JP2012516023A - コーナーキューブにより改善された光電陰極 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
本出願は、2009年1月22日に出願された米国仮出願第61/146,501号に対して、優先権を主張している。米国仮出願第61/146,501号は、参照により全体的にこの中に組み込まれている。
既に説明したように、従来の光電子放出デバイスは、量子効率が制限されていた。この制限された量子効率の1つの理由は、相反する設計条件が原因である。特に、高い確率で光電子を生成するためには、光電陰極を光学的に厚くするべきである。他方で、高い確率で光電子が検出器の真空の中へ逃げるためには、光電陰極を物理的に薄くするべきである。
図1は、本発明の実施形態に従って構成された検出器システム100を示している。システム100は、窓101と、コーナーキューブにより改善された光電陰極103と、利得媒体105と、陽極107と、読み出しデバイス109とを含んでいることが分かるであろう。光電陰極103と、利得媒体105と、陽極107は、各々、真空111に含まれている。更に、この例示的な実施形態では、窓101の一部と読み出しデバイス109の一部も、真空111に含まれている。一般的に行われているように、光電陰極103の導体と、利得媒体105の入力との間において、バイアス(バイアス1)を印加する。このようなシステムは、例えば、幾つかの検出及び/又は光増幅器の応用に使用できる。幾つかの検出及び/又は光増幅器の応用は、例えば、暗視、監視、或いは、光の反射又は放出に基づく他のこのような応用である。
図2aは、本発明の1つの実施形態に従って構成されている、コーナーキューブにより改善された光電陰極の概略図である。光電陰極103の入力/入射側表面上に、窓101を備えていて、光電陰極103の出力/真空側表面の一部として、コーナーキューブアレイを備えていることが分かるであろう。光電陰極103の真空側表面において、コーナーキューブのアレイを、例えば、成長させるか、機械加工するか、又はさもなければ、形成することができる。既に説明したように、デバイス100の動作波長に適した窓101の上に、光電陰極103を蒸着させることができる。通常行なわれているように、光電陰極は導体を更に含んでおり、バイアス1を印加して、光電子を真空111に逃げ易くすることができる。
図4は、本発明の1つの実施形態に従って、コーナーキューブにより改善された光電陰極デバイスを作成する方法を示している。デバイスは、光電陰極層の内側表面上、特に、真空側表面上に作成されたコーナーキューブのアレイを有する。コーナーキューブアレイは、光電陰極層の一部であり、従って、同じ材料である。光電陰極を最初に通った後で、電子を生成しない光子は、コーナーキューブのうちの1つによって、元の経路に沿って返されて、その結果、量子効率を高める。
図5は、本発明の別の実施形態に従って、コーナーキューブにより改善された光電陰極デバイスを作成する方法を示している。図4に関連して既に記載した実施形態に対する代わりの実施形態として、この実施形態を使用することができる。ここでは、マンドレルを使用して、コーナーキューブアレイを形成するのではなく、標準的なフォトリソグラフィを使用する。
Claims (20)
- 窓と、
光電陰極層と、
を具備し、
前記光電陰極層は、
前記窓に光学的に結合されている入射表面と、
前記光電陰極層の中に形成されているコーナーキューブアレイを有する真空側表面と、
を有し、
前記コーナーキューブアレイは、前記光電陰極層と同じ材料で作られている、
光電陰極デバイス。 - 真空とバイアスとを介して、前記真空側表面に動作可能に結合されている利得媒体と、
前記真空によって、前記利得媒体に動作可能に結合されている陽極と、
を更に具備する、請求項1の光電陰極デバイス。 - 前記陽極に動作可能に結合されている読み出しデバイス、
を更に具備する、請求項2の光電陰極デバイス。 - 前記利得媒体は、マイクロチャネルプレートを含む、請求項2の光電陰極デバイス。
- 前記利得媒体は、光電子増倍管を含む、請求項2の光電陰極デバイス。
- 前記光電陰極層は、窒化ガリウム又はセシウムテルライドを含む、請求項1の光電陰極デバイス。
- 前記コーナーキューブアレイは、150nm以下の範囲の高さを有するコーナーキューブを含む、請求項1の光電陰極デバイス。
- 前記コーナーキューブアレイは、正方形のフォーマットを有するコーナーキューブを含む、請求項1の光電陰極デバイス。
- 光電陰極デバイスを作る方法であって、
窓を提供するステップと、
光電陰極層を前記光電陰極層の入射表面によって前記窓に光学的に結合するステップと、
前記光電陰極層と同じ材料で作られているコーナーキューブアレイを、前記光電陰極層の真空側表面上に形成するステップと、
を具備する、方法。 - 真空とバイアスとを介して、利得媒体を前記真空側表面に動作可能に結合するステップと、
前記真空によって、陽極を前記利得媒体に動作可能に結合するステップと、
を更に具備する、請求項9の方法。 - 読み出しデバイスを前記陽極に動作可能に結合するステップ、
を更に具備する、請求項10の方法。 - 前記利得媒体は、マイクロチャネルプレート又は光電子増倍管を含む、請求項10の方法。
- 前記光電陰極層は、窒化ガリウム又はセシウムテルライドを含む、請求項9の方法。
- 前記コーナーキューブアレイは、150nm以下の範囲の高さを有するコーナーキューブを含む、請求項9の方法。
- 前記コーナーキューブアレイは、正方形のフォーマットを有するコーナーキューブを含む、請求項9の方法。
- 前記光電陰極層の真空側表面上に前記コーナーキューブアレイを形成する前に、前記窓の上に前記光電陰極層を形成する、請求項9の方法。
- コーナーキューブアレイの希望の寸法に対応する寸法を有するコーナーキューブのパターンを備えて構成されているマンドレル上に前記光電陰極層を形成することによって、前記光電陰極層の真空側表面上にコーナーキューブアレイを形成する、請求項9の方法。
- 前記コーナーキューブアレイを形成した後に、前記光電陰極層を前記窓に光学的に結合する、請求項17の方法。
- 窓と、
光電陰極層と、
利得媒体と、
陽極と、
読み出しデバイスと、
を具備し、
前記光電陰極層は、
前記窓に光学的に結合されている入射表面と、
前記光電陰極層の中に形成されているコーナーキューブアレイを有する真空側表面と、を有し、
前記コーナーキューブアレイは、前記光電陰極層と同じ材料で作られていて、
前記コーナーキューブアレイは、正方形のフォーマットと、150nm以下の範囲の高さと、を有するコーナーキューブを含み、
前記利得媒体は、真空とバイアスとを介して、真空側表面に動作可能に結合されていて、
前記陽極は、前記真空によって、前記利得媒体に動作可能に結合されていて、
読み出しデバイスは、前記陽極に動作可能に結合されている、
光電陰極デバイス。 - 前記利得媒体は、マイクロチャネルプレート又は光電子増倍管を含み、
前記光電陰極層は、窒化ガリウム又はセシウムテルライドを含む、請求項19の光電陰極デバイス。
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