JP2013029410A - 半導体試験装置のベースユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベースユニット本体と、ベースユニット本体の下方向に配置され、ベースユニット本体に対する傾きを変更可能な、プローブカードを固着するユニットの上部に設けられ、下面の両側に斜面が形成されたテーパブロックと、ベースユニットの下部において、テーパブロックの傾斜方向に設けられたガイド沿って直線移動可能であり、テーパブロックを挟んで配置された1対の下部プレートとを備え、1対の下部プレートは弾性手段により互いに連結され、それぞれの下部プレートは、ガイドに対する停止手段と、テーパブロックの斜面と接触する位置に設けられ、移動方向に回転する回転手段とを備えているベースユニット。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- ベースユニット本体と、
前記ベースユニット本体の下方向に配置され、前記ベースユニット本体に対する傾きを変更可能な、プローブカードを固着するユニットの上部に設けられ、下面の両側に中央部が厚くなる方向で斜面が形成されたテーパブロックと、
前記ベースユニットの下部において、前記テーパブロックの傾斜方向に設けられたガイド沿って直線移動可能であり、前記テーパブロックを挟んで配置された1対の下部プレートとを備え、
前記1対の下部プレートは弾性手段により互いに連結され、それぞれの下部プレートは、前記ガイドに対する停止手段と、前記テーパブロックの下面に形成された斜面と接触する位置に設けられ、前記移動方向に回転する回転手段とを備えていることを特徴とする半導体試験装置のベースユニット。 - 前記プローブカードを固着するユニットの前記ベースユニット本体に対する傾きを変更する際に、前記停止手段を解除し、傾きの変更終了後に、前記停止手段を作動させる駆動制御部をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体試験装置のベースユニット。
- 前記テーパブロックは、前記下面両側の斜面に加え、前記下面の直交する両方向にも斜面が形成され、
前記ベースユニットの下部において、前記ガイドと直交する方向に設けられた第2ガイドに沿って直線移動可能であり、前記テーパブロックを挟んで配置された1対の第2下部プレートをさらに備え、
前記1対の第2下部プレートは第2弾性手段により互いに連結され、それぞれの下部プレートは、前記第2ガイドに対する停止手段と、前記テーパブロックの下面に形成された前記第2ガイド方向の斜面と接触する位置に設けられ、前記移動方向に回転する回転手段とを備えていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体試験装置のベースユニット。 - 前記テーパブロックは、前記下面両側の斜面に加え、上面の両側にも中央部が厚くなる方向で斜面が形成され、
前記ベースユニットの下部において、前記ガイド沿って直線移動可能であり、前記テーパブロックを挟んで前記1対の下部プレートの内側に配置された1対の上部プレートをさらに備え、
前記1対の上部プレートは弾性手段により互いに連結され、それぞれの上部プレートは、前記ガイドに対する停止手段と、前記テーパブロックの上面に形成された斜面と接触する位置に設けられ、前記移動方向に回転する回転手段とを備えていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体試験装置のベースユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011165407A JP2013029410A (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 半導体試験装置のベースユニット |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011165407A JP2013029410A (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 半導体試験装置のベースユニット |
Publications (1)
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JP2013029410A true JP2013029410A (ja) | 2013-02-07 |
Family
ID=47786581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011165407A Pending JP2013029410A (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 半導体試験装置のベースユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013029410A (ja) |
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2011
- 2011-07-28 JP JP2011165407A patent/JP2013029410A/ja active Pending
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