JP2012510557A - 窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物 - Google Patents
窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012510557A JP2012510557A JP2011539558A JP2011539558A JP2012510557A JP 2012510557 A JP2012510557 A JP 2012510557A JP 2011539558 A JP2011539558 A JP 2011539558A JP 2011539558 A JP2011539558 A JP 2011539558A JP 2012510557 A JP2012510557 A JP 2012510557A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing
- silicide
- sio
- composition according
- mixture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C8/00—Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
- C03C8/24—Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions, i.e. for use as seals between dissimilar materials, e.g. glass and metal; Glass solders
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B37/00—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
- C04B37/003—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts
- C04B37/005—Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating by means of an interlayer consisting of a combination of materials selected from glass, or ceramic material with metals, metal oxides or metal salts consisting of glass or ceramic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5022—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with vitreous materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/86—Glazes; Cold glazes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
- H01J9/26—Sealing together parts of vessels
- H01J9/265—Sealing together parts of vessels specially adapted for gas-discharge tubes or lamps
- H01J9/266—Sealing together parts of vessels specially adapted for gas-discharge tubes or lamps specially adapted for gas-discharge lamps
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/04—Ceramic interlayers
- C04B2237/06—Oxidic interlayers
- C04B2237/062—Oxidic interlayers based on silica or silicates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/04—Ceramic interlayers
- C04B2237/06—Oxidic interlayers
- C04B2237/066—Oxidic interlayers based on rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/04—Ceramic interlayers
- C04B2237/09—Ceramic interlayers wherein the active component for bonding is not the largest fraction of the interlayer
- C04B2237/095—The active component for bonding being silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/02—Aspects relating to interlayers, e.g. used to join ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/10—Glass interlayers, e.g. frit or flux
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/36—Non-oxidic
- C04B2237/366—Aluminium nitride
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Sealing Material Composition (AREA)
Abstract
SiO2と、少なくとも1種の他の金属酸化物と、金属ケイ素又はケイ化物の少なくとも1種を含むケイ素添加剤との混合物を含む窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物を提供する。このケイ素添加剤は、例えば高輝度放電ランプ用のセラミック放電管の場合のように、窒化アルミニウム又は酸窒化アルミニウムセラミックから構成される物品の封止中に窒素気泡の形成を抑制するように作用する。
Description
技術分野
本発明は、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックに関するものであり、特に、かかるセラミックの、高輝度放電(HID)ランプ、例えば、メタルハライドランプ及び高圧ナトリウムランプ(HPS)におけるアーク放電管のための使用に関するものである。
本発明は、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックに関するものであり、特に、かかるセラミックの、高輝度放電(HID)ランプ、例えば、メタルハライドランプ及び高圧ナトリウムランプ(HPS)におけるアーク放電管のための使用に関するものである。
発明の背景
メタルハライドランプ及び高圧ナトリウムランプは、セラミック材料から作られた放電管を使用するランプの2つの例である。このセラミック材料の堅牢さにより、より腐食性の高い化学充填剤を使用することが可能になり、また、放電管をさらに高い温度で操作することが可能になる。一般にはフリットと呼ばれている封止用組成物は、電極のフィードスルー部分と放電管のセラミック体との気密シールを形成させるために使用されるものである。また、この封止用組成物は、放電管をなすセラミック片を互いに結合させるためにも使用できる。
メタルハライドランプ及び高圧ナトリウムランプは、セラミック材料から作られた放電管を使用するランプの2つの例である。このセラミック材料の堅牢さにより、より腐食性の高い化学充填剤を使用することが可能になり、また、放電管をさらに高い温度で操作することが可能になる。一般にはフリットと呼ばれている封止用組成物は、電極のフィードスルー部分と放電管のセラミック体との気密シールを形成させるために使用されるものである。また、この封止用組成物は、放電管をなすセラミック片を互いに結合させるためにも使用できる。
図1は、従来のセラミックメタルハライドランプ用の放電管1を示している。この放電管1は、化学物質充填剤8が充填された中空セラミック体6を備え、セラミック毛管2に電極14が通されている。放電管は、半割片17a、bを有し、これらは、継目部5で結合しており、ここで、電極端部3は各半割片の内部にあり、放電室12に延びている。毛管の遠位端部は、それぞれのフリットシール9でそれぞれ封止されている。この目的のための従来のAl2O3−Dy2O3−SiO2封止用組成物は、米国特許第4,076,991号に記載されている。
半透明多結晶アルミナ(PCA)は、セラミック放電管を作成するために群を抜いて最適なセラミック材料であった。PCAは、依然として広範囲で使用されているにもかかわらず、いくらかのHID用途には使用されていない。というのは、半透明に過ぎず、透明ではないからである。特に、PCA放電管は、通常、映写用電球及び自動車前照灯などの焦点ビーム、ショートアークランプには適さない。これらの用途については、酸化アルミニウムの透明サファイア(単結晶)形が使用される。さらに、PCA放電管は、メタルハライドランプにおけるクオーツアーク管よりも優れているものの、希土類元素ハロゲン化物充填剤と反応し、このようなランプの耐久性及び寿命を制限する場合がある。
酸窒化アルミニウム(AlON)は、見込まれるPCA代替品として特定された透明セラミック材料である。例えば、特開平09−92206号公報並びに米国特許第5,924,904号及び同5,231,062号を参照されたい。AlONは、立方スピネル型構造と、一般に実験式Al(64+x)/3O32-xNx(ここで、2.75≦x≦5である)によって表すことができる組成とを有する。AlONの機械的強度及び熱膨張はPCAのそれらに近いため、AlONは、高輝度放電ランプ内での応力に耐えることができるはずである。
窒化アルミニウム(AlN)は、多結晶酸化アルミニウムよりも希土類金属ハロゲン化物充填剤の腐食作用に対する抵抗性が高いことが示されている。十分に緻密な焼結AlNセラミックは半透明にしか過ぎず、透明ではないが、メタルハライドランプにとってはこの優れた耐食性が望ましい。例えば、セラミックメタルハライドランプためにAlNアーク放電管を使用することが欧州特許出願公開第0371315A1及び国際公開第WO03/060952号に記載されている。
これら窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックの潜在的な利点にもかかわらず、依然として、HIDランプ用途に使用するために考慮すべきこれらの材料についての克服しなければならない多数の技術的問題点がある。これは、特に、これらのセラミックと、放電管を封止するために使用される従来のシリカ含有ガラス/セラミックフリット材料との反応である。上記のように、このフリットの機能は、放電管のセラミック体を、特に電極集合体のフィードスルー部分に気密シールすることである。封止操作中に、溶融フリットと窒化アルミニウム又は酸窒化アルミニウムセラミックとが接触することで、窒素ガスを放出する反応が誘導される。この反応により放出された窒素のほとんどは溶融フリットには吸収され得ないので、気泡としてフリットシールに逃げる。これらの気泡は、特に放電管内により高い圧力が存在する場合、気密シールの品質と機能を低下させ、それによりランプが早く故障してしまう原因となる場合がある。
米国特許第7,362,053号には、酸窒化アルミニウム放電管の封止領域内での気泡形成を、該封止領域内に反応性の低い表面層を形成させることによって最小化するための方法が記載されている。一実施形態では、これは、少なくともこの放電管の封止領域を還元性雰囲気中で加熱することによって達成される。別の実施形態では、酸化アルミニウム層は、封止中に溶融フリットと酸窒化アルミニウム容器とのバリアとして作用するように、封止領域内に被覆されている。
このような方法は効果的ではあるが、焼結放電管に追加の処理を必要とすることなく封止内での気泡形成を低減し又はなくすような方法で封止用フリット組成物を配合することができれば、より単純でより有益なものとなるであろう。
発明の概要
従来技術の不利益を克服することが本発明の目的である。
従来技術の不利益を克服することが本発明の目的である。
フリットシール内での気泡形成を低減させる又はなくす、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物を提供することが本発明の別の目的である。
本発明の目的に従って、SiO2と、少なくとも1種の他の金属酸化物と、金属ケイ素又はケイ化物の少なくとも1種を含むケイ素添加剤との混合物を含む窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物を提供する(ここで使用するときに、ケイ素及びシリカは、それぞれ金属及び金属酸化物とみなす。)。好ましくは、他の金属酸化物は、Al2O3、Dy2O3、CeO2、Gd2O3、Y2O3、Eu2O3、Tm2O3、Ho2O3、CaO、MgO、BaO、La2O3、V2O5、WO3、MoO3及びZrO2から選択される。より好ましくは、他の金属酸化物は、Al2O3、Dy2O3、CeO2、Y2O3、CaO及びMgOから選択される。ケイ化物、好ましくは、W、Mo、Ta、Nb、Pd、Re、Pt又はRhのケイ化物である。より好ましくは、ケイ化物は、ケイ化タングステン又はケイ化モリブデンである。
好ましい実施形態では、封止用組成物は、少なくとも1重量%のSiO2を含有する。
さらに好ましい実施形態では、封止用組成物は、金属ケイ素粉末と、20重量%Al2O3、15重量%SiO2及び65重量%Dy2O3から本質的になる酸化物混合物との混合物から本質的になる。
発明の詳細な説明
本発明を、その他の目的及びさらなる目的、利点及び能力と共にさらによく理解するために、次の開示及び添付した請求の範囲を上記図面と共に参照されたい。
本発明を、その他の目的及びさらなる目的、利点及び能力と共にさらによく理解するために、次の開示及び添付した請求の範囲を上記図面と共に参照されたい。
セラミック放電管を封止するための好ましいフリット材料は、Dy2O3−Al2O3−SiO2ガラス−セラミック系である。この系は、そのハロゲン化物抵抗性と有利な溶融及び熱膨張特性のため、PCA放電管を封止するために照明製造者により幅広く使用されている。このDy2O3−Al2O3−SiO2フリットシールは、Dy−Al−Si−Oガラス質マトリックス内にあるDA(3Dy2O3−5Al2O3)及びDS(Dy−Si−O)結晶相からなる。PCA部分に封止されると、このPCA部分からのアルミナのいくらかは、フリット−PCA境界面のフリット中に溶解するが、これらPCA部分のフリットシール内には通常は気泡が全く存在しない。前述のように、同じフリットを窒化アルミニウム又は酸窒化アルミニウム部分と共に使用する場合には、そうはならない。
2価の金属酸化物と窒化アルミニウムとの一般的な反応は、次のように表すことができる:
2/nMeOn+4/3AlN→2/3Al2O3+2/3N2+2/nMe。
2/nMeOn+4/3AlN→2/3Al2O3+2/3N2+2/nMe。
封止用フリット中のシリカ(SiO2)について、反応は次のとおりである:
SiO2+4/3AlN→2/3Al2O3+2/3N2+Si。
SiO2+4/3AlN→2/3Al2O3+2/3N2+Si。
ギブズ自由エネルギー変化(ΔG)は、封止中における窒素の放出に好都合な封止プロセス温度では負である。酸窒化アルミニウムの場合にも類似の反応が起こり、封止中に窒素ガスが放出される。窒素の全てが溶融フリット材料に吸収できるわけではないので、図2の顕微鏡写真に示すように気泡形成が生じる。
本発明は、ケイ素をシリカ含有封止用フリットに添加して気泡形成を低減させる。特に、粉末金属ケイ素やケイ化タングステン又はケイ化モリブデンなどの粉末ケイ化物の状態のケイ素添加剤を使用して反応平衡を反応物の方にシフトさせ、それによって窒素の放出を減少させ、かつ、気泡の形成を低減させる。好ましくは、ケイ素添加剤は、封止用組成物の0.1〜5重量パーセント(重量%)を占める。より好ましくは、ケイ素添加剤は、封止用組成物の0.5〜2.5重量パーセント(重量%)を占める。使用できる他のケイ化物としては、Ta、Nb、Pd、Re、Pt及びRhのケイ化物が挙げられる。
ここで使用するときに、シリカ含有フリットとは、少なくとも1重量%SiO2を含有するフリット(又は封止用組成物)を意味する。シリカは、次の二つの目的で添加される:(1)フリットの融点を低下させるため、及び(2)ガラス質相又は非晶相を生じさせるためである。水銀のような揮発性材料が放電管の最後の封止の間に失われないように、融点を低下させることが重要である。例えば、Dy2O3−Al2O3フリットは、シリカがなければ≧1760℃で溶融するが、シリカを添加すると、〜1540℃まで融点を低下させることができる。また、シリカを添加すると、SiO2なしのフリットで観察される完全結晶相の代わりに、ガラス質相又は非晶相が生じる。ガラス質相は、凝固の間の体積変化が緩やかで、しかも非常に小さいため、封止部は亀裂がないままである。結晶相は、典型的には、凝固中に5〜20%の急激な体積変化が生じるところ、これは、封止部内に亀裂を生じ、封止部が機械的に脆弱になり、気密性を欠く原因となる。他のシリカ含有フリットの例としては、CeO2−Al2O3−SiO2、Gd2O3−Al2O3−SiO2、Y2O3−Al2O3−SiO2及びEu2O3−Al2O3−SiO2が挙げられる。上記金属酸化物の他に、次の追加の金属酸化物を封止用組成物に使用することもできる:Tm2O3、Ho2O3、CaO、MgO、BaO、La2O3、V2O5、WO3、MoO3及びZrO2。
例
図2は、20重量%Al2O3、15重量%SiO2及び65重量%Dy2O3からなるフリット(20Al2O3−15SiO2−65Dy2O3)で封止された窒化アルミニウム毛管の断面顕微鏡写真である。封止部内に気泡が存在することが容易に見てとれる。
図2は、20重量%Al2O3、15重量%SiO2及び65重量%Dy2O3からなるフリット(20Al2O3−15SiO2−65Dy2O3)で封止された窒化アルミニウム毛管の断面顕微鏡写真である。封止部内に気泡が存在することが容易に見てとれる。
図3は、図1で使用した同じ20Al2O3−15SiO2−65Dy2O3フリットであるが、ただし、酸化物混合物の重量に基づいて5重量%Siを添加したもので封止した同様の窒化アルミニウム毛管の断面顕微鏡写真である。この場合、フリット中には識別可能な気泡は全く存在しないところ、これは、Siを添加することで、封止プロセス中における窒素の放出が抑制されたことを示唆するものである。
現時点で本発明の好ましい実施形態であるとみなされるものを示しかつ説明してきたが、当業者であれば、添付した請求の範囲に規定されるような本発明の範囲から逸脱することなく様々な変更及び改変をなし得ることは明白であろう。
1 放電管
2 セラミック毛管
3 電極端部
5 継目部
6 中空セラミック体
8 化学物質充填剤
12 放電質
14 電極
17 半割片
2 セラミック毛管
3 電極端部
5 継目部
6 中空セラミック体
8 化学物質充填剤
12 放電質
14 電極
17 半割片
Claims (17)
- SiO2と、少なくとも1種の他の金属酸化物と、金属ケイ素又はケイ化物の少なくとも1種を含むケイ素添加剤との混合物を含む窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物。
- 前記少なくとも1種の他の金属酸化物がAl2O3、Dy2O3、CeO2、Gd2O3、Y2O3、Eu2O3、Tm2O3、Ho2O3、CaO、MgO、BaO、La2O3、V2O5、WO3、MoO3及びZrO2から選択される、請求項1に記載の封止用組成物。
- 前記ケイ化物がW、Mo、Ta、Nb、Pd、Re、Pt又はRhのケイ化物である、請求項1に記載の封止用組成物。
- 前記ケイ化物がW、Mo、Ta、Nb、Pd、Re、Pt又はRhのケイ化物である、請求項2に記載の封止用組成物。
- 前記混合物が少なくとも1重量%のSiO2を含有する、請求項1に記載の封止用組成物。
- 前記混合物がAl2O3及びDy2O3を含有する、請求項1に記載の封止用組成物。
- 前記少なくとも1種の他の金属酸化物がAl2O3、Dy2O3、CeO2、Y2O3、CaO及びMgOから選択される、請求項1に記載の封止用組成物。
- 前記ケイ化物がケイ化タングステン又はケイ化モリブデンである、請求項1に記載の封止用組成物。
- 前記ケイ化物がケイ化タングステン又はケイ化モリブデンである、請求項7に記載の封止用組成物。
- 前記混合物が少なくとも1重量%のSiO2を含有する、請求項9に記載の封止用組成物。
- 窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物であって、SiO2と、Al2O3、Dy2O3、CeO2、Gd2O3、Y2O3、Eu2O3、Tm2O3、Ho2O3、CaO、MgO、BaO、La2O3、V2O5、WO3、MoO3及びZrO2から選択される少なくとも1種の他の金属酸化物と、金属ケイ素又はW、Mo、Ta、Nb、Pd、Re、Pt若しくはRhのケイ化物の少なくとも1種を含むケイ素添加剤との混合物を含み、該混合物が少なくとも1重量%のSiO2を含む、前記封止用組成物。
- 前記ケイ素添加剤が前記混合物の0.1〜5重量パーセントを占める、請求項11に記載の封止用組成物。
- 前記ケイ素添加剤が前記混合物の0.5〜2.5重量パーセントを占める、請求項11に記載の封止用組成物。
- 前記少なくとも1種の他の金属酸化物がAl2O3、Dy2O3、CeO2、Y2O3、CaO及びMgOから選択される、請求項12に記載の封止用組成物。
- 前記ケイ化物がケイ化タングステン又はケイ化モリブデンである、請求項12に記載の封止用組成物。
- 金属ケイ素粉末と、20重量%Al2O3、15重量%SiO2及び65重量%Dy2O3から本質的になる酸化物混合物との混合物から本質的になる封止用組成物。
- 前記金属ケイ素粉末の量が前記酸化物混合物の重量の5%である、請求項16に記載の封止用組成物。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/327,207 US7659220B1 (en) | 2008-12-03 | 2008-12-03 | Sealing composition for sealing aluminum nitride and aluminum oxynitride ceramics |
US12/327,207 | 2008-12-03 | ||
PCT/US2009/064602 WO2010065278A2 (en) | 2008-12-03 | 2009-11-16 | Sealing composition for sealing aluminum nitride and aluminum oxynitride ceramics |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012510557A true JP2012510557A (ja) | 2012-05-10 |
Family
ID=41646424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011539558A Pending JP2012510557A (ja) | 2008-12-03 | 2009-11-16 | 窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7659220B1 (ja) |
EP (1) | EP2364338A4 (ja) |
JP (1) | JP2012510557A (ja) |
CN (1) | CN102239227A (ja) |
WO (1) | WO2010065278A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018016419A1 (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用部品の製造方法、および、半導体製造装置用部品 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7362053B2 (en) * | 2005-01-31 | 2008-04-22 | Osram Sylvania Inc. | Ceramic discharge vessel having aluminum oxynitride seal region |
US7936128B2 (en) * | 2008-07-28 | 2011-05-03 | Osram Sylvania Inc. | Frit seal material, lamp with frit seal, and method for sealing a high intensity discharge lamp |
US7659220B1 (en) * | 2008-12-03 | 2010-02-09 | Osram Sylvania Inc. | Sealing composition for sealing aluminum nitride and aluminum oxynitride ceramics |
CN102586730A (zh) * | 2011-01-17 | 2012-07-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 镀膜件及其制备方法 |
RU2608078C2 (ru) * | 2011-05-06 | 2017-01-13 | Филипс Лайтинг Холдинг Б.В. | Уплотнительный компаунд и керамический разрядный баллон, содержащий такой уплотнительный компаунд |
CN105601114A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-05-25 | 西北工业大学 | 一种用于SiC/SiC复合材料核包壳管端口封装的封装剂 |
CN107365155B (zh) * | 2017-06-27 | 2020-09-18 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种氮化铝陶瓷的低温烧结助剂体系 |
KR20230004730A (ko) * | 2020-05-26 | 2023-01-06 | 헤레우스 코나믹 노스 아메리카 엘엘씨 | 다수의 조각으로 형성된 플라즈마 저항성 세라믹체 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04300249A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-23 | Kawasaki Steel Corp | 窒化アルミニウムヒータ用抵抗体及び抵抗ペースト組成物 |
WO2001067488A1 (fr) * | 2000-03-08 | 2001-09-13 | Japan Storage Battery Co., Ltd. | Lampe a decharge electrique |
JP2004220784A (ja) * | 2002-05-10 | 2004-08-05 | Ngk Insulators Ltd | 接合体、高圧放電灯用組み立て体および高圧放電灯 |
JP2006216546A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-17 | Osram Sylvania Inc | セラミック放電容器 |
JP2008108690A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Toto Ltd | セラミック発光管用封止ガラス及びそれを用いたセラミック放電ランプ |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3588573A (en) | 1967-12-29 | 1971-06-28 | Westinghouse Electric Corp | Alumina-rare earth oxide ceramic to metal seals for containing high temperature vapors |
JPS5359897A (en) * | 1976-11-10 | 1978-05-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Resistor compound |
US4122047A (en) * | 1977-03-04 | 1978-10-24 | Isaac Meisels | Production of polyester foam |
US4076991A (en) | 1977-05-06 | 1978-02-28 | General Electric Company | Sealing materials for ceramic envelopes |
US4103200A (en) | 1977-05-13 | 1978-07-25 | Westinghouse Electric Corp. | Arc tube end seal and method of forming |
US4291250A (en) | 1979-05-07 | 1981-09-22 | Westinghouse Electric Corp. | Arc discharge tube end seal |
JPS55148307A (en) * | 1979-05-08 | 1980-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Glazing heater |
JPS5933241B2 (ja) * | 1979-11-12 | 1984-08-14 | 松下電器産業株式会社 | グレ−ズ抵抗材料 |
FR2482327A1 (fr) * | 1980-03-28 | 1981-11-13 | Elam Ltd | Dispositif de commande des variations dans le temps de la puissance d'une installation d'eclairage en fonction d'un programme pre-etabli |
NL8101177A (nl) * | 1981-03-11 | 1982-10-01 | Philips Nv | Samengesteld lichaam. |
US4678807A (en) * | 1984-03-01 | 1987-07-07 | Baxter Travenol Laboratories, Inc. | Method for directed visceral metabolism of medium chain triglycerides |
JPS6110083A (ja) * | 1984-06-26 | 1986-01-17 | 岩崎電気株式会社 | 封着用組成物 |
JPS6186445A (ja) * | 1984-10-03 | 1986-05-01 | Iwasaki Electric Co Ltd | 封着用組成物 |
JPH0679988B2 (ja) * | 1984-11-30 | 1994-10-12 | 京セラ株式会社 | 窒化物セラミツク体へのメタライズ方法 |
EP0237103B1 (en) * | 1986-03-11 | 1991-11-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Composite body |
GB8816510D0 (en) * | 1988-07-12 | 1988-08-17 | Emi Plc Thorn | Improvements in/relating to discharge lamp arc tubes |
DE3840577A1 (de) | 1988-12-01 | 1990-06-07 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Entladungsgefaess fuer eine hochdruckentladungslampe und verfahren zu dessen herstellung |
US5231062A (en) | 1990-08-09 | 1993-07-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Transparent aluminum oxynitride-based ceramic article |
US5578533A (en) * | 1993-10-01 | 1996-11-26 | Asahi Glass Company Ltd. | Ceramic color composition and process for producing a curved surface glass sheet employing it |
EP0704880A3 (en) | 1994-09-28 | 1998-09-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | High-pressure discharge lamp, method for manufacturing a discharge tube body for high-pressure discharge lamps and method for manufacturing a hollow tube body |
CN1095193C (zh) * | 1995-01-13 | 2002-11-27 | 日本碍子株式会社 | 高压放电灯及其制造方法 |
DE19727304C1 (de) * | 1997-06-27 | 1998-12-24 | Didier Werke Ag | Dichtungsmasse und Dichtung |
RU2190584C2 (ru) * | 2000-11-28 | 2002-10-10 | Государственное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов" | Защитное покрытие |
AU2002356372A1 (en) * | 2002-01-15 | 2003-07-30 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | High-pressure discharge lamp |
DE50306515D1 (de) * | 2002-06-14 | 2007-03-29 | Univ Dresden Tech | Verfahren zur herstellung von gasdichten und hochtemperaturbeständigen verbindungen von formteilen aus nichtoxidischer keramik mittels laser |
KR100817774B1 (ko) | 2004-02-09 | 2008-03-31 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 메탈라이즈드 세라믹스 성형체, 그 제법 및 펠티에 소자 |
US7741780B2 (en) * | 2007-02-26 | 2010-06-22 | Osram Sylvania Inc. | Ceramic discharge vessel having a sealing composition |
US7659220B1 (en) * | 2008-12-03 | 2010-02-09 | Osram Sylvania Inc. | Sealing composition for sealing aluminum nitride and aluminum oxynitride ceramics |
-
2008
- 2008-12-03 US US12/327,207 patent/US7659220B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-11-16 WO PCT/US2009/064602 patent/WO2010065278A2/en active Application Filing
- 2009-11-16 CN CN2009801482831A patent/CN102239227A/zh active Pending
- 2009-11-16 JP JP2011539558A patent/JP2012510557A/ja active Pending
- 2009-11-16 EP EP09830835A patent/EP2364338A4/en not_active Withdrawn
-
2010
- 2010-01-20 US US12/690,587 patent/US7741237B1/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04300249A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-23 | Kawasaki Steel Corp | 窒化アルミニウムヒータ用抵抗体及び抵抗ペースト組成物 |
WO2001067488A1 (fr) * | 2000-03-08 | 2001-09-13 | Japan Storage Battery Co., Ltd. | Lampe a decharge electrique |
JP2004220784A (ja) * | 2002-05-10 | 2004-08-05 | Ngk Insulators Ltd | 接合体、高圧放電灯用組み立て体および高圧放電灯 |
JP2006216546A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-17 | Osram Sylvania Inc | セラミック放電容器 |
JP2008108690A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Toto Ltd | セラミック発光管用封止ガラス及びそれを用いたセラミック放電ランプ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018016419A1 (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用部品の製造方法、および、半導体製造装置用部品 |
JPWO2018016419A1 (ja) * | 2016-07-20 | 2018-07-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 半導体製造装置用部品の製造方法、および、半導体製造装置用部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2010065278A3 (en) | 2010-08-12 |
EP2364338A2 (en) | 2011-09-14 |
US20100134005A1 (en) | 2010-06-03 |
US7659220B1 (en) | 2010-02-09 |
EP2364338A4 (en) | 2012-05-09 |
US7741237B1 (en) | 2010-06-22 |
WO2010065278A2 (en) | 2010-06-10 |
CN102239227A (zh) | 2011-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012510557A (ja) | 窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムセラミックを封止するための封止用組成物 | |
JP3424516B2 (ja) | ハロゲン電球およびその製造方法 | |
US7964235B2 (en) | Method of treating a ceramic discharge vessel | |
TWI333669B (en) | Cold cathode fluorescent lamp with molybdenum electrode | |
JP2008124037A (ja) | 高圧放電ランプ | |
JPH0265046A (ja) | 発光管および該発光管を備える高圧放電ランプ | |
JP2002316884A (ja) | セラミックメタルハライドランプ用高透過率アルミナ | |
JP2004355888A (ja) | 接合体、発光容器および高圧放電灯用組み立て体 | |
JP2011090924A (ja) | エキシマランプ | |
JP2007103361A (ja) | 照明装置、特に高圧メタルハライドランプ | |
JP2009518794A (ja) | メタルハライドランプ | |
JP2011529442A (ja) | フリットシール材料、フリットシールを有するランプ、及び高輝度放電ランプのシール方法 | |
US7952282B2 (en) | Brazing alloy and ceramic discharge lamp employing same | |
JP3627395B2 (ja) | 金属蒸気放電灯 | |
JPS63136456A (ja) | 金属蒸気放電灯 | |
JP4265895B2 (ja) | 放電灯及びそのバルブ | |
JP3635796B2 (ja) | 金属蒸気放電灯 | |
JP4159048B2 (ja) | 接合体、発光容器、高圧放電灯用組み立て体および高圧放電灯 | |
JP2000100385A (ja) | 高圧放電灯 | |
JP2007528102A (ja) | 電気放電ランプ | |
JPH11213949A (ja) | セラミック製放電ランプ | |
JPH0785846A (ja) | 管 球 | |
KR20070057991A (ko) | 밀봉 호일을 갖는 전기 램프 | |
JPS59103266A (ja) | 放電ランプ | |
JPS60100358A (ja) | アルカリ金属蒸気放電灯 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131029 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140715 |