JP2013027097A - モータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロータ12の磁気部材22と、ステータ13との間には、隔壁部材15が配されている。第一隔壁部材16は、板状部16aと、この板状部16aの端部に一体に形成されたシール支持部16bとからなる。板状部16aは、シャフト21の軸方向に沿って広がり、ステータ13のロータ12側露出面を覆うように配されている。シール支持部16bは、板状部16aよりも厚みが厚くなるように形成されている。
【選択図】図1
Description
また、コイルは巻回した金属線をモールドしている接着剤やその溶媒がガス化して放出される。こうしたモータを構成するコイルや磁石などから放出されたガスがチャンバ内に拡散すると、被成膜物が汚染される懸念があった。
即ち、本発明のモータは、ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、
前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁部材と、該隔壁部材を前記シャフトまたは前記ハウジングに対して気密に封止するシール部材と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
前記第一隔壁部材は、前記磁気部材と前記ステータとの間に配されるとともに前記第一シール部材によって前記ハウジングに対して気密に封止され、前記第二隔壁部材は、前記第一シール部材と前記磁気部材との間に配されるとともに前記第二シール部材によって前記シャフトに対して気密に封止され、前記ステータとともに回転することを特徴とする。
図1は、本発明の第一実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
真空モータ(モータ)10は、ハウジング(外装体)11と、このハウジング11に収容されるロータ12、およびステータ13とを備えている。ロータ12は、シャフト21と、このシャフト21の周囲に形成された磁気部材22とを有している。
第一隔壁部材16は、板状部16aと、この板状部16aの端部に一体に形成されたシール支持部16bとからなる。板状部16aは、シャフト21の軸方向Lに沿って広がり、ステータ13のロータ12側露出面を覆うように配されている。
シール支持部16bは、板状部16aよりも厚みが厚くなるように形成されている。
図2は、本発明の第二実施形態におけるモータの一構成例を示す断面図である。
真空モータ(モータ)30は、ハウジング(外装体)31と、このハウジング31に収容されるロータ32、およびステータ33とを備え、ロータ32は、シャフト41と、このシャフト41の周囲に形成された磁気部材42とを有している。シャフト41の周面に形成された磁気部材42は、例えば永久磁石から構成されている。
Claims (5)
- ハウジングと、該ハウジングに回転可能に支持されたシャフトおよび該シャフトの周囲に設けられた磁気部材からなるロータと、該ロータを取り巻くように配されたステータと、を有し、前記ロータと前記ステータとの間に発生させた磁界によって前記ロータを回転させるモータであって、
前記磁気部材と前記ステータとの間に配された隔壁部材と、該隔壁部材を前記シャフトまたは前記ハウジングに対して気密に封止するシール部材と、を少なくとも備えたことを特徴とするモータ。 - 前記隔壁部材は、第一隔壁部材および第二隔壁部材からなり、前記シール部材は第一シール部材および第二シール部材からなり、
前記第一隔壁部材は、前記磁気部材と前記ステータとの間に配されるとともに前記第一シール部材によって前記ハウジングに対して気密に封止され、
前記第二隔壁部材は、前記第一シール部材と前記磁気部材との間に配されるとともに前記第二シール部材によって前記シャフトに対して気密に封止され、前記ステータとともに回転することを特徴とする請求項1記載のモータ。 - 前記シール部材は弾性体からなることを特徴とする請求項1または2記載のモータ。
- 前記隔壁部材は、板状部および該板状部の端部に形成されたシール支持部とからなり、前記板状部は前記シャフトの軸方向に沿って広がり、前記シール部材は前記シール支持部に形成されることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載のモータ。
- 前記磁気部材および前記ステータは、磁石または電磁コイルから構成されていることを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載のモータ。
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