JP2013012559A - 発光素子の製造方法 - Google Patents
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【解決手段】同一面側に一対の電極16、17を有する発光素子の該電極上に金属部材18、19を形成する工程と、電極16、17が形成されている側の発光素子上に無機部材からなる光反射層20を形成する工程と、光反射層20と金属部材18、19とを略同一面とする工程と、を有する発光素子の製造方法。
【選択図】図1
Description
前記光反射層は、溶射、電着、静電塗装のいずれかにより形成されることが好ましい。
前記光反射層の厚みが3μm以上であることが好ましい。
前記光反射層は、無機化合物の粒子の集合体からなることが好ましい。
前記無機化合物の粒子の粒子間に、少なくとも空気層を有することが好ましい。
前記無機化合物の粒子の粒子間に、少なくともSi−O結合を含む部材を含浸させることが好ましい。
前記光反射層は、保護膜を介して形成されることが好ましい。
前記発光素子は、透光性基板上に形成された半導体層が連続して繋がったウエハ状態で複数個形成されており、前記半導体層及び前記光反射層を通る線で切断することにより、複数個の発光素子を個片化する工程をさらに備えることが好ましい。
前記個片化は、前記透光性基板側から前記透光性基板の内部にパルスレーザ光を集光させることにより、前記透光性基板の内部に離間した複数の加工部を分割予定線に沿って形成する工程をさらに備えるか、あるいは、前記個片化は、前記光反射層側から前記光反射層、前記半導体層及び前記透光性基板にレーザ光を照射することで分離溝を形成する工程をさらに備えることが好ましい。
図1は、本発明の実施形態に係る発光素子100を示す断面図であり、図2〜図6は、本実施形態に係る発光素子の製造工程を示す概略断面図である。
本実施形態に係る発光装置の製造方法は、主として、半導体層11と、半導体層11の同一面側に少なくとも一対の電極を有する発光素子の電極16、17上に金属部材18、19を形成する工程(第1の工程)と、電極が形成されている側の発光素子上に無機部材からなる光反射層20を形成する(第2の工程)と、前記光反射層20と金属部材17、18とを略同一面とする工程(第3の工程)と、を有する。
まず、図2に示すように、同一面側に少なくとも一対の電極を有する発光素子を準備する。この発光素子は、個々の発光素子に分割される前のウエハ状態の発光素子であり、透光性基板10上に半導体層11が形成され、半導体層11上に少なくとも一対の電極(正電極16、負電極17)が形成されている。
正電極16、負電極17の具体的な材料としては、亜鉛(Zn)、ニッケル(Ni)、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、ロジウム(Rh)、ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、コバルト(Co)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、タングステン(W)、ランタン(La)、銅(Cu)、銀(Ag)、金(Au)、イットリウム(Y)等の金属、合金の単層膜又は積層膜等や、ZnO、In2O3、SnO2、ITO(InとSnとの複合酸化物)、MgO等の酸化物でも良い。
また、絶縁のため正電極16、負電極17間には間隙を設ける必要がある。また、発光素子100の様に個片化するときに発光素子100の外縁部に正電極16、負電極17が存在すると個片化が難しく、また、電極部材が半導体層側面に接して、n側半導体層12とp側半導体層14とを電気的にショートさせてしまうおそれがあるため、正電極16、負電極17は発光素子100の外縁部には形成しない。
金属部材18、19は、後に形成される無機部材からなる光反射層20を避けて電極端子を外部に露出させるために形成される。正電極16、負電極17と電気的に接続することが可能で、電気を流すものであれば特に限定されないが、例えば、金(Au)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、ロジウム(Rh)等の単体、または、これらの多層膜や合金等を用いることができる。好ましくは、熱伝導率等に優れた金(Au)を単体で用いることである。
第1の工程の後に、図4に示すように無機部材からなる光反射層20を、電極が形成されている側の発光素子上に形成する。具体的には、光反射層20を、半導体層11上であって金属部材18、19間に埋設するように形成する。光反射層20は、正電極16と負電極17の間など、電極と電極の間から漏れる光を光取り出し面側に反射させるものである。従って、少なくとも半導体層11から発光する波長に対して50%以上の光反射率を有することが好ましい。なお、少なくとも一部に形成されていれば、電極と電極の間から漏れる光を光取り出し面側に反射させることが可能である。好ましくは、図4に示すように、電極が形成されている側の面を全て被覆するように形成される。つまり、半導体層11上であって、正電極16及び負電極17が形成されていない領域の全てを被覆するように形成される。また、異なる極性を持つ電極に接して、電極間に形成されることから絶縁性である。本発明における光反射層20は無機部材からなり、有機部材を含まないため半導体層で発する熱や光による劣化が殆ど生じない。
溶射により形成される光反射層20は、粒子を溶融状態にして形成するため、薄板状に形成される。粒子間に気泡を入れて形成することもでき、これにより粒子と空気との屈折率差により、反射率を向上させることができる。
この透光性の材料としてはポリシラザンやゾルゲル等の無機材料であることが好ましく、特に少なくともSi−O結合を含む部材であることがより好ましい。Si−O結合系の材料は比較的屈折率が低いため、粒子との屈折率差を大きく取る事が出来、高い光反射率を得ることが可能である。さらに、粒子同士の結着力を強めることができるため、発光素子の信頼性が向上する。
また、粒子の隙間を埋めない場合には粒子間に空気層が介在することとなる。この場合であっても、粒子と空気との屈折率差により、高い反射率を得る事が可能である。
次に、図5に示すように、光反射層20と金属部材18、19とが略面一になるように平坦化する。これにより、半導体層11に電流を流すための電極端子として機能する金属部材18、19を外部に露出させる。この平坦化方法としては、フォトリソグラフィー技術や研磨、研削等の技術を用いて行うことができる。
以上のように形成された発光素子は、透光性基板上に形成された半導体層が連続して繋がったウエハ状態で複数個形成されている。それら複数個の発光素子を、図6(a)で破線として示す分割予定線22に沿ってダイシングやスクライブ等によって個片化して、図1に図示するような発光素子100とする。分割予定線22は、透光性基板10、半導体層11、光反射層20を通る線であり、これらが面一に裁断されることで、発光素子100の側面が形成されることとなる。
特に、本実施形態においては、光反射層20が無機材料で形成されているため、レーザスクライブ法等の破断による分割が可能となり、分割時に生じる発光素子への損傷が少なく、信頼性を向上させることができる。また、レーザスクライブ法等の破断による分割によれば、分割時の切りしろを少なくすることができるため、収率を向上させることができる。
なお、切断面に樹脂材料が存在する場合には、ダイシング等による分割が必要となり、スクライブ等の破断による分割をすることができない。
例えば、図6(b)に図示した矢印で示すように透光性基板10側から透光性基板10の内部にパルスレーザ光を集光させることにより、透光性基板の内部に離間した複数の加工部26を分割予定線22に沿って形成することができる。これらの加工部26を繋ぐように亀裂を生じさせることにより、発光素子100を分割して個片化することができる。このような方法によれば、光反射層20や半導体11にはレーザ光を照射することがないため、レーザ光による光反射層20や半導体層11の変質が生じない。
得られた発光素子100は、図1に示すように、透光性基板10と、透光性基板の10の主面上に形成された半導体層11と、半導体層上に形成された電極16、17と、電極16、17上に形成された金属部材18、19と、半導体層上に設けられ、金属部材18、19の端部を露出させる光反射層20とを有して形成されている。実装面側においては、外部端子となる金属部材18及び金属部材19の端部と光反射層20とが略平坦に形成されており、側面側においては透光性基板10、半導体層11、光反射層20が面一に裁断されることで、発光素子の側面を形成している。
また、金属部材18、19の側面が光反射層20により被覆されているため、光反射層20の密着性が高められており、光反射層20の脱落が抑制されている。
さらに、発光素子100は、金属部材18、19の厚みのぶん、従来の発光素子よりも実装面から半導体層11までの距離が長くなるように形成されている。これにより、半導体層11を光の吸収源である実装面から遠ざけ、光取り出し面側に近付けることができるため、さらに光取り出し効率の高い発光素子とすることができる。
図7は、本発明の実施形態に係る発光素子200を示す断面図であり、図8及び図9は、本実施形態に係る発光素子の製造工程を示す概略断面図である。
本実施形態に係る発光装置の製造方法は、主として、半導体層11と、半導体層11の同一面側に少なくとも一対の電極を有する発光素子の電極16、17上にレジスト24を形成する工程と、無機部材からなる光反射層20を、電極が形成されている側の発光素子上に形成する工程と、レジスト24を除去する工程と、を有する。
その他の部分については、第1実施形態と同様にして形成することができる。
10 透光性基板
11 半導体層
12 n側半導体層
13 活性層
14 p側半導体層
15 保護膜
16 正電極
17 負電極
18、19 金属部材
20 光反射層
22 分割予定線
24 レジスト
26 加工部
28 分離溝
Claims (12)
- 同一面側に一対の電極を有する発光素子の該電極上に金属部材を形成する工程と、
該電極が形成されている側の発光素子上に無機部材からなる光反射層を形成する工程と、
該光反射層と該金属部材とを略同一面とする工程と、
を有する発光素子の製造方法。 - 同一面側に一対の電極を有する発光素子の該電極上にレジストを形成する工程と、
該電極が形成されている側の発光素子上に無機部材からなる光反射層を形成する工程と、
該レジストを除去する工程と、
を有する発光素子の製造方法。 - 前記光反射層は、前記電極が形成されている側において、前記電極が形成されていない領域の全てを被覆するように形成されている請求項1又は2に記載の発光素子の製造方法。
- 前記光反射層は、溶射、電着、静電塗装のいずれかにより形成される請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記光反射層の厚みが3μm以上である請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記光反射層は、無機化合物の粒子の集合体からなる請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記無機化合物の粒子の粒子間に、少なくとも空気層を有する請求項6に記載の発光素子の製造方法。
- 前記無機化合物の粒子の粒子間に、少なくともSi−O結合を含む部材を含浸させる請求項6又は請求項7に記載の発光素子の製造方法。
- 前記光反射層は、保護膜を介して形成される請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記発光素子は、透光性基板上に形成された半導体層が連続して繋がったウエハ状態で複数個形成されており、前記半導体層及び前記光反射層を通る線で切断することにより、複数個の発光素子を個片化する工程をさらに備える、請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の発光素子の製造方法。
- 前記個片化は、前記透光性基板側から前記透光性基板の内部にパルスレーザ光を集光させることにより、前記透光性基板の内部に離間した複数の加工部を分割予定線に沿って形成する工程をさらに備える請求項10に記載の発光素子の製造方法。
- 前記個片化は、前記光反射層側から前記光反射層、前記半導体層及び前記透光性基板にレーザ光を照射することで分離溝を形成する工程をさらに備える請求項10に記載の発光素子の製造方法。
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