JP4303427B2 - 波長安定化レーザ及び光波長変換モジュール - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長安定化レーザ、及び光波長変換モジュールに関し、特に、複数の反射部材により光路を折返して光源からの光を目標位置に導く折返し光学系を用いた波長安定化レーザ及び光波長変換モジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体レーザから発せられたレーザビームを第2高調波等に波長変換する光波長変換装置が種々提案され、青色レーザ光源や緑色レーザ光源として使用されている。例えば、特開平10−254001号公報には、外部共振器を備え、この外部共振器内に狭域帯バンドパスフィルター等の波長選択素子を備えた半導体レーザと、周期ドメイン反転構造を有する導波路型の第2高調波発生(SHG)素子とを直接結合した光波長変換モジュールが記載されている。この光波長変換モジュールでは、外部共振器に設けられた狭域帯バンドパスフィルタの透過中心波長に波長をロックすることができ、狭域帯バンドパスフィルターを回転させることにより半導体レーザの発振波長を回転角度に応じた所定の波長にロックすることができる。
【0003】
通常の半導体レーザは素子内に共振器構造を備えているので、外部共振器を設けなくてもレーザビームを発振することができる。しかしながら、波長ロック前の半導体レーザの発振波長は、数nmの幅で変動し、駆動電流の増加に伴い長波長側にシフトする。例えば、縦モードの間隔が約0.2nmで数本の縦モードを有する半導体レーザを用いて、電流を50から200mAまで変化させると、図9に示すように、半導体レーザ自身の発熱のため発振中心波長が約5nmも長波長側にシフトする。
【0004】
従って、波長ロックを行わずに半導体レーザをSHG素子と光結合すると、半導体レーザの発振波長が、SHG素子の波長変換効率が最大となる波長、即ち、SHG素子に位相整合する波長に一致せず、第2高調波の出力光量が変動してしまい第2高調波は殆ど出力されない。このため外部共振器を設け、半導体レーザの発振波長をSHG素子に位相整合する波長にロックし、第2高調波の出力光量を安定させている。
【0005】
しかしながら、外部共振器を備えた半導体レーザでは、駆動電流対光出力特性(IL特性)の直線性が良くないという問題がある。外部共振器を備えた半導体レーザでは、外部共振器からの戻り光など光路長が異なる光が合成されて出射光となるが、光路長の異なる光は互いに干渉し、その干渉状態が随時変化することによりIL特性の直線性が悪化すると考えられる。例えば、半導体レーザに印加する電流を増加すると半導体レーザ自体が発熱して半導体レーザの屈折率と長さとが変化するため半導体レーザの発振波長が変化するが、このような発振波長の変化は光の干渉状態を変化させIL特性の直線性を悪化させる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本出願人は、外部共振器の共振器長を基本波のコヒーレント長より長くすることにより戻り光による干渉が無くなり、IL特性の直線性が改善されることを見出し、これを利用して発振波長を安定化した波長安定化レーザを提案している。この波長安定化レーザでは、外部共振器の共振器長を長くしたことに伴い、モジュールの小型化を図るために、ミラーやプリズム等の反射部材により光路を数回に渡り折り返す折返し光学系を採用している。
【0007】
しかしながら、光源から出射された光を光路を数回折り返して目標位置に設けられた反射ミラーに入射させるには反射ミラーの位置調整に時間がかかるという問題がある。また、折返し光学系の各構成部品の配置位置を予め決めておくとしても、各構成部品を決められた位置に精度良く配置するには高精度の位置決め手段等が必要となり作製コストが高くなるという問題がある。また、各構成部品の配置位置は1つずつ光軸調整しながら決定していかなければならず、折返し光学系の組立てには非常に時間がかかるという問題がある。
【0008】
本発明は上記問題点を解決するために成されたものであり、本発明の目的は、簡単に精度良く組立て可能な折り返し光学系を備え、製造が容易であり所定波長で安定に発振することができる波長安定化レーザと、この波長安定化レーザを用い、製造が容易であり波長変換効率の高い光波長変換モジュールとを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の波長安定化レーザの折返し光学系は、光路を折返して光源からの光を目標位置に導く折返し光学系であって、光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材と、を備えたことを特徴とする。
【0010】
この折返し光学系では、光路に対する反射面の角度が調整可能な単一の第1の反射部材が基板に固定可能に配置され、複数の第2の反射部材が光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定されているので、第1の反射部材の光路に対する反射面の角度を調整するだけで、光路を折返して光源からの光を目標位置に導くことができる。即ち、この折返し光学系は、簡単に精度良く組立てることができる。
【0011】
上記の折返し光学系においては、第1の反射部材は、第1の反射部材で反射された光が直接目標位置に入射するように配置することができる。光路に対する反射面の角度を調整する第1の反射部材を、光源から目標位置に至る光路の最終段に配置することにより、光路上で目標位置に最も近い反射部材の反射面の角度を調整することになるので、反射面の角度調整量に対する光路の変動量が少なくてすみ、より精度良く折返し光学系を組立てることができる。
【0012】
また、反射方向が所定方向になるように位置決めする位置決め手段を基板に配置し、複数の第2の反射部材の各々を位置決め手段によって位置決めした状態で基板に固定することができる。光路に対する反射面の角度を微調整しない複数の第2の反射部材は、予め配置された位置決め手段によって位置決めした状態で基板に固定することにより、組立てが更に簡単になる。また、位置決め手段は、例えば突き当て等の単純な部材で良く、高精度の位置決めに用いる高価な部品は必ずしも必要ではなく安価な部品で構成することができる。
【0013】
また、第1の反射部材及び第2の反射部材は、斜面にHRコートが設けられ、かつ斜面が光路側になるように配置されたプリズムであることが好ましい。斜面が光路側と反対の側を向くように配置されたプリズムを用いる場合には、プリズム内部を光が通過することによる波面収差の問題があるが、HRコートが設けられた斜面が光路側になるように配置されたプリズムを用いることにより、波面収差の問題が解消する。
【0014】
また、上記の折返し光学系は、コンパクトであることが好ましく、単一の第1の反射部材と3つの第2の反射部材とで構成されていることが好ましい。
【0015】
上記折返し光学系の組み立て方法は、光路を折返して光源からの光を目標位置に導く複数の反射部材で構成された折り返し光学系を基板上に組み立てる折り返し光学系の組み立て方法であって、光源と目標位置との間に予め定められた折返し光路に近い光路が形成されるように、光路に対する反射面の角度が調整可能に1つの第1の反射部材を基板上に配置すると共に、残りの複数の第2の反射部材を基板上に固定し、前記1つの反射部材の光路に対する反射面の角度を調整して予め定められた折返し光路を形成した後、前記1つの反射部材を基板に固定して折返し光学系を組み立てることを特徴とする。
【0016】
この折返し光学系の組み立て方法では、光源と目標位置との間に予め定められた折返し光路に近い光路が形成されるように、光路に対する反射面の角度が調整可能に1つの第1の反射部材を基板上に配置すると共に、残りの複数の第2の反射部材を基板上に固定し、1つの反射部材の光路に対する反射面の角度を調整して予め定められた折返し光路を形成した後、1つの反射部材を基板に固定するという簡単な方法で、光路を折返して光源からの光を目標位置に導く複数の反射部材で構成された折り返し光学系を、基板上に精度良く組み立てることができる。
【0017】
本発明の波長安定化レーザは、外部共振器を構成する反射部材と、該反射部材側にレーザビームを出射する第1の端面と、前記反射部材と共に外部共振器を構成し基本波であるレーザビームを出射する第2の端面とを備えると共に、前記外部共振器の共振長が基本波のコヒーレント長よりも長くなるように配置された半導体レーザと、光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材とを備え、光路を折返して半導体レーザの第1の端面から出射されたレーザビームを前記反射部材に導く折返し光学系と、を含んで構成したことを特徴とする。
【0018】
この波長安定化レーザでは、半導体レーザの第1の端面から、外部共振器を構成する反射部材側にレーザビームが出射されると、反射部材とこの反射部材と共に外部共振器を構成する第2の端面との間でレーザビームが共振され、第2の端面から基本波であるレーザビームが出射される。反射部材と半導体レーザとは、この外部共振器の共振長が基本波のコヒーレント長よりも長くなるように配置されており、反射部材と半導体レーザとの間に配置され光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材とを備えた折返し光学系により、半導体レーザの第1の端面から出射されたレーザビームが光路を折返して反射部材まで導かれている。
【0019】
このように、精度良く組立てられた折り返し光学系を用いて外部共振器の共振器長を基本波のコヒーレント長より長くし、半導体レーザから出射されるレーザ光を所定波長にロックすることにより、戻り光による干渉が無くなり、IL特性の直線性を維持することができると共に、所定波長で安定に発振することができる。また、折り返し光学系を簡単に組立てることができるので、製造が容易である。
【0020】
本発明の光波長変換モジュールは、外部共振器を構成する反射部材と、該反射部材側にレーザビームを出射する第1の端面と、前記反射部材と共に外部共振器を構成し基本波であるレーザビームを出射する第2の端面とを備えると共に、前記外部共振器の共振長が基本波のコヒーレント長よりも長くなるように配置された半導体レーザと、前記半導体レーザの第2の端面に直接結合されて、前記半導体レーザの第2の端面から出射された基本波を波長変換する光波長変換素子と、光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材とを備え、光路を折返して半導体レーザの第1の端面から出射されたレーザビームを前記反射部材に導く折返し光学系と、を含んで構成したことを特徴とする。
【0021】
この光波長変換モジュールでは、半導体レーザの第1の端面から、外部共振器を構成する反射部材側にレーザビームが出射されると、反射部材とこの反射部材と共に外部共振器を構成する第2の端面との間でレーザビームが共振され、第2の端面から基本波であるレーザビームが出射される。第2の端面から出射された基本波であるレーザビームは、半導体レーザの第2の端面に直接結合された光波長変換素子により波長変換される。反射部材と半導体レーザとは、この外部共振器の共振長が基本波のコヒーレント長よりも長くなるように配置されており、反射部材と半導体レーザとの間に配置され光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材とを備えた折返し光学系により、半導体レーザの第1の端面から出射されたレーザビームが光路を折返して反射部材まで導かれている。
【0022】
このように、上記の半導体レーザは、精度良く組立てられた折り返し光学系を用いて外部共振器の共振器長を基本波のコヒーレント長より長くし、半導体レーザから出射されるレーザ光を所定波長にロックすることにより、戻り光による干渉が無くなり、IL特性の直線性を維持することができると共に、所定波長で安定に発振することができるので、この半導体レーザを用いた光波長変換モジュールは、波長変換効率が高くなる。また、折り返し光学系を簡単に組立てることができるので、製造が容易である。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0024】
図1に示すように、本実施の形態に係る光波長変換モジュールは、第1の端面(後方出射端面)とこの第1の端面に対向する第2の端面(前方出射端面)とを備え、赤外領域の発振波長を有する半導体レーザ10と、半導体レーザ10の前方出射端面と共に外部共振器を構成する反射部材としてのミラー12と、半導体レーザ10から出射された基本波を波長変換して第2高調波を出力する導波路型の光波長変換素子14と、を備えている。
【0025】
また、半導体レーザ(LD)10は半導体レーザ用のマウント16に保持され、2次高調波発生素子(SHG)で構成された光波長変換素子14は光波長変換素子用のマウント18に保持されている。半導体レーザ10と光波長変換素子14とは、マウントに保持された状態で、半導体レーザ10の出射部分と光波長変換素子14の導波路部分(入射部分)とが一致するように位置合わせされ、LD−SHGユニット20が構成されている。このLD−SHGユニット20は、基板22上に固定されている。これにより半導体レーザ10の前方出射端面に光波長変換素子14が直接結合される。
【0026】
半導体レーザ10は、ファブリペロー型(FP型)の単峰性の空間モード(横シングルモード)を有する通常の半導体レーザ(レーザダイオード)であり、半導体レーザ10の両端面(劈開面)には、発振波長の光に対するLR(低反射率)コート24A、24Bが施されている。例えば、LRコート24Aの基本波に対する反射率を30%、LRコート24Bの基本波に対する反射率を30%とすることができる。
【0027】
光波長変換素子14は、非線形光学効果を有する強誘電体であるLiNbO3 にMgOが例えば5mol%ドープされたもの(以下、MgO−LNと称する)の結晶からなる基板26を備えており、この基板26には、そのZ軸と平行な自発分極の向きを反転させたドメイン反転部28が後述する所定周期Λで形成された周期ドメイン反転構造と、この周期ドメイン反転構造に沿って延びるチャンネル光導波路30と、が形成されている。また、光波長変換素子14の半導体レーザ側端面には、基本波に対するAR(透過性)コート32Aが施され、出射側端面には第2高調波及び基本波に対するARコート32Bが施されている。なお、周期ドメイン反転構造を有する導波路型の光波長変換素子14の作製方法については、特開平10−254001号公報等に詳細に記載されている。
【0028】
また、光波長変換素子14の前方出射端面は斜めに研磨されて、チャンネル光導波路30が延びる方向に垂直な面に対して、チャンネル光導波路30が延びる方向に角度θ(3°≦θ)以上傾斜した傾斜面が形成されている。このように光導波路端面を含む前方出射端面を斜めに研磨したことにより、基本波がチャンネル光導波路30に再入射するのを防止し、半導体レーザ10への戻り光を少なくすることができる。なお、光波長変換素子14の前方出射端面は光軸に対し垂直に研磨されていてもよい。
【0029】
LD−SHGユニット20には、半導体レーザ10の後方出射端面から発散光状態で出射したレーザビーム(後方出射光)34Rを平行光化するコリメータレンズ36が取り付けられている。LD−SHGユニット20及びコリメータレンズ36は、気密封止部材としてのパッケージ38内にドライ窒素等の不活性ガスまたはドライ空気と共に気密封止され、パッケージ38内に固定されている。なお、コリメータレンズ36としては、セルフォックレンズ(商品名)のような分布屈折率ロッドレンズ、非球面レンズ、及び球面レンズのいずれをも使用することができる。
【0030】
パッケージ38には、半導体レーザ10からの後方出射光34Rが透過する窓孔40Aと光波長変換素子14からの前方出射光62が透過する窓孔40Bとが形成され、この窓孔40Aと窓孔40Bには、それぞれ透明な窓板42Aと窓板42Bとが気密状態を保つように被着されている。また、パッケージ38には、ワイヤ取出孔に低融点ガラス等を気密状態で嵌合させたワイヤ取出部44が形成され、半導体レーザ10の両電極に結線された2本のワイヤ46A、46Bがワイヤ取出部44を貫通して引き出されている。
【0031】
パッケージ38は、LD−SHGユニット20とコリメータレンズ36とを気密封止した状態で、ミラー12と共に基板48上に固定されている。ミラー12は、そのレーザビーム入射側の面にはARコート50が施され、入射側の面と反対側の面にはHRコート52が施されている。パッケージ38の窓板42Aとミラー12との間には、ホルダー54に回転可能に保持された波長選択素子としての狭帯域バンドパスフィルタ56と、レーザビーム34Rの光路を略180°折り曲げるための一対の全反射プリズム58A、58Bと、一対の全反射プリズム58A、58Bにより略180°折り曲げられた光路を再度略180°折り曲げるための一対の全反射プリズム58C、58Dと、平行光化されたレーザビーム34Rをミラー12のHRコート52の表面に収束させる集光レンズ60と、がこの順に配置されている。上記4つの全反射プリズム58A、58B、58C、及び58Dは、斜面にHRコートが設けられた直角プリズムであり、斜面が光路側を向くように配置されて、折り返し光学系を構成する。
【0032】
全反射プリズム58A、58B、及び58Cは、斜面以外の2面が基板48上に設けられた各々一対の突き当て59A、59B、及び59Cに突き当てられて位置決めされ、基板48上に固定配置される。全反射プリズム58Dは、基板48に矢印A方向に回転可能に設けられた円柱状の台座90上に固定されている。
【0033】
図5(A)及び(B)に示すように、基板48には円柱状の台座90より直径のやや大きい円柱状の穴部92が設けられている。台座90の側面には、円柱と同心円状に張り出した凸部94が設けられており、基板48の穴部92には、凸部94に対応した同心円状の凹部96が設けられている。この凹部96に凸部94が嵌合するように台座90が穴部92に配置されている。
【0034】
また、台座90の凸部94には、複数のネジ孔98(例えば、図5では3つのネジ孔)が設けられており、このネジ孔98にネジ100を貫通させることにより、ネジ100の先端部により凸部94が抑え付けられて、台座90が基板48に固定される。
【0035】
次に、上記折り返し光学系の組立て方法について説明する。折り返し光学系の組立ては各光学部材の光軸調整を行いながら実施される。まず、上述の通り全反射プリズム58A、58B、及び58Cは、基板48上に設けられた突き当て59A、59B、及び59Cにより各々位置決めされて基板48上に固定配置される。突き当て59A、59B、及び59Cの配置位置は、予め3つの全反射プリズム58A、58B、及び58Cの光路に対する反射面の角度が所定角度になるように光軸を粗調整して決定されている。
【0036】
次に、全反射プリズム58Dを台座90に固定する。そして、台座90を適宜回転させて、全反射プリズム58Dが他の3つの全反射プリズム58A、58B、及び58Cと協動して、入射されたレーザビームが反射ミラー12に所定角度で入射するように、レーザビームの反射方向、即ち全反射プリズム58Dの反射面102の光路に対する角度を調節する。そして、反射面102の光路に対する角度を調節が終了したら、ネジ100を締めて台座90を基板48に固定する。これにより光軸調整が終り折り返し光学系の組立てが完了する。
【0037】
ミラー12のHRコート52の基本波に対する反射率は95%とするのが好ましい。また、ミラー12と半導体レーザ10の前方出射端面とによって構成される外部共振器の共振器長(即ち、半導体レーザ10の前方出射端面からミラー12のHRコート52の表面までの光学長)が、半導体レーザから出射される基本波のコヒーレント長よりも長くなるように、半導体レーザ10とミラー12とが配置されている。基本波のコヒーレント長Lは、そのレーザビーム固有の可干渉距離であり、レーザビームの波長をλ、スペクトル幅をΔλとすると、下記式に従い算出することができる。基本波のコヒーレント長Lは、一般には100mm程度であるので、外部共振器の共振器長を、例えば100mmを超える長さとすることができる。
【0038】
L=λ2/2πnΔλ
また、パッケージ38の窓板42Bの外側には、光波長変換素子16の前方出射端面から出射した第2高調波62(基本波34を含む)を平行光化するコリメータレンズ64、平行光化された第2高調波62(基本波34を含む)から赤外光成分を除去するIRカットフィルタ66、第2高調波62の偏光方向を90°回転させる1/2波長板67、ハーフミラー68、及びフォトダイオード70が配置され、基板48上に固定されている。コリメータレンズ64としては、収差の少ない非球面レンズが好ましい。また、ハーフミラー68及びフォトダイオード70は、散乱光がフォトダイオード70に入射しないように、遮光板73により外部共振器を構成する光学系から遮光されている。
【0039】
IRカットフィルタ66は、光軸に対して傾斜配置され、1/2波長板67は、光軸に対して略垂直に、好ましくは光軸と直交する面と0.5°以下の角度を成すように配置されている。これは1/2波長板67を光軸に対して0.5°を超えて傾けると、光波長変換モジュールの消光比が劣化するからである。
【0040】
図2に示すように、基板48は設置台72に固定されている。基板48と設置台72との間にはペルチェ素子74が挿入されて、基板48に固定された各光学要素がペルチェ素子74により所定温度に調節される。基板48に固定された各光学要素は、基板48及びペルチェ素子74と共に、レーザビームの出射部分が透明な防塵用カバー75により覆われている。
【0041】
また、設置台72上には、第2高調波62の収束位置の近傍に、ビーム整形用遮光板としてのナイフエッジ76が固定配置されている。後述するように、光波長変換素子14のチャンネル光導波路30を1次モードで伝搬した後に出射した第2高調波62は、設置台72の設置面に対して垂直方向(基板26の厚さ方向)下部にサイドローブを有しているが、ナイフエッジ76はこのサイドローブの部分をカットするように配置されており、サイドローブがナイフエッジ76によりカットされて、得られる第2高調波62Gは、ビーム断面内の光強度分布が略ガウス分布となったガウシアンビームとなる。なお、本実施の形態では、ナイフエッジ76を第2高調波62の収束位置の近傍に配置したが、光波長変換素子14の前方出射端面に密接または近接させて配置してもよい。
【0042】
図3に示すように、半導体レーザ10は、防塵用カバー75の外に引出されたワイヤ46A、46Bを介して駆動回路78に接続されている。駆動回路78の概略構成を図4に示す。この駆動回路78は、自動出力制御機構(APC)を備えた直流電源回路80、交流電源84、及びバイアスT88からなり、バイアスT88はコイル82とコンデンサ86とから構成されており、直流電源回路80から発せられてコイル82を経た直流電源成分に、交流電源84から発せられてコンデンサ86を経た高周波が重畳され、この高周波重畳された電流が半導体レーザ10に印加される。出力する第2高調波のノイズを低減するために、重畳される高周波の周波数は100〜400MHzとするのが好ましく、変調度は100%とするのが好ましい。
【0043】
フォトダイオード70の両電極には2本のワイヤ71A、ワイヤ71Bが結線されており、ワイヤ71A、ワイヤ71Bは、防塵用カバー75の外に引出されている。フォトダイオード70は、防塵用カバー75の外に引出されたワイヤ71A、ワイヤ71Bを介してAPCを備えた直流電源回路80に接続されている。このAPCにより、第2高調波62の光出力が所定値となるように、半導体レーザ10に印加する電流量を制御する。また、ペルチェ素子74は、温度コントローラ90に接続されている。さらに、防塵用カバー75により覆われた装置内部には、装置内の温度を調節するためのサーミスタ(図示せず)が設けられており、このサーミスタも温度コントローラ90に接続されている。温度コントローラ90は、サーミスタの出力に基づいて、装置内部が使用環境で光学系が結露しない温度範囲(例えば、使用環境温度が30℃であれば、30℃以上)に維持されるようにペルチェ素子74を制御する。
【0044】
次に、上記光波長変換モジュールの動作について説明する。
【0045】
半導体レーザ10から光波長変換素子14に向かわずに後方側に発せられたレーザビーム34R(後方出射光)は、コリメータレンズ36によって平行光化され、平行光化されたレーザビーム34Rは狭帯域バンドパスフィルタ56を透過した後、一対の全反射プリズム58A及び58Bにより光路を略180°折り曲げられ、もう一対の全反射プリズム58C及び58Dにより光路を再度略180°折り曲げられて、集光レンズ60により集光されてミラー12上において収束する。ミラー12で反射されたレーザビーム34Rは、それまでの光路を逆に辿って半導体レーザ10にフィードバックされる。即ち、この装置では、ミラー12と半導体レーザ10の前方端面とによって半導体レーザ10の外部共振器が構成されている。
【0046】
この外部共振器の中に配された狭帯域バンドパスフィルタ56により、フィードバックされるレーザビーム34Rの波長が選択される。半導体レーザ10はこの選択された波長で発振し、選択波長は狭帯域バンドパスフィルタ56の回転位置に応じて変化するので、この狭帯域バンドパスフィルタ56を適宜回転させることにより、半導体レーザ10の発振波長を、光波長変換素子14のドメイン反転部28の周期と位相整合する波長に選択、ロックすることができる。
【0047】
一方、所定波長にロックされ、半導体レーザ10から前方側に発せられたレーザビーム34は、チャンネル光導波路30内に入射する。このレーザビーム34はチャンネル光導波路30をTEモードで導波し、その周期ドメイン反転領域で位相整合(いわゆる疑似位相整合)して、波長が1/2、例えばレーザビーム34の中心波長が950nmとすると475nmの第2高調波62に波長変換される。この第2高調波62もチャンネル光導波路30を導波モードで伝搬し、光導波路端面から出射する。
【0048】
なお、本発明者等の研究によると、光導波路を0次モードより1次モードで伝搬する第2高調波の方が基本波との重なり積分が大きいことが分かった。即ち、1次モードで伝搬する第2高調波と基本波とを位相整合させた方が、波長変換効率が高くなる。このため、本実施の形態では、光波長変換素子14のチャンネル光導波路30を1次モードで伝搬する第2高調波62と基本波34とが擬似位相整合するように、周期ドメイン反転構造の周期Λが設定されている。具体的には、光導波路の基本波に対する実効屈折率をnω、第2高調波に対する実効屈折率をn2ω、基本波の波長をλFとしたとき、下記式を満足するように周期Λを設定している。
【0049】
n2ω−nω=λF/2Λ
また、光導波路端面からは、波長変換されなかったレーザビーム34も発散光状態で出射し、第2高調波62と共にコリメータレンズ64によって平行光化される。光波長変換素子14の光導波路端面から出射された光は、コリメータレンズ64によって平行光化された後、IRカットフィルタ66によって基本波34が除去されて第2高調波62が分離され、1/2波長板67により第2高調波62の偏光方向が90°回転されて出射される。出射された第2高調波62は、その一部がハーフミラー68で反射されてフォトダイオード70により検出され、この検出結果に基づいてレーザビームのパワー制御が行われる。
【0050】
以上説明したように、本実施の形態に係る光波長変換モジュールでは、半導体レーザから出射されるレーザ光を所定波長にロックする際に、外部共振器の共振器長を基本波のコヒーレント長より長くして、戻り光による干渉を無くし、IL特性の直線性を維持して、波長変換波を安定に出力することができる。
【0051】
また、本実施の形態に係る光波長変換モジュールでは、折返し光学系を構成する4つの全反射プリズムのうち、3つの全反射プリズムは予め配置された突き当てにより位置決めされて基板上に固定配置され、残る1つの全反射プリズムは回転可能な台座に固定されており、この台座を適宜回転させて入射されたレーザビームが反射ミラーに所定角度で入射するように、反射面の角度を調節するので、高価な部品を使用することなく、1つの全反射プリズムの反射面の角度を調整するだけで、簡単に精度良く折り返し光学系を組立てることができる。
【0052】
また、折り返し光学系が精度良く組立てられたことにより、半導体レーザは所定波長で安定に発振することができ、この半導体レーザを用いた本実施の形態に係る光波長変換モジュールでは、波長変換効率が高くなる。
【0053】
また、斜面が光路側と反対の側を向くように配置されたプリズムを用いる場合には、プリズム内部を光が通過することによる波面収差の問題があるが、本実施の形態に係る光波長変換モジュールでは、HRコートが設けられた斜面が光路側になるように配置されたプリズムを用いることにより、波面収差の問題が解消する。
【0054】
また、光波長変換素子から出射される第2高調波の偏光方向は設置台と平行な方向であるが、偏光制御用の1/2波長板を用いて、設置台と垂直な方向に偏光した第2高調波を得ることができる。このとき光波長変換素子とIRカットフィルタとの間に1/2波長板が配置されているので、1/2波長板に到達する光からは基本波が除去されている。従って、基本波が1/2波長板により反射されて戻り光となることがなく、半導体レーザに戻り光によるノイズが発生せず、安定に波長変換波を得ることができる。
【0055】
また、本実施の形態の光波長変換モジュールでは、パッケージ内に半導体レーザ及び光波長変換素子を含む少数部品のみを気密封止するので、作製が容易である。また、気密封止される部品点数が少ないので、各部品から発生するガスによる封止された部品の経時劣化等を防止することができる。
【0056】
また、本実施の形態の光波長変換モジュールでは、半導体レーザの駆動電流に高周波を重畳して変調駆動しているため、縦モード競合が抑制される。
【0057】
上記では全反射プリズムを使用して外部共振器の光路を折り返す例について説明したが、全反射プリズムに代えて全反射ミラーを使用することもできる。この場合、全反射ミラーはその反射面が全反射プリズムの斜面の位置に対応するように配置される。全反射ミラーは、例えば金属ブロックのような保持体にHRミラーをコートしたガラスを貼り合わせて構成されていてもよい。
【0058】
【発明の効果】
上記の折り返し光学系は、簡単に精度良く組立てることができる。
【0059】
従って、本発明の波長安定化レーザは、簡単に精度良く組立て可能な折り返し光学系を備え、製造が容易であり所定波長で安定に発振することができる、という効果を奏する。
【0060】
また、本発明の光波長変換モジュールは、製造が容易であり所定波長で安定に発振することができる本発明の波長安定化レーザを用いることにより、高い波長変換効率で波長変換を行うことができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態の光波長変換モジュールの平面図である。
【図2】本実施の形態の光波長変換モジュールの光軸に沿った断面図である。
【図3】本実施の形態の光波長変換モジュールの配線を示す説明図である。
【図4】本実施の形態の光波長変換モジュールの駆動回路を示す回路図である。
【図5】(B)は本実施の形態の光波長変換モジュールを構成する折り返し光学系の1つの全反射プリズムの可動機構を示す平面図であり、(A)は(B)のA―A線断面図である。
【符号の説明】
10 半導体レーザ
12 ミラー
14 光波長変換素子
20 LD−SHGユニット
26、48 基板
28 ドメイン反転部
30 チャンネル光導波路
34R レーザビーム(後方出射光)
36、64 コリメータレンズ
38 パッケージ
42A、42B 窓板
50 ARコート
52 HRコート
56 狭帯域バンドパスフィルター
58A〜D 全反射プリズム
60 集光レンズ
62 第2高調波
66 IRカットフィルタ
67 1/2波長板
70 フォトダイオード
72 設置台
73 遮光板
74 ペルチェ素子
75 防塵用カバー
76 ナイフエッジ
78 駆動回路
90 台座
92 可動部材
100 ネジ
102 反射面
Claims (6)
- 外部共振器を構成する反射部材と、
該反射部材側にレーザビームを出射する第1の端面と、前記反射部材と共に外部共振器を構成し基本波であるレーザビームを出射する第2の端面とを備えると共に、前記外部共振器の共振長が基本波のコヒーレント長よりも長くなるように配置された半導体レーザと、
光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材とを備え、光路を折返して半導体レーザの第1の端面から出射されたレーザビームを前記反射部材に導く折返し光学系と、
を含む波長安定化レーザ。 - 前記折返し光学系は、前記第1の反射部材で反射された光が、直接前記目標位置に入射するように、前記第1の反射部材を配置した請求項1記載の波長安定化レーザ。
- 前記折返し光学系は、反射方向が所定方向になるように位置決めする位置決め手段を基板に配置し、前記複数の第2の反射部材の各々を位置決め手段によって位置決めした状態で基板に固定した請求項1または2記載の波長安定化レーザ。
- 前記折返し光学系の前記第1の反射部材及び第2の反射部材は、斜面にHRコートが設けられ、かつ斜面が光路側になるように配置されたプリズムである請求項1〜3のいずれか1項記載の波長安定化レーザ。
- 前記折返し光学系は、3つの第2の反射部材を基板に固定した請求項1〜4のいずれか1項記載の波長安定化レーザ。
- 外部共振器を構成する反射部材と、
該反射部材側にレーザビームを出射する第1の端面と、前記反射部材と共に外部共振器を構成し基本波であるレーザビームを出射する第2の端面とを備えると共に、前記外部共振器の共振長が基本波のコヒーレント長よりも長くなるように配置された半導体レーザと、
前記半導体レーザの第2の端面に直接結合されて、前記半導体レーザの第2の端面から出射された基本波を波長変換する光波長変換素子と、
光路に対する反射面の角度が調整可能でかつ基板に固定可能に配置された単一の第1の反射部材と、光路に対する反射面の角度が所定角度になるように基板に固定された複数の第2の反射部材とを備え、光路を折返して半導体レーザの第1の端面から出射されたレーザビームを前記反射部材に導く折返し光学系と、
を含む光波長変換モジュール。
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