JP2012532425A - プラズマ処理システムにおける障害の自動的な検出及び分類、並びにその方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
Claims (20)
- 基板処理中に自動的に障害状態を検出及び分類するための方法であって、
前記基板処理中に、センサのセットによって処理データを収集することと、
前記処理データを障害検出/分類コンポーネントに送信することと、
前記障害検出/分類コンポーネントによって前記処理データのデータ操作を実施することと、
前記処理データと、障害ライブラリに保存されている複数の障害モデルとの間で比較を実施することと、
を備え、
前記複数の障害モデルの各障害モデルは、特定の障害状態を特徴付けるデータのセットを表し、前記各障害モデルは、少なくとも、障害徴候と、障害境界と、主成分分析(PCA)パラメータのセットとを含む、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記障害検出/分類コンポーネントによる前記処理データの前記データ操作は、各センサチャネルについて要約統計量の計算を実施することを含み、
前記要約統計量の計算の前記実施は、前記障害状態に対して不変である第1セットのセンサチャネルを除外するために、少なくとも、前記センサデータのセットに対してプレフィルタリングを実施することを含む、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記データ操作は、更に、第2セットのセンサチャネルに対して重み付きPCAを実施することを含み、前記第2セットのセンサチャネルは、前記第1セットのセンサチャネルを含まない、方法。 - 請求項3に記載の方法であって、
前記データ操作は、更に、前記PCAパラメータのセットに基づいて、多次元PCA空間において表されるデータサンプルのセットを生成することを含む、方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記複数の障害モデルとの前記比較は、第1の障害モデルに関係付けられた障害ベクトルのセットに前記計算された処理データを相関させることを含む、方法。 - 請求項5に記載の方法であって、
前記比較は、更に、前記処理データが前記第1の障害モデルの障害境界内であるかどうかを決定することを含み、この際、 前記処理データが前記第1の障害モデルの前記障害境界内である場合に、障害状態可能性を示す警告を生成し、
前記処理データが前記第1の障害モデルの前記障害境界外である場合に、前記処理データとの比較を実施するために別の障害モデルを特定する、
方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記各障害モデルは、
複数の基板について複数のセンサデータを収集することと、
前記複数のセンサデータの各センサデータのセットに、不良センサデータセットと優良センサデータセットと未知センサデータセットのうちの1つを含む指定を割り振ることと、
障害検出に寄与するセンサデータを含まない第1セットのセンサチャネルを除外するために、複数のセンサチャネルに対してプレフィルタリングを実施することと、
によって生成され、
前記プレフィルタリングは、前記複数の基板に対して前記複数のセンサチャネルの各チャネルについて要約統計データを計算することを含む、
方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
前記各センサデータのセットの前記指定は、前記処理チャンバのコンポーネントの状態と、前記各センサデータのセットに関係付けられた基板の状態と、のうちの少なくとも1つに関係付けられた特性に基づく、方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
前記要約統計データの前記計算は、前記各チャネルについてセンサデータに対して局所的な線形適合を適用することを含む、方法。 - 請求項7に記載の方法であって、
前記プレフィルタリングは、更に、前記要約統計データの変動を計算することを含む、方法。 - プラズマ処理システムの処理チャンバ内において、基板処理中に自動的に障害状態を検出及び分類するための装置であって、
基板処理中に前記処理チャンバを監視するように及び処理データを収集するように構成されたセンサのセットと、
複数の障害モデルを保存するように少なくとも構成された障害ライブラリであって、前記複数の障害モデルの各障害モデルは、特定の障害状態を特徴付けるデータのセットを表す、障害ライブラリと、
前記処理データに対して解析を実施するように構成された障害検出/分類コンポーネントと、
を備え、
前記解析は、前記処理データを前記複数の障害モデルの少なくとも1つの障害モデルと比較することを含み、各障害モデルは、少なくとも、障害徴候と、障害境界と、主成分解析(PCA)パラメータのセットとを含む、
装置。 - 請求項11に記載の装置であって、更に、
前記障害検出/分類コンポーネントの出力に基づいて前記プラズマ処理システムを制御するように構成されたコントローラを備える装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記障害検出/分類コンポーネントによって実施される前記解析は、各データチャネルについて要約統計量の計算を実施することを含み、
前記要約統計量の計算の前記実施は、前記障害状態に対して不変である第1セットのセンサチャネルを除外するために、少なくとも、前記センサデータのセットに対してプレフィルタリングを実施することを含む、装置。 - 請求項13に記載の装置であって、
前記障害検出/分類コンポーネントによって実施される前記解析は、第2セットのセンサチャネルに対して重み付きPCAを実施することを含み、前記第2セットのセンサチャネルは、前記第1セットのセンサチャネルを含まない、装置。 - 請求項14に記載の装置であって、
前記障害検出/分類コンポーネントによって実施される前記解析は、PCAパラメータに基づいて、多次元PCA空間において表されるデータサンプルのセットを生成することを含む、装置。 - 請求項15に記載の装置であって、
前記障害検出/分類コンポーネントによって実施される前記解析は、第1の障害モデルに関係付けられた障害ベクトルのセットに前記計算された処理データを相関させることを含む、装置。 - 請求項16に記載の装置であって、
前記障害検出/分類コンポーネントによって実施される前記解析は、前記処理データが前記第1の障害モデルの障害境界内であるかどうかを決定することを含み、この際、
前記処理データが前記第1の障害モデルの前記障害境界内である場合に、障害状態可能性を示す警告を生成し、
前記処理データが前記第1の障害モデルの前記障害境界外である場合に、前記処理データとの比較を実施するために別の障害モデルを特定する、
装置。 - 請求項11に記載の装置であって、
前記各障害モデルは、
複数の基板について複数のセンサデータを収集することと、
前記複数のセンサデータの各センサデータのセットに、不良センサデータセットと優良センサデータセットと未知センサデータセットのうちの1つを含む指定を割り振ることと、
障害検出に寄与するセンサデータを含まない第1セットのセンサチャネルを除外するために、複数のセンサチャネルに対してプレフィルタリングを実施することと、
によって生成され、
前記プレフィルタリングは、前記複数の基板に対して前記複数のセンサチャネルの各チャネルについて要約統計データを計算することを含む、
装置。 - 請求項18に記載の装置であって、
前記各センサデータのセットの前記指定は、前記処理チャンバのコンポーネントの状態と、前記各センサデータのセットに関係付けられた基板の状態と、のうちの少なくとも1つに関係付けられた特性に基づく、装置。 - 請求項17に記載の装置であって、
前記要約統計データの前記計算は、前記各チャネルについてセンサデータに対して局所的な線形適合を適用することを含む、装置。
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