JP2012254642A

JP2012254642A - バックグラインド用研削テープの製造方法及びバックグラインド用研削テープの製造装置

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Publication number: JP2012254642A
Application number: JP2012202845A
Authority: JP
Inventors: Takateru Oyama; 高輝大山; Tadao Torii; 忠雄鳥居
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2012-09-14
Filing date: 2012-09-14
Publication date: 2012-12-27
Anticipated expiration: 2027-10-02
Also published as: JP5350526B2

Abstract

【課題】金網と金属不織布とを積層構成したフィルタを使用し、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中のゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することにより、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造可能なバックグラインド用研削テープの製造方法及び製造装置を提供する。
【解決手段】２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタとからフィルタ５を構成する。
【選択図】図２

Description

本発明は、溶融樹脂から半導体ウェハのバックグラインド用研削テープを製造するについて、溶融樹脂に含有されフィッシュアイの原因となるゲル成分等を効率的に濾過精製することにより、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造可能なバックグラインド用研削テープの製造方法、及び、その製造装置に関する。

従来より、樹脂押出機より押し出された溶融樹脂を樹脂体成形装置に供給し、樹脂ペレットや樹脂フィルム等の各種形態の樹脂体を製造するに際して、樹脂押出機と樹脂体成形装置とを連結する樹脂供給路に溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタを配設し、かかるフィルタを介して溶融樹脂の濾過精製を行うことにより、樹脂体成形装置にて成形される樹脂体におけるフィッシュアイを低減するように構成された各種の樹脂製造方法が提案されている。

例えば、特開２００３−３４２３１８号公報には、高圧重合法によるエチレン共重合体樹脂を製造するに際して、溶融樹脂温度を少なくとも２３０℃以上に保持しつつ、溶融樹脂を造粒成形する造粒押出機に微細フィルタを設けたエチレン共重合体樹脂の製造方法が記載されている。

前記エチレン共重合体樹脂の製造方法に使用される微細フィルタとしては、例えば、２００メッシュ以上の金網フィルタや濾過精度が５０μｍ以上の金属繊維焼結フィルタが使用される。

特開２００３−３４２３１８号公報（第１ページ〜第４ページ、図１）

しかしながら、前記特許文献１に記載されたエチレン共重合体樹脂の製造方法に使用されている微細フィルタを構成する金網フィルタや金属繊維焼結フィルタは、いずれも単独で使用されるものである。かかる場合、各フィルタの特性に基づきフィッシュアイの原因となる架橋ゲルが濾過精製されるものであるが、その濾過精製能力は、金網フィルタ又は金属繊維焼結フィルタの単独による濾過精製能力に限定される。

これよりすれば、前記したエチレン共重合体樹脂の製造方法に使用されている微細フィルタによっては、濾過精製能力の飛躍的向上を望むことはできず、更なるフィッシュアイの低減を図ることはできない。

本発明は前記従来技術における問題点を解消するためになされたものであり、金網と金属不織布とを積層構成したフィルタを使用し、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中のゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することにより、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造可能なバックグラインド用研削テープの製造方法、及び、その製造装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため請求項１に係るバックグラインド用研削テープの製造方法は、高圧で押し出された溶融樹脂をフィルタに供給するとともに、フィルタを通過した溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを製造するバックグラインド用研削テープの製造方法において、前記フィルタは、２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とする。

請求項２に係るバックグラインド用研削テープの製造方法は、請求項１に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法において、前記溶融樹脂はエチレン共重合樹脂であることを特徴とする。

請求項３に係るバックグラインド用研削テープの製造方法は、請求項２に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法において、前記エチレン共重合樹脂はエチレン酢酸ビニル共重合樹脂であることを特徴とする。

請求項４に係るバックグラインド用研削テープの製造装置は、樹脂押出機と、前記樹脂押出機から押し出された溶融樹脂を案内供給する樹脂供給路と、前記樹脂供給路から案内供給された溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを成形するバックグラインド用研削テープ成形装置と、前記樹脂供給路に配設され、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタとを備え、前記フィルタは、２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とする。

請求項１に係るバックグラインド用研削テープの製造方法では、溶融樹脂を濾過精製するフィルタが、２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えており、溶融樹脂がフィルタを通過する際に先ず金網フィルタを構成する２つの金網の内１つの金網により補強された５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網を介して溶融樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物が捕集されるとともに架橋ゲルの細分化が行われ、続いて濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを介して金網フィルタにより細分化された架橋ゲルが効率的に捕集される。
このように、金網フィルタと金属不織布フィルタとを積層することによりフィルタが構成されているので、金網フィルタによるフィルティング効果と金属不織布フィルタのフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することが可能となり、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造することができる。

また、請求項２に記載されているように、前記製造方法で使用される溶融樹脂としてはエチレン共重合樹脂が使用され、特に、請求項３に記載されているようにエチレン共重合樹脂としてはエチレン酢酸ビニル共重合樹脂が望ましい。

請求項４に係るバックグラインド用研削テープの製造装置では、樹脂押出機と、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂を案内供給する樹脂供給路と、樹脂供給路から案内供給された溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを成形するバックグラインド用研削テープ成形装置と、樹脂供給路に配設され、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタとを備え、フィルタが２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えており、溶融樹脂がフィルタを通過する際に先ず金網フィルタを構成する２つの金網の内１つの金網により補強された５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網を介して溶融樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物が捕集されるとともに架橋ゲルの細分化が行われ、続いて濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを介して金網フィルタにより細分化された架橋ゲルが効率的に捕集される。
このように、金網フィルタと金属不織布フィルタとを積層することによりフィルタが構成されているので、金網フィルタによるフィルティング効果と金属不織布フィルタのフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することが可能となり、フィッシュアイを格段に低減したバックグラインド用研削テープを製造することができる。

本実施形態に係るバックグラインド用研削テープとして使用される樹脂フィルムを製造する樹脂フィルム製造装置を模式的に示す説明図である。フィルタリングユニットに内蔵されるフィルタの構成を模式的に示す模式断面図である。金網フィルタにおける金網のメッシュサイズと金属不織布フィルタの濾過精度とを種々変更して成形されたエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムについてカウントされたフィッシュアイの数を金網メッシュサイズと金属不織布の濾過精度のマトリックスで示す説明図である。フィルタを使用することなく成形した樹脂フィルムにてカウントされたフィッシュアイの個数、及び、金網フィルタのみを使用して溶融樹脂の濾過精製を行って成形した樹脂フィルムにてカウントされたフィッシュアイの個数を示す説明図である。

以下、本発明に係るバックグラインド用研削テープとして使用される樹脂フィルムの製造方法、製造装置及びこれらの製造方法、製造装置に使用される樹脂フィルタについて、本発明を具体化して示す実施形態に基づき図面を参照しつつ詳細に説明する。
先ず、本実施形態に係るバックグラインド用研削テープとして使用される樹脂フィルムを製造する樹脂フィルム製造装置について、図１に基づき簡単に説明する。図１は樹脂フィルム製造装置を模式的に示す説明図である。

図１において、樹脂フィルム製造装置１は、基本的に、押出機２、フィルタリングユニット６及びダイス４から構成されている。
ここに、押出機２は、エチレン共重合樹脂、例えば、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂を溶融するとともに、窒素ガスをパージしながら高圧で溶融樹脂を押し出す。

押出機２には、導管３が接続されており、かかる導管３はフィルタリングユニット６に接続されている。また、フィルタリングユニット６は導管３を介してダイス４に接続されている。

前記構成において、押出機２から押し出された溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂は、導管３を介してフィルタリングユニット６に供給されるとともに、フィルタリングユニット６にてエチレン酢酸ビニル共重合樹脂の濾過精製が行われ、この後、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂は、導管３を介してダイス４に供給される。

ダイス４にて窒素ガスをパージしつつ押し出されたエチレン酢酸ビニル共重合樹脂は、フィルム成型機（図示せず）に供給され、フィルム成形機にて所定の均一な膜厚を有するエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムに成形される。

ここで、フィルタリングユニット６の構成例について、図２に基づき説明する。図２はフィルタリングユニットに内蔵されるフィルタの構成を模式的に示す模式断面図である。図２において、上側は押出機２側（上流側）を示し、また、下側はダイス４側（下流側）を示す。フィルタ５は、図２に示すように、上流側から金網フィルタ８、金属不織布フィルタ９及び金網フィルタ１０を相互に積層することにより構成されている。

ここに、上流側金網フィルタ８は、メッシュサイズの異なる２つの金網８Ａ、８Ｂから構成されている。これらの金網８Ａ、８Ｂは、それぞれのメッシュサイズに対応する規則的な開口が形成されており、例えば、金網８Ａがメッシュサイズ５０を有し、金網８Ｂがメッシュサイズ５００を有している場合、金網８Ａは主として金網８Ｂが変形しないように補強する作用を行い、金網８Ｂは溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物を捕集し、また、フィッシュアイの原因となる大きな架橋ゲルをそのメッシュサイズに応じて細分化する作用を行う。

尚、上流側金網フィルタ８を構成する金網の数は、２つに限定されることなく、必要に応じて金網の数を任意の数にすることができる。このとき、最もメッシュサイズが大きい（規則的な開口サイズが小さい）金網が、溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物を捕集し、また、フィッシュアイの原因となる大きな架橋ゲルをそのメッシュサイズに応じて細分化する作用を行う。金網としては、各種メッシュサイズを有するものが使用されており、例えば、１００メッシュ、２００メッシュ、３００メッシュ、４００メッシュ、５００メッシュ、６３５メッシュの金網が一般に入手容易であり、且つ、汎用されている。

また、金属不織布フィルタ９は、ステンレス銅繊維のように金属繊維を焼結して形成された金属繊維焼結フィルタであり、その内部に形成された不規則な形状を有する多数の空間により、不定形で柔軟性を有する架橋ゲルを捕集する作用を行う。金属不織布フィルタ９には、その有する不定形空間のサイズに応じて、各種の濾過精度を有するものが存在する。例えば、濾過精度が８０μｍ、６０μｍ、４０μｍの金属不織布フィルタが一般に入手容易であり、且つ、汎用されている。

尚、金属不織布フィルタ９の数は、１つに限定されることなく、必要に応じて任意の数にすることができる。この場合においても、前記金網フィルタ８の場合と同様、最も濾過精度が大きい（不定形空間が小さい）金属不織布フィルタが、その内部に形成された不規則な形状を有する多数の空間により、不定形で柔軟性を有する架橋ゲルを捕集する作用を行う。

また、金属不織布フィルタ９の下流側に配設された金網フィルタ１０は、前記金網フィルタ８と同一の構成を有する金網から構成されており、メッシュサイズの異なる２つの金網１０Ａ、１０Ｂから構成されている。これらの金網１０Ａ、１０Ｂは、それぞれのメッシュサイズに対応する規則的な開口が形成されているが、一般に、金属不織布フィルタ９の変形を防止して適正な濾過精度を保持するように、金属不織布フィルタ９を補強するために設けられている。

続いて、フィルタ５における金網フィルタ８のメッシュサイズと金属不織布フィルタ９の濾過精度を種々変更して、押出機２から押し出された溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂の濾過精製を行うとともに、かかるエチレン酢酸ビニル共重合樹脂からダイス４、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形し、その樹脂フィルムに残存するフィッシュアイの数をカウントした結果について、図３に基づき説明する。図３は、金網フィルタにおける金網のメッシュサイズと金属不織布フィルタの濾過精度とを種々変更して成形されたエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムについてカウントされたフィッシュアイの数を金網メッシュサイズと金属不織布の濾過精度のマトリックスで示す説明図である。図３における横欄は金網のメッシュサイズ、縦欄は金属不織布の濾過精度を示す。尚、フィッシュアイの数は、レーザ式フィッシュアイカウンタ（ＯＣＳ社製ＦＳ−５、測定感度：レベル７５、測定条件：ライン速度４ｍ／ｍｉｎ、検出幅６０ｍｍ、フィルム厚さ５０μｍ、測定時間１５ｍｉｎ、測定面積３．６ｍ²、Ｎ＝２）で測定し、１
ｍ²当たりのフィッシュアイ数として求めた。

図３において、金網フィルタ８を構成する金網の内、メッシュサイズが最も大きい金網のメッシュサイズ値が横欄に示されている。本実施形態で使用された金網としては、１００メッシュ、２００メッシュ、３００メッシュ、４００メッシュ、５００メッシュ及び６３５メッシュの６種類の金網が使用された。また、図３において、本実施形態で使用された金属不織布フィルタとしては、濾過精度が８０μｍ、６０μｍ及び４０μｍの３種類の金属不織布フィルタが使用された。
尚、メッシュサイズと濾過精度のマトリックスで示される各欄において、上段の値は、１ｍ²当たりで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数と５０μｍより大きいフィッシュアイの数とを合計したフィッシュアイの数を示す。また、中段の値は、１ｍ²当たりで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数を示す。更に、下段の値は、１ｍ²当たりで測定された５０μｍ以上のフィッシュアイの数を示す。

因みに、樹脂供給する導管３にフィルタを介装させることなくブランク状態で溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂をダイ４に供給し、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形した場合には、図４に示すように、フィッシュアイカウンタで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり６４１３個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり１１９５個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は７６０８個であった。

また、導管３に従来の金網フィルタを積層したもの（最大メッシュサイズ：５００ｍｅｓｈ）を介装し、溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂をダイ４に供給して、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形した場合には、図４に示すように、フィッシュアイカウンタで測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり４３６２個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり８７７個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は５２３９個であった。

ここに、前記したように、樹脂フィルム製造装置１により製造されるエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムは、各種の用途に使用することが可能であるが、特に、半導体ウエハのバックグラインド用研削テープとして使用する場合には、一定高さ以上のフィッシュアイが存在しているとウエハの変形や割れを引き起こしてしまう原因となり、また、フィッシュアイの個数が多くなる程一定高さ以上のフィッシュアイが発生する虞が高くなることから、フィッシュアイのトータル個数としては、４６００個以下に抑制することが望ましい。
尚、フィッシュアイのトータル個数が４６００個を超える場合であっても、エチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムは、その使用目的・特性に応じて各種表面保護フィルムに適用することができる。

図３において、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが１００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が８０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり４６４８個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり９９８個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は５５４６個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが１００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり５３３３個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり９９６個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は６３２９個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが２００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり５０６０個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり９８２個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は６０４２個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが３００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり４７８８個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり９６６個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は５７５４個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが３００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が４０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり３９８３個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり７７９個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４７６２個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが４００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり４２８６個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり１０２２個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は５３０８個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が８０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり４１３９個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり８０７個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４９４６個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり３８３０個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり７７０個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４６００個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が４０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり３８２８個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり７４２個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが６３５メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が８０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり４８１９個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり９２１個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は５７４０個であった。

また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが６３５メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合、フィッシュアイカウンタにより測定された５０μｍ以下のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり３７８５個、５０μｍ以上のフィッシュアイの数は１ｍ²当たり７８５個であり、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であった。

前記にて説明したように、本実施形態に係る樹脂フィルム製造装置１では、溶融状態のエチレン酢酸ビニル共重合樹脂の濾過精製するフィルタ５が金網フィルタ８と金属不織布フィルタ９とを積層することにより構成されており、溶融エチレン酢酸ビニル共重合樹脂がフィルタ５を通過する際に先ず金網フィルタ８を介して溶融エチレン酢酸ビニル共重合樹脂中に含有される繊維・粉塵等の異物が捕集されるとともに架橋ゲルの細分化が行われ、続いて金属不織布フィルタ９を介して金網フィルタ８により細分化された架橋ゲルが効率的に捕集される。
このように、金網フィルタ８と金属不織布フィルタ９とを積層することによりフィルタ５が構成されているので、金網フィルタ８によるフィルティング効果と金属不織布フィルタ９のフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルを広範囲で且つ効率的に濾過精製することが可能となり、フィッシュアイを格段に低減した樹脂フィルムを製造することができる。

また、樹脂フィルム製造装置１により製造されるエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムを半導体ウエハのバックグラインド用研削テープとして使用する場合には、ウエハの変形や割れを防止すべく、フィッシュアイのトータル個数としては、４６００個以下に抑制することが望ましいところ、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合には、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４６００個であり、また、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が４０μｍである場合には、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であり、更に、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが６３５メッシュ、及び、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍである場合には、１ｍ²当たりのフィッシュアイのトータル個数は４５７０個であることから、金網フィルタ８の金網のメッシュサイズが５００メッシュ以上で、且つ、金属不織布フィルタ９の濾過精度が６０μｍ以下であれば、半導体ウエハのバックグラインド用研削テープとして使用可能なエチレン酢酸ビニル共重合樹脂フィルムを製造することができる。

尚、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることは勿論である。
例えば、前記実施形態に係る樹脂フィルム製造装置１では、各押出機２から押し出された溶融樹脂を各樹脂供給管３中を搬送する過程でフィルタ５を介して溶融樹脂の濾過精製を行った後、ダイ４、フィルム成形ローラ、フィルム成形機を介して樹脂フィルムを成形するように構成しているが、フィルタ５を介して濾過精製された溶融樹脂をペレタイザ（単軸造粒押出機）に供給し、ペレタイザにて樹脂ペレットを製造するように構成してもよい。

かかる場合においても、前記したように、金網フィルタ８によるフィルティング効果と金属不織布フィルタ９のフィルティング効果とを相乗的に発現して、フィッシュアイの原因となる溶融樹脂中の架橋ゲルが広範囲で且つ効率的に濾過精製されているので、フィッシュアイを格段に低減した樹脂ペレットを製造することができる。従って、前記のように製造された樹脂ペットを使用してフィルム成形した場合においても、前記したように、フィッシュアイを格段に低減した樹脂フィルムを製造することができるものである。

１樹脂フィルム製造装置
２押出機
３導管
４ダイス
５フィルタ
６フィルタリングユニット

Claims

高圧で押し出された溶融樹脂をフィルタに供給するとともに、フィルタを通過した溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを製造するバックグラインド用研削テープの製造方法において、
前記フィルタは、
高圧で押し出された溶融樹脂をフィルタに供給するとともに、フィルタを通過した溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを製造するバックグラインド用研削テープの製造方法において、
前記フィルタは、
２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、
前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とするバックグラインド用研削テープの製造方法。
前記溶融樹脂はエチレン共重合樹脂であることを特徴とする請求項１に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法。
前記エチレン共重合樹脂はエチレン酢酸ビニル共重合樹脂であることを特徴とする請求項２に記載のバックグラインド用研削テープの製造方法。
樹脂押出機と、
前記樹脂押出機から押し出された溶融樹脂を案内供給する樹脂供給路と、
前記樹脂供給路から案内供給された溶融樹脂からバックグラインド用研削テープを成形するバックグラインド用研削テープ成形装置と、
前記樹脂供給路に配設され、樹脂押出機から押し出された溶融樹脂の濾過精製を行うフィルタとを備え、
前記フィルタは、
２つの金網を有し、２つの金網の内下流側に配置される金網は５００メッシュ以上のメッシュサイズに形成された金網フィルタと、
前記金網フィルタの下流側で金網フィルタに積層され、濾過精度が６０μｍ以下の金属不織布から形成された金属不織布フィルタを備えたことを特徴とするバックグラインド用研削テープの製造装置。