JP2012520455A5 - - Google Patents

Description

図１は、TDIイメージングの原理を説明する。物体12が、光源（非表示）によって照射され、物体経路14に沿って一定速度で移動する。その図において、物体12の模範的な発光点だけが図に描かれている。たとえばレンズ又はレンズ系を有する結像光学系20が、TDIセンサ22上で物体12の光学画像24を生成する。物体12が物体経路14に沿って動くと、その画像24は、画像経路26に沿ってそのTDIセンサー22を横切って移動する。示される例において、物体経路14は直線であるが、他の経路もTDIセンサー22の設計によっては予想されてよい。示される例において、画像経路26もまた直線である。物体12及びその画像24は、矢印14、26によって示されるように反対方向に動いていることに注目されたい。センサー22は、複数の平行な行28を有し、各行は、複数のピクセル（セル）を有する。それらの行22は、第1行30及び最後の行32を有する。物体12が図に示されるように初期位置にある間、物体12によって放射される光16は、第1行30に入射する。物体12が最終位置（矢印14の先端に対応する）にあると、その物体によって放射される光18は、センサー22の最後の行32に入射する。電荷が、そのTDIセンサー22のピクセル上にその光学画像24の光度及びそれらのピクセルが画像24にさらされる間の時間の両方の関数として蓄積する。その蓄積電荷は、センサー22を通って、その光学画像24の動作と同期してシフトされる。センサー22によって構成された信号は、従って、ピクセル行22の数に等しい倍数によって、同等の単純なライン・センサーの信号よりも大きい。TDIセンサー22の連続した２回の読み出しの間に、物体12は、その物体12の対象の特徴のサイズに比べてかなりのサイズであり得る走査長さの分だけ動く。しかし、TDIセンサー22全体を読み出す前における光源の切り替えなどのイメージング・モード間での切り替えは、そのセンサー22の対応画像の混合につながる可能性があることが問題である。