JP2013004769A - マルチモード波長掃引光源 - Google Patents

Abstract

【課題】より小型に且つ低コストに構成する。
【解決手段】半導体レーザ２１の両端面２１ａ、２１ｂを無反射端面とし、一方の端面２１ａから出射された光を第１レンズ２２によって集光して筐体５０の窓５０ａに導き、窓５０ａに一端側が固定された光ファイバ２３に入射させ、その一部を光ファイバ２３の他端側に装着された光反射器２４によって半導体レーザ２１の一方の端面２１ａに戻し、半導体レーザ２１の他方の端面２１ｂから出射された光を第２レンズ２８で平行光にして回折格子３０へ所定の入射角で入射させ、その回折光を回動ミラー３３によって逆光路で回折格子３０に反射させ、回折格子３０に対する回動ミラー３３の角度によって決まる波長成分の光を半導体レーザ２１の他方の端面２１ｂに戻す構造であり、光ファイバ２３の他端に装着された光反射器２４を通過する光を出力光として出射させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、複数の近接した波長成分を含む光を出射し、且つその光の中心波長を掃引するマルチモード波長掃引光源に関し、その光源を小型化するための技術に関する。

広い波長範囲を掃引可能な波長掃引光源として、外部共振器型のものが知られている。外部共振器型の波長掃引光源は、基本的に、光増幅素子としての半導体レーザと、半導体レーザを含む光路の両端に形成された反射器（一方は半導体レーザの一方の端面が用いられる）からなる外部共振器と、その外部共振器内にあって共振器長によって波長間隔が決まる励起波長のうち、特定領域の波長成分に対して選択性を示す波長選択部とを有し、共振器長に応じた波長間隔で励起される光のうち波長選択部で選択された波長成分を継続的に発振出力させるとともに、共振器長および波長選択部の選択波長を連続的に変化させることで所定範囲内で掃引する光を出射している。

このような波長掃引光源の外部共振器の一般的な構成として、半導体レーザの一方の端面を一つの反射器として用い、他方の無反射端面から出射された光を固定の回折格子で受け、その回折光のうち特定波長領域の光を回動式のミラーによって回折格子に逆光路で戻して、回折格子とミラーの角度によって決まる特性波長領域の光に対する２度の波長選択を行い半導体レーザ側に戻す、所謂リトマン型のものが知られている。

上記のような半導体レーザの一方の端面と回動式のミラーで二つの反射器を形成するとともに、半導体レーザからの出射光が回折格子に入射する角度と、回折格子に対する回動式のミラーの角度によって発振波長領域を限定する外部共振器型の光源において、出射光のスペクトラムに注目すると、共振器長で決まる波長間隔で励起される光のうちの一本だけを選択的に出射するシングルモード型と、共振器長で決まる波長間隔で励起される光の隣合う複数本の光を選択して出射するマルチモード型とがある。

シングルモード型で光波長を掃引する場合、ミラーの回動に伴う共振器長の変化による励起波長の変化に追従して前記選択波長領域が変化しないと、モードホップ（発振光の波長が隣の励起波長にホップしてしまう現象）が起こってしまい、光が出力されない光波長領域が生じてしまう。そのために、半導体レーザ、回折格子およびミラーの位置関係が予め決められた特定条件を極めて高い精度で満たす必要があり、必然的にコスト高となる。

これに対し、マルチモード型は、選択波長領域内に複数の励起成分を含み、その選択波長領域の幅に対して励起波長の間隔を十分短くすることで、選択波長領域で決まる擬似的な単峰のスペクトラムを形成する。このため、ミラーの回動に伴う選択波長領域の変化に対して、それに含まれる励起波長の変化が必ずしも同期していなくても選択波長領域で決まる擬似的に単峰のスペクトラムをもつ光を発振出力させることができる。このため、シングルモード型のように各光学素子の位置関係に格別の精度は要求されず、製造コストを格段に下げられるメリットがあり、厳しい測定精度が要求されない各種光学装置に利用できる。

マルチモード波長掃引光源として、図６の構成のものが従来から知られている。
この光源は、一端面１ａが所定の反射率で、他端面１ｂが無反射の半導体レーザ（ＬＤ）１と、半導体レーザ１の他端面１ｂから出射された光を集光するレンズ２と、レンズ２で集光された光を一端３ａ側で受けて内部に導く所定長の光ファイバ３と、光ファイバ３の他端３ｂから出射された光を受けて平行光にするレンズ４と、一面５ａ側に回折用の溝５ｂ（紙面に直交する向きで）が設けられ、レンズ４から出射された光を一面５ａ側に対して所定入射角で且つ溝５ｂに直交する向きで受け入れる回折格子５と、回折格子５の一面５ａに向けた反射面６ａを、回折格子５の溝５ｂと平行な軸で回動させる回動ミラー６とを有している。また、半導体レーザ１の一端面１ａを透過した光は、レンズ７によって、出射用光ファイバ８の一端に集光され、その出射用光ファイバ８の他端側から出射される。

このように構成された光源では、半導体レーザ１の一端面１ａから回動ミラー６の反射面６ａに至る光路の長さ（共振器長）で決まる波長間隔で半導体レーザ１により光が励起され、そのうち、前記平行光の回折格子５への光入射角と、その回折格子５に対する回動ミラー６の角度によって決定される波長領域の光が選択的に半導体レーザ１側へ折り返され、継続的に発振出力され、その一部が半導体レーザ１の一端面１ａを透過し、レンズ７を介して出射用光ファイバ８へ出射される。なお、共振器長によって励起波長は決まるが、その励起波長間隔は共振器長が長い程小さくなるから、前記波長選択領域内に多数の励起波長が含まれるようにするためには、光ファイバ３で光路長を稼げばよい。

そして、回動ミラー６の角度変化に応じて励起波長とともに波長選択領域も変化するが、両方の変化の度合いが完全に同期していなくても、波長選択領域内には多くの励起波長成分が含まれているから、その波長選択領域で決まる擬似的な単峰のスペクトラムをもつ光が継続的に発振出力され、回動ミラー６の角度変化とともにその波長が変化することになる。

なお、波長可変される光の出射は、上記したように半導体レーザ１の一端面１ａを透過した光をレンズ７で集光して出射用光ファイバ８に入射させる場合の他に、回折格子５の０次回折光（図６で矢印Ｂで示す）をレンズで集光して出射用光ファイバへ入射させる場合がある。

ここで、共振器長を稼ぐための光ファイバ３として、例えば数１０ｃｍ〜数ｍのものを用いることで、１５５０ｎｍ波長帯のマルチモードにおける波長連続性や出射強度の安定性を確保している。

なお、上記構成のマルチモード波長掃引光源は、例えば次の特許文献１に開示されている。

特開２００６−４９７８５号公報

上記したようにマルチモード型の光源は、複数の近接した波長成分を含んだ波長選択領域で決まる擬似的に単峰のスペクトラムをもつため、シングルモード型に比べて出射光のスペクトラム幅は広くなるが、製造費等を含めて極めて安価にできる。このため、各種光学機器に内蔵されることが予測され、その適用範囲を拡げるために小型化が重要な課題となり、さらなる低コスト化が要求されている。

これに対し、上記した従来構成の光源では、数１０ｃｍ〜数ｍの長さを有する光ファイバ３の両側に、半導体レーザ１を含む光学系と、回折格子５、回動ミラー６を含む光学系とが別れて存在しており、しかも光ファイバの巻き込みには最低でも３ｃｍ程度の曲げ半径が必要であるので、光ファイバ３を含めた光学系全体を収容する大きさの筐体を用いることは装置が大型化することから採用できず、必然的に、光ファイバ３の両側の光学系をそれぞれ別の筐体１０、１１で覆う構造となる。各筐体には、半導体等の光学部品が含まれているため、シーム溶接等により、それぞれ窒素で封止しなければならない。さらに、各筐体１０、１１毎に温度の制御管理が必要となり、やはり装置全体を小型化できず、コスト高になる。

また、上記従来構成の光源では、３つのレンズ２、４、７についての光軸調整が必要となり、しかも、これらの３つのレンズ２、４、７からの出射光を光ファイバ３の両端、出射用光ファイバ８の一端に高効率で結合するように筐体１０、１１に設けた導光用の窓の位置にアライメントして固定するための作業も必要であり、それらの作業工数によりさらなるコスト高を招くという問題もあった。

本発明は、これらの問題を解決して、より小型に且つ低コストに構成できるマルチモード波長掃引光源を提供することを目的としている。

前記目的を達成するために、本発明のマルチモード波長掃引光源は、
所定位置に光の通過が可能な窓を有する筐体（５０）と
前記筐体内に固定され、両端面が無反射の半導体レーザー（２１）と、
前記筐体内に固定され、前記半導体レーザの一方の端面から出射された光を集光して前記窓へ導く第１レンズ（２２）と、
前記筐体の外側にあって、その一端側が前記窓の位置に固定され、前記第１レンズで集光された光を前記一端側に受け入れて他端側に伝搬させる所定長の光ファイバ（２３）と、
前記光ファイバの前記他端側に設けられ、該光ファイバの前記他端から出射された光の一部を前記一端側に戻し、他部を出力光として通過させる光反射器（２４）と、
前記筐体内に固定され、前記半導体レーザの他方の端面から出射された光を平行光にする第２レンズ（２８）と、
前記筐体内に固定され、前記第２レンズを透過した光を所定入射角で一面側に受ける回折格子（３０）と、
前記筐体内に設けられ、前記回折格子の前記一面側に対向する反射面を有し、前記回折格子に対して所定角度範囲往復回動可能に形成され、前記回折格子から前記反射面に直交する向きで出射された回折光を逆光路で前記回折格子に戻す回動ミラー（３３）とを備え、
前記光ファイバの前記他端側の前記光反射器から、前記光ファイバ、前記第１レンズ、前記半導体レーザ、前記第２レンズおよび前記回折格子を経て、前記回動ミラーの反射面に至る共振器長によって決まる波長間隔で励起される光のうち、前記回折格子に対する前記回動ミラーの角度によって中心波長が決まる波長選択領域内の光を選択的に連続発振させてその一部を出力光として前記光反射器から出射する。

また、本発明の請求項２のマルチモード波長掃引光源は、請求項１記載のマルチモード波長掃引光源において、
前記回動ミラーの反射面と、前記回折格子の前記一面またはその延長面とで挟まれる領域に平面ミラー（２９）が配置され、
前記半導体レーザ、前記第１レンズおよび前記第２レンズが、前記回折格子の前記一面またはその延長面を挟んで、前記回動ミラーと反対側に配置されており、
前記半導体レーザの前記他方の端面から前記第２レンズを介して出射された光を前記平面ミラーで反射させて前記回折格子に入射させることを特徴とする。

また、本発明の請求項３のマルチモード波長掃引光源は、請求項１または請求項２記載のマルチモード波長掃引光源において、
前記光反射器の前記出力光が出力される側に光アイソレータ（２５）を設けたことを特徴とする。

このように本発明のマルチモード波長掃引光源は、半導体レーザの両端面を無反射端面とし、その一方の端面から出射された光を第１レンズによって集光して筐体の窓に導き、その窓に一端側が固定された光ファイバに入射させ、その一部を光ファイバの他端側に装着された光反射器によって筐体内の半導体レーザの前記一方の端面に戻し、半導体レーザの他方の端面から出射された光を第２レンズで平行光にして回折格子へ所定の入射角で入射させ、その回折光を回動ミラーによって逆光路で回折格子に反射させ、回折格子に対する回動ミラーの角度によって決まる波長成分の光を半導体レーザの他方の端面に戻す構造であり、さらに、光ファイバの他端に装着された光反射器を通過する光を出射させるようにしている。

このため、光ファイバを除く光学系、即ち、半導体レーザ、第１レンズ、第２レンズ、回折格子および回動ミラーを、単一の筐体に収容させることができ、それらを互いに近接配置させることで、筐体全体を格段に小さくすることができ、温度調整を行う場合でも、従来の２筐体タイプが必要とした２系統の制御を１系統に減らすことができ、小型で低コストに実現できる。

また、光軸合わせが必要なレンズは、従来の３つのレンズから、第１レンズと第２レンズの二つだけとなり、しかも、筐体に対して光ファイバをアライメントして固定する作業も従来の３箇所から１箇所へ大幅に減らせるので、組み立て作業工数を大幅に減らすことができ、さらに低コスト化できる。

また、半導体レーザから第２レンズを介して出射された光を平面ミラーで反射させて回折格子に入射させる構成では、回動ミラーと回折格子の間隔を狭くでき、それらの光学部品に対して半導体レーザと二つのレンズの位置の自由度が大きくなり、光学系全体をより小さなスペースに収容でき、筐体をさらに小型化ができる。

本発明の実施形態の構成図 実施形態の要部の内部概略図 実施形態の要部の概略構造図 本発明の別の実施形態の構成図 波長校正機能を含む構成の要部を示す図 従来装置の構成図

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明を適用したマルチモード波長掃引光源２０の構成を示している。

このマルチモード波長掃引光源２０は、内部の気密を保つための筐体５０を有している。この筐体５０の所定位置には導光用の窓５０ａが設けられている。また、図示しないが、筐体５０には、電源供給用の端子、回動ミラー駆動信号供給用の端子、温度制御する場合には、温度センサの信号出力用の端子、ペルチェ素子などの温度制御素子駆動用の端子が設けられているものとする。

筐体５０の内部には、半導体レーザ（ＬＤ）２１、第１レンズ２２、第２レンズ２８、平面ミラー２９、回折格子３０および回動ミラー３３が収容されている（なお、温度制御管理を行う場合には、温度センサやペルチェ素子などの温度制御素を筐体の内部あるいは外表部に設ける）。

半導体レーザ（ＬＤ）２１は、両方の端面２１ａ、２１ｂが無反射となるものを用いており、一方の端面２１ａが筐体５０の窓５０ａに正対する向きで筐体内に固定されている。この一方の端面２１ａと窓５０ａの間に第１レンズ２２が固定され、半導体レーザ２１の一方の端面２１ａから出射された光は、第１レンズ２２によって窓５０ａを通って所定位置に集光される。この集光位置には、筐体５０の外部にある所定長（例えば数１０ｃｍ〜数ｍ）の光ファイバ２３の一端２３ａ側先端が図示しないホルダにより固定保持され、第１レンズ２２によって集光された光はこの光ファイバ２３の一端２３ａ側に入射されて他端２３ｂ側へ伝搬される。

なお、両端面が無反射の半導体レーザ２１は、端面を無反射コーティング処理するとともに、図２の（ａ）、（ｂ）示すように、素子内の光導波路２１ｃの少なくとも両端部が、素子の両端面２１ａ、２１ｂに対して所定の傾き（非直交）をもって交わるように形成し、光導波路２１ｃの端部での反射成分（点線矢印）が光導波路２１ｃに戻らないようにすることで素子端面間での実質的な反射率を下げている。

光ファイバ２３の他端２３ｂには、所定の反射率を有する光反射器２４が装着されている。光反射器２４は、光ファイバ２３から一端側に入射した光の一部を反射し、他部を出力光として他端側へ通過させる。また、この光反射器２４の他端側には光アイソレータ２５が接続されている。光アイソレータ２５は、光ファイバ２３側から光反射器２４を透過した光成分を一端側に受け入れて他端側へ出射し、その他端側に接続された出射用光ファイバ等（図示せず）へ高い透過率で通過させるとともに、他端側からの光反射器２４側への光の入射を阻止して、その光アイソレータ２５以降の出力光用の光路が、共振器に含まれないようにしている。なお、光アイソレータ２５を備えない構成にしてもよい。

一方、半導体レーザ２１の他方の端面２１ｂから出射された光は、第２レンズ２８によって平行光に変換されて、回折格子３０の一面３０ａと回動ミラー３３の反射面（またはそれらの延長面）の間に配置された平面ミラー２９を介して回折格子３０の一面３０ａ側に入射される。

このように、半導体レーザ２１から出射された光を平面ミラー２９で反射させて回折格子３０の一面３０ａに入射させる構造にすることで、回折格子３０と回動ミラー３３の間隔を狭くした場合でも、それらの位置に関わらず、半導体レーザ２１、第１レンズ２２、第２レンズ２８の直列の光学系の配置に大きな自由度を与えることができ、図のように各光学系を近接させて、それらを収容する筐体５０の大きさを最小化することができる。

回折格子３０の一面３０ａ側には、入射光の光軸と直交する回折用の溝３０ｂが所定間隔で設けられており、第２レンズ２８から平面ミラー２９を介して入射された光がその波長に応じた角度で出射される。

回動ミラー３３は、その反射面３３ａを回折格子３０の一面３０ａ側に対向させた状態で配置されている。この回動ミラー３３には、平板状のミラー本体（後述する反射板３６）を、回折格子３０の溝３０ｂと平行な軸で所定の角度範囲内を往復回動させる回動駆動手段３４が設けられている。

回動ミラー３３は、半導体基板に対するエッチング技術を用いて、軽量小型で、安定で且つ高速な掃引が可能に構成された所謂ＭＥＭＳ型のものであり、その概略構造の一例を図３に示す。

この回動ミラー３３は、横長の長方枠状のフレーム板３５と、そのフレーム３５の枠内に同心に配置された横長の長方形の反射板３６と、フレーム３５の上板３５ａの中央下縁から反射板３６の上辺中央まで細く延びた上連結部３７と、フレーム３５の下板３５ｂの中央上縁から反射板３６の下辺中央まで細く延びた下連結部３８とが、一枚の半導体基板に対するエッチング処理で一体形成されている。反射板３６の表面は光を高い反射率で反射する処理（例えば金属膜形成）がなされている。

両連結部３７、３８は、反射板３６を左右方向に２等分する中心線に沿っており、しかも元になる基板の厚さと同程度に細く形成されていて、長さ方向に沿って捩れ変形が自在となっている。したがって、反射板３６は両連結部３７、３８の捩れにより、それを結ぶ中心線を軸にして回動できる。

また、フレーム板３５、反射板３６および両連結部３７、３８の表面は、導電性の膜（図示せず）に覆われており、フレーム３５の横板３５ｃ、３５ｄの少なくとも一方（この場合、横板３５ｃ）には絶縁体からなるスペーサ３９が固定され、そのスペーサ３９の上には導電性を有する電極板４０が反射板３６の一端側に対向するように固定されている。

そして、フレーム３５の表面の導電膜と電極板４０との間に電圧を印加すれば、反射板３６の一端とそれに対向する電極板４０との間に吸引力が発生し、反射板３６が回動することになる。ここで、反射板３６と両連結部３７、３８の形状によって決まる反射板３６の固有振動数（１００Ｈｚ〜数１０ｋＨｚ）と等しい周波数の電圧信号Ｖを駆動信号発生器４１から供給することで、反射板３６を共振させることができ、少ない電力で大きな振幅の往復回動を得ることができる。なお、図１で示した前記した回動駆動手段３４は、上記電極板４０と駆動信号発生器４１を含むものである（ただし、駆動用の信号Ｖは、半導体レーザ２１への電源等とともに外部から供給してもよい）。

このように構成されたマルチモード波長掃引光源２０では、光ファイバ２３の他端の光反射器２４から回動ミラー３３の反射面３３ａの間で共振器が形成され、その共振器長に応じた狭い波長間隔（例えば０．１ｐｍ）で光が励起されることになり、その光のうち、回折格子３０への光入射角、回動ミラー３３の角度に応じた波長領域（例えば、波長幅１００ｐｍ）の光が半導体レーザ２１側に戻されて連続的に発振出力され、その一部の光が光反射器２４を通過し、光アイソレータ２５を介してこの光源の出力光として出射される。

そして、回動ミラー３３の角度が可変されることにより、発振出力される光の中心波長が連続的に変化して、所定波長範囲（例えば１５５０±１００ｎｍ）を掃引される。

この構造のマルチモード掃引波長光源２１では、光軸合わせが必要なレンズは、第１レンズ２２、第２レンズ２８の二つで済み、しかも光ファイバ２３の一端２３ａのみを筐体５０に固定すればよい。

したがって、従来構造に比べて作業コストが大幅に下がり、しかも、ファイバ固定用のスペースも片端分減らすことができ、格段に小型化できる。

また、光ファイバ２３の他端に装着する光反射器２４や光アイソレータ２５は、通常インライン型（ファイバ端部を差し込むだけで装着される同軸コネクタ接続構造）と呼ばれる市販のものを用いることができ、光ファイバコネクタを介して容易に出力光を出射用光ファイバに結合することができる。

なお、ここでは平面ミラー２９を用いていたが、図４のように、回動ミラー３３と回折格子３０の間隔を拡げ、半導体レーザ２１から出射されて第２レンズ２８を通過した光を直接回折格子３０に入射させることもできる。この場合、光学系としては比較的大きな回動ミラーが必要となり、その回動ミラーと回折格子との間隔も広がるので、装置の小型化という点では若干不利であるが、レンズの光軸合わせや筐体に対するファイバ固定作業の工数の削減効果は前記実施形態と同様に得られ、１筐体である点とその作業工数削減から従来光源より格段に小型化で低コストを実現できる。

また、図５の（ａ）、（ｂ）に示すように、回折格子３０の入射光に対する０次回折光（点線矢印で示す）を、エタロン等のように通過光波長が複数あり且つそれが安定で既知の光フィルタ６０に入射し、その出射光の強度を受光器６１で検出するようにすれば、掃引中の出射光波長が特定波長になったタイミングを特定でき、この特定されたタイミングと既知波長とから掃引周期内における各タイミングと波長の関係を求めることができ、波長校正が可能となる。

勿論、図６に示した場合と同じように、回折格子３０の０次回折光を別系統の出力光とすることもできる。この場合には、０次回折光をレンズとアイソレータを介して出射用の光ファイバ等に入射すればよい。

また、図５の（ｃ）のように、平面ミラー２９を用いた構成において、平面ミラー２９をハーフミラーで構成し、その平面ミラー２９を透過した光を、回動ミラー３３との間に設けた別の平面ミラー２９′に入射させその反射光を別系統の出力光とすることや、図示しないがさらにこの平面ミラー２９′をハーフミラーにして、その透過光をさらに別の平面ミラーで受けてさらに別系統の出力光とすることもでき、光ファイバ２３の端部から出力される光の他に、０次回折光を含め複数系統の出力光を出射させることができる。

２０……マルチモード波長掃引光源、２１……半導体レーザ、２２……第１レンズ、２３……光ファイバ、２４……光反射器、２５……光アイソレータ、２８……第２レンズ、２９……平面ミラー、３０……回折格子、３３……回動ミラー、３４……回動駆動手段、３５……フレーム板、３６……反射板、３７……上連結部、３８……下連結部、３９……スペーサ、４０……電極板、４１……駆動信号発生器、５０……筐体、５０ａ……窓、６０……光フィルタ、６１……受光器

Claims (3)

1. 所定位置に光の通過が可能な窓を有する筐体（５０）と
   前記筐体内に固定され、両端面が無反射の半導体レーザー（２１）と、
   前記筐体内に固定され、前記半導体レーザの一方の端面から出射された光を集光して前記窓へ導く第１レンズ（２２）と、
   前記筐体の外側にあって、その一端側が前記窓の位置に固定され、前記第１レンズで集光された光を前記一端側に受け入れて他端側に伝搬させる所定長の光ファイバ（２３）と、
   前記光ファイバの前記他端側に設けられ、該光ファイバの前記他端から出射された光の一部を前記一端側に戻し、他部を出力光として通過させる光反射器（２４）と、
   前記筐体内に固定され、前記半導体レーザの他方の端面から出射された光を平行光にする第２レンズ（２８）と、
   前記筐体内に固定され、前記第２レンズを透過した光を所定入射角で一面側に受ける回折格子（３０）と、
   前記筐体内に設けられ、前記回折格子の前記一面側に対向する反射面を有し、前記回折格子に対して所定角度範囲往復回動可能に形成され、前記回折格子から前記反射面に直交する向きで出射された回折光を逆光路で前記回折格子に戻す回動ミラー（３３）とを備え、
   前記光ファイバの前記他端側の前記光反射器から、前記光ファイバ、前記第１レンズ、前記半導体レーザ、前記第２レンズおよび前記回折格子を経て、前記回動ミラーの反射面に至る共振器長によって決まる波長間隔で励起される光のうち、前記回折格子に対する前記回動ミラーの角度によって中心波長が決まる波長選択領域内の光を選択的に連続発振させてその一部を出力光として前記光反射器から出射することを特徴とするマルチモード波長掃引光源。
2. 前記回動ミラーの反射面と、前記回折格子の前記一面またはその延長面とで挟まれる領域に平面ミラー（２９）が配置され、
   前記半導体レーザ、前記第１レンズおよび前記第２レンズが、前記回折格子の前記一面またはその延長面を挟んで、前記回動ミラーと反対側に配置されており、
   前記半導体レーザの前記他方の端面から前記第２レンズを介して出射された光を前記平面ミラーで反射させて前記回折格子に入射させることを特徴とする請求項１記載のマルチモード波長掃引光源。
3. 前記光反射器の前記出力光が出力される側に光アイソレータ（２５）を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２記載のマルチモード波長掃引光源。

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