JP2012517030A - 狭小表面波形格子 - Google Patents
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Abstract
Description
基板上の第1および第2のパッシブ半導体導波管領域と、
前記第1および第2のパッシブ導波管領域の間に結合された、エバネセント半導体導波管領域と、
を有し、
前記パッシブまたはエバネセント導波管領域のいずれかは、第1のブラッグ反射器を有し、該第1のブラッグ反射器は、前記導波管領域の幅よりも狭い幅を有する表面波形格子を有し、前記導波管領域には、格子が形成されることを特徴とするフォトニック装置が提供される。
る:
Claims (20)
- フォトニック装置であって、
基板上の第1および第2のパッシブ半導体導波管領域と、
前記第1および第2のパッシブ導波管領域の間に結合された、エバネセント半導体導波管領域と、
を有し、
前記パッシブまたはエバネセント導波管領域のいずれかは、第1のブラッグ反射器を有し、該第1のブラッグ反射器は、前記導波管領域の幅よりも狭い幅を有する表面波形格子を有し、前記導波管領域には、格子が形成されることを特徴とするフォトニック装置。 - 前記第1のブラッグ反射器を有する前記導波管領域は、2つの対向する側壁を有し、該側壁は、前記基板の反対の上部表面で、前記導波管幅を定め、
前記表面波形格子は、格子長さに沿って、前記導波管上部表面に形成された複数の溝を有し、
前記溝の大部分の幅は、ほぼ同じ量だけ、前記導波管幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載のフォトニック装置。 - 前記第1のブラッグ反射器を有する前記導波管領域は、2つの対向する側壁を有し、該側壁は、前記基板の反対の上部表面で、前記導波管幅を定め、
前記表面波形格子は、格子長さに沿って、前記導波管上部表面に形成された複数の歯を有し、
前記歯の大部分は、ほぼ同じ量だけ、前記導波管幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載のフォトニック装置。 - 前記半導体は、シリコンを含み、前記第1のブラッグ反射器は、5から500μmの間のミラー長さを有し、
前記第1のブラッグ反射器を有する前記導波管領域は、約1から1.5μmの間の幅を有し、
前記第1の格子幅は、前記導波管幅の90%未満であることを特徴とする請求項1に記載のフォトニック装置。 - 前記半導体は、シリコンを有し、
前記エバネセント導波管領域は、前記導波管上に配置された、電気的ポンプ化発光層を有することを特徴とする請求項1に記載のフォトニック装置。 - 前記第1のパッシブ導波管領域は、前記第1のブラッグ反射器を有し、前記第2のパッシブ導波管領域は、DBRレーザを形成する第2のブラッグ反射器を有し、
前記第2のブラッグ反射器は、第2の格子幅の表面波形格子を有し、前記第2の格子幅は、前記第2のパッシブ導波管領域の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1に記載のフォトニック装置。 - 前記第1の格子幅は、前記第2の格子幅とは異なっており、前記第2の格子よりも高い格子強度を有する前記第1の格子が提供されることを特徴とする請求項6に記載のフォトニック装置。
- 前記エバネセント導波管領域は、前記第1のブラッグ反射器格子と、DFBレーザを形成する第2のブラッグ反射器格子とを有し、
前記第1および第2の格子の各々は、前記エバネセント導波管領域よりも狭い幅を有することを特徴とする請求項1に記載のフォトニック装置。 - 請求項1に記載の第1のフォトニック装置と、
請求項1に記載の第2のフォトニック装置と、
を有する機器であって、
前記第1および第2のフォトニック装置は、同じ基板上に集積されることを特徴とする機器。 - 前記第1のフォトニック装置の第1の格子幅は、前記第2のフォトニック装置の格子幅とは異なることを特徴とする請求項9に記載の機器。
- 光導波管内の表面波形格子であって、前記格子の幅は、前記光導波管の幅よりも狭く、前記格子は、レーザのアクティブ導波管部分の内部、またはレーザのアクティブ導波管部分の界面にある、光導波管内の表面波形格子と、
前記光導波管に結合され、前記レーザにより放射される光を変調する光変調器と、
を有するシステム。 - 前記光導波管は、シリコンを有し、
前記格子は、ハイブリッドシリコンエバネセントレーザの光キャビティを定めることを特徴とする請求項11に記載のシステム。 - 前記格子は、前記光導波管の上部表面に複数の溝を有し、
前記溝の大部分の幅は、ほぼ同じ量だけ、前記導波管の上部表面の幅よりも狭いことを特徴とする請求項12に記載のシステム。 - 狭小表面波形格子であって、
基板上の光導波管であって、該光導波管は、2つの対向する側壁を有し、該側壁は、前記基板の反対の上部表面の幅を定める、光導波管と、
格子長さに沿って、前記導波管の上部表面に形成された、複数の歯および該歯の間の複数の溝と、
を有し、
溝または歯の実質的に全ての幅は、前記導波管の上部表面の幅よりも狭いことを特徴とする狭小表面波形格子。 - 前記溝または歯の幅は、前記複数の大部分にわたって、ほぼ等しく、前記導波管の上部表面の幅の90%を超えないことを特徴とする請求項14に記載の狭小表面波形格子。
- 前記導波管は、シリコンを有し、前記導波管の上部表面の幅は、約1から1.5μmの間であり、前記格子長さは、約1から200μmの間であり、前記格子は、約190から250nmの間のピッチを有することを特徴とする請求項14に記載の狭小表面波形格子。
- 前記複数の溝のサブセットは、変化する溝幅を有し、前記狭小格子がアポダイズ化されることを特徴とする請求項14に記載の狭小表面波形格子。
- 狭小表面波形格子を形成する方法であって、
第1のマスク化リソグラフィ露光に基づいて、薄膜の表面に、該表面を波状にするため、複数の格子溝および該格子溝の間の複数の格子歯をパターン化するステップと、
第2のマスク化リソグラフィ露光に基づいて、前記薄膜に、導波管をパターン化するステップであって、前記導波管は、2つの対向する側壁を有し、該側壁は、導波管幅を定めるステップと、
を有し、
前記波形表面は、前記導波管側壁の間に配置され、導波管上部表面の部分が形成され、
前記溝または歯の実質的に全ての幅は、前記導波管幅よりも狭いことを特徴とする方法。 - 前記格子をパターン化するステップ、および前記導波管をパターン化するステップは、各々、
前記基板上に感光層を設置するステップと、
前記感光層を、フォトマスクを介して電磁放射線に露光するステップと、
前記露光の後、前記感光層を現像して、エッチングマスクパターンを形成するステップと、
を有することを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記電磁放射線は、約193nmの波長を有し、
前記導波管は、約1から1.5μmの幅でパターン化され、前記表面波形格子は、約1から200μmの長さ、190から250nmの間のピッチ、および約0.3μmから1.3μmの間の幅でパターン化されることを特徴とする請求項19に記載の方法。
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