시에 취출되는 것을 방지하는 압박 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 시트 부착 방법은, 접착 시트를 통해 피착체와 일체화되는 프레임 부재를 종배치로 하여 복수 수용하고, 상기 프레임 부재 및 상기 피착체 중 적어도 프레임 부재를 지지하는 지지 수단에 상기 프레임 부재를 이동 탑재하고, 상기 지지 수단에 지지된 프레임 부재 또는, 프레임 부재 및 피착체에 상기 접착 시트를 접촉시켜 부착한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

이상과 같은 본 발명에 따르면, 프레임 수용 수단이 프레임 부재를 종배치로 하여 수용 가능하게 구성되어 있으므로, 오퍼레이터는, 프레임 부재를 용이하게 수용 수단에 공급하는 것이 가능해진다. 특히, 프레임 부재가 링 프레임과 같이 개구부를 갖는 것인 경우, 오퍼레이터는 손바닥이나 손가락을 개구부에 삽입하여 링 프레임을 현수하도록 하여 공급할 수 있으므로, 가령 대형의 링 프레임이었다고 해도, 중력에 거스르는 일 없이 세로 적층 자세로 할 수 있고, 한번에 게다가 한 손으로, 복수매의 링 프레임을 수용 수단에 공급하는 것이 가능해진다.

또한, 본원에서 말하는 「종배치」라 함은, 프레임 부재를 무게 중심으로부터 벗어난 위치에서 보유 지지하였을 때에, 당해 프레임 부재가 중력에 끌리는 방향을 따르는 방향으로 하여 적재한 상태를 말한다.

이때, 프레임 수용 수단에 가압 수단을 채용하면, 이동 탑재 수단이 항상 동일한 위치에서 프레임 부재를 보유 지지하여 이동 탑재할 수 있다.

또한, 프레임 수용 수단에 자세 유지 수단을 채용하면, 이동 탑재 수단이 항상 동일한 자세의 프레임 부재를 보유 지지하여 이동 탑재할 수 있다.

또한, 프레임 수용 수단에 압박 수단을 채용하면, 이동 탑재 수단이 프레임 부재를 취출할 때에, 인접하는 프레임 부재도 동시에 취출하여, 산란시켜 버리는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 시트 부착 장치의 평면도.
도 2a는 프레임 수용 수단의 단면도.
도 2b는 이동 탑재 수단의 동작 설명도.
도 2c는 이동 탑재 수단의 동작 설명도.
도 3은 도 2b의 BB 화살표도.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은, 수평면 내의 축으로 하고, Z축은, 수평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행한 화살표 AR 방향에서 본 경우를 기준으로 하여, 방향을 나타낸 경우, 「상」이 Z축의 화살표 방향이며, 「하」가 그 역방향, 「좌」가 X축의 화살표 방향이며, 「우」가 그 역방향, 「전」이 Y축의 화살표 방향이며, 「후」가 그 역방향으로 한다.

도 1에 있어서, 시트 부착 장치(1)는, 피착체로서의 웨이퍼(WF)를 복수 수용 가능한 웨이퍼 수용 수단(2)과, 접착 시트(AS)를 통해 웨이퍼(WF)와 일체화되는 프레임 부재로서의 링 프레임(RF)을 복수 수용 가능한 프레임 수용 수단(3)과, 링 프레임(RF) 및 웨이퍼(WF) 중 적어도 링 프레임(RF)을 지지하는 지지 수단(7)과, 웨이퍼 수용 수단(2) 및 프레임 수용 수단(3)으로부터 웨이퍼(WF) 및 링 프레임(RF)을 취출하여 지지 수단(7)에 이동 탑재하는 이동 탑재 수단(8)과, 지지 수단(7)에 지지된 링 프레임(RF) 또는, 링 프레임(RF) 및 웨이퍼(WF)에 접착 시트(AS)를 접촉시켜 부착하는 부착 수단(9)을 구비하고, 프레임(10)에 지지되어 있다.

여기서, 링 프레임(RF)의 외주면에는, 90° 간격으로 4개소의 평면부(RF1)와, 인접하는 평면부(RF1)의 사이에 각각 배치된 4개소의 곡면부(RF2)와, 4개소의 곡면부(RF2) 중 인접하는 2개소의 곡면부(RF2)에 각각 배치된 V 노치(RF3)가 설치되고, 내측에 개구부(RF4)가 형성되어 있다.

웨이퍼 수용 수단(2)은, 표면에 보호 시트(PS)(도 1 중 부호 AA로 나타내는 도면 참조)가 부착된 웨이퍼(WF)를 상하 방향으로 다단으로 수평 적층 수용 가능한 웨이퍼 카세트(21)로 이루어지고, 프레임(10)에 대하여 분리 가능하게 지지된다.

프레임 수용 수단(3)은, 도 2a에도 도시하는 바와 같이, 링 프레임(RF)을 종배치로 하여 수용 가능하게 구성되어 있고, 링 프레임(RF)을 수용하는 수용 케이스(30)와, 이 수용 케이스(30) 내에 수용된 링 프레임(RF)을 일 방향(우측)으로 가압하는 가압 수단(40)과, 링 프레임(RF)의 하부를 일 방향(우측)으로 이동시키는 자세 유지 수단(50)을 구비하고 있다.

수용 케이스(30)는, 좌우 방향으로 연장되는 직사각형 상자 형상의 저면부(31)와, 저면부(31)의 전방 및 후방의 양단부로부터 세워 설치하고, 링 프레임(RF)의 대향하는 평면부(RF1) 사이의 치수보다도 크고, 대향하는 곡면부(RF2) 사이의 치수보다도 작은 간격으로 설정되어, 링 프레임(RF)의 외측 테두리를 지지하는 외측 지지 수단으로서의 한 쌍의 측면부(32)와, 저면부(31)의 좌측 단부 테두리로부터 세워 설치하는 좌측면부(33)와, 저면부(31)의 우측 단부 테두리로부터 세워 설치하여 중앙에 오목부(34A)가 형성된 우측면부(34)와, 우측면부(34)와의 사이에 링 프레임(RF)의 1매 이상 2매 미만의 간극이 형성되고, 이동 탑재 수단(8)에 의해 링 프레임(RF)이 복수매 동시에 취출되는(인발되는) 것을 방지하는 압박 수단(38)을 구비하고 있다. 전방에 위치하는 측면부(32)에는 손잡이(35)가 설치되어 있고, 이 손잡이(35)를 조작함으로써, 수용 케이스(30)를 도 1 중 실선으로 나타내는 이동 탑재 수단(8)에 접근한 이동 탑재 위치와, 도 1 중 2점 쇄선으로 나타내는 이동 탑재 수단(8)으로부터 이격된 공급 위치 사이에서, 도시하지 않은 레일을 통해 전후 방향으로 인출 가능하게 설치되어 있다. 또한, 손잡이(35)를 좌측면부(33)에 설치하고, 도 1 중 1점 쇄선으로 나타내는 공급 위치와의 사이에서, 도시하지 않은 레일을 통해 좌우 방향으로 인출 가능한 구성으로 해도 되고, 그들을 조합하여 전후 방향 및 좌우 방향의 양쪽으로 인출 가능한 구성으로 해도 된다.

가압 수단(40)은, 저면부(31)의 내부에 설치된 한 쌍의 구동 기기로서의 리니어 모터(41)와, 저면부(31)의 상면에 형성된 개구부(36)를 통해 각각의 리니어 모터(41)의 슬라이더(42)를 연결하도록 설치된 가압판(43)을 구비하고 있다.

자세 유지 수단(50)은, 저면부(31)의 내부에 설치되는 동시에, 한 쌍의 프레임(55)에 지지되어 구동 기기로서의 회전 모터(51)에 의해 회전 가능하게 설치된 구동 풀리(52)와, 동 프레임(55)에 회전 가능하게 지지된 종동 풀리(53)와, 구동 풀리(52) 및 종동 풀리(53)에 권회되는 동시에, 상면이 개구부(36)를 통해 저면부(31)의 상면보다도 근소하게 상방에 위치하도록 설치된 무단 벨트(54)를 구비하고 있다.

지지 수단(7)은, 도시하지 않은 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 흡인 수단에 의해 웨이퍼(WF) 및 링 프레임(RF)을 흡착 유지 가능한 지지면(71)을 갖는 테이블(72)과, 테이블(72)을 슬라이더(74)로 지지하는 구동 기기로서의 리니어 모터(73)를 구비하고 있다.

이동 탑재 수단(8)은, 구동 기기로서의 다관절 로봇(81)과, 이 다관절 로봇(81)의 선단부에 설치된 보유 지지 수단(82)을 구비하고 있다. 다관절 로봇(81)은, 6개소에 회전 가능한 관절을 갖는 소위 6축 로봇이며, 당해 다관절 로봇(81)의 작업 범위 내에 있어서 보유 지지 수단(82)으로 보유 지지한 웨이퍼(WF)나 링 프레임(RF)을 어느 위치, 어느 각도로도 이동 가능하게 구성되어 있다. 보유 지지 수단(82)은, 복수의 흡착 구멍(83)이 형성되고 좌우 2개소에 설치된 프레임 흡착부(84)와, 복수의 흡착 구멍(85)이 형성되고 프레임 흡착부(84)의 사이에 설치된 웨이퍼 흡착부(86)와, 링 프레임(RF)의 두께 이하의 높이를 갖고 보유 지지 수단(82)의 보유 지지면(87)으로부터 돌출 함몰 가능 혹은 돌출 함몰 불가능한 걸림 수단(88)을 구비하고 있다. 프레임 흡착부(84)와 웨이퍼 흡착부(86)는, 다관절 로봇(81)에 접속됨으로써, 각각 도시하지 않은 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 흡인 수단에 접속되어, 웨이퍼(WF) 또는 링 프레임(RF)을 흡착 유지할 수 있도록 되어 있다.

이동 탑재 수단(8)의 좌측에는, 웨이퍼(WF)의 외측 테두리 위치, 웨이퍼(WF)에 형성된 도시하지 않은 V 노치나 오리엔테이션 플랫 등의 방위 마크, 회로 패턴, 스트리트 또는, 링 프레임(RF)의 외측 테두리 및 내측 테두리 위치, 링 프레임(RF)의 외주에 설치된 V 노치(RF3) 등을 검출 가능한 광학 센서나 촬상 장치 등으로 구성된 검출 수단(89)이 설치되어 있다.

부착 수단(9)은, 도 1 중 부호 AA로 나타내는 AR 방향으로부터의 도면에 도시하는 바와 같이, 접착 시트(AS)가 띠 형상의 박리 시트(RL)의 한쪽의 면에 임시 부착된 원반(RS)을 지지하는 지지축(91)과, 박리 시트(RL)를 되꺾어 접착 시트(AS)를 박리하는 박리판(92)과, 박리되어 접착 시트(AS)를 웨이퍼(WF)에 접촉시켜 부착하는 압박 수단으로서의 압박 롤러(93)와, 구동 기기로서의 회전 모터(94)에 의해 회전 구동하는 구동 롤러(95)와, 구동 롤러(95)로 박리 시트(RL)를 끼워 넣는 핀치 롤러(96)와, 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 롤러(97)에 의해 구성되어 있다.

또한, 본 실시 형태의 경우, 웨이퍼(WF)에 부착된 보호 시트(PS)를 박리하는 박리 수단(12)과, 박리한 보호 시트(PS)를 회수하기 위한 도시하지 않은 불필요 부재 수용 상자가 병설되어 있지만, 이들은 본 발명의 필수 요건은 아니므로 상세한 설명은 생략한다. 덧붙여서 말하면, 박리 수단(12)으로서는, 예를 들어, 일본 특허 출원 제2008-285288호나 일본 특허 출원 제2011-55508호 등의 박리 장치 선행 문헌에 기재된 것을 예시할 수 있고, 불필요 부재 수용 상자로서는, 보호 시트(PS)를 수용하여 회수 가능한 것이면 전혀 한정되는 것은 아니다.

이상의 시트 부착 장치(1)에 있어서, 웨이퍼(WF) 및 링 프레임(RF)에 접착 시트(AS)를 부착하는 수순을 설명한다.

우선, 도 1 중 부호 AA로 나타내는 도면에 도시하는 바와 같이 부착 수단(9)에 원반(RS)을 세트하는 동시에, 웨이퍼 카세트(21)를 도 1에서 도시하는 위치에 세트한다. 그리고 손잡이(35)를 파지하여 수용 케이스(30)를 이동 탑재 위치로부터 도 1 중 2점 쇄선 또는 1점 쇄선으로 나타내는 공급 위치에 인출하면, 가압 수단(40)이 리니어 모터(41)를 구동하고, 도 2a 중 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 가압판(43)을 좌측 단부에까지 이동시킨다. 이어서, 오퍼레이터가 임의의 매수의 링 프레임(RF)을 수용 케이스(30) 내에 종배치로 공급한다. 이때, 오퍼레이터는, 링 프레임(RF)의 개구부(RF4)에 손 또는 손가락을 넣어 현수한 상태인 채로, 당해 링 프레임(RF)을 수용 케이스(30) 내에 공급할 수 있으므로, 링 프레임(RF)을 복수매 동시에 게다가 한 손으로 수용 케이스(30) 내에 공급할 수 있다. 그리고 오퍼레이터가 도시하지 않은 공급 완료 스위치를 누르면, 자세 유지 수단(50)이 회전 모터(51)를 구동하고, 무단 벨트(54)를 도 2a, 도 2b, 도 2c에 있어서의 시계 방향으로 회전 구동시키는 동시에, 가압 수단(40)이 리니어 모터(41)를 구동하고, 도 2a 중 실선으로 나타내는 바와 같이, 가압판(43)을 우측 방향으로 이동시킨다. 이에 의해, 수용 케이스(30) 내에 수용된 링 프레임(RF)은, 전체적으로 우측 방향으로 이동되어, 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)과 우측면부(34)가 밀접한 상태로 되고, 당해 링 프레임(RF)의 자세가 유지된다. 그 후, 오퍼레이터가 수용 케이스(30)를 이동 탑재 위치로 이동시킨다.

그리고 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 보유 지지 수단(82)을 웨이퍼 카세트(21)의 내부에 삽입시켜 웨이퍼 흡착부(86)를 웨이퍼(WF)에 접촉시킨 후, 도시하지 않은 흡인 수단을 구동하고, 당해 웨이퍼(WF)를 흡착 유지하여 검출 수단(89)에서 검출할 수 있는 위치로 웨이퍼(WF)를 이동시킨다. 이어서, 검출 수단(89)이 웨이퍼(WF)의 외측 테두리 위치와 도시하지 않은 V 노치 위치를 검출하고, 그들 여러 데이터가 도시하지 않은 제어 수단에 출력된다. 웨이퍼(WF)의 여러 데이터가 도시하지 않은 제어 수단에 입력되면, 웨이퍼(WF)의 중심 위치가 산출되고, 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 웨이퍼(WF)의 중심 위치와 도시하지 않은 V 노치 위치가 소정의 위치로 되도록 하여 도 1 중 2점 쇄선으로 나타내는 위치에서 대기하고 있는 테이블(72)의 지지면(71) 상에 적재한다. 웨이퍼(WF)가 적재되면, 지지 수단(7)이 도시하지 않은 흡인 수단을 구동하고, 당해 웨이퍼(WF)를 흡착 유지한다.

또한, 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 도 2b, 도 3에 도시하는 바와 같이, 보유 지지 수단(82)을 우측면부(34)의 오목부(34A) 내에 삽입하고, 수용 케이스(30)의 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)의 우측면에 프레임 흡착부(84)를 접촉시킨 후, 도시하지 않은 흡인 수단을 구동하고, 당해 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)을 흡착 유지한다. 이어서, 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)을 상방으로 인발한다. 이때, 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)은, 가압 수단(40)과 자세 유지 수단(50)에 의해 우측면부(34)에 가압되고 있으므로, 프레임 흡착부(84)만의 흡인력만으로는 인발할 수 없는 경우가 있지만, 걸림 수단(88)이 링 프레임(RF)의 개구부(RF4)에 걸리게 되므로, 그러한 문제는 발생하지 않는다. 또한, 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)을 인발할 때에, 당해 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)의 좌측에 인접하는 링 프레임(RF)도 동시에 인발되어 산란해 버리는 경우가 있지만, 압박 수단(38)이 존재함으로써, 그러한 문제도 발생하지 않는다. 또한, 만일 도 2c에 도시하는 바와 같이, 무단 벨트(54)의 회전 구동에 의해서도 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)이 우측면부(34)와 밀접하고 있지 않은 경우가 있어도, 프레임 흡착부(84)에서의 흡인에 의한 압력이 내려가지 않는 것을 검지하고, 보유 지지 수단(82)을 도 2c에 도시하는 바와 같이 시계 방향으로 회전시킬 수 있다. 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)이 수용 케이스(30)로부터 인발되면, 당해 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)의 좌측에 인접하고 있었던 링 프레임(RF)이, 가압 수단(40)과 자세 유지 수단(50)에 의해 우측면부(34)에 가압된다.

그 후, 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 링 프레임(RF)을 검출 수단(89)에서 검출할 수 있는 위치로 이동시키고, 검출 수단(89)이 상술한 웨이퍼(WF)의 때와 마찬가지의 동작을 행하고, 그 후, 링 프레임(RF)의 개구부(RF4)의 중심 위치가 테이블(72) 상에서 지지되어 있는 웨이퍼(WF)의 중심 위치에 합치하는 상태, 또한, 링 프레임(RF)의 V 노치(RF3)가 소정의 방향을 향하는 상태로 하여, 당해 링 프레임(RF)을 테이블(72)의 지지면(71) 상에 적재한다. 링 프레임(RF)이 적재되면, 지지 수단(7)이 도시하지 않은 흡인 수단을 구동하고, 당해 링 프레임(RF)을 흡착 유지한다.

이어서, 지지 수단(7)이 리니어 모터(73)를 구동하고, 테이블(72)을 좌측 방향으로 이동시키고, 웨이퍼(WF) 및 링 프레임(RF)이 소정의 위치에 도달한 것이 도시하지 않은 검지 수단에 검지되면, 테이블(72)의 이동에 동기하여 부착 수단(9)이 회전 모터(94)를 구동하고, 원반(RS)을 조출한다. 이에 의해, 접착 시트(AS)가 박리판(92)에서 박리되고, 박리된 접착 시트(AS)가 압박 롤러(93)에 의해 웨이퍼(WF) 및 링 프레임(RF)에 압박되어 부착되고, 도 1 중 실선으로 나타내는 바와 같이, 웨이퍼 지지체(WK)가 형성된다. 이와 같이 하여 웨이퍼 지지체(WK)가 형성되면, 도시하지 않은 검지 수단에 검지되고, 지지 수단(7)이 리니어 모터(73)를 정지한다. 그리고 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 웨이퍼 지지체(WK)를 들어올려 상하 반전시키고, 지지면(71)에 대향하는 흡착 지지면을 갖는 도시하지 않은 전달 수단에 전달하고, 당해 전달 수단이 웨이퍼 지지체(WK)를 하강시켜 다시 지지면(71)에 적재한다. 이에 의해, 웨이퍼 지지체(WK)가 보호 시트(PS)를 상방을 향한 상태에서 지지면(71)에 지지된다. 이어서, 박리 수단(12)이 보호 시트(PS)에 도시하지 않은 박리용 테이프를 부착하고, 당해 박리용 테이프를 끌어 당겨 웨이퍼(WF)로부터 보호 시트(PS)를 박리한다(상세는, 박리 장치 선행 문헌 참조). 웨이퍼(WF)로부터 보호 시트(PS)가 박리되면, 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 박리한 보호 시트(PS)에 웨이퍼 흡착부(86)를 접촉시켜 도시하지 않은 흡인 수단을 구동하고, 당해 보호 시트(PS)를 흡착 유지하여 도시하지 않은 불필요 부재 수용 상자에 파기한다. 그리고 보호 시트(PS)가 박리되어 웨이퍼 지지체(WK)는, 도시하지 않은 반송 수단에 의해 다른 공정으로 반송되고, 테이블(72)이 도 1 중 2점 쇄선으로 나타내는 위치로 복귀되고, 이후 상기한 바와 마찬가지의 동작이 반복된다.

이상과 같은 실시 형태에 따르면, 오퍼레이터는, 링 프레임(RF)을 용이하게 수용 케이스(30)에 공급하는 것이 가능해져, 가령 대형의 링 프레임(RF)이었다고 해도, 중력에 거스르는 일 없이 세로 적층 자세로 할 수 있고, 한번에 게다가 한 손으로, 복수매의 링 프레임을 수용 수단에 공급하는 것이 가능해진다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은, 이것에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명은, 주로 특정한 실시 형태에 관해 특별히 도시되고, 또한 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하는 일 없이, 이상 서술한 실시 형태에 대하여, 형상, 재질, 수량, 그 밖의 상세한 구성에 있어서, 당업자가 여러 가지 변형을 가할 수 있는 것이다. 또한, 상기에 개시한 형상, 재질 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위해 예시적으로 기재한 것이며, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그들 형상, 재질 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 제외한 부재의 명칭에서의 기재는, 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 프레임 부재로서 링 프레임(RF)을 예시하고, 당해 링 프레임(RF)의 개구부(RF4)에 손 또는 손가락을 넣어 현수한 상태에서 수용 케이스(30) 내에 수용하는 경우를 설명하였지만, 개구부가 없는 프레임 부재라도, 당해 프레임 부재의 무게 중심으로부터 벗어난 위치를 파지하였을 때에, 당해 프레임 부재가 중력에 끌리는 방향을 따르는 방향으로 하여(중력에 거스르는 일이 없는 방향으로 하여) 당해 프레임 부재를 수용 수단에 공급할 수 있는 구성이면 충분하다.

또한, 테이블(72)에 링 프레임(RF)만을 적재하고, 당해 링 프레임(RF)에 접착 시트(AS)를 부착해도 된다.

또한, 가압판(43)은, 자세 유지 수단(50)의 무단 벨트(54)와 마찬가지의 무단 벨트로 구동하는 구성으로 하거나, 스프링 등의 탄성 부재로 끌어 당겨지는 구성으로 함으로써 링 프레임(RF)을 가압하도록 해도 된다.

또한, 도 1 중 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 수용 케이스(30)의 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)을 흡착 유지 가능한 프레임 흡착부(60)를 갖는 보유 지지부(61)와, 보유 지지부(61)에서 보유 지지한 링 프레임(RF)의 V 노치(RF3)를 검지 가능한 V 노치 검지 수단(62)과, 보유 지지부(61)를 좌우 방향으로 이동 가능하게 설치되는 동시에, 링 프레임(RF)을 당해 링 프레임(RF)의 면내에서 회전 가능한 구동 기기로서의 회전 모터(63)와, 회전 모터(63)를 상하 방향으로 승강 가능한 구동 기기로서의 직동 모터(64)를 구비한 전달 수단(6)을 설치해도 된다. 그리고 전달 수단(6)이 회전 모터(63)를 구동하고, 수용 케이스(30)의 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)을 보유 지지부(61)에서 흡착 유지하고, 직동 모터(64)를 구동하고, 우측 단부에 위치하는 링 프레임(RF)을 인발한다. 그 후, 전달 수단(6)이 회전 모터(63)를 구동하고, 링 프레임(RF)을 소정 각도 회전시키고, V 노치 검지 수단(62)에서 V 노치의 위치를 검출시킨 후, 당해 V 노치가 소정의 위치로 되도록 회전 모터(63)를 정지시켜 위치 결정한다. 그리고 이동 탑재 수단(8)이 다관절 로봇(81)을 구동하고, 전달 수단(6)에서 위치 결정된 링 프레임(RF)을 보유 지지 수단(82)에서 보유 지지하도록 해도 된다.

또한, 본 발명에 있어서의 피착체 및 접착 시트(AS)의 종별이나 재질 등은, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 접착 시트(AS)는, 기재 시트와 접착제층 사이에 중간층을 갖는 것이나, 기재 시트의 상면에 커버층을 갖는 등 3층 이상의 것, 나아가서는, 기재 시트를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 이러한 양면 접착 시트로서는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또한, 피착체가 반도체 웨이퍼이며, 접착 시트(AS)가 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태치 필름 등이어도 된다. 이때, 반도체 웨이퍼는, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등을 예시할 수 있고, 이러한 반도체 웨이퍼에 부착하는 접착 시트(AS)는, 그들에 한정하지 않고, 임의의 시트, 필름, 테이프 등, 임의의 용도, 형상의 접착 시트 등을 적용할 수 있다. 또한, 피착체가 광 디스크의 기판이며, 접착 시트(AS)가 기록층을 구성하는 수지층을 가진 것이어도 된다. 이상과 같이, 피착체로서는, 글래스판, 강판, 도자기, 목판 또는 수지판 등, 그 밖의 피착체뿐만 아니라, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다.

상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회전 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드레스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 동시에, 그들을 직접적 또는 간접적으로 조합시킨 것을 채용할 수도 있다(실시 형태에서 예시한 것과 중복되는 것도 있음).

Claims

접착 시트를 통해 피착체와 일체화되는 프레임 부재를 복수 수용 가능한 프레임 수용 수단과,
상기 프레임 부재 및 상기 피착체 중 적어도 프레임 부재를 지지하는 지지 수단과,
상기 프레임 수용 수단으로부터 상기 프레임 부재를 취출하여 상기 지지 수단으로 이동 탑재하는 이동 탑재 수단과,
상기 지지 수단에 지지된 프레임 부재 또는, 프레임 부재 및 피착체에 상기 접착 시트를 접촉시켜 부착하는 부착 수단을 구비하고,
상기 프레임 수용 수단은, 상기 프레임 부재를 종배치로 하여 수용 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
제1항에 있어서, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 프레임 부재를 일 방향으로 가압하는 가압 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 프레임 부재의 하부를 일 방향으로 이동시키는 자세 유지 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임 수용 수단은, 상기 이동 탑재 수단에 의해 상기 프레임 부재가 복수매 동시에 취출되는 것을 방지하는 압박 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 장치.
접착 시트를 통해 피착체와 일체화되는 프레임 부재를 종배치로 하여 복수 수용하고,
상기 프레임 부재 및 상기 피착체 중 적어도 프레임 부재를 지지하는 지지 수단에 상기 프레임 부재를 이동 탑재하고,
상기 지지 수단에 지지된 프레임 부재 또는, 프레임 부재 및 피착체에 상기 접착 시트를 접촉시켜 부착하는 것을 특징으로 하는, 시트 부착 방법.